第380章 光刻機調試遇難題，江辰三言兩語點破天機！
國慶假期的熱度還沒完全散去，光刻機研發中心那邊就傳來了消息。
不是好消息。
曹所長在電話里的聲音有點低沉，跟之前報喜的時候判若兩人：
「江院士，整機調試出了點問題。」
「工件台和物鏡系統的聯調，定位精度一直達不到預期值。」
「我們反覆校準了好幾遍，雷射干涉儀的讀數就是穩不住，總是在最後幾位小數點上來回跳。」
江辰正在國科院圖書館翻一本關於量子糾纏純化方案的前沿論文，聽到這話放下書：「跳多少？」
「零點幾納米。」
「那確實不正常，我過去看看。」
掛了電話。
江辰收拾東西往外走。
唐若曦剛好抱著一摞書過來，看他表情就知道有事：「光刻機那邊？」
「嗯，聯調出了點小問題。」
「嚴重嗎？」
「不嚴重，但挺隱蔽的。」
江辰把背包往肩上一甩，「就像代碼里藏了個bug，編譯能過，運行也不報錯，但結果就是不對。」
「這種問題最煩人，但也最有意思。」
唐若曦笑了：「那你快去吧，中午食堂我給你留飯。」
「行。」
到了研發中心。
超淨車間裡的氣氛跟之前明顯不一樣了。
曹所長、劉工、陳工、張工，還有比亞帝的老陳，一群人圍在工件台旁邊，一個個眉頭擰成川字。
王川福也在，雙手抱胸站在人群外圍，臉色不太好看。
看到江辰進來，所有人齊刷刷抬頭，那眼神就跟考試沒考好的學生等老師來訓話似的。
曹所長迎上來，語氣裡帶著幾分自責：
「江院士，是我們的問題。」
「您給的方案沒問題，是我們執行的時候哪裡出了紕漏。」
「先別急著背鍋。」
江辰走到工件台旁邊，看了看雷射干涉儀上跳動的讀數。
確實如曹所長所說，最後三位小數點一直在跳，像一隻不安分的小蟲子。換
一般設備，這點誤差根本不算事。
但對於1nm製程的光刻機來說，這個誤差已經大到足以影響晶片良率了。
「排查過哪些可能？」江辰問。
劉工翻開手裡的記錄本，一條一條念：
「光源穩定性，測了，沒問題。」
「物鏡系統的裝配精度，重新校準過，也沒問題。」
「工件台的機械結構，拆開檢查了一遍，所有螺栓的預緊力都按您的標準重新擰過，還是不行。」
「環境振動，測了地基，沒發現異常。」
「溫度漂移，恆溫系統正常，波動在零點零一度以內。」
「電磁干擾，屏蔽層檢查過，沒有問題。」
念完之後，整個車間安靜了好幾秒。
能查的都查了，找不到毛病。
江辰沒說話，走到工件台旁邊蹲下身，用手輕輕搭在基座表面。
他的感知力全開。
方圓八百米內的一切都在他的掌控之中。
而此刻，他所有的注意力都集中在這台機器最細微的振動上。
大概十來秒後，他站起來：
「老陳，你們這批工件台的底座，是不是跟第一批用的不是同一批次的鑄造件？」
老陳愣了一下，趕緊翻手裡的記錄：
「對，第二批的底座用的是改良後的鑄造工藝。」
「按您上次給的分階段變溫時效方案處理的，理論上殘餘應力釋放應該更均勻才對。」
「問題不在應力，在密度。」
江辰指著底座的一角，「這批鑄造件的模具，是不是換過？」
王川福眼睛一瞪，轉頭看向老陳。
老陳滿頭大汗地翻記錄，翻了半天，忽然臉色一變：
「換過！之前那個模具用了十幾年，表面有一些微裂紋，上個月我們換了一套新模具。」
「但尺寸、材質、工藝參數都沒變啊！」
「參數沒變，但新舊模具的導熱性不一樣。」
江辰語氣很淡。
像是在說一加一等於二。
「新模具的導熱係數比舊模具高了大概百分之幾，這導致鑄造過程中熔融金屬的冷卻速度發生了改變。」
「宏觀尺寸看不出來，但微觀密度分布不均勻。」
「底座的質心和形心不重合，引起微弱的慣性力矩。」
他指了指工件台的運動方向：「每次工件台高速往復運動的時候，這個微弱的慣性力矩就會產生一個極其微小的偏轉。」
「雷射干涉儀捕捉到的就是這個偏轉，不在機械結構上，不在電磁環境裡，也不在溫度漂移里，而是在底座本身的材料特性里。」
整個車間鴉雀無聲。
曹所長張著嘴，半天沒合上。
劉工手裡的記錄本差點掉地上。
陳工用力拍了一下自己腦門，聲音在安靜的車間裡格外響亮：
「我早該想到的！密度分布不均勻會導致慣性主軸偏移！」
張工在旁邊小聲嘀咕：「這種級別的分析，咱們整個團隊沒一個人想到，江院士用手摸了一下就找出來了。」
「服了，真的服了。」
王川福沉默了好半天，然後轉頭對老陳說：
「江總剛才說的每一句話，都記下來了嗎？」
老陳瘋狂點頭，手裡的筆都快戳穿筆記本了：
「記了記了，一個字沒落。」
王川福又轉頭看向江辰，眼神複雜得能開染坊。
裡面有敬佩，有感慨，還有一絲說不清的自慚形穢。
他搞了這麼多年製造業，自認為在精密機械加工這一塊也算頂尖水平。
但江辰剛才那番分析，直接把他幾十年的認知按在地上反覆摩擦。
不是他不懂，是他根本想不到……
誰能想到模具換了個新的，會讓底座的質量分布出問題，進而影響整台光刻機的定位精度？
「江總，」
王川福開口了，聲音有點啞，
「你說實話，你到底是怎麼摸出來的？」
「我手下那幫老技工，幹了幾十年精密裝配，能用手摸出幾個絲的平面度，已經算是頂尖高手了。」
「但你剛才不是摸平面度，你摸的是密度，是慣性力矩。」
「這玩意兒根本沒法用手摸，你一摸就出來了。」
江辰想了想，覺得說實話太嚇人，於是給了個相對委婉的解釋：
「物理學的基本原理。不同的密度分布，傳遞振動的頻譜不一樣。」
「手搭上去，感覺不一樣。」
王川福聽完之後臉上的表情變得更加微妙：「所以你是用物理學原理，把觸覺放大到了可以感知質量分布的程度？」
「差不多。」
王川福徹底不說話了。
他默默轉頭對老陳低聲交代：「把江總這段話原原本本地記下來，回去讓所有技術骨幹反覆學習。」
老陳愣了一下：「王總，這怎麼學？」
「江總說的那些內容，我們連理解都費勁。」
「理解不了就先背下來，總有一天能理解。」
「我活了這麼多年，頭一回見到有人把物理學基本原理玩到這個地步。」
問題找到了。
接下來就是解決方案。
江辰說，「這批底座的模具已經換了，短期內再換回去不現實。」
「最快的方式是調整工件台的控制參數，把底座的慣性力矩納入運動補償模型。」
「另外，後續批次的底座毛坯，鑄造前把新模具的預熱溫度調整一下，儘量讓冷卻曲線跟舊模具一致。」
「這些優化方案全部匯總成標準工藝文檔，下發各產線。」
說完這些，他看了看時間：
「不早了，我先回去吃飯。」
「具體怎麼改，你們按我說的方案弄，有問題再找我。」
曹所長趕緊說：「好的好的！江院士您慢走！」
王川福也說：「江總你放心，這兒交給我們。」
……
不是好消息。
曹所長在電話里的聲音有點低沉，跟之前報喜的時候判若兩人：
「江院士，整機調試出了點問題。」
「工件台和物鏡系統的聯調，定位精度一直達不到預期值。」
「我們反覆校準了好幾遍，雷射干涉儀的讀數就是穩不住，總是在最後幾位小數點上來回跳。」
江辰正在國科院圖書館翻一本關於量子糾纏純化方案的前沿論文，聽到這話放下書：「跳多少？」
「零點幾納米。」
「那確實不正常，我過去看看。」
掛了電話。
江辰收拾東西往外走。
唐若曦剛好抱著一摞書過來，看他表情就知道有事：「光刻機那邊？」
「嗯，聯調出了點小問題。」
「嚴重嗎？」
「不嚴重，但挺隱蔽的。」
江辰把背包往肩上一甩，「就像代碼里藏了個bug，編譯能過，運行也不報錯，但結果就是不對。」
「這種問題最煩人，但也最有意思。」
唐若曦笑了：「那你快去吧，中午食堂我給你留飯。」
「行。」
到了研發中心。
超淨車間裡的氣氛跟之前明顯不一樣了。
曹所長、劉工、陳工、張工，還有比亞帝的老陳，一群人圍在工件台旁邊，一個個眉頭擰成川字。
王川福也在，雙手抱胸站在人群外圍，臉色不太好看。
看到江辰進來，所有人齊刷刷抬頭，那眼神就跟考試沒考好的學生等老師來訓話似的。
曹所長迎上來，語氣裡帶著幾分自責：
「江院士，是我們的問題。」
「您給的方案沒問題，是我們執行的時候哪裡出了紕漏。」
「先別急著背鍋。」
江辰走到工件台旁邊，看了看雷射干涉儀上跳動的讀數。
確實如曹所長所說，最後三位小數點一直在跳，像一隻不安分的小蟲子。換
一般設備，這點誤差根本不算事。
但對於1nm製程的光刻機來說，這個誤差已經大到足以影響晶片良率了。
「排查過哪些可能？」江辰問。
劉工翻開手裡的記錄本，一條一條念：
「光源穩定性，測了，沒問題。」
「物鏡系統的裝配精度，重新校準過，也沒問題。」
「工件台的機械結構，拆開檢查了一遍，所有螺栓的預緊力都按您的標準重新擰過，還是不行。」
「環境振動，測了地基，沒發現異常。」
「溫度漂移，恆溫系統正常，波動在零點零一度以內。」
「電磁干擾，屏蔽層檢查過，沒有問題。」
念完之後，整個車間安靜了好幾秒。
能查的都查了，找不到毛病。
江辰沒說話，走到工件台旁邊蹲下身，用手輕輕搭在基座表面。
他的感知力全開。
方圓八百米內的一切都在他的掌控之中。
而此刻，他所有的注意力都集中在這台機器最細微的振動上。
大概十來秒後，他站起來：
「老陳，你們這批工件台的底座，是不是跟第一批用的不是同一批次的鑄造件？」
老陳愣了一下，趕緊翻手裡的記錄：
「對，第二批的底座用的是改良後的鑄造工藝。」
「按您上次給的分階段變溫時效方案處理的，理論上殘餘應力釋放應該更均勻才對。」
「問題不在應力，在密度。」
江辰指著底座的一角，「這批鑄造件的模具，是不是換過？」
王川福眼睛一瞪，轉頭看向老陳。
老陳滿頭大汗地翻記錄，翻了半天，忽然臉色一變：
「換過！之前那個模具用了十幾年，表面有一些微裂紋，上個月我們換了一套新模具。」
「但尺寸、材質、工藝參數都沒變啊！」
「參數沒變，但新舊模具的導熱性不一樣。」
江辰語氣很淡。
像是在說一加一等於二。
「新模具的導熱係數比舊模具高了大概百分之幾，這導致鑄造過程中熔融金屬的冷卻速度發生了改變。」
「宏觀尺寸看不出來，但微觀密度分布不均勻。」
「底座的質心和形心不重合，引起微弱的慣性力矩。」
他指了指工件台的運動方向：「每次工件台高速往復運動的時候，這個微弱的慣性力矩就會產生一個極其微小的偏轉。」
「雷射干涉儀捕捉到的就是這個偏轉，不在機械結構上，不在電磁環境裡，也不在溫度漂移里，而是在底座本身的材料特性里。」
整個車間鴉雀無聲。
曹所長張著嘴，半天沒合上。
劉工手裡的記錄本差點掉地上。
陳工用力拍了一下自己腦門，聲音在安靜的車間裡格外響亮：
「我早該想到的！密度分布不均勻會導致慣性主軸偏移！」
張工在旁邊小聲嘀咕：「這種級別的分析，咱們整個團隊沒一個人想到，江院士用手摸了一下就找出來了。」
「服了，真的服了。」
王川福沉默了好半天，然後轉頭對老陳說：
「江總剛才說的每一句話，都記下來了嗎？」
老陳瘋狂點頭，手裡的筆都快戳穿筆記本了：
「記了記了，一個字沒落。」
王川福又轉頭看向江辰，眼神複雜得能開染坊。
裡面有敬佩，有感慨，還有一絲說不清的自慚形穢。
他搞了這麼多年製造業，自認為在精密機械加工這一塊也算頂尖水平。
但江辰剛才那番分析，直接把他幾十年的認知按在地上反覆摩擦。
不是他不懂，是他根本想不到……
誰能想到模具換了個新的，會讓底座的質量分布出問題，進而影響整台光刻機的定位精度？
「江總，」
王川福開口了，聲音有點啞，
「你說實話，你到底是怎麼摸出來的？」
「我手下那幫老技工，幹了幾十年精密裝配，能用手摸出幾個絲的平面度，已經算是頂尖高手了。」
「但你剛才不是摸平面度，你摸的是密度，是慣性力矩。」
「這玩意兒根本沒法用手摸，你一摸就出來了。」
江辰想了想，覺得說實話太嚇人，於是給了個相對委婉的解釋：
「物理學的基本原理。不同的密度分布，傳遞振動的頻譜不一樣。」
「手搭上去，感覺不一樣。」
王川福聽完之後臉上的表情變得更加微妙：「所以你是用物理學原理，把觸覺放大到了可以感知質量分布的程度？」
「差不多。」
王川福徹底不說話了。
他默默轉頭對老陳低聲交代：「把江總這段話原原本本地記下來，回去讓所有技術骨幹反覆學習。」
老陳愣了一下：「王總，這怎麼學？」
「江總說的那些內容，我們連理解都費勁。」
「理解不了就先背下來，總有一天能理解。」
「我活了這麼多年，頭一回見到有人把物理學基本原理玩到這個地步。」
問題找到了。
接下來就是解決方案。
江辰說，「這批底座的模具已經換了，短期內再換回去不現實。」
「最快的方式是調整工件台的控制參數，把底座的慣性力矩納入運動補償模型。」
「另外，後續批次的底座毛坯，鑄造前把新模具的預熱溫度調整一下，儘量讓冷卻曲線跟舊模具一致。」
「這些優化方案全部匯總成標準工藝文檔，下發各產線。」
說完這些，他看了看時間：
「不早了，我先回去吃飯。」
「具體怎麼改，你們按我說的方案弄，有問題再找我。」
曹所長趕緊說：「好的好的！江院士您慢走！」
王川福也說：「江總你放心，這兒交給我們。」
……