第135章 誰對誰錯?

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  2020年9月2日,深圳。

  蘇辰從北京回來後的第六天。

  趙建成的電話在早上八點準時打了過來。

  」蘇總,有兩個壞消息。」

  趙建成的聲音很平靜,但蘇辰能聽出來——那種老工程師刻意壓制情緒後的平靜。

  」你說。」

  」第一,牛津儀器那邊通知我們,PlasmaPro 100 Estrelas的出口許可被英國出口管制委員會叫停了。理由是需要對最終用途進行額外審查。」

  」審查時間呢?」

  」他們說最快三個月,但暗示可能更長。我問了牛津儀器的亞太區銷售經理——他私下告訴我,有人向出口管制委員會提交了一份'關注函',指控我們的設備最終用途涉及軍事領域的MEMS慣性導航系統。」

  蘇辰的眼睛微微眯了起來。

  」關注函。」他重複了一遍這個詞。

  」第二個壞消息。」趙建成繼續說,」SÜSS那邊的MA200光刻機,原定9月中旬交付。但他們剛通知我們,由於核心光學組件的供應商延遲交付,整機交付時間將推遲三到四個月——也就是要到明年1月左右。」

  蘇辰沉默了三秒。

  」SÜSS的光學組件供應商是誰?」

  」部分來自尼康。」

  」尼康。」蘇辰又重複了一遍。

  」蘇總,我知道你在想什麼。」趙建成說,」這兩件事同時發生——不可能是巧合。」

  」不是巧合。」

  蘇辰站起來,走到辦公室的窗前。

  八月底的深圳依然燥熱,窗外光明區的工地上,鴻遠MEMS研發中心的地基剛剛打好。

  沒有DRIE刻蝕設備,SOI混合工藝路線無從談起。

  沒有新光刻機,產線的光刻精度停留在2微米——連BMI270級別的MEMS陀螺儀都做不了。

  產線升級計劃——徹底停滯。

  」老趙,現有設備能維持什麼水平?」

  」現有的老設備勉強能做中低端的壓力傳感器和加速度計。」趙建成說,」六顆版飛鳥S1的生產不受影響——因為六顆版用的是博世BMI270,不需要我們自己的MEMS產線。」

  」但自研MEMS陀螺儀的流片驗證——停了。」

  」沒有DRIE,沒有新光刻機,流片做不了。」

  蘇辰閉上了眼睛。

  他腦海中迅速閃過了整盤棋的全景——

  DRIE被卡、光刻機延期→產線升級停滯→第一步」對標BMI270」的時間線被迫後延→周院士聯合攻關組的設計成果無處流片驗證→整個MEMS自主化進程陷入僵局。

  而另一邊——

  飛鳥平台的市場還在運轉,六顆版S1還在出貨,但利潤已經全部承諾投入MEMS。如果MEMS進程停擺,那這些投入就是在往無底洞裡燒錢。

  更要命的是——如果這個窗口期被競爭對手利用——

  大疆的FlightCore 2.0、航信達通的LDCL 3.0——它們不會等鴻遠解決完設備問題再進攻。

  蘇辰睜開眼睛。

  」老趙。」

  」在。」

  」關注函的事情,我會讓鄭副部長那邊協調。但出口管制審查的流程,就算有綠色通道,最快也要兩三個月。我們等不起。」

  」那怎麼辦?」

  」兩條路。」蘇辰的聲音變得異常冷靜。

  」第一條路——找替代供應商。DRIE設備不只牛津儀器一家在做。日本的住友精密、美國的Plasma-Therm、德國的SPTS也有同類產品。你把所有能採購到的型號列一份清單出來,今天之內。」

  」好。但有一個問題——」趙建成說,」如果對方是通過出口管制來卡我們,那換一個供應商也可能遇到同樣的問題。他們只要再提交一份關注函,同樣可以凍結。」

  」所以還有第二條路。」蘇辰說。

  趙建成沉默了。


  因為他猜到了蘇辰要說什麼。

  」自研DRIE。」

  」蘇總……」趙建成的聲音有些猶豫,」DRIE刻蝕設備的自研——那可不是幾個月能搞出來的東西。博世研發自己的DRIE用了五年。住友精密的深矽刻蝕設備疊代了七代才達到現在的水平。」

  」我知道。」

  」而且DRIE涉及真空系統、等離子體控制、氣體輸送、溫度管理——每一個子系統都是一個獨立的技術壁壘。」

  」我知道。」

  」就算有聯合攻關組的支持,從零開始做一台能用的DRIE——我的估計是至少兩年。」

  」兩年太久。」蘇辰說。

  」那你打算多久?」

  蘇辰沒有直接回答。

  」老趙,陳國棟到崗了沒有?」

  」昨天剛報到。正在熟悉產線。」

  」讓他這周內出一份報告——以他三十年的DRIE經驗,從零開始搭建一台能達到20:1深寬比的DRIE刻蝕設備,最短需要多長時間。不要給我保守估計,給我他認為的極限時間。」

  」好。」趙建成頓了頓,」還有一件事——」

  」你說。」

  」劉國強這兩天也在琢磨這件事。他之前在中科院微電子所的時候,參與過一個國家863計劃的項目——自主MEMS刻蝕設備的預研。雖然項目最後因為經費問題中斷了,但他手上留有一些技術文檔和實驗數據。」

  」這個很重要。」蘇辰的語氣終於有了一絲變化——不是激動,而是一種發現了關鍵拼圖的冷靜。

  」讓劉國強把那些文檔整理出來。同時聯繫周院士,看微電子所當年那個863項目的完整資料能不能調出來。」

  」好。」

  掛斷電話後,蘇辰在辦公室里站了很久。

  他的腦海中,產品解析系統的界面隱隱閃爍著。

  上次系統解鎖了MEMS慣性導航晶片的設計圖。但設計圖只是設計——沒有製造設備,一切都是紙上談兵。

  如果系統能再解鎖一次——

  這個念頭在蘇辰腦海中一閃而過,但他沒有把希望寄托在系統上。

  系統的解鎖有它自己的規律,不是他想要就能要的。

  所以——先走能走的路。

  替代採購+自研DRIE+聯合攻關組支援。

  三條路並行,總有一條能走通。

  ……

  下午兩點,蘇辰召集了一場緊急視頻會議。

  參會者包括——趙建成(崑山)、劉國強(崑山)、張磊(深圳)、周銘(深圳)、徐朗(深圳)、方旭(深圳)。

  蘇辰開門見山:

  」DRIE和光刻機的事,大家都知道了。我不打算瞞任何人——這是一次有組織的供應鏈打擊。目標是讓我們的MEMS產線升級永遠停在'進行中'的狀態。」

  會議室里安靜了幾秒。

  張磊第一個開口:」飛鳥S1這邊沒問題。六顆版的量產切換已經完成,博世BMI270的庫存夠用三個月,後續補貨合同也簽了。終端出貨不受影響。」

  」好。」蘇辰說,」飛鳥S1的出貨不能停。這是我們目前最大的現金流來源。」

  徐朗接著說:」但有一個問題——如果MEMS進度延遲,而我們的利潤又全部投入MEMS……公司的運營資金會不會出問題?」

  」不會。」蘇辰說,」利潤全投入MEMS——但不意味著不留運營儲備。財務上我會做好隔離。公司正常運轉的資金不會動。」

  周銘點頭:」科創委的3000萬無償基金已經到帳了1500萬。1.5億低息貸款額度也已經審批完成,隨時可以提取。」

  」好。」蘇辰說,」先提取5000萬,作為MEMS自研設備的專項預算。」

  」自研設備?」徐朗的表情明顯帶著驚訝。

  」對。」蘇辰說,」自研DRIE刻蝕設備。」

  會議室里陷入了短暫的沉默。

  方旭第一個反應過來:」蘇總,我先確認一下——這是在採購替代方案之外的備選方案,還是主攻方向?」


  」兩者並行。採購替代是近期方案,自研是長期方案。但我的判斷是——替代採購大概率也會被卡。所以自研不是備選,是必須。」

  」既然是必須——」方旭說,」那我建議現在就啟動智慧財產權布局。DRIE涉及的核心技術專利,我們要提前做好規避設計和自主申請。」

  」你來負責這件事。」蘇辰說。

  」好。」

  蘇辰看向視頻里的趙建成:」老趙,你和陳國棟、劉國強三個人,從今天開始組建DRIE自研攻關小組。人員配置你來定,需要什麼資源直接報給我。」

  」明白。」

  」還有——周院士那邊的聯合攻關組,我會單獨跟他溝通。微電子所在DRIE領域應該有一些基礎研究積累,看能不能調一兩個人過來支援。」

  」好。」

  蘇辰最後看向張磊:」磊子,六顆版S1的出貨節奏不變。同時——飛鳥平台的SDK生態和H-Link 2.0的市場拓展不能停。」

  」這是我們的大後方。MEMS是長期戰。如果大後方丟了,MEMS做出來也沒有意義。」

  」放心。」張磊說,」我這邊盯著。」

  會議結束後,蘇辰獨自坐在辦公室里。

  他拿起手機,撥通了周建華院士的電話。

  」周院士,有一件事情想跟您匯報。」

  蘇辰把DRIE被卡和光刻機延期的事情簡要說了一遍。

  電話那頭沉默了幾秒。

  然後周院士說了一句話:

  」意料之中。」

  」您……早就預料到了?」

  」蘇辰,你以為為什麼我要在座談會上提那個條件——'核心專利必須掌握在中方手中'?」

  蘇辰怔了一下。

  」因為設備卡脖子這件事,從來都不是可能不可能的問題——而是什麼時候來的問題。」

  」你走SOI混合工藝路線,註定需要高端DRIE。而高端DRIE——全世界只有那幾家供應商。任何一家被施壓,你就會被卡死。」

  」所以我的那個條件——不只是關於專利的事。更深的意思是——關鍵設備也必須掌握在自己手裡。」

  蘇辰沉默了幾秒。

  」周院士,我明白了。」

  」你打算怎麼做?」

  」自研DRIE。」

  」好。」周院士的語氣很平淡,但蘇辰能聽出來——老人對這個回答很滿意。

  」我手底下有兩個學生在做等離子體刻蝕方面的研究。雖然是基礎研究方向,但對DRIE的真空系統和等離子體控制應該有參考價值。我讓他們下周去崑山報到。」

  」謝謝周院士。」

  」別謝我。」周院士的聲音依然平淡,」我說過——我是為了中國的MEMS。」

  」不過蘇辰——」

  」您說。」

  」自研DRIE不是一朝一夕的事。在這個過程中,你的飛鳥平台不能丟。如果後方崩了,前線打贏了也沒用。」

  」我知道。」

  」好。」周院士說,」那就去做吧。遇到問題隨時找我。」

  掛斷電話後,蘇辰走到窗前。

  夕陽正在西沉,光明區的天際線被染成了一片橘紅色。

  他想起了趙建成的話——」博世研發自己的DRIE用了五年。」

  五年。

  他沒有五年。

  甚至沒有兩年。

  但他有陳國棟三十年的DRIE經驗。有劉國強在863項目中積累的技術儲備。有周院士兩個做等離子體研究的博士。有聯合攻關組的整體支撐。

  還有——他自己。

  蘇辰閉上眼睛。

  產品解析系統的虛擬拆解實驗室在他腦海中若隱若現。

  他知道,接下來的路會比之前任何一段都要艱難。

  但艱難從來不是蘇辰退縮的理由。


  相反——

  每一次被逼到絕路的時候,恰恰是他最危險的時候。

  因為那個時候的蘇辰,會不計代價地拼。

  而一個不計代價的蘇辰——是所有對手最不想面對的東西。

  ……

  當天晚上,蘇辰打開了電腦。

  他在瀏覽器里搜索了一個關鍵詞——」深矽刻蝕設備 國產化 現狀」。

  搜索結果的第一條是一篇2019年的行業報告:

  《中國MEMS刻蝕設備國產化進程報告——任重道遠》

  報告的第一句話是——

  」截至2019年底,中國在DRIE深矽刻蝕設備領域的自主化率為零。」

  蘇辰盯著屏幕上的那個」零」字看了三秒。

  然後他關掉了瀏覽器,打開了一個新的文檔。

  文檔的標題是——

  《鴻遠DRIE刻蝕設備自研計劃(代號:開山)》

  他開始打字。

  ……

  而在深圳的另一個角落——

  大疆總部的一間辦公室里,陳嘉銘正在審閱一份文件。

  文件的封面上寫著——

  《FlightCore 2.0市場推廣計劃——搶占飛鳥平台空窗期》

  文件的第一頁是一張時間軸圖表。

  圖表上標註著:」2020年9月-12月:鴻遠MEMS產線升級停滯期。預計飛鳥S1出貨節奏放緩,SDK生態關注度下降。」

  」窗口期:4個月。」

  陳嘉銘在文件上簽了字。

  然後他拿起電話,撥通了FlightCore產品線負責人王銳的號碼:

  」王銳,FlightCore 2.0的發布時間——提前到10月中旬。」

  」10月中?」王銳明顯有些意外,」產品測試還沒完全結束——」

  」測試加班趕。」陳嘉銘打斷他,」這個時間窗口不會等我們。」

  」……明白。」

  掛斷電話後,陳嘉銘靠在椅子上,看著窗外的深圳夜景。

  鴻遠和大疆的總部,直線距離不到30公里。

  但此刻,兩家公司正在走向截然不同的方向。

  一個在埋頭自研MEMS設備,賭的是三年後的未來。

  另一個在搶奪眼前的市場,要的是三個月後的份額。

  誰對誰錯?

  也許只有時間才能給出答案。

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