第428章 EUV技術
森田弘一盯著面前那杯早已涼透的茶水，指尖在杯沿輕微摩挲。
九十納米量產，這四個字像是一記悶棍，打碎了日系廠商最後的矜持。
他和岩本俊德交換了一個眼神，那是種在時代浪潮面前感到無力的挫敗。
尼康和佳能曾是光刻機領域的雙子星，在乾式光刻時代，全世界都要看他們的臉色。
可現在，台積電、東芯國際，甚至異軍突起的雷霆晶片，全都倒向了阿斯麥倡導的浸沒式陣營。
森田弘一清了清嗓子，聲音有些乾澀。
「馬總，張總，你們的建議牽扯到公司的根基。尼康需要進行嚴密的內部評估，這包括技術路徑的重構和市場風險的評估。」
岩本俊德也跟著表態，佳能的情況類似，這種戰略級的轉向，不是我們幾個人在魔都能拍板的。
馬宇騰換了個更鬆弛的坐姿，他知道這兩人已經心動，剩下的只是腳盤國企業骨子裡的那點固執在作祟。
「理解。」他敲了敲桌面，語氣平淡。
「但市場的窗口期很短。阿斯麥的浸沒式設備已經在台積電和我們的廠房裡運轉，留給你們的時間不多了。」
會議室陷入了短暫的沉默。
馬宇騰沒打算在浸沒式的話題上死纏爛打，他話鋒一轉，拋出了另一個更深遠的問題。
「既然聊到未來，我很好奇，兩位對極紫外光，也就是EUV光刻技術怎麼看？」
他在穿越前經常在科技相關的新聞里看到這個名詞，知道這是代表了光刻技術未來發展的方向。
提到EUV技術，岩本俊德的臉色瞬間陰沉下來，像是被揭開了陳年傷疤。
他靠在椅背上，自嘲地笑了笑。
「EUV啊，那是個燒錢的無底洞。九十年代末，英特爾牽頭成立了EUV-LLC聯盟，集合了摩托羅拉、AMD這些花旗國巨頭。當時佳能主動請纓，想加入技術研發。結果呢？」
岩本俊德攤開手，語氣里透著一股子怨氣。
「花旗國政府以國家安全為由，把我們擋在大門外。最後反倒是阿斯麥這個歐羅巴公司撿了便宜，拿到了全套技術授權。聽說他們的原型機已經快搗鼓出來了。」
森田弘一對此卻嗤之以鼻。
「那台原型機我也略知一二。說它是光刻機，不如說是個昂貴的實驗室擺件。」
「EUV的波長對任何物質都是災難，哪怕是空氣都會吸收能量。光源效率低得令人髮指，曝光一片晶圓的時間居然要按『天』來計算。」
他越說越激動，甚至帶上了一點技術專家的傲慢。
「還有掩模版的問題，EUV會放大任何微小的瑕疵。一顆灰塵就能毀掉整個晶圓的良率。」
「在我看來，這些工程難題十年內都無解。」
「與其賭一個虛無縹緲的未來，不如繼續深耕DUV光源。只要把數值孔徑和多重曝光做到極致，十納米製程也不是沒有可能。」
岩本俊德深以為然。
EUV系統太複雜了，真空環境、反射鏡組、高功率雷射，每一個環節都是在挑戰物理極限。
短期內，它不具備商業化的價值。
馬宇騰看著這兩位侃侃而談，心裡卻有些明悟。
他終於明白，為什麼在前世的記憶里，尼康和佳能最終會在高端光刻機市場徹底消失。
他們太迷信自己在光學領域的積累，試圖用戰術上的精進，去對抗戰略上的代差。
他們引以為傲的精密機械和鏡頭組，在EUV這種降維打擊面前，將毫無還手之力。
更關鍵的是，馬宇騰還想到了這背後的地緣邏輯。
這些腳盤國廠商雖然技術底蘊深厚，但終究繞不開花旗國那個『大爹』。
一旦未來博弈升級，接到花旗國命令的尼康和佳能，這兩家公司恐怕會比ASML更早對東大企業進行斷供。
靠人不如靠己。
馬宇騰在筆記本上隨手劃了一道槓。
目前的戰略時機十分關鍵，東大與花旗國的關係尚處在蜜月期的餘溫中。
他可以利用腳盤國廠商對阿斯麥的危機感，誘導他們進入浸沒式賽場。
只要尼康和佳能入局，光刻機市場短期內就不再是阿斯麥一家獨大。
這種制衡，能為國內光刻機技術的自主研發爭取到最寶貴的時間窗口。
「既然兩位對EUV有保留意見，那我們還是回到務實的層面。」
馬宇騰站起身，結束了這次會談。
「期待尼康和佳能的評估結果。希望下次見面，我們談的是關於浸沒式光刻機的採購訂單。」
送走腳盤國代表團後，張如晶拉住馬宇騰，眉頭緊鎖。
「馬總，你真覺得他們能指望得上？」
馬宇騰看著窗外魔都繁華的街景，目光深邃。
「張老，他們只是我們手裡的盾，用來擋住阿斯麥的刀。至於我們自己的劍，還得靠我們自己磨。」
張如晶收回投向窗外的視線，落在馬宇騰身上。
「馬總打算什麼時候回鵬城？」
馬宇騰合上筆記本，動作乾脆地塞進公事包。
「來都來了，總得看看這邊的半導體設備產業。」
他活動了一下肩膀，「鵬城那邊底子太薄，想找個像樣的配套企業都難，真正成氣候的，還得是魔都。」
張如晶聽了，難得地笑出聲。
「馬總這趟算是找對人了。」
他端起茶杯，慢悠悠地呷了一口，「東芯國際在這邊紮根這麼多年，跟那些搞設備的打過的交道，比我喝的茶都多。」
「這樣，明天我親自帶路，咱們先去張江那邊轉轉。」
「那就有勞張老了。」馬宇騰點頭應下。
第二天一早，一輛黑色的商務車悄無聲息地滑到張江高科技園區一棟不起眼的建築前。
門口的牌子簡單直接：魔都微電子裝備有限公司。
張如晶指著那棟樓，向馬宇騰介紹。
「這家公司零二年三月成立，由科技部和魔都府上聯合牽的頭，算是咱們國內唯一一家，敢說要衝擊高端光刻機整機研製能力的企業。」
車門打開，一個穿著夾克的中年男人早已等在門口，正是魔都微電子的負責人，賀天成。
九十納米量產，這四個字像是一記悶棍，打碎了日系廠商最後的矜持。
他和岩本俊德交換了一個眼神，那是種在時代浪潮面前感到無力的挫敗。
尼康和佳能曾是光刻機領域的雙子星，在乾式光刻時代，全世界都要看他們的臉色。
可現在，台積電、東芯國際，甚至異軍突起的雷霆晶片，全都倒向了阿斯麥倡導的浸沒式陣營。
森田弘一清了清嗓子，聲音有些乾澀。
「馬總，張總，你們的建議牽扯到公司的根基。尼康需要進行嚴密的內部評估，這包括技術路徑的重構和市場風險的評估。」
岩本俊德也跟著表態，佳能的情況類似，這種戰略級的轉向，不是我們幾個人在魔都能拍板的。
馬宇騰換了個更鬆弛的坐姿，他知道這兩人已經心動，剩下的只是腳盤國企業骨子裡的那點固執在作祟。
「理解。」他敲了敲桌面，語氣平淡。
「但市場的窗口期很短。阿斯麥的浸沒式設備已經在台積電和我們的廠房裡運轉，留給你們的時間不多了。」
會議室陷入了短暫的沉默。
馬宇騰沒打算在浸沒式的話題上死纏爛打，他話鋒一轉，拋出了另一個更深遠的問題。
「既然聊到未來，我很好奇，兩位對極紫外光，也就是EUV光刻技術怎麼看？」
他在穿越前經常在科技相關的新聞里看到這個名詞，知道這是代表了光刻技術未來發展的方向。
提到EUV技術，岩本俊德的臉色瞬間陰沉下來，像是被揭開了陳年傷疤。
他靠在椅背上，自嘲地笑了笑。
「EUV啊，那是個燒錢的無底洞。九十年代末，英特爾牽頭成立了EUV-LLC聯盟，集合了摩托羅拉、AMD這些花旗國巨頭。當時佳能主動請纓，想加入技術研發。結果呢？」
岩本俊德攤開手，語氣里透著一股子怨氣。
「花旗國政府以國家安全為由，把我們擋在大門外。最後反倒是阿斯麥這個歐羅巴公司撿了便宜，拿到了全套技術授權。聽說他們的原型機已經快搗鼓出來了。」
森田弘一對此卻嗤之以鼻。
「那台原型機我也略知一二。說它是光刻機，不如說是個昂貴的實驗室擺件。」
「EUV的波長對任何物質都是災難，哪怕是空氣都會吸收能量。光源效率低得令人髮指，曝光一片晶圓的時間居然要按『天』來計算。」
他越說越激動，甚至帶上了一點技術專家的傲慢。
「還有掩模版的問題，EUV會放大任何微小的瑕疵。一顆灰塵就能毀掉整個晶圓的良率。」
「在我看來，這些工程難題十年內都無解。」
「與其賭一個虛無縹緲的未來，不如繼續深耕DUV光源。只要把數值孔徑和多重曝光做到極致，十納米製程也不是沒有可能。」
岩本俊德深以為然。
EUV系統太複雜了，真空環境、反射鏡組、高功率雷射，每一個環節都是在挑戰物理極限。
短期內，它不具備商業化的價值。
馬宇騰看著這兩位侃侃而談，心裡卻有些明悟。
他終於明白，為什麼在前世的記憶里，尼康和佳能最終會在高端光刻機市場徹底消失。
他們太迷信自己在光學領域的積累，試圖用戰術上的精進，去對抗戰略上的代差。
他們引以為傲的精密機械和鏡頭組，在EUV這種降維打擊面前，將毫無還手之力。
更關鍵的是，馬宇騰還想到了這背後的地緣邏輯。
這些腳盤國廠商雖然技術底蘊深厚，但終究繞不開花旗國那個『大爹』。
一旦未來博弈升級，接到花旗國命令的尼康和佳能，這兩家公司恐怕會比ASML更早對東大企業進行斷供。
靠人不如靠己。
馬宇騰在筆記本上隨手劃了一道槓。
目前的戰略時機十分關鍵，東大與花旗國的關係尚處在蜜月期的餘溫中。
他可以利用腳盤國廠商對阿斯麥的危機感，誘導他們進入浸沒式賽場。
只要尼康和佳能入局，光刻機市場短期內就不再是阿斯麥一家獨大。
這種制衡，能為國內光刻機技術的自主研發爭取到最寶貴的時間窗口。
「既然兩位對EUV有保留意見，那我們還是回到務實的層面。」
馬宇騰站起身，結束了這次會談。
「期待尼康和佳能的評估結果。希望下次見面，我們談的是關於浸沒式光刻機的採購訂單。」
送走腳盤國代表團後，張如晶拉住馬宇騰，眉頭緊鎖。
「馬總，你真覺得他們能指望得上？」
馬宇騰看著窗外魔都繁華的街景，目光深邃。
「張老，他們只是我們手裡的盾，用來擋住阿斯麥的刀。至於我們自己的劍，還得靠我們自己磨。」
張如晶收回投向窗外的視線，落在馬宇騰身上。
「馬總打算什麼時候回鵬城？」
馬宇騰合上筆記本，動作乾脆地塞進公事包。
「來都來了，總得看看這邊的半導體設備產業。」
他活動了一下肩膀，「鵬城那邊底子太薄，想找個像樣的配套企業都難，真正成氣候的，還得是魔都。」
張如晶聽了，難得地笑出聲。
「馬總這趟算是找對人了。」
他端起茶杯，慢悠悠地呷了一口，「東芯國際在這邊紮根這麼多年，跟那些搞設備的打過的交道，比我喝的茶都多。」
「這樣，明天我親自帶路，咱們先去張江那邊轉轉。」
「那就有勞張老了。」馬宇騰點頭應下。
第二天一早，一輛黑色的商務車悄無聲息地滑到張江高科技園區一棟不起眼的建築前。
門口的牌子簡單直接：魔都微電子裝備有限公司。
張如晶指著那棟樓，向馬宇騰介紹。
「這家公司零二年三月成立，由科技部和魔都府上聯合牽的頭，算是咱們國內唯一一家，敢說要衝擊高端光刻機整機研製能力的企業。」
車門打開，一個穿著夾克的中年男人早已等在門口，正是魔都微電子的負責人，賀天成。