第155章 圍城
2020年11月7日，清晨。
深圳南山區鴻遠飛鳥科技有限公司總部大樓前，一排黑色商務車整齊地停在路邊。
車牌有粵B的，有京A的，甚至還有幾輛掛著使館牌照的——那些車上印著的小國旗分別屬於美國、日本和法國。
保安隊長老何站在大廳門口，一臉為難地看著眼前的景象。
從昨天下午開始，就陸續有人找上門來。一開始是兩三個，然後是七八個，到今天早上他數了一下，在大廳的休息區坐著的各色人等已經超過了二十個。
其中不乏衣著考究、氣質不凡的外國面孔。
老何在鴻遠飛鳥工作了大半年了，見過不少來訪的客戶和合作方。但像今天這樣，全球各大企業的高管齊聚一堂堵在大廳里等著見老闆的場面，他還是第一次見。
」何隊長，這位說他是波音公司供應鏈副總裁，要見蘇總。」前台小姑娘小聲跑過來匯報。
」還有這位，說是東麗中國區總經理……」
」這位是Hexcel亞太區負責人……」
」這位是空客複合材料採購經理……」
老何聽得頭皮發麻，每一個名字背後都是一家足以在全球工業界呼風喚雨的巨頭企業。
他趕緊撥通了林薇的電話。
」林總，這裡來了一堆外國人，都說要見蘇總。我看名片上的頭銜一個比一個嚇人，您看這……」
電話那頭的林薇沉默了兩秒，然後平靜地說：
」讓他們在會客室等著，我十分鐘後下來。」
十分鐘後，林薇出現在一樓大廳。
她穿著一身深灰色的職業套裝，頭髮利落地扎在腦後，臉上帶著職業性的微笑，但眼睛裡透著一股不卑不亢的冷靜。
」各位好，我是鴻遠飛鳥聯合創始人兼運營負責人林薇。蘇總目前不在深圳，有任何事情可以先和我溝通。」
人群中最先站起來的是一個五十歲出頭的白人男性，西裝筆挺，胸口別著波音的徽章。
」林女士，我是波音公司全球供應鏈副總裁麥可·哈里森。」他用流利的英語說道，身旁的翻譯同步將話語轉述為中文，」我們波音公司對貴公司的輕甲碳纖維複合材料非常感興趣，希望能恢復之前的合作洽談。」
」恢復？」林薇微微挑眉，臉上的笑容沒有變化，但語氣中多了一絲微妙的意味，」據我所知，哈里森先生，貴公司是在IDSA報告發布後的第二天就取消了和我們的會議安排。如果我沒記錯的話，取消郵件的發送時間是11月3日下午3點47分，比東麗和Hexcel還要早兩個小時。」
哈里森的臉上閃過一絲尷尬，但他很快恢復了鎮定。
」林女士，那是一個誤會。我們內部在評估IDSA報告的可信度——」
」哈里森先生。」林薇打斷了他，聲音不大，但每個字都清清楚楚，」IDSA報告的可信度，在它發布的當天就被至少三家獨立媒體質疑了。貴公司花了四天時間才'評估'出它不可信，這個速度確實讓人印象深刻。」
大廳里安靜了一瞬。
哈里森身後的翻譯張了張嘴，似乎想說什麼，但最終還是閉上了。
這時，另一個人站了起來。
這是一個留著花白頭髮的日本男人，六十歲上下，穿著一件剪裁精良的藏青色西裝。他微微鞠了一躬，用略帶口音的中文說道：
」林女士，我是東麗中國區總經理田中誠一。東麗公司一直非常重視與中國企業的合作關係，關於之前的'擱置'，我們深表歉意。」
林薇看著田中誠一，眼神平淡。
東麗。
全球碳纖維行業的絕對霸主，T700、T800、T1100系列碳纖維的發明者和主要供應商。
在輕甲出現之前，東麗是無可爭議的碳纖維之王。
但輕甲的出現打破了這個格局——0.25毫米厚度，強度達到普通碳纖維的8倍，T800的3倍。
東麗不是不想要輕甲的技術，而是太想要了。
」田中先生，」林薇淡淡說道，」東麗公司想和我們談什麼樣的合作？」
」我們希望能夠採購輕甲樣品用於測試評估，同時探討長期供應合作的可能性。」田中誠一說話時姿態放得很低，」如果貴公司需要碳纖維原絲方面的支持，東麗也可以提供——」
」田中先生。」林薇再次打斷了對方，」我感謝東麗的誠意。但您應該知道，鴻遠飛鳥已經收購了鵬程新材，我們正在建設自己的碳纖維預浸料產線。在原絲方面，我們暫時不需要外部供應。」
田中誠一的嘴角微微一僵。
他當然知道鵬程新材的事情。正是因為知道，他才更加著急。
如果鴻遠飛鳥完成了從碳纖維原絲到預浸料到輕甲成品的全產業鏈布局，那東麗在中國市場的地位將受到前所未有的衝擊。
但此時最尷尬的人，並不是波音的哈里森，也不是東麗的田中誠一。
而是坐在角落裡一直沒有說話的那個人——Hexcel亞太區負責人理察·威爾遜。
如果說波音是」第一個取消會議」的，那Hexcel就是」從頭到尾都沒有正式表態」的。
但這不是讓理察尷尬的原因。
真正讓他尷尬的，是2019年的那件事。
2019年，鴻遠飛鳥還叫」蘇辰的實驗室」的時候，蘇辰曾經通過學術渠道聯繫過Hexcel，希望進行碳纖維複合材料方面的技術交流。
當時Hexcel的回覆是四個字——」暫不考慮」。
不，準確地說，連」暫不考慮」都沒有。Hexcel的回覆是根本沒有回覆。蘇辰的郵件石沉大海，連一封自動回復都沒有收到。
而現在，這個曾經被Hexcel視為不值得回覆郵件的年輕人，研發出了讓Hexcel心心念念的輕甲碳纖維複合材料。
理察深吸一口氣，站了起來。
」林女士，我是Hexcel亞太區負責人理察·威爾遜。關於2019年的事情，我代表Hexcel向貴公司表示誠摯的歉意。」
林薇看著理察，目光中沒有嘲諷，但也沒有溫度。
」威爾遜先生，道歉不需要向我說。」她淡淡說道。
」那……」
」我們的政策很清楚。」林薇環視了一圈在場所有人，聲音不大但清晰無比，」輕甲優先供應飛鳥產業聯盟成員。如果各位的公司有意加入聯盟，可以通過官方渠道提交申請，我們會按照聯盟章程進行審核。」
」聯盟章程？」哈里森皺了皺眉，」林女士，能否透露一下聯盟的准入條件？」
」條件不複雜。」林薇從文件夾里抽出一張紙遞過去，」三條。第一，技術透明——加入聯盟的企業需要公開其產品中使用輕甲的具體應用場景和技術參數，與聯盟其他成員共享應用數據。第二，不參與供應鏈封鎖——聯盟成員不得配合任何第三方對聯盟內企業實施供應鏈限制或技術封鎖。第三，互惠互利——聯盟成員之間享有技術協作優先權和產品交叉推薦權。」
哈里森看完這三條，臉色變得微妙起來。
第一條」技術透明」——這意味著波音必須向鴻遠飛鳥公開輕甲在飛機上的應用數據，這對於一家軍工背景的航空巨頭來說幾乎不可能接受。
第二條」不參與供應鏈封鎖」——這幾乎是在直接打臉IDSA報告。如果波音加入聯盟並簽署這一條款，就等於公開和IDSA劃清界限。
第三條」互惠互利」——這意味著波音的競爭對手也可能通過聯盟獲得輕甲。
」林女士，這些條件……」哈里森斟酌著措辭，」對於我們這樣規模的企業來說，需要總部層面的審批。」
」當然。」林薇微笑著點頭，」各位慢慢考慮就好。鴻遠飛鳥不著急。」
不著急。
這三個字，是今天林薇說的所有話中最有分量的三個字。
因為它傳達了一個清晰的信號——鴻遠飛鳥不需要你們。
是你們需要輕甲。
會客室的門關上後，走廊里只剩下林薇一個人。她掏出手機，給蘇辰發了一條消息：
」波音、東麗、Hexcel、空客全部來了，都被我頂回去了。聯盟條款他們短期內吞不下去。預計東麗會第一個鬆口，Hexcel會跟，波音和空客需要更長時間。」
蘇辰的回覆很快：
」做得好。另外，下午中航工業的劉少軍會過來，戰略合作協議的終稿他帶過來了，你和張昊天一起簽就行。」
林薇看到這條消息，眼睛微微一亮。
中航工業。
這是真正的大單。
不同于波音和東麗那些帶著試探和算計的」合作意向」，中航工業的戰略合作是實打實的——軍用級碳纖維複合材料長期供應協議，訂單周期長達五年，每月供貨量隨產能逐步遞增。
這意味著什麼？
意味著輕甲將正式進入軍工供應體系。
一旦進入軍工體系，就不是簡單的商業合作了——這是國家級的信任背書。
從此以後，誰要是想對鴻遠飛鳥的供應鏈下手，就得先掂量掂量中航工業這塊牌子夠不夠硬。
下午三點，中航工業先進材料部的劉少軍準時出現在鴻遠飛鳥總部。
他是一個四十多歲的男人，穿著一件普通的深藍色夾克，看上去和那些西裝革履的國際巨頭們形成了鮮明的對比。但在場的每一個鴻遠飛鳥的員工都知道，這個看起來樸素的男人代表著什麼。
簽約儀式沒有任何排場，就在三樓的小會議室里，林薇和張昊天代表鴻遠飛鳥，劉少軍代表中航工業，三個人安安靜靜地簽完了文件。
劉少軍簽完最後一個字，抬頭看了一眼林薇，說了一句話：
」回去告訴蘇辰，國家的底氣在這兒。讓他安心搞技術。」
林薇微微一愣，然後重重地點了點頭。
簽約完成後，張昊天做了一個簡單的財務測算——中航工業的長期供應協議一旦執行，輕甲的月收入將從目前的3億增加到4.5億左右。
雖然和最初預估的國際市場百億級規模相去甚遠，但這4.5億是穩定的、長期的、不受任何國際風波影響的收入。
加上手機代工的3200萬、手機鏡頭的2.1億、無線區域網模塊的9000萬——鴻遠飛鳥的月收入將達到大約10.8億。
這個數字足以支撐DRIE的研發、MEMS開發板的免費推廣、以及鵬程新材碳纖維預浸料產線的改造。
錢不是問題。
時間才是。
………
同一天，下午五點，蘇州工業園區。
蘇辰站在陳國棟團隊的實驗室門口，看著眼前這間被改造得面目全非的車間。
三個月前他第一次來這裡的時候，這裡還只是一個簡陋的實驗平台——幾台二手真空設備、一台改裝過的等離子體源、還有滿地的管線和線纜。
但現在，這裡已經變成了一個像模像樣的DRIE實驗室。
車間中央矗立著那台200毫米DRIE原型腔體——不鏽鋼外殼在日光燈下泛著冷冽的金屬光澤，腔體頂部連接著密密麻麻的管線，旁邊是全新的射頻電源和氣路控制櫃。
而最引人注目的，是腔體內部的四組導流槽。
這是沈志明根據第7組數據異常推導出的方案——通過在腔體內壁安裝特定角度的導流槽，精確控制SF₆和C₄F₈的氣流場分布，從而在更大的腔體內實現與小腔體相同的刻蝕均勻性。
導流槽的安裝角度是11.5度，這個數字來自沈志明連續四天的氣流場仿真計算。
」蘇總，設備已經就緒。」陳國棟走過來，手上沾著油污，但臉上帶著壓抑不住的興奮，」RF電源昨天調試完成，腔體真空度達到了5×10⁻³ Pa的設計指標。氣路系統也做了三次泄漏檢測，全部合格。」
」沈志明呢？」
」在控制室里做最後的參數確認。」陳國棟朝車間另一頭的隔間點了點頭。
蘇辰走進控制室，看到沈志明正盯著電腦屏幕上密密麻麻的數據曲線。
這個三十出頭的前中微半導體工程師，自從加入陳國棟的團隊後就像換了一個人。在中微半導體的時候，他負責的是成熟工藝的維護和優化——日復一日地調參數、跑測試、寫報告，技術上幾乎沒有任何突破的空間。
但在這裡，一切都是從零開始的。
沒有現成的工藝參數可以照搬，沒有教科書可以翻閱，每一個數據都是他們自己一刀一刀刻出來的。
而那個」第7組數據異常」——功率窗口78%-82%時SF₆刻蝕速率異常升高到5.1μm/min，側壁角度反而改善到89.7°——正是沈志明在無數次失敗的實驗中捕捉到的靈光一閃。
」數據準備好了？」蘇辰問道。
沈志明轉過頭來，眼睛裡布滿了血絲——顯然又是一個通宵——但精神卻極度亢奮。
」蘇總，我把200毫米腔體的仿真跑了12輪。」他指著屏幕上的一組三維氣流場分布圖，」四組導流槽在11.5度安裝角下，腔體中心與邊緣的SF₆濃度差異從無導流槽時的23%降低到了4.7%。理論上，這個均勻度已經可以滿足批量刻蝕的要求。」
蘇辰湊過去仔細看了看那組仿真結果。
12輪仿真，每一輪的參數都有微調——RF功率從75%到85%，腔壓從15mTorr到25mTorr，SF₆/C₄F₈流量比從2:1到4:1。
在所有參數組合中，最優的那一組正好落在功率窗口78%-82%、腔壓18-20mTorr的區間。
和沈志明在小腔體上發現的」異常數據」完全吻合。
蘇辰在虛擬空間中早已驗證過這個結論——導流槽方案在200毫米腔體上是可行的，250毫米需要微調安裝角度到12.2度，300毫米則需要增加第四組導流槽並將角度調整到13.8度。
但虛擬空間的驗證和真實世界的實測之間，永遠隔著一道鴻溝。
」準備開始吧。」蘇辰說道。
陳國棟和沈志明對視一眼，然後同時點了點頭。
晚上七點，200毫米DRIE腔體的第一次正式實測正式開始。
蘇辰站在控制室的觀察窗前，看著腔體內射頻電源點亮的那一刻——一團淡藍色的等離子體在腔體中央緩緩成型，如同深海中綻放的水母，美得令人窒息。
」RF功率穩定在80%，腔壓19mTorr。」沈志明的聲音從對講機里傳來，專注而平穩。
」SF₆流量120sccm，C₄F₈流量45sccm。氣流場分布……正常！導流槽工作正常！」
蘇辰的雙手不自覺地攥緊了。
這一刻，他想起了三個月前在這間實驗室里，陳國棟第一次成功點亮等離子體時的場景。
那一次的刻蝕速率只有2.8μm/min，側壁角度只有85.2°。
而現在——
」第一輪刻蝕完成！」沈志明的聲音突然拔高了一個八度，」蘇總！SF₆刻蝕速率——4.8μm/min！側壁角度——89.5°！」
控制室里爆發出一陣歡呼聲。
陳國棟激動得滿臉通紅，一把抓住沈志明的肩膀用力搖了兩下：」成了！導流槽方案成了！」
但蘇辰沒有加入歡呼。
他的目光緊緊盯著屏幕上的另一組數據——腔體中心與邊緣的刻蝕深度差異。
這才是導流槽方案最核心的驗證指標。
如果中心和邊緣的刻蝕深度差異超過8%，那即使速率和角度都達標，這台設備也無法用於批量生產。
數據在屏幕上一行一行地跳出來。
中心區域刻蝕深度：48.2μm。
邊緣區域（北側）：46.8μm。
邊緣區域（南側）：47.1μm。
邊緣區域（東側）：46.5μm。
邊緣區域（西側）：47.3μm。
蘇辰在心裡飛速計算——最大差異出現在東側，48.2減46.5，差1.7μm，偏差率3.5%。
3.5%。
遠低於8%的閾值。
」均勻性……3.5%。」蘇辰的聲音有些沙啞，但每個字都像是從胸腔里擠出來的。
控制室再次安靜了一瞬。
然後，比第一次更加猛烈的歡呼聲爆發了出來。
沈志明直接從椅子上跳了起來，雙手高高舉過頭頂。陳國棟則是一屁股坐在了地上，仰頭看著天花板，眼眶泛紅。
在這個簡陋的蘇州工業園區實驗室里，在這個2020年11月7日的夜晚——
中國第一台具備量產潛力的200毫米DRIE深矽刻蝕原型設備，完成了它的首次成功刻蝕。
蘇辰站在那裡，看著屏幕上那些跳動的數字，嘴角終於緩緩上揚。
但他知道，這只是第一步。
200毫米驗證成功了，接下來是250毫米，然後是300毫米。
導流槽的角度需要調整，第四組導流槽需要設計和加工，氣流場模型需要重新校準……
還有很長的路要走。
但方向，已經確認了。
他掏出手機，給林薇發了一條消息：
」200mm首測成功。均勻性3.5%，速率4.8μm/min，側壁89.5°。導流槽方案驗證通過。」
然後他又給周志遠教授發了一條：
」周教授，開發板的晶片方案我已經確定了。等DRIE這邊穩定後，我親自來清華給您匯報。」
最後，他打開微博，看了一眼自己那條三句話的動態——轉發量已經突破了二十萬。
評論區最新的一條是：
」蘇辰，你到底在忙什麼？出來說兩句啊！」
蘇辰笑了笑，把手機收回口袋。
他在忙什麼？
他在忙著種種子。
有些種子三個月後發芽——比如DRIE。
有些種子三年後開花——比如MEMS開發板進高校。
有些種子十年後才結果——比如一整代用著鴻遠晶片長大的工程師。
但無論多久，只要種下去了，就一定會長出來。
這一點，蘇辰從未懷疑過。
深圳南山區鴻遠飛鳥科技有限公司總部大樓前，一排黑色商務車整齊地停在路邊。
車牌有粵B的，有京A的，甚至還有幾輛掛著使館牌照的——那些車上印著的小國旗分別屬於美國、日本和法國。
保安隊長老何站在大廳門口，一臉為難地看著眼前的景象。
從昨天下午開始，就陸續有人找上門來。一開始是兩三個，然後是七八個，到今天早上他數了一下，在大廳的休息區坐著的各色人等已經超過了二十個。
其中不乏衣著考究、氣質不凡的外國面孔。
老何在鴻遠飛鳥工作了大半年了，見過不少來訪的客戶和合作方。但像今天這樣，全球各大企業的高管齊聚一堂堵在大廳里等著見老闆的場面，他還是第一次見。
」何隊長，這位說他是波音公司供應鏈副總裁，要見蘇總。」前台小姑娘小聲跑過來匯報。
」還有這位，說是東麗中國區總經理……」
」這位是Hexcel亞太區負責人……」
」這位是空客複合材料採購經理……」
老何聽得頭皮發麻，每一個名字背後都是一家足以在全球工業界呼風喚雨的巨頭企業。
他趕緊撥通了林薇的電話。
」林總，這裡來了一堆外國人，都說要見蘇總。我看名片上的頭銜一個比一個嚇人，您看這……」
電話那頭的林薇沉默了兩秒，然後平靜地說：
」讓他們在會客室等著，我十分鐘後下來。」
十分鐘後，林薇出現在一樓大廳。
她穿著一身深灰色的職業套裝，頭髮利落地扎在腦後，臉上帶著職業性的微笑，但眼睛裡透著一股不卑不亢的冷靜。
」各位好，我是鴻遠飛鳥聯合創始人兼運營負責人林薇。蘇總目前不在深圳，有任何事情可以先和我溝通。」
人群中最先站起來的是一個五十歲出頭的白人男性，西裝筆挺，胸口別著波音的徽章。
」林女士，我是波音公司全球供應鏈副總裁麥可·哈里森。」他用流利的英語說道，身旁的翻譯同步將話語轉述為中文，」我們波音公司對貴公司的輕甲碳纖維複合材料非常感興趣，希望能恢復之前的合作洽談。」
」恢復？」林薇微微挑眉，臉上的笑容沒有變化，但語氣中多了一絲微妙的意味，」據我所知，哈里森先生，貴公司是在IDSA報告發布後的第二天就取消了和我們的會議安排。如果我沒記錯的話，取消郵件的發送時間是11月3日下午3點47分，比東麗和Hexcel還要早兩個小時。」
哈里森的臉上閃過一絲尷尬，但他很快恢復了鎮定。
」林女士，那是一個誤會。我們內部在評估IDSA報告的可信度——」
」哈里森先生。」林薇打斷了他，聲音不大，但每個字都清清楚楚，」IDSA報告的可信度，在它發布的當天就被至少三家獨立媒體質疑了。貴公司花了四天時間才'評估'出它不可信，這個速度確實讓人印象深刻。」
大廳里安靜了一瞬。
哈里森身後的翻譯張了張嘴，似乎想說什麼，但最終還是閉上了。
這時，另一個人站了起來。
這是一個留著花白頭髮的日本男人，六十歲上下，穿著一件剪裁精良的藏青色西裝。他微微鞠了一躬，用略帶口音的中文說道：
」林女士，我是東麗中國區總經理田中誠一。東麗公司一直非常重視與中國企業的合作關係，關於之前的'擱置'，我們深表歉意。」
林薇看著田中誠一，眼神平淡。
東麗。
全球碳纖維行業的絕對霸主，T700、T800、T1100系列碳纖維的發明者和主要供應商。
在輕甲出現之前，東麗是無可爭議的碳纖維之王。
但輕甲的出現打破了這個格局——0.25毫米厚度，強度達到普通碳纖維的8倍，T800的3倍。
東麗不是不想要輕甲的技術，而是太想要了。
」田中先生，」林薇淡淡說道，」東麗公司想和我們談什麼樣的合作？」
」我們希望能夠採購輕甲樣品用於測試評估，同時探討長期供應合作的可能性。」田中誠一說話時姿態放得很低，」如果貴公司需要碳纖維原絲方面的支持，東麗也可以提供——」
」田中先生。」林薇再次打斷了對方，」我感謝東麗的誠意。但您應該知道，鴻遠飛鳥已經收購了鵬程新材，我們正在建設自己的碳纖維預浸料產線。在原絲方面，我們暫時不需要外部供應。」
田中誠一的嘴角微微一僵。
他當然知道鵬程新材的事情。正是因為知道，他才更加著急。
如果鴻遠飛鳥完成了從碳纖維原絲到預浸料到輕甲成品的全產業鏈布局，那東麗在中國市場的地位將受到前所未有的衝擊。
但此時最尷尬的人，並不是波音的哈里森，也不是東麗的田中誠一。
而是坐在角落裡一直沒有說話的那個人——Hexcel亞太區負責人理察·威爾遜。
如果說波音是」第一個取消會議」的，那Hexcel就是」從頭到尾都沒有正式表態」的。
但這不是讓理察尷尬的原因。
真正讓他尷尬的，是2019年的那件事。
2019年，鴻遠飛鳥還叫」蘇辰的實驗室」的時候，蘇辰曾經通過學術渠道聯繫過Hexcel，希望進行碳纖維複合材料方面的技術交流。
當時Hexcel的回覆是四個字——」暫不考慮」。
不，準確地說，連」暫不考慮」都沒有。Hexcel的回覆是根本沒有回覆。蘇辰的郵件石沉大海，連一封自動回復都沒有收到。
而現在，這個曾經被Hexcel視為不值得回覆郵件的年輕人，研發出了讓Hexcel心心念念的輕甲碳纖維複合材料。
理察深吸一口氣，站了起來。
」林女士，我是Hexcel亞太區負責人理察·威爾遜。關於2019年的事情，我代表Hexcel向貴公司表示誠摯的歉意。」
林薇看著理察，目光中沒有嘲諷，但也沒有溫度。
」威爾遜先生，道歉不需要向我說。」她淡淡說道。
」那……」
」我們的政策很清楚。」林薇環視了一圈在場所有人，聲音不大但清晰無比，」輕甲優先供應飛鳥產業聯盟成員。如果各位的公司有意加入聯盟，可以通過官方渠道提交申請，我們會按照聯盟章程進行審核。」
」聯盟章程？」哈里森皺了皺眉，」林女士，能否透露一下聯盟的准入條件？」
」條件不複雜。」林薇從文件夾里抽出一張紙遞過去，」三條。第一，技術透明——加入聯盟的企業需要公開其產品中使用輕甲的具體應用場景和技術參數，與聯盟其他成員共享應用數據。第二，不參與供應鏈封鎖——聯盟成員不得配合任何第三方對聯盟內企業實施供應鏈限制或技術封鎖。第三，互惠互利——聯盟成員之間享有技術協作優先權和產品交叉推薦權。」
哈里森看完這三條，臉色變得微妙起來。
第一條」技術透明」——這意味著波音必須向鴻遠飛鳥公開輕甲在飛機上的應用數據，這對於一家軍工背景的航空巨頭來說幾乎不可能接受。
第二條」不參與供應鏈封鎖」——這幾乎是在直接打臉IDSA報告。如果波音加入聯盟並簽署這一條款，就等於公開和IDSA劃清界限。
第三條」互惠互利」——這意味著波音的競爭對手也可能通過聯盟獲得輕甲。
」林女士，這些條件……」哈里森斟酌著措辭，」對於我們這樣規模的企業來說，需要總部層面的審批。」
」當然。」林薇微笑著點頭，」各位慢慢考慮就好。鴻遠飛鳥不著急。」
不著急。
這三個字，是今天林薇說的所有話中最有分量的三個字。
因為它傳達了一個清晰的信號——鴻遠飛鳥不需要你們。
是你們需要輕甲。
會客室的門關上後，走廊里只剩下林薇一個人。她掏出手機，給蘇辰發了一條消息：
」波音、東麗、Hexcel、空客全部來了，都被我頂回去了。聯盟條款他們短期內吞不下去。預計東麗會第一個鬆口，Hexcel會跟，波音和空客需要更長時間。」
蘇辰的回覆很快：
」做得好。另外，下午中航工業的劉少軍會過來，戰略合作協議的終稿他帶過來了，你和張昊天一起簽就行。」
林薇看到這條消息，眼睛微微一亮。
中航工業。
這是真正的大單。
不同于波音和東麗那些帶著試探和算計的」合作意向」，中航工業的戰略合作是實打實的——軍用級碳纖維複合材料長期供應協議，訂單周期長達五年，每月供貨量隨產能逐步遞增。
這意味著什麼？
意味著輕甲將正式進入軍工供應體系。
一旦進入軍工體系，就不是簡單的商業合作了——這是國家級的信任背書。
從此以後，誰要是想對鴻遠飛鳥的供應鏈下手，就得先掂量掂量中航工業這塊牌子夠不夠硬。
下午三點，中航工業先進材料部的劉少軍準時出現在鴻遠飛鳥總部。
他是一個四十多歲的男人，穿著一件普通的深藍色夾克，看上去和那些西裝革履的國際巨頭們形成了鮮明的對比。但在場的每一個鴻遠飛鳥的員工都知道，這個看起來樸素的男人代表著什麼。
簽約儀式沒有任何排場，就在三樓的小會議室里，林薇和張昊天代表鴻遠飛鳥，劉少軍代表中航工業，三個人安安靜靜地簽完了文件。
劉少軍簽完最後一個字，抬頭看了一眼林薇，說了一句話：
」回去告訴蘇辰，國家的底氣在這兒。讓他安心搞技術。」
林薇微微一愣，然後重重地點了點頭。
簽約完成後，張昊天做了一個簡單的財務測算——中航工業的長期供應協議一旦執行，輕甲的月收入將從目前的3億增加到4.5億左右。
雖然和最初預估的國際市場百億級規模相去甚遠，但這4.5億是穩定的、長期的、不受任何國際風波影響的收入。
加上手機代工的3200萬、手機鏡頭的2.1億、無線區域網模塊的9000萬——鴻遠飛鳥的月收入將達到大約10.8億。
這個數字足以支撐DRIE的研發、MEMS開發板的免費推廣、以及鵬程新材碳纖維預浸料產線的改造。
錢不是問題。
時間才是。
………
同一天，下午五點，蘇州工業園區。
蘇辰站在陳國棟團隊的實驗室門口，看著眼前這間被改造得面目全非的車間。
三個月前他第一次來這裡的時候，這裡還只是一個簡陋的實驗平台——幾台二手真空設備、一台改裝過的等離子體源、還有滿地的管線和線纜。
但現在，這裡已經變成了一個像模像樣的DRIE實驗室。
車間中央矗立著那台200毫米DRIE原型腔體——不鏽鋼外殼在日光燈下泛著冷冽的金屬光澤，腔體頂部連接著密密麻麻的管線，旁邊是全新的射頻電源和氣路控制櫃。
而最引人注目的，是腔體內部的四組導流槽。
這是沈志明根據第7組數據異常推導出的方案——通過在腔體內壁安裝特定角度的導流槽，精確控制SF₆和C₄F₈的氣流場分布，從而在更大的腔體內實現與小腔體相同的刻蝕均勻性。
導流槽的安裝角度是11.5度，這個數字來自沈志明連續四天的氣流場仿真計算。
」蘇總，設備已經就緒。」陳國棟走過來，手上沾著油污，但臉上帶著壓抑不住的興奮，」RF電源昨天調試完成，腔體真空度達到了5×10⁻³ Pa的設計指標。氣路系統也做了三次泄漏檢測，全部合格。」
」沈志明呢？」
」在控制室里做最後的參數確認。」陳國棟朝車間另一頭的隔間點了點頭。
蘇辰走進控制室，看到沈志明正盯著電腦屏幕上密密麻麻的數據曲線。
這個三十出頭的前中微半導體工程師，自從加入陳國棟的團隊後就像換了一個人。在中微半導體的時候，他負責的是成熟工藝的維護和優化——日復一日地調參數、跑測試、寫報告，技術上幾乎沒有任何突破的空間。
但在這裡，一切都是從零開始的。
沒有現成的工藝參數可以照搬，沒有教科書可以翻閱，每一個數據都是他們自己一刀一刀刻出來的。
而那個」第7組數據異常」——功率窗口78%-82%時SF₆刻蝕速率異常升高到5.1μm/min，側壁角度反而改善到89.7°——正是沈志明在無數次失敗的實驗中捕捉到的靈光一閃。
」數據準備好了？」蘇辰問道。
沈志明轉過頭來，眼睛裡布滿了血絲——顯然又是一個通宵——但精神卻極度亢奮。
」蘇總，我把200毫米腔體的仿真跑了12輪。」他指著屏幕上的一組三維氣流場分布圖，」四組導流槽在11.5度安裝角下，腔體中心與邊緣的SF₆濃度差異從無導流槽時的23%降低到了4.7%。理論上，這個均勻度已經可以滿足批量刻蝕的要求。」
蘇辰湊過去仔細看了看那組仿真結果。
12輪仿真，每一輪的參數都有微調——RF功率從75%到85%，腔壓從15mTorr到25mTorr，SF₆/C₄F₈流量比從2:1到4:1。
在所有參數組合中，最優的那一組正好落在功率窗口78%-82%、腔壓18-20mTorr的區間。
和沈志明在小腔體上發現的」異常數據」完全吻合。
蘇辰在虛擬空間中早已驗證過這個結論——導流槽方案在200毫米腔體上是可行的，250毫米需要微調安裝角度到12.2度，300毫米則需要增加第四組導流槽並將角度調整到13.8度。
但虛擬空間的驗證和真實世界的實測之間，永遠隔著一道鴻溝。
」準備開始吧。」蘇辰說道。
陳國棟和沈志明對視一眼，然後同時點了點頭。
晚上七點，200毫米DRIE腔體的第一次正式實測正式開始。
蘇辰站在控制室的觀察窗前，看著腔體內射頻電源點亮的那一刻——一團淡藍色的等離子體在腔體中央緩緩成型，如同深海中綻放的水母，美得令人窒息。
」RF功率穩定在80%，腔壓19mTorr。」沈志明的聲音從對講機里傳來，專注而平穩。
」SF₆流量120sccm，C₄F₈流量45sccm。氣流場分布……正常！導流槽工作正常！」
蘇辰的雙手不自覺地攥緊了。
這一刻，他想起了三個月前在這間實驗室里，陳國棟第一次成功點亮等離子體時的場景。
那一次的刻蝕速率只有2.8μm/min，側壁角度只有85.2°。
而現在——
」第一輪刻蝕完成！」沈志明的聲音突然拔高了一個八度，」蘇總！SF₆刻蝕速率——4.8μm/min！側壁角度——89.5°！」
控制室里爆發出一陣歡呼聲。
陳國棟激動得滿臉通紅，一把抓住沈志明的肩膀用力搖了兩下：」成了！導流槽方案成了！」
但蘇辰沒有加入歡呼。
他的目光緊緊盯著屏幕上的另一組數據——腔體中心與邊緣的刻蝕深度差異。
這才是導流槽方案最核心的驗證指標。
如果中心和邊緣的刻蝕深度差異超過8%，那即使速率和角度都達標，這台設備也無法用於批量生產。
數據在屏幕上一行一行地跳出來。
中心區域刻蝕深度：48.2μm。
邊緣區域（北側）：46.8μm。
邊緣區域（南側）：47.1μm。
邊緣區域（東側）：46.5μm。
邊緣區域（西側）：47.3μm。
蘇辰在心裡飛速計算——最大差異出現在東側，48.2減46.5，差1.7μm，偏差率3.5%。
3.5%。
遠低於8%的閾值。
」均勻性……3.5%。」蘇辰的聲音有些沙啞，但每個字都像是從胸腔里擠出來的。
控制室再次安靜了一瞬。
然後，比第一次更加猛烈的歡呼聲爆發了出來。
沈志明直接從椅子上跳了起來，雙手高高舉過頭頂。陳國棟則是一屁股坐在了地上，仰頭看著天花板，眼眶泛紅。
在這個簡陋的蘇州工業園區實驗室里，在這個2020年11月7日的夜晚——
中國第一台具備量產潛力的200毫米DRIE深矽刻蝕原型設備，完成了它的首次成功刻蝕。
蘇辰站在那裡，看著屏幕上那些跳動的數字，嘴角終於緩緩上揚。
但他知道，這只是第一步。
200毫米驗證成功了，接下來是250毫米，然後是300毫米。
導流槽的角度需要調整，第四組導流槽需要設計和加工，氣流場模型需要重新校準……
還有很長的路要走。
但方向，已經確認了。
他掏出手機，給林薇發了一條消息：
」200mm首測成功。均勻性3.5%，速率4.8μm/min，側壁89.5°。導流槽方案驗證通過。」
然後他又給周志遠教授發了一條：
」周教授，開發板的晶片方案我已經確定了。等DRIE這邊穩定後，我親自來清華給您匯報。」
最後，他打開微博，看了一眼自己那條三句話的動態——轉發量已經突破了二十萬。
評論區最新的一條是：
」蘇辰，你到底在忙什麼？出來說兩句啊！」
蘇辰笑了笑，把手機收回口袋。
他在忙什麼？
他在忙著種種子。
有些種子三個月後發芽——比如DRIE。
有些種子三年後開花——比如MEMS開發板進高校。
有些種子十年後才結果——比如一整代用著鴻遠晶片長大的工程師。
但無論多久，只要種下去了，就一定會長出來。
這一點，蘇辰從未懷疑過。