第429章 魔都微電子
幾句簡單的寒暄過後，一行人換上嚴實的防塵服，穿過風淋室，進入了研發車間。
一股潔淨室特有的、混雜著臭氧和電子設備運轉的味道撲面而來。
車間中央，一台巨大的金屬構架沉默地矗立著。
它像一頭未完工的鋼鐵巨獸，無數複雜的管線和精密的金屬部件裸露在外，幾名工程師正像螞蟻一樣，蹲在它的底座旁，專注地進行著調試。
「這就是我們正在研發的分布式投影光刻機。」
賀天成的聲音隔著口罩，顯得有些發悶，但語氣里的那份投入，誰都聽得出來。
馬宇騰走近幾步，目光掃過那些複雜的機械結構和線纜布局。
「進度到哪一步了？」
賀天成領著他走到一旁的操作台，指著屏幕上跳動的數據流。
「按計劃，明年能出第一台原型機。機械組裝和控制系統的框架基本成型，現在最卡脖子的，是核心零部件。」
他話音一頓，手指向了設備深處一個空置的模組位置。
「尤其是光源，完全依賴進口，人家給什麼，我們就得用什麼。」
參觀結束，眾人回到會議室。
摘下口罩，賀天成臉上那股子技術人特有的執拗和疲憊才顯露出來。
馬宇騰沒繞圈子，直接拋出了一個問題。
「賀總，對於EUV技術，你們怎麼看？」
賀天成明顯愣了一下，旋即苦笑起來，擺了擺手。
「馬總，咱們得腳踏實地啊。」
他嘆了口氣，像是要把胸中的鬱結之氣都吐出來。
「國內的光源技術跟國外差著幾代呢。別提EUV了，就是現在主流DUV用的ArF雷射光源模塊，我們都造不出來。EUV那種東西，在國際上都還沒有成熟，對我們來說，太遙遠了。」
馬宇騰扶了扶眼鏡，鏡片後的目光看不出情緒。
他腦中閃過一些被埋藏在記憶深處的零碎信息。
「我聽說國內有一種晶體，能產生深紫外雷射，相關技術在國際上是獨一份的。」
「這種晶體，能不能用到光刻機光源上？」
賀天成原本有些黯淡的眼睛，瞬間亮了一下。
「馬總說的是KBBF晶體？」
他站起身，像是被觸動了某個開關，激動地走到會議室的白板前。
「那是科學院陳老團隊的成果！他們九六年就用那玩意兒搞出了六倍頻技術，能把1064納米的雷射，硬生生倍頻成177.3納米的深紫外光！」
馬宇騰緊跟著追問：「既然有這種好東西，為什麼不用它來做光刻機的光源系統？」
「唉！」
賀天成長長嘆了一口氣。
「原理上，這種全固體光源比現在主流的雷射等離子體光源（LPP）更穩定，更純淨，是好東西。」
「但實際操作起來，有兩個要命的問題。」
「第一，這條路，跟國際主流的LPP光源路徑完全是兩碼事。我們要是用KBBF，就要自己設計研發全套的光源系統，沒有任何經驗可以借鑑。」
馬宇騰沒說話，只是靜靜地看著對方。
賀天成接著又說到第二個問題。
「第二，KBBF晶體的生長技術有缺陷。它是一種層狀結構，非常容易裂開，像千層餅一樣。根據科學院那邊的消息，他們目前還長不出能實用的大尺寸晶體，批量生產的工藝也還沒有成熟。」
「沒有大尺寸晶體，光強就上不去，曝光效率不夠，根本達不到光刻機的要求。」
會議室里一片死寂。
張如晶的眉頭也皺了起來，顯然，他也聽明白其中的困難。
然而馬宇騰臉上卻看不出半點惋惜。
他等賀天成說完，才緩緩開口。
「賀總，你說的這兩個問題，換個角度看，恰恰是我們的優勢。」
賀天成一臉不解地看著他。
「重新設計光源系統，就意味著我們可以徹底繞開阿斯麥和尼康他們經營了幾十年的專利壁壘。我們不需要在別人的地基上蓋房子，受制於人。這棟房子只要蓋起來，從地基到房頂，每一塊磚都是我們自己的。」
「技術缺陷，可以用錢去砸，用資源去填。量產工藝，可以靠一次次的工程實驗去磨。這些都是工程問題，不是物理原理問題。只要原理走得通，工程問題早晚能解決。」
他的聲音不大，卻擲地有聲。
「一旦解決了大尺寸晶體的問題，全固體光源的精密性和穩定性，是等離子光源拍馬也趕不上的。」
「這，才是真正的彎道超車。」
賀天成張著嘴，半天沒說出話來。
他被馬宇騰這番話震住了。
這些年，他聽了太多「困難」「瓶頸」「差距」，卻沒想到這些還能轉換成「優勢」。
一旁的張如晶看著馬宇騰，眼神里多了一絲探究。
馬宇騰轉頭，目光落在賀天成身上。
「KBBF晶體的事，我去想辦法對接科學院那邊。」
「你們這裡，能不能分出一條線，同步推進基於KBBF晶體的光源方案？」
賀天成卻遲疑了。
他猶豫著說：「馬總，推進這個方向……需要的資金不是個小數目。我們公司現在的研發經費，每分錢都得掰成兩半花，實在是……」
話沒說完，馬宇騰就笑了。
「錢的問題，我來解決。」
他看著賀天成，語氣平淡卻帶著一種不容置疑的力量。
「我旗下的投資機構，可以對貴公司進行戰略投資。要多少，你們開個價。」
賀天成徹底懵了。
他呆呆地站在那裡，感覺自己像是在做夢。
困擾了他和整個團隊數年的資金枷鎖，就這麼……被輕描淡寫地解決了？
賀天成胸口一陣起伏，強行壓下翻湧的情緒。
「馬總，我……我個人，百分之百願意推進KBBF光源方案。這是我們自己的路，是能看到希望的路。」
他的聲音頓了頓，話鋒一轉，帶上了幾分現實的沉重。
「但是，引入戰略投資，尤其……是這麼大一筆資金，不是我一個人能決定的。」
他抬起頭，眼神里全是無奈。
「魔都微電子的股東構成比較特殊，科技部和魔都政府是大頭。任何股權變更，都需要上報，經過層層審批。這個流程……不是一天兩天能走完的。」
一股潔淨室特有的、混雜著臭氧和電子設備運轉的味道撲面而來。
車間中央，一台巨大的金屬構架沉默地矗立著。
它像一頭未完工的鋼鐵巨獸，無數複雜的管線和精密的金屬部件裸露在外，幾名工程師正像螞蟻一樣，蹲在它的底座旁，專注地進行著調試。
「這就是我們正在研發的分布式投影光刻機。」
賀天成的聲音隔著口罩，顯得有些發悶，但語氣里的那份投入，誰都聽得出來。
馬宇騰走近幾步，目光掃過那些複雜的機械結構和線纜布局。
「進度到哪一步了？」
賀天成領著他走到一旁的操作台，指著屏幕上跳動的數據流。
「按計劃，明年能出第一台原型機。機械組裝和控制系統的框架基本成型，現在最卡脖子的，是核心零部件。」
他話音一頓，手指向了設備深處一個空置的模組位置。
「尤其是光源，完全依賴進口，人家給什麼，我們就得用什麼。」
參觀結束，眾人回到會議室。
摘下口罩，賀天成臉上那股子技術人特有的執拗和疲憊才顯露出來。
馬宇騰沒繞圈子，直接拋出了一個問題。
「賀總，對於EUV技術，你們怎麼看？」
賀天成明顯愣了一下，旋即苦笑起來，擺了擺手。
「馬總，咱們得腳踏實地啊。」
他嘆了口氣，像是要把胸中的鬱結之氣都吐出來。
「國內的光源技術跟國外差著幾代呢。別提EUV了，就是現在主流DUV用的ArF雷射光源模塊，我們都造不出來。EUV那種東西，在國際上都還沒有成熟，對我們來說，太遙遠了。」
馬宇騰扶了扶眼鏡，鏡片後的目光看不出情緒。
他腦中閃過一些被埋藏在記憶深處的零碎信息。
「我聽說國內有一種晶體，能產生深紫外雷射，相關技術在國際上是獨一份的。」
「這種晶體，能不能用到光刻機光源上？」
賀天成原本有些黯淡的眼睛，瞬間亮了一下。
「馬總說的是KBBF晶體？」
他站起身，像是被觸動了某個開關，激動地走到會議室的白板前。
「那是科學院陳老團隊的成果！他們九六年就用那玩意兒搞出了六倍頻技術，能把1064納米的雷射，硬生生倍頻成177.3納米的深紫外光！」
馬宇騰緊跟著追問：「既然有這種好東西，為什麼不用它來做光刻機的光源系統？」
「唉！」
賀天成長長嘆了一口氣。
「原理上，這種全固體光源比現在主流的雷射等離子體光源（LPP）更穩定，更純淨，是好東西。」
「但實際操作起來，有兩個要命的問題。」
「第一，這條路，跟國際主流的LPP光源路徑完全是兩碼事。我們要是用KBBF，就要自己設計研發全套的光源系統，沒有任何經驗可以借鑑。」
馬宇騰沒說話，只是靜靜地看著對方。
賀天成接著又說到第二個問題。
「第二，KBBF晶體的生長技術有缺陷。它是一種層狀結構，非常容易裂開，像千層餅一樣。根據科學院那邊的消息，他們目前還長不出能實用的大尺寸晶體，批量生產的工藝也還沒有成熟。」
「沒有大尺寸晶體，光強就上不去，曝光效率不夠，根本達不到光刻機的要求。」
會議室里一片死寂。
張如晶的眉頭也皺了起來，顯然，他也聽明白其中的困難。
然而馬宇騰臉上卻看不出半點惋惜。
他等賀天成說完，才緩緩開口。
「賀總，你說的這兩個問題，換個角度看，恰恰是我們的優勢。」
賀天成一臉不解地看著他。
「重新設計光源系統，就意味著我們可以徹底繞開阿斯麥和尼康他們經營了幾十年的專利壁壘。我們不需要在別人的地基上蓋房子，受制於人。這棟房子只要蓋起來，從地基到房頂，每一塊磚都是我們自己的。」
「技術缺陷，可以用錢去砸，用資源去填。量產工藝，可以靠一次次的工程實驗去磨。這些都是工程問題，不是物理原理問題。只要原理走得通，工程問題早晚能解決。」
他的聲音不大，卻擲地有聲。
「一旦解決了大尺寸晶體的問題，全固體光源的精密性和穩定性，是等離子光源拍馬也趕不上的。」
「這，才是真正的彎道超車。」
賀天成張著嘴，半天沒說出話來。
他被馬宇騰這番話震住了。
這些年，他聽了太多「困難」「瓶頸」「差距」，卻沒想到這些還能轉換成「優勢」。
一旁的張如晶看著馬宇騰，眼神里多了一絲探究。
馬宇騰轉頭，目光落在賀天成身上。
「KBBF晶體的事，我去想辦法對接科學院那邊。」
「你們這裡，能不能分出一條線，同步推進基於KBBF晶體的光源方案？」
賀天成卻遲疑了。
他猶豫著說：「馬總，推進這個方向……需要的資金不是個小數目。我們公司現在的研發經費，每分錢都得掰成兩半花，實在是……」
話沒說完，馬宇騰就笑了。
「錢的問題，我來解決。」
他看著賀天成，語氣平淡卻帶著一種不容置疑的力量。
「我旗下的投資機構，可以對貴公司進行戰略投資。要多少，你們開個價。」
賀天成徹底懵了。
他呆呆地站在那裡，感覺自己像是在做夢。
困擾了他和整個團隊數年的資金枷鎖，就這麼……被輕描淡寫地解決了？
賀天成胸口一陣起伏，強行壓下翻湧的情緒。
「馬總，我……我個人，百分之百願意推進KBBF光源方案。這是我們自己的路，是能看到希望的路。」
他的聲音頓了頓，話鋒一轉，帶上了幾分現實的沉重。
「但是，引入戰略投資，尤其……是這麼大一筆資金，不是我一個人能決定的。」
他抬起頭，眼神里全是無奈。
「魔都微電子的股東構成比較特殊，科技部和魔都政府是大頭。任何股權變更，都需要上報，經過層層審批。這個流程……不是一天兩天能走完的。」