第56章 宗門天驕

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  這時他們才發現周圍已經三三兩兩的圍了好多組員,原來是趙宇見導師回來了,出去隔著玻璃跟實驗室裡面的人打了個招呼。

  一些有問題找導師匯報的就全出來了,正好看到了這一幕。不過大多數都神色平常,因為這都是必須要知道的問題。

  唯有帶李觀進來的趙宇有些驚訝,沒記錯的話,從他坐那開始學習到現在應該不到一個小時吧,這就完全掌握了?有些離譜吧?

  「老沈總算是做了回好事。」包仲文轉身的時候小聲的嘀咕道,接著又將李觀拉到周雪妍身邊,對著其他人說道:

  「這三位是新來的組員,以後就都是自己人了。大家互相配合,有不懂的儘管問,別自己瞎琢磨。」

  接著又看向周雪妍他們兩個說道:「你們先坐這兒,趙宇你帶著他們把操作規範視頻過一遍。李觀,你跟我來,其他人組會我們待會兒再開。」

  「嗤。」

  包仲文打開了潔淨室的氣密門,李觀跟在他的身後也走了進去。

  「你穿這套吧,這是你師兄的,他現在已經去華芯工作了,也一直沒給他收起來,還是新的。」

  李觀接過了包教授遞過來的無塵服穿了起來,穿戴整齊以後兩人走進了風淋間,將全身沖了一遍,最後走進了CVD核心區。

  包教授徑直走向了更深處的光刻區,旁邊已經有人先一步取出了一塊剛完成烘乾的矽片。

  這時李觀才發現,他的身後大多數的組員都跟了進來。還好這個實驗室還挺大,否則怕是站不下。

  「今天我們還是做90納米多晶矽柵MOSFET,這是我們和清北一起攻關的項目,在國內已經排在了前列。」

  不過他沒說的是,這已經大幅落後於世界平均水平,海外的商用晶片普遍都已經達到了40nm,就比如李觀的那張顯卡。

  而一些實驗室中正在研發的最為先進位程,恐怕已經觸碰到了28nm的邊界。但正因如此,他們才更加要全力研發。

  包教授接過了矽片,繼續說道:

  「下一步用248nm KrF光刻定義90nm柵。注意,要用干法刻蝕。」

  李觀認真的看著教授調試參數,雖然在視頻上的流程大致一樣,但現實中會更加的細緻,能看到更多視頻中看不到的細節。

  其他人也和李觀一樣,做實驗就是如此,一遍又一遍的做,一遍又一遍的記錄,統計。在重複中尋找微小的偏差,打磨工藝的精度,或許成功就在下一次的實驗中。

  「熱退火完成,結束。」

  「遷移率大約為 220–250 cm²/(V·s)。」

  一旁的組員看著分析儀上的擬合數據輕聲說道。

  包教授輕輕點了點頭,然後看向身後的眾人。

  「完整流程就是這樣,有任務的繼續做自己的任務。

  「向飛鵬,你不是也沒什麼事嗎?你帶著點李觀,指導著他做一次。」

  「好的導師。」

  被點到的向飛鵬面露愁容,但沒有說什麼直接答應了下來。

  「其他人有問題的我們到外邊統一溝通,帶上自己的數據,別張嘴就是說,我腦子沒那麼好使。」

  說罷,他便轉身出了核心區,十來號人跟著一起走了出去,瞬間實驗室內空空蕩蕩的,就剩下李觀兩人和三四個還有實驗任務的人。

  「開始吧學弟。」向飛鵬說道。

  「向哥,我想從沉積開始做,大體的我都知道,有問題你再上手行嗎?」李觀輕聲問道,但態度很是堅決。

  向飛鵬有些詫異,之前帶新人哪次不是上來就問東問西,像這樣自己直接上手的真不多見。這樣的話,這活兒倒是不難。

  「好,你先做吧。」

  李觀得到允諾便動起手來,向飛鵬起初還認認真真的盯著,以防出什麼問題,可以及時糾正。

  沒想到每一個步驟都準確無誤,一開始雖然還有些生疏,像個新手,等到後面完全看不出來是第一次進實驗室。

  「這新人都這麼妖怪了嗎?我第一次做沉積還作廢了幾個,被老包好一頓罵,他這樣是要一次成啊。」

  向飛鵬心想著,看到李觀已經設定好了溫度,剩下的就是耐心等待,他便獨自出了實驗室。主要是看李觀的樣子,不像是要中午出去吃飯的。


  「不是叫你看著點新組員嗎?」

  向飛鵬剛一出門,迎面就撞上了剛開完組會走出休息室的包仲文。

  「這新人有些老練的嚇人,我看了幾個小時,一點錯誤都沒有。幾個常常會出現問題的地方,就連趙師兄偶爾都出錯,他一遍就過了。我實在餓得不行了,我就提前出來了,他的片馬上也沉出來了。」

  向飛鵬有些沒大沒小的說著,他們組就是這樣。

  老包雖然生氣起來有些嚇人,但平時還是很有江湖氣,對人都是平輩論處,就事論事。所以整個組只要不出錯的情況下,組內的氣氛就非常和諧。

  就算出錯了,只要你能抗住老包的一頓劈頭蓋臉的輸出,事後還是該咋樣咋樣,不記仇。

  「你讓他從沉積開始做的?我說怎麼這麼長時間,我還以為跟你第一回一樣作廢了我好幾個片呢,我還準備找賈主任薅點經費。」

  「不應該吧?不僅腦子好使,手也好使?再怎麼說也是第一次做啊,不會一點瑕疵沒有吧?」

  包仲文皺著眉,有些不可思議,這回真讓沈建國揀著寶了?

  「別說瑕疵了,我都怕他這片遷移率比你剛做的都高,到時候老包你英明不保。」

  「不行了,我真得去吃個飯了,再不吃我就低血糖了。早上我都沒吃飯,一大早就過來盯數據了。你要是好奇,你進去看看吧。」

  說罷,他快速換了雙鞋,跑著去了食堂。

  「真這麼神?不行,我得看看去。」

  等包仲文換好衣服進了實驗室,李觀的矽片已經烘乾完成了,他正準備將其取出走到光刻機上去進行曝光。

  「完成了?」

  「教授,還沒,最後一步了。」李觀回道。

  「行,你做吧,我看著。」包仲文站在一旁不再說話。

  不多時,李觀完成了矽片的曝光,迅速將其浸入顯影液里。幾十秒後取出,他在光學顯微鏡下觀察著,柵極圖案清晰完整。

  「成功了?」包仲文有些好奇地問道。

  「應該是。」

  「我看看。」

  李觀給包仲文讓開了位置。

  「柵極圖案完整清晰,很不錯,趕快蝕刻完把膠去了測測。」

  包仲文似乎比李觀還急迫,但李觀做到這一步就已經完成了自己的任務,因為他已經完全掌握了製備MoS₂電晶體的方法。

  李觀完成去膠後,包仲文迫不及待地上手幫李觀做曲線分析。

  「遷移率大約為 250–300 cm²/(V·s),很驚人的數據,教科書級別的良率和性能。」

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