第425章 90納米製程的突破
這天，馬宇騰的轎車駛入龍崗區雷霆晶片工廠，直抵辦公樓前。
此前，晶片公司總經理肖光楠在電話中告知，90納米製程已取得突破，他特意趕來親眼看看成果。
轎車停穩，馬宇騰推門下車。
肖光楠早已等在門口，見他出現，立刻迎上前去，臉上帶著難以掩飾的興奮。
「馬總，歡迎您來雷霆晶片指導工作。」肖光楠說。
「走吧，帶我去看看你們的成果。」
馬宇騰言語簡潔，目光直接投向生產區方向。
前往生產區域的路上，肖光楠邊走邊匯報：
「馬總，上次向您報告90納米製程試產有突破。這幾周，我們持續調試和優化，現在已成功跑通整個工藝流程。儘管良品率還有提升空間，但技術路徑已得到充分驗證。」
他語氣中透著一股自豪，這是團隊夜以繼日攻關的結晶。
兩人抵達潔淨室入口，按規定換上無塵服，戴好口罩與手套。
經過風淋室的嚴格淨化，才得以進入生產腹地。
潔淨室內，巨大的設備陣列排布，機械臂在各自軌道上精確運行，發出輕微的機械聲。
空氣中，一種微弱而奇特的氣味，那是高科技與精密製造混合出的專屬氣息。
肖光楠引領在前，指著一台核心設備介紹：
「馬總，這就是我們90納米製程的實驗線。目前，所有關鍵設備均已就位，並完成了初步集成與校準。」
馬宇騰的目光落在那台龐大的機器上，它被嚴密的防護罩包裹，占據了潔淨室的核心位置。
「這是浸沒式光刻機？」馬宇騰的聲音透過口罩，略顯低沉。
他想起數月前，與張如晶商談時的情景。
「是的。」肖光楠回應。
「它採用193納米波長的深紫外線光源，通過在鏡頭與晶圓間填充純水，有效提升了數值孔徑，從而實現更小的曝光尺寸。」
他指向機器側面的顯示屏，「您看，這是光刻機的工作狀態參數。我們正在進行曝光測試。」
顯示屏上，數據流轉，光束路徑、曝光強度、晶圓定位精度，各項技術指標躍然眼前。
「這台機器的精度，遠超我們此前使用的乾式光刻機。」
肖光楠繼續說。
「它的解析度能達到90納米甚至更低。這是我們實現90納米製程突破的關鍵。」
馬宇騰走到一台運行中的設備旁，一個機械臂正將一片晶圓送入設備內部。
晶圓表面，在強光下泛著微光。
「整個工藝流程，從晶圓清洗、塗膠、曝光、顯影、刻蝕，再到離子注入和金屬化，我們都進行了大量的優化和驗證。」
肖光楠說，「當前，良品率是最大挑戰。實驗階段波動較大，但我們相信，隨著工藝的進一步成熟和參數的精細調整，很快就能達到穩定量產的要求。」
馬宇騰轉頭看肖光楠，眼神中帶著考量。
「現在技術路徑已全部跑通？」
「是的。」肖光楠肯定地回答。
「浸沒式光刻是當前半導體先進位程的唯一道路。台積電已用事實證明了這點。我們的技術團隊，包括從東芯國際交流過的工程師，都認為這個方向正確無誤。」
馬宇騰輕點一下頭。
他走到一台檢測設備前，屏幕上顯示著晶圓表面的微觀結構圖，密密麻麻的電路圖案，如同精密的迷宮。
「這些是初步測試結果。您能看到，90納米的線寬已清晰可見。」
肖光楠指向屏幕，「儘管有些區域仍存在缺陷，但大部分結構都符合設計要求。」
馬宇騰凝視屏幕，他明白，每個微小結構都凝聚著無數工程師的心血。
「良品率提升，預計需要多久？」馬宇騰問。
「根據經驗，至少還需要三到六個月。」肖光楠回答。
「這需要大量實驗，持續調整工藝參數，優化設備性能。尤其在刻蝕和清洗環節，對良率影響最大。」
馬宇騰沒有立即回應，他在腦海中快速梳理著下一步的計劃。
三到六個月，這個時間不可或缺。
他深知，技術突破初期，良品率是最大的攔路虎，也是最考驗耐心的環節。
「肖總，你們與東芯國際的合作，效果如何？」
馬宇騰問，他心知肚明當初派團隊「偷師」的目的。
肖光楠臉上浮現出由衷的敬佩。
「非常成功。東芯國際在130納米製程的量產經驗，給了我們極大幫助。他們的工程師團隊，在工藝整合和設備調試方面，確實有獨到之處。」
肖光楠說，「我們的工程師團隊，也從中學到了很多。特別是對成熟製程的理解和把控，提升了一個台階。」
肖光楠稍作停頓，眼神變得更加堅定。
「馬總，我有個提議。」
「既然我們與東芯國際的合作如此順利，也嘗到了合作的甜頭。等我們90納米製程良品率穩定後，可以繼續深化合作，往65納米製程方向推進。兩家公司聯合攻關，能大大縮短研發周期，降低研發成本。」
馬宇騰的嘴角微微上揚，這正是他樂見其成的局面。
「你的想法，與我不謀而合。」
「既然90納米製程的技術路徑已驗證可行，那麼下一步，確實應考慮65納米。」
他話鋒一轉，語氣變得沉重起來。
「但是，光刻機的問題，仍是擺在我們面前的一道坎。」
肖光楠的臉上也泛起一絲憂慮。
「是的，馬總。這也是我們團隊一直在思考的問題。」
「當前全球能提供浸沒式光刻機的，只有阿斯麥一家。他們的定價權和供應優先級，都掌握在自己手裡。這對我們來說，是巨大的風險。」
馬宇騰環顧潔淨室里忙碌的工程師們。
他們臉上的專注，是對技術最純粹的熱情。
他知道，這些人是雷霆晶片最寶貴的財富，也是他敢於挑戰巨頭的底氣。
「先將90納米的良品率提上來。」
馬宇騰果斷地說。
「同時，針對65納米的預研工作，也要同步啟動。至於光刻機的問題，我會想辦法解決。」
此前，晶片公司總經理肖光楠在電話中告知，90納米製程已取得突破，他特意趕來親眼看看成果。
轎車停穩，馬宇騰推門下車。
肖光楠早已等在門口，見他出現，立刻迎上前去，臉上帶著難以掩飾的興奮。
「馬總，歡迎您來雷霆晶片指導工作。」肖光楠說。
「走吧，帶我去看看你們的成果。」
馬宇騰言語簡潔，目光直接投向生產區方向。
前往生產區域的路上，肖光楠邊走邊匯報：
「馬總，上次向您報告90納米製程試產有突破。這幾周，我們持續調試和優化，現在已成功跑通整個工藝流程。儘管良品率還有提升空間，但技術路徑已得到充分驗證。」
他語氣中透著一股自豪，這是團隊夜以繼日攻關的結晶。
兩人抵達潔淨室入口，按規定換上無塵服，戴好口罩與手套。
經過風淋室的嚴格淨化，才得以進入生產腹地。
潔淨室內，巨大的設備陣列排布，機械臂在各自軌道上精確運行，發出輕微的機械聲。
空氣中，一種微弱而奇特的氣味，那是高科技與精密製造混合出的專屬氣息。
肖光楠引領在前，指著一台核心設備介紹：
「馬總，這就是我們90納米製程的實驗線。目前，所有關鍵設備均已就位，並完成了初步集成與校準。」
馬宇騰的目光落在那台龐大的機器上，它被嚴密的防護罩包裹，占據了潔淨室的核心位置。
「這是浸沒式光刻機？」馬宇騰的聲音透過口罩，略顯低沉。
他想起數月前，與張如晶商談時的情景。
「是的。」肖光楠回應。
「它採用193納米波長的深紫外線光源，通過在鏡頭與晶圓間填充純水，有效提升了數值孔徑，從而實現更小的曝光尺寸。」
他指向機器側面的顯示屏，「您看，這是光刻機的工作狀態參數。我們正在進行曝光測試。」
顯示屏上，數據流轉，光束路徑、曝光強度、晶圓定位精度，各項技術指標躍然眼前。
「這台機器的精度，遠超我們此前使用的乾式光刻機。」
肖光楠繼續說。
「它的解析度能達到90納米甚至更低。這是我們實現90納米製程突破的關鍵。」
馬宇騰走到一台運行中的設備旁，一個機械臂正將一片晶圓送入設備內部。
晶圓表面，在強光下泛著微光。
「整個工藝流程，從晶圓清洗、塗膠、曝光、顯影、刻蝕，再到離子注入和金屬化，我們都進行了大量的優化和驗證。」
肖光楠說，「當前，良品率是最大挑戰。實驗階段波動較大，但我們相信，隨著工藝的進一步成熟和參數的精細調整，很快就能達到穩定量產的要求。」
馬宇騰轉頭看肖光楠，眼神中帶著考量。
「現在技術路徑已全部跑通？」
「是的。」肖光楠肯定地回答。
「浸沒式光刻是當前半導體先進位程的唯一道路。台積電已用事實證明了這點。我們的技術團隊，包括從東芯國際交流過的工程師，都認為這個方向正確無誤。」
馬宇騰輕點一下頭。
他走到一台檢測設備前，屏幕上顯示著晶圓表面的微觀結構圖，密密麻麻的電路圖案，如同精密的迷宮。
「這些是初步測試結果。您能看到，90納米的線寬已清晰可見。」
肖光楠指向屏幕，「儘管有些區域仍存在缺陷，但大部分結構都符合設計要求。」
馬宇騰凝視屏幕，他明白，每個微小結構都凝聚著無數工程師的心血。
「良品率提升，預計需要多久？」馬宇騰問。
「根據經驗，至少還需要三到六個月。」肖光楠回答。
「這需要大量實驗，持續調整工藝參數，優化設備性能。尤其在刻蝕和清洗環節，對良率影響最大。」
馬宇騰沒有立即回應，他在腦海中快速梳理著下一步的計劃。
三到六個月，這個時間不可或缺。
他深知，技術突破初期，良品率是最大的攔路虎，也是最考驗耐心的環節。
「肖總，你們與東芯國際的合作，效果如何？」
馬宇騰問，他心知肚明當初派團隊「偷師」的目的。
肖光楠臉上浮現出由衷的敬佩。
「非常成功。東芯國際在130納米製程的量產經驗，給了我們極大幫助。他們的工程師團隊，在工藝整合和設備調試方面，確實有獨到之處。」
肖光楠說，「我們的工程師團隊，也從中學到了很多。特別是對成熟製程的理解和把控，提升了一個台階。」
肖光楠稍作停頓，眼神變得更加堅定。
「馬總，我有個提議。」
「既然我們與東芯國際的合作如此順利，也嘗到了合作的甜頭。等我們90納米製程良品率穩定後，可以繼續深化合作，往65納米製程方向推進。兩家公司聯合攻關，能大大縮短研發周期，降低研發成本。」
馬宇騰的嘴角微微上揚，這正是他樂見其成的局面。
「你的想法，與我不謀而合。」
「既然90納米製程的技術路徑已驗證可行，那麼下一步，確實應考慮65納米。」
他話鋒一轉，語氣變得沉重起來。
「但是，光刻機的問題，仍是擺在我們面前的一道坎。」
肖光楠的臉上也泛起一絲憂慮。
「是的，馬總。這也是我們團隊一直在思考的問題。」
「當前全球能提供浸沒式光刻機的，只有阿斯麥一家。他們的定價權和供應優先級，都掌握在自己手裡。這對我們來說，是巨大的風險。」
馬宇騰環顧潔淨室里忙碌的工程師們。
他們臉上的專注，是對技術最純粹的熱情。
他知道，這些人是雷霆晶片最寶貴的財富，也是他敢於挑戰巨頭的底氣。
「先將90納米的良品率提上來。」
馬宇騰果斷地說。
「同時，針對65納米的預研工作，也要同步啟動。至於光刻機的問題，我會想辦法解決。」