第133章 國家MEMS重大專項
圓桌討論的第一個議題就是MEMS製造的核心工藝。
趙建成通過視頻連線從崑山參加了討論——蘇辰特意安排了這一點，因為在座的學術大佬們雖然理論功底深厚，但對一線的MEMS製造現狀了解有限。
趙建成的匯報簡潔而專業：
」目前鴻遠微系統的產線現狀——SÜSS步進光刻機一台，牛津儀器刻蝕機一台，萊寶薄膜沉積設備一套。4英寸全套MEMS流程。」
」產線升級計劃——新增一台SÜSS MA200步進光刻機，將光刻精度從2微米提升到0.5微米。新增一台DRIE深矽刻蝕設備，實現高深寬比矽通孔刻蝕。薄膜沉積設備升級到能做AlN壓電薄膜。」
」預計三到四個月完成升級。」
聽完趙建成的匯報，清華的孫教授第一個開口了：
」趙工，你說的DRIE設備——牛津儀器的最新款有出口管制，你們買到的是哪個型號？」
」上一代的PlasmaPro 100 Estrelas。」趙建成說，」最新款確實受限，但上一代沒有管制問題。性能上差一些，但經過參數優化後能滿足我們的需求。」
」差多少？」孫教授追問。
」深寬比方面，最新款能做到30:1，上一代大概在20:1左右。但我們第一步目標對標BMI270，20:1已經足夠。」
」但第二步呢？」孫教授的眼神變得銳利起來，」你們要做超越村田SCR1100的高精度陀螺儀——那種結構對DRIE的深寬比要求至少要25:1以上。上一代設備做不到。」
趙建成沉默了一秒。
這時候蘇辰開口了：
」孫教授說得對。這正是我想在今天的討論中提出的核心問題。」
蘇辰站了起來。
」MEMS的製造工藝，傳統路線有兩條——表面微加工和體矽微加工。」
」表面微加工成本低、產能高，但精度有天花板——這是目前大部分消費級MEMS的主流工藝。」
」體矽微加工精度高、可靠性好，但工藝複雜、成本高——這是軍工級MEMS的主流工藝，也是村田SCR1100使用的工藝基礎。」
」如果我們走傳統路線——先做表面微加工，再逐步過渡到體矽微加工——至少需要三到五年。」
」但我的想法不一樣。」
蘇辰在白板上畫了一個簡圖：
」我建議跳過純表面微加工路線，直接走體矽+SOI（絕緣體上矽）混合工藝路線。」
會議室里立刻出現了交頭接耳的聲音。
上海微系統所的錢研究員第一個提出了質疑：
」蘇總，SOI混合工藝在國際上也只是在實驗室階段有過驗證。意法半導體和博世都還沒有在量產線上全面採用。你們一條4英寸的產線，直接上SOI混合工藝——風險是不是太大了？」
」而且SOI晶圓的成本是普通矽晶圓的五到八倍。」錢研究員補充道，」你們的資金能承受嗎？」
面對質疑，蘇辰沒有著急。
」錢老師說的風險確實存在。但我想換一個角度來看這個問題。」
」如果我們走傳統路線——表面微加工→體矽微加工→最終才觸及SOI混合工藝——至少要三步走，每一步至少一到兩年。」
」但如果我們直接從SOI混合工藝切入——雖然第一步的門檻更高、風險更大，但一旦突破，我們將直接站在和國際巨頭同一代工藝的起跑線上。」
」不是追趕。而是平起平坐。」
」這和鴻遠一貫的風格一致——我們從來不按別人走過的路再走一遍。」
清華的孫教授若有所思地點了點頭。
但周建華院士的表情依然很平靜，看不出支持還是反對。
這時候，趙建成在視頻里插了一句話：
」如果要走SOI混合工藝路線，DRIE的深寬比問題確實是瓶頸。但我想說一件事——」
」我剛從微感半導體過來，之前做過類似的DRIE參數優化。同樣的設備，通過調整刻蝕氣體比例、循環參數和基台溫度，深寬比可以從標稱的20:1提升到24:1左右。」
」而且——」
趙建成頓了頓：
」我剛招到了一位叫陳國棟的老師傅。52歲，在DRIE工藝上有三十年經驗。他的手感和經驗，能讓同樣的設備發揮出不一樣的性能。」
」手感？」周院士終於開口了，語氣中帶著一絲好奇。
」是的。」趙建成說，」這個人對矽片的理解已經到了直覺層面。別人需要用顯微鏡才能看到的晶圓缺陷，他用手指摸一下就能感覺到。同樣的設備、同樣的工藝參數，他調出來的良品率能比別人高20%。」
」在MEMS工藝領域，經驗有時候比設備更重要。」
會議室里安靜了幾秒。
然後周院士說了一句意味深長的話：
」'工藝know-how的核心載體是人，不是時間'——原來你不是隨便說的。」
蘇辰微微笑了。
」周院士，我說的每一句話都不是隨便說的。」
周院士看了蘇辰幾秒，然後緩緩點了點頭。
」SOI混合工藝路線——我支持。」
這句話一出，會議室里的氣氛立刻變了。
周建華院士是中國MEMS領域的絕對權威。他的支持，對於在場的每一個人來說都有巨大的分量。
」不過——」周院士話鋒一轉，」SOI晶圓的來源問題你怎麼解決？國內目前能做高質量SOI晶圓的企業屈指可數。」
」這也是我提出設立國家MEMS重大專項的原因之一。」蘇辰說，」SOI晶圓、AlN壓電薄膜、高純度矽基材料——這些基礎材料的國產化，不是一家企業能解決的，需要全行業協同。」
」鴻遠可以做先鋒，在應用端和工藝端做突破。但基礎材料端，需要國家層面的布局。」
周院士點了點頭，然後看向了副部長鄭維國。
鄭維國一直在認真聽，此時他緩緩開口了：
」蘇辰的建議，和我們內部的判斷是一致的。」
」MEMS傳感器是低空經濟的心臟，也是萬物互聯時代的基礎器件。這個領域的自主可控，已經不再是一個選擇題，而是一道必答題。」
」關於設立國家MEMS傳感器重大專項的事——」
鄭維國停了一下，看了一眼全場：
」我今天可以表一個態。」
」專項的事情，我們電子信息司已經在推。今天這個座談會，就是專項前期調研的一部分。」
」但今天聽了蘇辰的匯報之後，我覺得這個專項的力度還需要加大。」
」我有幾個初步的想法——」
鄭維國豎起了手指，一點一點說道：
」第一，組建國家MEMS傳感器聯合攻關組。由中科院微電子所牽頭，聯合清華微納所、上海微系統所、鴻遠微系統等單位，圍繞MEMS慣性傳感器的核心工藝進行聯合攻關。」
」第二，設立MEMS傳感器專項基金。初步規模不少於5億元，支持從基礎材料到工藝設備到產品量產的全鏈條研發。」
」第三，建立MEMS關鍵設備進口綠色通道。對於MEMS製造所需的DRIE、光刻機、薄膜沉積設備等，在出口管制範圍內儘可能加快審批流程。」
」第四——」
鄭維國看向了蘇辰：
」鴻遠微系統的產線，作為聯合攻關組的產業化驗證基地。科研機構的設計成果，優先在鴻遠的產線上進行流片驗證。」
」蘇辰，你願意嗎？」
」當然願意。」蘇辰毫不猶豫地回答，」我在匯報里說了——鴻遠的產線、市場和資金，全部向聯合攻關開放。」
」好。」鄭維國點了點頭。
然後他看向周院士：」周老，聯合攻關組的學術方面，還得請您牽頭。」
周院士沉默了幾秒，然後緩緩說道：
」我今年七十三了。本來打算明年就退了。」
」但今天聽了這個年輕人的話——」
他看了蘇辰一眼：
」退休的事，再推遲兩年吧。」
會議室里響起了一陣笑聲，緊接著又是熱烈的掌聲。
周院士接著說：
」我手底下有12個博士生和30多個碩士研究生。其中做MEMS慣性傳感器方向的有8個博士和15個碩士。這些人我可以帶到聯合攻關組裡來。」
」不過——」周院士話鋒一轉，語氣變得嚴肅，」蘇辰，我有一個條件。」
」周院士請說。」
」聯合攻關的成果，核心專利必須掌握在中方手中。不管鴻遠將來怎麼發展——融資也好、上市也好、引入戰略投資者也好——MEMS自主化的核心技術專利，不能落到外資手裡。」
」這一點，你能保證嗎？」
蘇辰站起來，鄭重地說：
」周院士，我保證。鴻遠MEMS自主化的所有核心技術專利，永遠屬於中國。這是我蘇辰的底線，也是鴻遠的底線。」
周院士注視了蘇辰幾秒。
然後他點了點頭。
」好。那我就陪你走一程。」
」啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪……」
掌聲再次響起。
這一次比剛才更加熱烈。
因為所有人都清楚——周院士的加入，意味著整個中國MEMS學術界最強的力量，將和鴻遠這個產業界的先鋒匯合。
這不再只是一家企業的MEMS自主化。
這是一場舉國協作。
規模雖然比不上」兩彈一星」，但決心和格局，與當年一脈相承。
……
會議一直開到了下午五點多才結束。
結束後，蘇辰和周院士單獨聊了十幾分鐘。
」蘇辰，我有一句話想問你。」周院士靠在椅子上，語氣很隨意，像是長輩在和晚輩聊天。
」您請說。」
」你今天說的那個'兩步走'戰略——第一步對標博世BMI270，第二步超越村田SCR1100。」
」第一步我相信你能做到。你有產線、有團隊、有市場，而且BMI270的性能指標不算極端。半年到一年，問題不大。」
」但第二步——超越SCR1100——你心裡到底有多少把握？」
蘇辰沉默了幾秒。
在周院士面前，他不想說場面話。
」周院士，如果只靠常規的研發路徑——我的把握不超過30%。」
周院士微微挑了挑眉。
30%——這個數字比他預想的還低。
」但——」蘇辰說，」我有一些想法和技術方向，目前還不方便透露。等第一步完成後，我會和您詳細討論。」
周院士看著蘇辰的眼睛，沉默了幾秒。
他在蘇辰的目光中看到了兩樣東西——
一樣是坦誠。30%的把握，這不是一個虛偽的人會給出的數字。
另一樣是自信。那種」30%只是表面數字，實際底牌不止於此」的自信。
」好。」周院士站起來，拍了拍蘇辰的肩膀，」我等你第一步的結果。」
」第一步做到了——第二步我們再好好聊。」
」謝謝周院士。」
」別謝我。」周院士笑了笑，」我是為了中國的MEMS，不是為了你蘇辰。你要是讓我失望了——我可不留情面。」
」不會讓您失望的。」
周院士看著蘇辰的背影走出會議室，輕聲說了一句——
」但願如此。」
……
當天晚上，蘇辰在北京的酒店裡，收到了方旭發來的一條消息。
」蘇總，啟明創投的王明輝今天主動打電話過來了。」
」他說了什麼？」蘇辰問。
」他說看了新聞聯播的報導，又看了工信部座談會的消息，重新評估了鴻遠在MEMS產業鏈上的位置。」
」然後呢？」
」67%控股的方案——他同意了。」
蘇辰看著手機屏幕，嘴角微微上揚。
一切都在按計劃推進。
不——比計劃推進得更快。
工信部的MEMS重大專項、周院士的聯合攻關組、啟明創投的67%控股——三件事幾乎在同一天塵埃落定。
這不是巧合。
這是四年積累到了一個臨界點後，自然而然的連鎖反應。
蘇辰放下手機，走到窗前。
北京的夜空不像深圳那樣燈火輝煌，但能看到遠處長安街上的車流，像一條金色的河流在黑暗中緩緩流淌。
他想起了今天會議室里的場景——
那些院士、教授、博士們的眼神。
從最初的審視和懷疑，到後來的認可和期待。
他突然有一種感覺——
這不再只是他一個人的戰爭了。
從今天開始，整個中國的MEMS力量都站在了他的身後。
這種感覺讓他心生豪邁。
就像原小說里的林軒站在中科院的大型會議室里，看著上千名科研人員時的那種感覺——
不對。
蘇辰搖了搖頭。他不能用」原小說」的思維來思考問題。
這是他自己的人生。
他蘇辰的人生。
」好了。」蘇辰深吸一口氣。
明天飛回深圳，要做的事情還有很多——
張磊那邊」六顆版」飛鳥S1的量產切換要盯著。
趙建成崑山產線升級要持續推進。
陳國棟的入職手續要落實。
微芯傳感67%控股的正式簽約要儘快安排。
周院士聯合攻關組的人員對接和工作計劃要敲定。
光明區8000平方米用地的MEMS研發中心建設要啟動。
六條線，同時推進。
任何一條出了問題，整盤棋都可能崩盤。
但蘇辰不怕。
因為他從來都是在鋼絲上跳舞的人。
……
而在蘇辰酒店房間的窗外，在他看不到的地方——
一封加密郵件正在跨越太平洋。
發件人的地址指向東京。
收件人是航信達通科技的賀志強。
郵件的正文只有一句話：
」村田已確認，將配合執行第二階段方案。」
賀志強在北京的辦公室里看到這封郵件時，露出了一個陰冷的笑容。
他拿起手機，給大疆的陳嘉銘發了一條消息：
」第二階段啟動。目標——鴻遠的MEMS設備供應鏈。」
三秒後，陳嘉銘回復了兩個字：
」收到。」
趙建成通過視頻連線從崑山參加了討論——蘇辰特意安排了這一點，因為在座的學術大佬們雖然理論功底深厚，但對一線的MEMS製造現狀了解有限。
趙建成的匯報簡潔而專業：
」目前鴻遠微系統的產線現狀——SÜSS步進光刻機一台，牛津儀器刻蝕機一台，萊寶薄膜沉積設備一套。4英寸全套MEMS流程。」
」產線升級計劃——新增一台SÜSS MA200步進光刻機，將光刻精度從2微米提升到0.5微米。新增一台DRIE深矽刻蝕設備，實現高深寬比矽通孔刻蝕。薄膜沉積設備升級到能做AlN壓電薄膜。」
」預計三到四個月完成升級。」
聽完趙建成的匯報，清華的孫教授第一個開口了：
」趙工，你說的DRIE設備——牛津儀器的最新款有出口管制，你們買到的是哪個型號？」
」上一代的PlasmaPro 100 Estrelas。」趙建成說，」最新款確實受限，但上一代沒有管制問題。性能上差一些，但經過參數優化後能滿足我們的需求。」
」差多少？」孫教授追問。
」深寬比方面，最新款能做到30:1，上一代大概在20:1左右。但我們第一步目標對標BMI270，20:1已經足夠。」
」但第二步呢？」孫教授的眼神變得銳利起來，」你們要做超越村田SCR1100的高精度陀螺儀——那種結構對DRIE的深寬比要求至少要25:1以上。上一代設備做不到。」
趙建成沉默了一秒。
這時候蘇辰開口了：
」孫教授說得對。這正是我想在今天的討論中提出的核心問題。」
蘇辰站了起來。
」MEMS的製造工藝，傳統路線有兩條——表面微加工和體矽微加工。」
」表面微加工成本低、產能高，但精度有天花板——這是目前大部分消費級MEMS的主流工藝。」
」體矽微加工精度高、可靠性好，但工藝複雜、成本高——這是軍工級MEMS的主流工藝，也是村田SCR1100使用的工藝基礎。」
」如果我們走傳統路線——先做表面微加工，再逐步過渡到體矽微加工——至少需要三到五年。」
」但我的想法不一樣。」
蘇辰在白板上畫了一個簡圖：
」我建議跳過純表面微加工路線，直接走體矽+SOI（絕緣體上矽）混合工藝路線。」
會議室里立刻出現了交頭接耳的聲音。
上海微系統所的錢研究員第一個提出了質疑：
」蘇總，SOI混合工藝在國際上也只是在實驗室階段有過驗證。意法半導體和博世都還沒有在量產線上全面採用。你們一條4英寸的產線，直接上SOI混合工藝——風險是不是太大了？」
」而且SOI晶圓的成本是普通矽晶圓的五到八倍。」錢研究員補充道，」你們的資金能承受嗎？」
面對質疑，蘇辰沒有著急。
」錢老師說的風險確實存在。但我想換一個角度來看這個問題。」
」如果我們走傳統路線——表面微加工→體矽微加工→最終才觸及SOI混合工藝——至少要三步走，每一步至少一到兩年。」
」但如果我們直接從SOI混合工藝切入——雖然第一步的門檻更高、風險更大，但一旦突破，我們將直接站在和國際巨頭同一代工藝的起跑線上。」
」不是追趕。而是平起平坐。」
」這和鴻遠一貫的風格一致——我們從來不按別人走過的路再走一遍。」
清華的孫教授若有所思地點了點頭。
但周建華院士的表情依然很平靜，看不出支持還是反對。
這時候，趙建成在視頻里插了一句話：
」如果要走SOI混合工藝路線，DRIE的深寬比問題確實是瓶頸。但我想說一件事——」
」我剛從微感半導體過來，之前做過類似的DRIE參數優化。同樣的設備，通過調整刻蝕氣體比例、循環參數和基台溫度，深寬比可以從標稱的20:1提升到24:1左右。」
」而且——」
趙建成頓了頓：
」我剛招到了一位叫陳國棟的老師傅。52歲，在DRIE工藝上有三十年經驗。他的手感和經驗，能讓同樣的設備發揮出不一樣的性能。」
」手感？」周院士終於開口了，語氣中帶著一絲好奇。
」是的。」趙建成說，」這個人對矽片的理解已經到了直覺層面。別人需要用顯微鏡才能看到的晶圓缺陷，他用手指摸一下就能感覺到。同樣的設備、同樣的工藝參數，他調出來的良品率能比別人高20%。」
」在MEMS工藝領域，經驗有時候比設備更重要。」
會議室里安靜了幾秒。
然後周院士說了一句意味深長的話：
」'工藝know-how的核心載體是人，不是時間'——原來你不是隨便說的。」
蘇辰微微笑了。
」周院士，我說的每一句話都不是隨便說的。」
周院士看了蘇辰幾秒，然後緩緩點了點頭。
」SOI混合工藝路線——我支持。」
這句話一出，會議室里的氣氛立刻變了。
周建華院士是中國MEMS領域的絕對權威。他的支持，對於在場的每一個人來說都有巨大的分量。
」不過——」周院士話鋒一轉，」SOI晶圓的來源問題你怎麼解決？國內目前能做高質量SOI晶圓的企業屈指可數。」
」這也是我提出設立國家MEMS重大專項的原因之一。」蘇辰說，」SOI晶圓、AlN壓電薄膜、高純度矽基材料——這些基礎材料的國產化，不是一家企業能解決的，需要全行業協同。」
」鴻遠可以做先鋒，在應用端和工藝端做突破。但基礎材料端，需要國家層面的布局。」
周院士點了點頭，然後看向了副部長鄭維國。
鄭維國一直在認真聽，此時他緩緩開口了：
」蘇辰的建議，和我們內部的判斷是一致的。」
」MEMS傳感器是低空經濟的心臟，也是萬物互聯時代的基礎器件。這個領域的自主可控，已經不再是一個選擇題，而是一道必答題。」
」關於設立國家MEMS傳感器重大專項的事——」
鄭維國停了一下，看了一眼全場：
」我今天可以表一個態。」
」專項的事情，我們電子信息司已經在推。今天這個座談會，就是專項前期調研的一部分。」
」但今天聽了蘇辰的匯報之後，我覺得這個專項的力度還需要加大。」
」我有幾個初步的想法——」
鄭維國豎起了手指，一點一點說道：
」第一，組建國家MEMS傳感器聯合攻關組。由中科院微電子所牽頭，聯合清華微納所、上海微系統所、鴻遠微系統等單位，圍繞MEMS慣性傳感器的核心工藝進行聯合攻關。」
」第二，設立MEMS傳感器專項基金。初步規模不少於5億元，支持從基礎材料到工藝設備到產品量產的全鏈條研發。」
」第三，建立MEMS關鍵設備進口綠色通道。對於MEMS製造所需的DRIE、光刻機、薄膜沉積設備等，在出口管制範圍內儘可能加快審批流程。」
」第四——」
鄭維國看向了蘇辰：
」鴻遠微系統的產線，作為聯合攻關組的產業化驗證基地。科研機構的設計成果，優先在鴻遠的產線上進行流片驗證。」
」蘇辰，你願意嗎？」
」當然願意。」蘇辰毫不猶豫地回答，」我在匯報里說了——鴻遠的產線、市場和資金，全部向聯合攻關開放。」
」好。」鄭維國點了點頭。
然後他看向周院士：」周老，聯合攻關組的學術方面，還得請您牽頭。」
周院士沉默了幾秒，然後緩緩說道：
」我今年七十三了。本來打算明年就退了。」
」但今天聽了這個年輕人的話——」
他看了蘇辰一眼：
」退休的事，再推遲兩年吧。」
會議室里響起了一陣笑聲，緊接著又是熱烈的掌聲。
周院士接著說：
」我手底下有12個博士生和30多個碩士研究生。其中做MEMS慣性傳感器方向的有8個博士和15個碩士。這些人我可以帶到聯合攻關組裡來。」
」不過——」周院士話鋒一轉，語氣變得嚴肅，」蘇辰，我有一個條件。」
」周院士請說。」
」聯合攻關的成果，核心專利必須掌握在中方手中。不管鴻遠將來怎麼發展——融資也好、上市也好、引入戰略投資者也好——MEMS自主化的核心技術專利，不能落到外資手裡。」
」這一點，你能保證嗎？」
蘇辰站起來，鄭重地說：
」周院士，我保證。鴻遠MEMS自主化的所有核心技術專利，永遠屬於中國。這是我蘇辰的底線，也是鴻遠的底線。」
周院士注視了蘇辰幾秒。
然後他點了點頭。
」好。那我就陪你走一程。」
」啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪……」
掌聲再次響起。
這一次比剛才更加熱烈。
因為所有人都清楚——周院士的加入，意味著整個中國MEMS學術界最強的力量，將和鴻遠這個產業界的先鋒匯合。
這不再只是一家企業的MEMS自主化。
這是一場舉國協作。
規模雖然比不上」兩彈一星」，但決心和格局，與當年一脈相承。
……
會議一直開到了下午五點多才結束。
結束後，蘇辰和周院士單獨聊了十幾分鐘。
」蘇辰，我有一句話想問你。」周院士靠在椅子上，語氣很隨意，像是長輩在和晚輩聊天。
」您請說。」
」你今天說的那個'兩步走'戰略——第一步對標博世BMI270，第二步超越村田SCR1100。」
」第一步我相信你能做到。你有產線、有團隊、有市場，而且BMI270的性能指標不算極端。半年到一年，問題不大。」
」但第二步——超越SCR1100——你心裡到底有多少把握？」
蘇辰沉默了幾秒。
在周院士面前，他不想說場面話。
」周院士，如果只靠常規的研發路徑——我的把握不超過30%。」
周院士微微挑了挑眉。
30%——這個數字比他預想的還低。
」但——」蘇辰說，」我有一些想法和技術方向，目前還不方便透露。等第一步完成後，我會和您詳細討論。」
周院士看著蘇辰的眼睛，沉默了幾秒。
他在蘇辰的目光中看到了兩樣東西——
一樣是坦誠。30%的把握，這不是一個虛偽的人會給出的數字。
另一樣是自信。那種」30%只是表面數字，實際底牌不止於此」的自信。
」好。」周院士站起來，拍了拍蘇辰的肩膀，」我等你第一步的結果。」
」第一步做到了——第二步我們再好好聊。」
」謝謝周院士。」
」別謝我。」周院士笑了笑，」我是為了中國的MEMS，不是為了你蘇辰。你要是讓我失望了——我可不留情面。」
」不會讓您失望的。」
周院士看著蘇辰的背影走出會議室，輕聲說了一句——
」但願如此。」
……
當天晚上，蘇辰在北京的酒店裡，收到了方旭發來的一條消息。
」蘇總，啟明創投的王明輝今天主動打電話過來了。」
」他說了什麼？」蘇辰問。
」他說看了新聞聯播的報導，又看了工信部座談會的消息，重新評估了鴻遠在MEMS產業鏈上的位置。」
」然後呢？」
」67%控股的方案——他同意了。」
蘇辰看著手機屏幕，嘴角微微上揚。
一切都在按計劃推進。
不——比計劃推進得更快。
工信部的MEMS重大專項、周院士的聯合攻關組、啟明創投的67%控股——三件事幾乎在同一天塵埃落定。
這不是巧合。
這是四年積累到了一個臨界點後，自然而然的連鎖反應。
蘇辰放下手機，走到窗前。
北京的夜空不像深圳那樣燈火輝煌，但能看到遠處長安街上的車流，像一條金色的河流在黑暗中緩緩流淌。
他想起了今天會議室里的場景——
那些院士、教授、博士們的眼神。
從最初的審視和懷疑，到後來的認可和期待。
他突然有一種感覺——
這不再只是他一個人的戰爭了。
從今天開始，整個中國的MEMS力量都站在了他的身後。
這種感覺讓他心生豪邁。
就像原小說里的林軒站在中科院的大型會議室里，看著上千名科研人員時的那種感覺——
不對。
蘇辰搖了搖頭。他不能用」原小說」的思維來思考問題。
這是他自己的人生。
他蘇辰的人生。
」好了。」蘇辰深吸一口氣。
明天飛回深圳，要做的事情還有很多——
張磊那邊」六顆版」飛鳥S1的量產切換要盯著。
趙建成崑山產線升級要持續推進。
陳國棟的入職手續要落實。
微芯傳感67%控股的正式簽約要儘快安排。
周院士聯合攻關組的人員對接和工作計劃要敲定。
光明區8000平方米用地的MEMS研發中心建設要啟動。
六條線，同時推進。
任何一條出了問題，整盤棋都可能崩盤。
但蘇辰不怕。
因為他從來都是在鋼絲上跳舞的人。
……
而在蘇辰酒店房間的窗外，在他看不到的地方——
一封加密郵件正在跨越太平洋。
發件人的地址指向東京。
收件人是航信達通科技的賀志強。
郵件的正文只有一句話：
」村田已確認，將配合執行第二階段方案。」
賀志強在北京的辦公室里看到這封郵件時，露出了一個陰冷的笑容。
他拿起手機，給大疆的陳嘉銘發了一條消息：
」第二階段啟動。目標——鴻遠的MEMS設備供應鏈。」
三秒後，陳嘉銘回復了兩個字：
」收到。」