第16章 研發進度
不知不覺中，時光飛逝，春節眼看著臨近了。
徐衛國今年肯定是沒辦法回家過年了，只好寫了一封信寄回家，免得家裡人擔心。當然，他在幹什麼肯定是不能說的，只說自己要在學校多學點東西。
值得一提的是，徐衛國前不久已經拿到了京大的畢業證，並正式成為了科學院物理所的一員，果然是三級研究員。
月底，他還拿到了自己的第一筆工資，一百七十五元。
拿出一百塊還給了張希德，剩下的錢他給自己買了幾身內外衣服，轉眼又花了個乾淨。
好在他吃住都有公家管著，平時也基本不花什麼錢。
除夕這天，徐衛國給團隊所有人放了兩天假，沒日沒夜的忙活了一個多月，春節再不讓放鬆一下也實在說不過去。
畢竟，這項目並沒有一個期限限制，沒必要趕那麼急。
左右也是無事，徐衛國乾脆又去了周家，借宿兩天，算是把這個年給過了。
……
過完年，徐衛國又帶領團隊投入了緊張的研發過程中。
三月初，各項研發工作開始進入收穫期。
第一個完成的分項目是光刻膠，在進行大量實驗後，團隊先是成功製取出了苯乙烯-丁二烯共聚物（SBR），這是第一代光刻膠的主要成分。
僅僅一周後，他們又製取出甲基丙烯酸甲酯作為交聯劑，解決了光刻膠易變黃的問題。至此，第一代光刻膠的研發工作正式完成。
第二個完成的分項目是擴散爐，它用於擴散工藝，作用是將雜質元素引入矽片以形成PN結或電阻等元件。
隨後，氧化設備，蒸發台、外延生長設備、研磨拋光設備等項目也相繼完成研發。
到五月時，所有項目就只剩下光刻機還沒有完成了。
而光刻機這個大系統中，所有分系統其實都已經做出來了，問題卡在精度上。
如果現有分系統直接組裝起來投入使用，光刻機的定位精度將低於五微米，曝光圖形精度（線寬）則在十微米級別，這個水平遠遠達不到徐衛國的預期，距離歷史上第一台商業化光刻機精度也差的太遠。
徐衛國當然是不甘心拿個次品出來的，他寧願把研發時間拉長，繼續精雕細琢。
這一拖，就拖到了七月。
這天上午，晴空萬里，徐衛國照例待在實驗室，親自參與光刻機的調試改進。
正忙著，實驗室門口突然來人了。
卻是所長嚴紀慈。
此時的徐衛國正坐在顯微鏡前觀察剛製作出來的掩模版，嚴紀慈並未打擾他，只是在一旁站著觀看。
直到徐衛國從顯微鏡前站起來，跟一旁的同伴吩咐了幾句，一轉身，這才看到嚴紀慈。
「所長！您什麼時候來的。」
嚴紀慈笑道：「我也剛來沒多久。……你們這確實是涼快啊！我都不想走了。」
徐衛國笑了笑，他們這是恆溫實驗室，安裝了大功率空調的，倒不是搞特殊，而是因為溫度會影響設備精度，不得不裝。
不過在這炎炎夏日，在空調房工作也確實是一種享受，大家都不大願意出門。
「您找來是有什麼事嗎？」徐衛國。
嚴紀慈點點頭：「我來就是想問你，光刻機研發什麼時候能完成？……離十月一就剩不到三個月了，我想最好是能在那之前造出第一款集成電路，為國慶獻禮。當然，如果來不及的話就當我沒說，你們還是按你們的進度來。」
徐衛國道：「應該是來得及。其實吧，光刻機我們已經造出來了，問題是精度不及預期，現在我正在改進中。」
「精度問題……你有解決方案嗎？」
「有。不瞞您，我腦子裡有的是辦法，奈何缺了太多設備，現在只能用笨辦法慢慢摸索。」
這倒是大實話，比如光學系統精度，想提高離不開干涉儀輔助，但這東西還在研發，想用上不知要到哪年月了。
再比如掩模版的製作精度，沒有電子束光刻，就很難製作精細圖案。雷射直寫倒是一個解決方案，但紅寶石雷射器同樣也剛開始研發。
「具體說說你的笨辦法。」嚴紀慈饒有興致的問道。他自己本身就是光學研究領域的專家，加上一直在關注徐衛國的研發進展，在光刻機上算是內行人。
徐衛國點點頭，說道:「就比如這掩模版，我現在嘗試用分步重複曝光的辦法，也就是先製作大尺寸母版，再用光學微縮複製到掩模版上。試驗結果還行，精度提高了不少。
再比如對準精度，手動對準精度有限，我自己設計了一套機械-光學混合對準系統，現在還沒造出來，但估計也就這幾天了。」
嚴紀慈：「聽起來是很不錯的解決辦法。……呵，我本想幫你參謀參謀，提一些建議，現在看是不用了。」
徐衛國：「讓您費心了。」
「嗐，我費什麼心啊。技術上我也幫不上什麼忙，都是瞎操心。」
嚴紀慈看著徐衛國，突然感嘆道：「都說隔行如隔山，科研上更是如此。我都好奇，你這腦子是怎麼長得，怎麼就什麼都懂呢?」
徐衛國咧嘴笑道：「我是天才嘛，不能以常理度之。」
嚴紀慈哈哈笑了起來，道：「說的沒錯，不能以常理度之。……行了，你繼續忙，我先回去了。」
「您慢走！」
徐衛國今年肯定是沒辦法回家過年了，只好寫了一封信寄回家，免得家裡人擔心。當然，他在幹什麼肯定是不能說的，只說自己要在學校多學點東西。
值得一提的是，徐衛國前不久已經拿到了京大的畢業證，並正式成為了科學院物理所的一員，果然是三級研究員。
月底，他還拿到了自己的第一筆工資，一百七十五元。
拿出一百塊還給了張希德，剩下的錢他給自己買了幾身內外衣服，轉眼又花了個乾淨。
好在他吃住都有公家管著，平時也基本不花什麼錢。
除夕這天，徐衛國給團隊所有人放了兩天假，沒日沒夜的忙活了一個多月，春節再不讓放鬆一下也實在說不過去。
畢竟，這項目並沒有一個期限限制，沒必要趕那麼急。
左右也是無事，徐衛國乾脆又去了周家，借宿兩天，算是把這個年給過了。
……
過完年，徐衛國又帶領團隊投入了緊張的研發過程中。
三月初，各項研發工作開始進入收穫期。
第一個完成的分項目是光刻膠，在進行大量實驗後，團隊先是成功製取出了苯乙烯-丁二烯共聚物（SBR），這是第一代光刻膠的主要成分。
僅僅一周後，他們又製取出甲基丙烯酸甲酯作為交聯劑，解決了光刻膠易變黃的問題。至此，第一代光刻膠的研發工作正式完成。
第二個完成的分項目是擴散爐，它用於擴散工藝，作用是將雜質元素引入矽片以形成PN結或電阻等元件。
隨後，氧化設備，蒸發台、外延生長設備、研磨拋光設備等項目也相繼完成研發。
到五月時，所有項目就只剩下光刻機還沒有完成了。
而光刻機這個大系統中，所有分系統其實都已經做出來了，問題卡在精度上。
如果現有分系統直接組裝起來投入使用，光刻機的定位精度將低於五微米，曝光圖形精度（線寬）則在十微米級別，這個水平遠遠達不到徐衛國的預期，距離歷史上第一台商業化光刻機精度也差的太遠。
徐衛國當然是不甘心拿個次品出來的，他寧願把研發時間拉長，繼續精雕細琢。
這一拖，就拖到了七月。
這天上午，晴空萬里，徐衛國照例待在實驗室，親自參與光刻機的調試改進。
正忙著，實驗室門口突然來人了。
卻是所長嚴紀慈。
此時的徐衛國正坐在顯微鏡前觀察剛製作出來的掩模版，嚴紀慈並未打擾他，只是在一旁站著觀看。
直到徐衛國從顯微鏡前站起來，跟一旁的同伴吩咐了幾句，一轉身，這才看到嚴紀慈。
「所長！您什麼時候來的。」
嚴紀慈笑道：「我也剛來沒多久。……你們這確實是涼快啊！我都不想走了。」
徐衛國笑了笑，他們這是恆溫實驗室，安裝了大功率空調的，倒不是搞特殊，而是因為溫度會影響設備精度，不得不裝。
不過在這炎炎夏日，在空調房工作也確實是一種享受，大家都不大願意出門。
「您找來是有什麼事嗎？」徐衛國。
嚴紀慈點點頭：「我來就是想問你，光刻機研發什麼時候能完成？……離十月一就剩不到三個月了，我想最好是能在那之前造出第一款集成電路，為國慶獻禮。當然，如果來不及的話就當我沒說，你們還是按你們的進度來。」
徐衛國道：「應該是來得及。其實吧，光刻機我們已經造出來了，問題是精度不及預期，現在我正在改進中。」
「精度問題……你有解決方案嗎？」
「有。不瞞您，我腦子裡有的是辦法，奈何缺了太多設備，現在只能用笨辦法慢慢摸索。」
這倒是大實話，比如光學系統精度，想提高離不開干涉儀輔助，但這東西還在研發，想用上不知要到哪年月了。
再比如掩模版的製作精度，沒有電子束光刻，就很難製作精細圖案。雷射直寫倒是一個解決方案，但紅寶石雷射器同樣也剛開始研發。
「具體說說你的笨辦法。」嚴紀慈饒有興致的問道。他自己本身就是光學研究領域的專家，加上一直在關注徐衛國的研發進展，在光刻機上算是內行人。
徐衛國點點頭，說道:「就比如這掩模版，我現在嘗試用分步重複曝光的辦法，也就是先製作大尺寸母版，再用光學微縮複製到掩模版上。試驗結果還行，精度提高了不少。
再比如對準精度，手動對準精度有限，我自己設計了一套機械-光學混合對準系統，現在還沒造出來，但估計也就這幾天了。」
嚴紀慈：「聽起來是很不錯的解決辦法。……呵，我本想幫你參謀參謀，提一些建議，現在看是不用了。」
徐衛國：「讓您費心了。」
「嗐，我費什麼心啊。技術上我也幫不上什麼忙，都是瞎操心。」
嚴紀慈看著徐衛國，突然感嘆道：「都說隔行如隔山，科研上更是如此。我都好奇，你這腦子是怎麼長得，怎麼就什麼都懂呢?」
徐衛國咧嘴笑道：「我是天才嘛，不能以常理度之。」
嚴紀慈哈哈笑了起來，道：「說的沒錯，不能以常理度之。……行了，你繼續忙，我先回去了。」
「您慢走！」