第120章 納米之舞,手搓光刻機

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  001基地,地下701車間。

  那種初次成功的喜悅並沒有持續太久。

  當那片3微米製程的晶圓被送進封裝測試台,蘇正看著示波器上跳動的波形,眉頭反而越皺越緊。

  「不行。」

  蘇正把測試報告扔在桌上,聲音沉悶,「波形抖動太大了。如果是用來控制收音機或者電風扇還湊合,但要用在『紅星一號』的ECU上,甚至將來用在飛彈火控上,這個精度……是會死人的。」

  站在一旁的老陳和幾位部委專家面面相覷。

  「蘇部長,這已經是奇蹟了啊。」

  一位老專家小心翼翼地說道,「咱們是用手搖的設備,加上改裝的爐子,硬生生搞出了3微米的晶片。這要是傳出去,夠拿國家科技進步特等獎了。咱們是不是……要求太高了?」

  「如果是為了拿獎,確實夠了。」

  蘇正抬起頭,目光像鷹一樣銳利,「但我們的對手是誰?是英特爾,是德州儀器,是整個西方半導體聯盟!他們現在的量產水平已經是1.5微米,實驗室里甚至在攻克1微米。我們這個3微米……在他們眼裡,就是個笑話。」

  他指了指那台「土法」光刻機:

  「核心問題在鏡頭。這套鏡頭組的數值孔徑不夠,邊緣像差太大。光刻的時候,原本應該是直線的電路,在邊緣變成了弧線。這就是良品率上不去、性能不穩定的根本原因。」

  「可是……」老陳一臉為難,「雲光廠的那位劉師傅已經盡力了。這套鏡頭,是他磨了整整一個月,廢了十幾塊毛坯才磨出來的。再想提高精度……那就是神仙難事了。」

  「沒有神仙。」

  蘇正站起身,脫下滿是油污的防塵服,「既然機器做不到,那就讓人來做。既然一個劉師傅不夠,那我們就把全華夏最好的『眼』和『手』都請來。」

  他轉頭看向葉心儀:

  「心儀,幫我查一下。當年給海軍磨潛艇潛望鏡鏡片的那幾位老法師,現在都在哪兒?」

  葉心儀推了推眼鏡,不用翻筆記本,直接報出了數據:

  「都在雲光廠養老。不過,年紀最大的張老爺子已經七十多了,手可能……」

  「只要眼還沒瞎,只要氣還在。」

  蘇正打斷了她,「備車。不對,申請直升機。我要親自去一趟雲光廠。」

  ……

  雲貴高原,深山之中。

  雲光廠(雲南光學儀器廠)的老廠房裡,瀰漫著一股淡淡的煤油味和研磨膏的香氣。

  這裡是華夏光學的聖地。從抗戰時期的望遠鏡,到後來的顯微鏡、經緯儀,無數大國重器的「眼睛」,都是從這裡走出去的。

  當蘇正走進那間被稱為「禁地」的高級研磨車間時,幾位頭髮花白的老人正圍坐在一張那是一張巨大的花崗岩工作檯前,喝著茶,聊著天。

  看到蘇正進來,為首的一位清瘦老人放下了茶杯。

  他叫張本初,華夏光學界的「掃地僧」。傳說他年輕時,能用手摸出鏡片上0.1微米的誤差。

  「蘇部長?」

  張老爺子顯然聽說過蘇正的大名,「聽說你在西北搞了個大動靜,連我們的鎮廠之寶劉徒弟都被你借去磨玻璃了?」

  「張老。」

  蘇正恭敬地鞠了一躬,「這次來,是想請您出山。」

  「出山?」

  張老爺子笑了,伸出那雙布滿老繭和老年斑的手,「我都這把年紀了,手早就抖了。現在是機器的時代,聽說國外都用什麼……雷射干涉儀來檢測了?我們這些老手藝,該進博物館咯。」

  「機器確實厲害。」

  蘇正走到工作檯前,從懷裡掏出那張3微米晶片的光刻底片,又拿出了一張圖紙。

  那是他用「真理之眼」還原出的、尼康公司即將在明年推出的高端光刻機鏡頭組的設計圖。

  「但是,機器是人造的。」

  蘇正把圖紙鋪開,「國外的機器我們買不到。國內的機器……精度還差一口氣。這口氣,只有您能幫我續上。」

  張老爺子眯起眼睛,看著那張圖紙。

  看著看著,他的臉色變了。


  原本渾濁的眼神,突然變得清亮無比,像是兩道光。

  「這……這是誰設計的?」

  張老爺子顫抖著指著圖紙上的一組非球面鏡片,「這種曲率……這種像差矯正結構……這簡直是鬼斧神工!這要是磨出來,解析度能達到多少?」

  「1微米。甚至……0.8微米。」蘇正平靜地說道。

  「0.8微米……」

  張老爺子深吸了一口氣。那是光的波長的量級。那是在刀尖上跳舞。

  「圖紙是好圖紙。」

  張老爺子嘆了口氣,「可是這最後一道拋光,要求面型誤差不能超過頭髮絲的千分之一。機器做不到,我也……沒把握。」

  「我有。」

  蘇正指了指自己的眼睛,「您看不見的誤差,我能看見。您的手抖,我幫您穩。我們爺倆合夥,跟那幫洋鬼子的機器比試比試?」

  張老爺子盯著蘇正看了許久。

  突然,他猛地一拍桌子,震得茶杯里的水晃了晃。

  「好!」

  老人身上的暮氣一掃而空,取而代之的是一股宗師般的傲氣,「媽了個巴子的,洋人封鎖我們?老子磨了一輩子玻璃,就不信磨不出一口氣來!開工!」

  ……

  接下來的半個月,雲光廠的那間絕密車間,成了不夜城。

  蘇正和張老爺子,以及另外三位頂級老師傅,把自己關在了裡面。

  沒有精密干涉儀?

  沒關係。蘇正的「真理之眼」開啟。在他的視野里,那塊正在研磨的石英玻璃表面,不再是光滑的平面,而是變成了起伏的山巒和溝壑。

  每一處高出的「山峰」,每一處低洼的「谷底」,都清晰可見。

  「張老,左上角,兩點鐘方向,高了30個納米。」蘇正輕聲說道。

  30納米。

  那是細菌長度的幾十分之一。

  張老爺子閉著眼睛,深吸一口氣,手中的拋光碟輕輕落下。

  他的動作輕柔得像是在撫摸情人的臉龐。瀝青拋光碟帶著紅色的氧化鐵研磨液,在玻璃表面劃出一道道玄奧的軌跡。

  沙沙……沙沙……

  那是納米級別的切削聲。

  「好了。」張老爺子停手。

  蘇正定睛一看。

  那座「山峰」被削平了,變成了一片平原。

  「神乎其技。」蘇正忍不住讚嘆。

  這不是技術,這是道。

  是幾十年的歲月沉澱下來的手感,與超人類的視覺輔助結合產生的化學反應。

  這一老一少,配合得天衣無縫。

  蘇正是「眼」,張老爺子是「手」。他們在微觀世界裡,進行著一場驚心動魄的「納米之舞」。

  第三天,第一組凸透鏡完成。

  第七天,修正鏡片完成。

  第十四天,最難的那塊非球面主鏡,終於躺在了超淨台的絲絨布上。

  它晶瑩剔透,在無影燈下看不出任何反光,仿佛是一汪凝固的空氣。

  「這就是……完美的透鏡。」

  張老爺子癱坐在椅子上,滿頭大汗,手在微微顫抖,但臉上卻帶著孩子般的笑容,「這輩子……值了。」

  ……

  當這套「人肉光刻機鏡頭組」被運回001基地,裝上那台代號為「光刻-02」的新機器時。

  整個701車間都沸騰了。

  這一次,不再是之前那種簡陋的拼湊感。

  經過半個月的改進,這台機器已經有了幾分工業重器的威嚴。厚重的鑄鐵底座,精密的絲杆傳動,再加上這顆「皇冠上的明珠」——頂級鏡頭組。

  「心儀,光刻膠準備好了嗎?」蘇正問道。

  「準備好了。」

  葉心儀指了指旁邊的恆溫箱,「這是從胡楊樹脂里提取改性出來的新型光刻膠,代號『大漠紅』。經過這幾天的測試,它的解析度比進口貨還要高。」

  「好。」

  蘇正深吸一口氣,「上片!」

  一張嶄新的4英寸矽片被送入機器。

  對準。

  曝光。

  顯影。

  這一次,過程異常順利。

  當顯影液褪去,露出下面的電路圖案時,蘇正不需要用顯微鏡,光憑直覺就知道——成了。

  顯微鏡下。

  那些線條如同刀切斧鑿般鋒利,邊緣整齊得像是一列列受閱的士兵。

  「線寬……」

  負責檢測的技術員聲音都在顫抖,「0.9微米!而且……而且線條邊緣粗糙度極低!」

  「0.9微米!」

  老陳一巴掌拍在大腿上,「我的親娘誒!這已經超過了咱們之前想都不敢想的1微米大關了!這……這真的是咱們用手搓出來的?」

  「是手搓出來的。」

  蘇正看著顯微鏡里的畫面,眼中閃過一絲疲憊,但更多的是驕傲,「但這不是普通的手。這是華夏工匠的手,是華夏科學家的魂。」

  他直起腰,環視四周激動的眾人:

  「同志們,雖然我們做到了0.9微米,但這只是第一步。這台機器是『特種裝備』,靠的是張老他們的絕技,沒法大規模量產。」

  眾人的熱情稍稍冷卻了一些。是啊,張老爺子那種國寶級的人物,能磨一套,還能磨一百套嗎?

  「但是。」

  蘇正話鋒一轉,「有了這套母版鏡頭,有了這個0.9微米的精度,我們就能製造出更高精度的光柵尺,製造出更精密的伺服電機。我們就能用這台『手搓機』,去生產製造『下一代光刻機』所需的零件!」

  「這就是工業的母機屬性!」

  蘇正的聲音迴蕩在車間裡,「我們用手搓出了第一代,然後用第一代生出第二代,用第二代生出第三代……這就叫『子子孫孫無窮匱也』!」

  「洋人封鎖我們?好啊。」

  蘇正拿起那片晶圓,對著燈光,那上面閃爍著彩虹般的光澤,「那就讓他們看著,我們是怎麼在封鎖中,一步步爬上工業之巔的!」

  「蘇部長!」

  就在這時,一名機要秘書匆匆跑進來,「北京急電!外交部轉來的消息。」

  「念。」

  「米國方面……剛剛宣布,將原來在『巴統』禁運名單之外的『低端電子玩具』和『遊戲機晶片』,也列入了審查範圍。理由是……懷疑我們通過拆解玩具晶片獲取技術。」

  聽到這個消息,車間裡先是一靜,隨即爆發出哄堂大笑。

  「拆解玩具晶片?」老陳笑得眼淚都出來了,「他們是真不知道,還是裝傻?咱們現在的技術,還需要拆他們的玩具?」

  蘇正也笑了。

  「看來,他們是真的急了。」

  蘇正擺了擺手,「既然他們這麼看得起我們,那我們也不能讓他們失望。」

  他走到葉心儀身邊,看著她手中那份已經寫滿了代碼的筆記本。

  「心儀,晶片有了。接下來,該給這顆大腦,注入靈魂了。」

  「那個關於『掌上遊戲機』的計劃……」蘇正眼中閃過一絲玩味,「可以啟動了。既然他們不賣給我們晶片,那我們就把我們的晶片,賣到他們的後院去!」

  「讓他們的孩子,從小就玩著我們的遊戲,用著我們的晶片長大。」

  「這,才叫真正的文化輸出。」

  葉心儀合上筆記本,清冷的臉上露出一絲極淡的微笑:

  「代碼已經寫好了。《俄羅斯方塊》……隨時可以上線。」

  ……

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