第394章 晶片良率百分百，沒有一個廢品，零缺陷，全良率？？？
接下來幾天。
一切都在有條不紊地進行著。
1nm光刻機首片晶圓流片成功之後，曹所長和劉工他們幾乎把車間當成了家。
困了就靠在椅子上眯一會兒。
醒了就繼續盯著屏幕上的數據，眼睛都不敢眨一下。
不是江辰要求他們這麼拼，是他們自己停不下來。
用劉工的話說：
「江院士，您別勸我。」
「我現在一閉眼就夢到晶圓上的那些納米級結構，比做夢娶媳婦還激動。」
曹所長在旁邊補了一句：
「他上周剛鬧離婚，就是因為天天泡在實驗室不回家。」
劉工瞪了他一眼：「曹所長，你能不能別在江院士面前揭我短？」
「我說的是事實。」
「事實也不能在這個時候說！」
江辰在旁邊看著兩人鬥嘴，沒忍住笑了一聲。
這種氛圍，比任何慶功宴都讓人踏實。
良率爬坡的速度出乎所有人的預料。
一般來說。
新製程的光刻機從首片流片成功到良率穩定，少說也要折騰好幾個月。
ASML的7nm製程剛出來那會兒，良率慘不忍睹。
一片晶圓上能用的晶片連一半都不到。
工程師們熬了一年多才勉強把良率拉到85%以上。
但江辰這台1nm光刻機，從一出手就不講道理。
起步良率，95%。
曹所長拿到第一組良率數據的時候，整個人愣在控制台前面，盯著屏幕上的數字看了足足十幾秒。
然後轉頭問旁邊的劉工：「你掐我一下。」
劉工毫不客氣地在他胳膊上擰了一把。
「嘶！！！不是做夢？」
曹所長齜牙咧嘴地揉著胳膊，臉上的表情既痛苦又狂喜，
「95%？起步就95%？我們是不是跳過了什麼步驟？」
「正常流程不是應該先從六七十開始，然後一點一點往上爬嗎？」
劉工在旁邊搓著手，興奮得像個剛拿到新玩具的孩子：
「曹所長，正常流程那是針對正常光刻機的。」
「咱們這台機器，從頭到尾就沒正常過。」
「你這話怎麼聽著像罵人？」
「不是罵人，是夸它！」
「您想想，光源，江院士給的方案，功率直接干到了千瓦級，比ASML的那套高出好幾倍。」
「物鏡系統，還是江院士的方案，薄膜粗糙度做到了零點零幾納米。」
「工件台，比亞帝王總那邊按江院士的工藝標準重新做了底座，精度又往上提了一個檔次。」
「所有子系統都是超標完成的，良率能低嗎？」
曹所長聽完之後沉默了片刻，然後幽幽地說了一句：
「所以這良率不是我們厲害，是江院士厲害。」
「那當然。」
劉工理直氣壯，「咱們就是執行者，真正的設計者是江院士。」
「他給的方案就沒有不行的，咱們照著他的方案做，良率自然高。」
「那你說，這良率還能往上提嗎？」
「能。」
劉工毫不猶豫，「95%只是起步，我估計再跑幾天，能到98%甚至99%。」
事實證明，劉工還是保守了。
良率爬坡持續了不到一周。
95%、96%、97%、98%……
每一步都在往上跳。
跳得曹所長每天醒來第一件事就是衝到控制室看屏幕，生怕自己錯過什麼歷史性時刻。
到第五天的時候。
良率突破了99%。
曹所長已經在辦公室里備好了速效救心丸，說怕自己太激動當場厥過去。
到第六天的時候。
劉工半夜三點把江辰的電話打爆了。
江辰當時正在宿舍睡覺，被手機震醒之後眯著眼接起來，還沒開口。
劉工的聲音就像炸雷一樣從聽筒里轟出來，嗓子都劈叉了：
「江院士！！！100%！！！」
「到了！！！百分百！！！我們做到了！！！」
江辰把手機拿遠了一點：「什麼百分百？」
「良率！！！晶圓良率！！！100%！！！百分百！！！」
「每一片晶圓上的每一顆晶片都是好的！！！沒有一個廢品！！！零缺陷！！！全良率！！！」
電話那頭傳來一陣嘈雜的歡呼聲。
夾雜著曹所長喊「我的速效救心丸呢」。
張工喊「快給江院士開視頻」。
陳工喊「我的眼鏡又掉了」的聲音。
江辰沉默了片刻，然後笑了：「挺好。」
劉工在電話那頭差點破音：「挺好？？？江院士！！！這是100%良率！！！」
「ASML的7nm製程良率最高也就85%到92%！！！」
「它們的5nm和3nm到現在都還沒正式量產，理論良率最多也就95%！！！」
「我們1nm，100%！！！這不是挺好，這是逆天！！！」
「我知道。」
江辰的語氣依舊平穩，「辛苦了，明天我去看看。」
掛了電話。
宿舍里陳小胖的呼嚕聲還在震天響。
李默從上鋪探出頭，推了推眼鏡：「江神，是光刻機那邊的消息？」
「嗯，良率到100%了。」
李默沉默了片刻，然後說了一句：
「我剛才查了一下，這個數字意味著從今往後，全球半導體行業的良率標杆，從ASML換成了我們。」
「嗯，挺好的。」
「你的『挺好』，是別人的『我這輩子值了』。」
……
第二天一早。
江辰到了研發中心。
曹所長頂著一雙熬得通紅的眼睛迎上來，手裡攥著厚厚一摞良率數據報表，臉上的表情像是中了彩票又怕別人知道。
他把報表往江辰手裡一塞，聲音沙啞得像砂紙：
「江院士，您自己看。」
「從第一片到昨天最後一片，每一片晶圓的良率記錄都在這裡。
從95%到100%，只用了不到一周。」
江辰翻了翻報表，每一頁的數據都平穩得讓人心安。
他把報表還給曹所長：
「後續穩定性的測試方案做了嗎？」
「做了！按您之前給的方案。」
「接下來我們會連續跑幾周的老化測試和極限工況測試，確保產線穩定之後再正式轉入量產。」
「很好。」
曹所長頓了頓，又補了一句：
「江院士，說實話，我搞了這麼多年光學工程，從來沒見過這種情況。」
「良率100%，這意味著什麼？」
「意味著這台光刻機的整體設計和製造工藝，已經完美到了沒有任何短板。」
「光源、物鏡、工件台、控制系統、真空系統、光刻膠配方……」
「每一個環節都達到了理論最優值。這不是某一項技術領先，這是全鏈條的碾壓。」
他越說越激動，唾沫星子都快噴出來了：
「ASML對外宣稱的良率數據，7nm製程是85%到92%，5nm和3nm根本還沒量產，理論目標也就是90%到95%。」
「我們1nm直接干到100%。」
「比他們最先進的製程領先好幾代，良率還高出好幾個百分點。」
「這要是傳出去，整個半導體行業都得地震。」
「不是地震，是海嘯。」劉工在旁邊糾正道。
「對，海嘯，而且是那種能直接把某些公司拍死在沙灘上的海嘯。」
……
一切都在有條不紊地進行著。
1nm光刻機首片晶圓流片成功之後，曹所長和劉工他們幾乎把車間當成了家。
困了就靠在椅子上眯一會兒。
醒了就繼續盯著屏幕上的數據，眼睛都不敢眨一下。
不是江辰要求他們這麼拼，是他們自己停不下來。
用劉工的話說：
「江院士，您別勸我。」
「我現在一閉眼就夢到晶圓上的那些納米級結構，比做夢娶媳婦還激動。」
曹所長在旁邊補了一句：
「他上周剛鬧離婚，就是因為天天泡在實驗室不回家。」
劉工瞪了他一眼：「曹所長，你能不能別在江院士面前揭我短？」
「我說的是事實。」
「事實也不能在這個時候說！」
江辰在旁邊看著兩人鬥嘴，沒忍住笑了一聲。
這種氛圍，比任何慶功宴都讓人踏實。
良率爬坡的速度出乎所有人的預料。
一般來說。
新製程的光刻機從首片流片成功到良率穩定，少說也要折騰好幾個月。
ASML的7nm製程剛出來那會兒，良率慘不忍睹。
一片晶圓上能用的晶片連一半都不到。
工程師們熬了一年多才勉強把良率拉到85%以上。
但江辰這台1nm光刻機，從一出手就不講道理。
起步良率，95%。
曹所長拿到第一組良率數據的時候，整個人愣在控制台前面，盯著屏幕上的數字看了足足十幾秒。
然後轉頭問旁邊的劉工：「你掐我一下。」
劉工毫不客氣地在他胳膊上擰了一把。
「嘶！！！不是做夢？」
曹所長齜牙咧嘴地揉著胳膊，臉上的表情既痛苦又狂喜，
「95%？起步就95%？我們是不是跳過了什麼步驟？」
「正常流程不是應該先從六七十開始，然後一點一點往上爬嗎？」
劉工在旁邊搓著手，興奮得像個剛拿到新玩具的孩子：
「曹所長，正常流程那是針對正常光刻機的。」
「咱們這台機器，從頭到尾就沒正常過。」
「你這話怎麼聽著像罵人？」
「不是罵人，是夸它！」
「您想想，光源，江院士給的方案，功率直接干到了千瓦級，比ASML的那套高出好幾倍。」
「物鏡系統，還是江院士的方案，薄膜粗糙度做到了零點零幾納米。」
「工件台，比亞帝王總那邊按江院士的工藝標準重新做了底座，精度又往上提了一個檔次。」
「所有子系統都是超標完成的，良率能低嗎？」
曹所長聽完之後沉默了片刻，然後幽幽地說了一句：
「所以這良率不是我們厲害，是江院士厲害。」
「那當然。」
劉工理直氣壯，「咱們就是執行者，真正的設計者是江院士。」
「他給的方案就沒有不行的，咱們照著他的方案做，良率自然高。」
「那你說，這良率還能往上提嗎？」
「能。」
劉工毫不猶豫，「95%只是起步，我估計再跑幾天，能到98%甚至99%。」
事實證明，劉工還是保守了。
良率爬坡持續了不到一周。
95%、96%、97%、98%……
每一步都在往上跳。
跳得曹所長每天醒來第一件事就是衝到控制室看屏幕，生怕自己錯過什麼歷史性時刻。
到第五天的時候。
良率突破了99%。
曹所長已經在辦公室里備好了速效救心丸，說怕自己太激動當場厥過去。
到第六天的時候。
劉工半夜三點把江辰的電話打爆了。
江辰當時正在宿舍睡覺，被手機震醒之後眯著眼接起來，還沒開口。
劉工的聲音就像炸雷一樣從聽筒里轟出來，嗓子都劈叉了：
「江院士！！！100%！！！」
「到了！！！百分百！！！我們做到了！！！」
江辰把手機拿遠了一點：「什麼百分百？」
「良率！！！晶圓良率！！！100%！！！百分百！！！」
「每一片晶圓上的每一顆晶片都是好的！！！沒有一個廢品！！！零缺陷！！！全良率！！！」
電話那頭傳來一陣嘈雜的歡呼聲。
夾雜著曹所長喊「我的速效救心丸呢」。
張工喊「快給江院士開視頻」。
陳工喊「我的眼鏡又掉了」的聲音。
江辰沉默了片刻，然後笑了：「挺好。」
劉工在電話那頭差點破音：「挺好？？？江院士！！！這是100%良率！！！」
「ASML的7nm製程良率最高也就85%到92%！！！」
「它們的5nm和3nm到現在都還沒正式量產，理論良率最多也就95%！！！」
「我們1nm，100%！！！這不是挺好，這是逆天！！！」
「我知道。」
江辰的語氣依舊平穩，「辛苦了，明天我去看看。」
掛了電話。
宿舍里陳小胖的呼嚕聲還在震天響。
李默從上鋪探出頭，推了推眼鏡：「江神，是光刻機那邊的消息？」
「嗯，良率到100%了。」
李默沉默了片刻，然後說了一句：
「我剛才查了一下，這個數字意味著從今往後，全球半導體行業的良率標杆，從ASML換成了我們。」
「嗯，挺好的。」
「你的『挺好』，是別人的『我這輩子值了』。」
……
第二天一早。
江辰到了研發中心。
曹所長頂著一雙熬得通紅的眼睛迎上來，手裡攥著厚厚一摞良率數據報表，臉上的表情像是中了彩票又怕別人知道。
他把報表往江辰手裡一塞，聲音沙啞得像砂紙：
「江院士，您自己看。」
「從第一片到昨天最後一片，每一片晶圓的良率記錄都在這裡。
從95%到100%，只用了不到一周。」
江辰翻了翻報表，每一頁的數據都平穩得讓人心安。
他把報表還給曹所長：
「後續穩定性的測試方案做了嗎？」
「做了！按您之前給的方案。」
「接下來我們會連續跑幾周的老化測試和極限工況測試，確保產線穩定之後再正式轉入量產。」
「很好。」
曹所長頓了頓，又補了一句：
「江院士，說實話，我搞了這麼多年光學工程，從來沒見過這種情況。」
「良率100%，這意味著什麼？」
「意味著這台光刻機的整體設計和製造工藝，已經完美到了沒有任何短板。」
「光源、物鏡、工件台、控制系統、真空系統、光刻膠配方……」
「每一個環節都達到了理論最優值。這不是某一項技術領先，這是全鏈條的碾壓。」
他越說越激動，唾沫星子都快噴出來了：
「ASML對外宣稱的良率數據，7nm製程是85%到92%，5nm和3nm根本還沒量產，理論目標也就是90%到95%。」
「我們1nm直接干到100%。」
「比他們最先進的製程領先好幾代，良率還高出好幾個百分點。」
「這要是傳出去，整個半導體行業都得地震。」
「不是地震，是海嘯。」劉工在旁邊糾正道。
「對，海嘯，而且是那種能直接把某些公司拍死在沙灘上的海嘯。」
……