第584章 美國人惹上這家人，真是倒了八輩子的血霉
一九九七年，十一月。上海，浦東。
秋雨連綿，打在「002所」灰色的外牆上，留下一道道深色的水痕。這棟不起眼的小樓，對外掛著「和記精密儀器維修中心」的牌子。
但如果有人能通過那是三道生物指紋鎖和一道視網膜掃描門，就會發現裡面的空氣不僅乾燥，而且充滿了令人窒息的絕望。
地下二層，超淨實驗室。
「不行！還是不行！」
一聲暴躁的怒吼打破了只有風機嗡鳴聲的死寂。
一位頭髮花白的老專家狠狠地把手中的測試報告摔在桌子上。他是光學的泰斗，平日裡溫文爾雅，此刻卻像是一頭被困在籠子裡的老獅子。
「193納米波長的氟化氬雷射，物理極限就是擺在那裡的！」
老專家指著顯微鏡下的晶圓，手指都在顫抖，「無論我們怎麼調整透鏡的數值孔徑（NA），無論我們怎麼優化光刻膠，到了130納米這個節點，光線就像是散了架的麵條，根本刻不出清晰的電路！」
這就是「衍射極限」。
它是物理學設下的一道嘆息之牆。
倪光南坐在一堆廢棄的圖紙中間，雙眼布滿血絲。
他手裡緊緊攥著那塊從ASML二手機器上拆下來的透鏡組。
「老王，再試一次……」倪光南的聲音沙啞，透著一股不肯認輸的倔強。
「試什麼？試多少次都是一樣的！」老專家摘下眼鏡，痛苦地捂住臉，「倪工，我們必須承認差距。西方人搞了幾十年才摸到的門檻，我們想靠這幾個人、幾條槍，三年就衝過去？這是違背科學規律的！」
實驗室里，幾十名年輕的研究員垂著頭，氣氛壓抑得讓人想哭。
他們不缺錢，陳念給的預算甚至多到花不完。
他們也不缺人，全國最好的光學、電子、機械專家都在這裡。
他們缺的是一條路。
一條能繞過物理法則，通往未來的路。
「要不……」有人小聲嘀咕，「咱們就按那個WTO協議，先做做低端？180納米其實也夠VCD用了……」
「放屁！」倪光南猛地抬頭，眼神兇狠，「那是跪著要飯！咱們這代人跪了，以後孫子輩都站不起來！」
就在這時，氣密門「嗤」的一聲打開了。
陳山和陳念走了進來。
陳山穿著一件普通的夾克，手裡依然盤著那對紅得發紫的核桃。
他看了一眼滿地的廢紙，又看了看一臉頹喪的眾人，臉上沒有絲毫怒意，反而笑呵呵地走到飲水機旁。
「怎麼？被鬼打牆攔住了？」陳山接了一杯水，輕輕晃了晃。
「陳先生，這不是鬼打牆，這是瑞利判據。」倪光南站起身，苦笑道，「我們在空氣中進行光刻，空氣的折射率是1。按照公式，我們已經被鎖死在193納米這個光源上了。要想更進一步，除非能造出波長更短的雷射器，比如157納米的氟氣雷射。但那個技術……哪怕是美國人，現在也還在實驗室里摸索。」
「那就別用空氣嘛。」陳山喝了一口水，語氣輕鬆得像是在討論晚飯吃什麼。
倪光南愣了一下：「不用空氣？那用什麼？真空？」
「真空也不行，真空沒有介質，折射率還是1。」旁邊的老專家嘆了口氣，「陳先生，您是搞戰略的，技術上的事……」
「我是不懂技術。」陳山走到實驗台前，把那個裝滿水的紙杯放在了昂貴的光刻機鏡頭模型旁邊。
他指了指杯子裡的水。
陳山轉過頭，看著倪光南，「老倪，水的折射率是多少？」
倪光南下意識地回答：「純水的折射率是1.44。」
話音剛落，倪光南的身體猛地僵住了。
就像是一道閃電，瞬間劈開了他混沌的大腦。
1.44。
公式：解析度 = k1 * λ / NA。
如果介質的折射率從空氣的1變成了水的1.44……
等效波長 = 193nm / 1.44 ≈ 134nm！
不需要研發新的光源！不需要等待那個遙不可及的157納米雷射！只要在鏡頭和矽片之間加一層水，現有的設備就能直接突破物理極限！
「水……」倪光南喃喃自語，瞳孔劇烈收縮，「在鏡頭和晶圓之間……加水？」
「瘋了！這簡直是瘋了！」旁邊的老專家驚叫起來，「電子設備最怕水！而且水會產生氣泡，會污染光刻膠，高速運動下水的張力怎麼解決？這在工程學上是自殺！」
「工程學的問題，只要肯砸錢，總能解決。」陳念站在一旁，淡淡地補了一刀，「但物理學的問題，砸錢也解決不了。」
陳念從公文包里拿出一份文件，那是陳山根據後世記憶整理的《關於浸沒式光刻系統的可行性猜想》。
「爸說得對。」陳念把文件遞給倪光南，「為什麼非要死磕空氣？」
倪光南顫抖著手接過文件，只看了第一頁的示意圖，呼吸就變得急促起來。
那是一個極其大膽、卻又在理論上完美閉環的設計。
利用水的折射率，將193納米的光源「欺騙」成134納米。這不僅僅是技術的突破，這是思維維度的降維打擊！
「快！快！」倪光南突然像個瘋子一樣大吼起來，把手裡的圖紙撕得粉碎，「把那台ASML的廢機器抬過來！拆掉工件台！給我準備去離子水！我們要改裝！」
「倪工，這可是價值千萬的設備……」
「拆！出了事我負責！」倪光南一把推開阻攔的研究員。
……
凌晨四點。
實驗室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻機，此刻被改得面目全非。核心曝光區域被加上了一個簡陋的、甚至是用玻璃膠密封的注水槽。
「注水完畢。無氣泡。」
「液面穩定。」
「光源預熱完成。」
所有人的心都提到了嗓子眼。
陳山依然坐在角落裡，手裡盤著核桃，神色平靜。陳念則站在倪光南身後，目光緊鎖著監視器。
「曝光。」倪光南按下了紅色的按鈕。
「滋——」
看不見的紫外雷射穿過透鏡，穿過那層清澈的去離子水，最終轟擊在塗滿光刻膠的矽片上。
幾秒鐘後。
顯微鏡的圖像被投射到了大屏幕上。
死寂。
又是死寂。
緊接著，是一聲壓抑不住的抽泣。
屏幕上，那些原本在乾式光刻下模糊不清、粘連在一起的線條，此刻變得根根分明，銳利如刀。
那是90納米級別的線條。
那是全世界都在夢寐以求、卻始終無法觸及的精度。
「成了……」剛才那個反對最激烈的老專家，此刻跪在地上，捧著臉痛哭流涕，「真的成了……竟然真的成了……」
實驗室里爆發出了雷鳴般的歡呼聲。有人把帽子扔上了天，有人抱在一起跳，倪光南靠在實驗台上，摘下眼鏡，擦去了眼角的淚水。
這一刻，他們跨越了整整兩代技術鴻溝。
當西方還在為157納米光源焦頭爛額時，中國已經拿到了通往45納米、甚至28納米製程的鑰匙。
「安靜。」
陳念的聲音帶著一股冷意，瞬間讓沸騰的實驗室冷卻下來。
他走到實驗台前，看著那張代表著世界最高水平的顯微照片。
「把照片銷毀。」陳念冷冷地說道。
「什麼？」倪光南愣住了，「陳總，這是重大突破！這是我們要向國家……」
「我說了，銷毀。」陳念轉過身，目光掃過在場的每一個人，「這項技術，列為絕密。除了這間屋子裡的人，誰也不准透露半個字。」
「為什麼？」年輕的研究員不解，「我們有了這個，就不怕美國人的封鎖了啊！」
「因為我們要的不僅僅是技術，我們還要產業鏈。」陳念拿起那張照片，用打火機點燃。
火苗跳動，映照著他那張年輕卻深沉的臉。
「如果我們現在公布，ASML和尼康會立刻跟進。以他們的工業底子，半年就能造出商用機。到時候，我們依然是被卡脖子的命。」
陳念看著化為灰燼的照片，嘴角勾起一抹狡黠的弧度。
「我們要讓他們覺得我們失敗了。我們要讓他們覺得，中國人確實像巴爾舍夫斯基說的那樣，只能造襯衫。」
陳念看向倪光南：「倪老，明天寫一份報告。就說實驗徹底失敗，193納米無法突破。我們需要向ASML購買更多的『報廢』零件來維持低端研究。」
「我們要像一隻貪婪的、卻又無能的饕餮，把他們倉庫里積壓的那些鏡頭、光源、甚至是即將淘汰的生產線，全部吃進來。」
「等我們用這些『廢鐵』組裝出一百台浸沒式光刻機，等我們的晶片鋪滿全世界的時候……」
陳山站起身，笑著接過了話茬：「到時候，再告訴他們。」
倪光南看著這對父子。
一個老謀深算，一個步步為營。
他突然覺得，美國人惹上這家人，真是倒了八輩子的血霉。
秋雨連綿，打在「002所」灰色的外牆上，留下一道道深色的水痕。這棟不起眼的小樓，對外掛著「和記精密儀器維修中心」的牌子。
但如果有人能通過那是三道生物指紋鎖和一道視網膜掃描門，就會發現裡面的空氣不僅乾燥，而且充滿了令人窒息的絕望。
地下二層，超淨實驗室。
「不行！還是不行！」
一聲暴躁的怒吼打破了只有風機嗡鳴聲的死寂。
一位頭髮花白的老專家狠狠地把手中的測試報告摔在桌子上。他是光學的泰斗，平日裡溫文爾雅，此刻卻像是一頭被困在籠子裡的老獅子。
「193納米波長的氟化氬雷射，物理極限就是擺在那裡的！」
老專家指著顯微鏡下的晶圓，手指都在顫抖，「無論我們怎麼調整透鏡的數值孔徑（NA），無論我們怎麼優化光刻膠，到了130納米這個節點，光線就像是散了架的麵條，根本刻不出清晰的電路！」
這就是「衍射極限」。
它是物理學設下的一道嘆息之牆。
倪光南坐在一堆廢棄的圖紙中間，雙眼布滿血絲。
他手裡緊緊攥著那塊從ASML二手機器上拆下來的透鏡組。
「老王，再試一次……」倪光南的聲音沙啞，透著一股不肯認輸的倔強。
「試什麼？試多少次都是一樣的！」老專家摘下眼鏡，痛苦地捂住臉，「倪工，我們必須承認差距。西方人搞了幾十年才摸到的門檻，我們想靠這幾個人、幾條槍，三年就衝過去？這是違背科學規律的！」
實驗室里，幾十名年輕的研究員垂著頭，氣氛壓抑得讓人想哭。
他們不缺錢，陳念給的預算甚至多到花不完。
他們也不缺人，全國最好的光學、電子、機械專家都在這裡。
他們缺的是一條路。
一條能繞過物理法則，通往未來的路。
「要不……」有人小聲嘀咕，「咱們就按那個WTO協議，先做做低端？180納米其實也夠VCD用了……」
「放屁！」倪光南猛地抬頭，眼神兇狠，「那是跪著要飯！咱們這代人跪了，以後孫子輩都站不起來！」
就在這時，氣密門「嗤」的一聲打開了。
陳山和陳念走了進來。
陳山穿著一件普通的夾克，手裡依然盤著那對紅得發紫的核桃。
他看了一眼滿地的廢紙，又看了看一臉頹喪的眾人，臉上沒有絲毫怒意，反而笑呵呵地走到飲水機旁。
「怎麼？被鬼打牆攔住了？」陳山接了一杯水，輕輕晃了晃。
「陳先生，這不是鬼打牆，這是瑞利判據。」倪光南站起身，苦笑道，「我們在空氣中進行光刻，空氣的折射率是1。按照公式，我們已經被鎖死在193納米這個光源上了。要想更進一步，除非能造出波長更短的雷射器，比如157納米的氟氣雷射。但那個技術……哪怕是美國人，現在也還在實驗室里摸索。」
「那就別用空氣嘛。」陳山喝了一口水，語氣輕鬆得像是在討論晚飯吃什麼。
倪光南愣了一下：「不用空氣？那用什麼？真空？」
「真空也不行，真空沒有介質，折射率還是1。」旁邊的老專家嘆了口氣，「陳先生，您是搞戰略的，技術上的事……」
「我是不懂技術。」陳山走到實驗台前，把那個裝滿水的紙杯放在了昂貴的光刻機鏡頭模型旁邊。
他指了指杯子裡的水。
陳山轉過頭，看著倪光南，「老倪，水的折射率是多少？」
倪光南下意識地回答：「純水的折射率是1.44。」
話音剛落，倪光南的身體猛地僵住了。
就像是一道閃電，瞬間劈開了他混沌的大腦。
1.44。
公式：解析度 = k1 * λ / NA。
如果介質的折射率從空氣的1變成了水的1.44……
等效波長 = 193nm / 1.44 ≈ 134nm！
不需要研發新的光源！不需要等待那個遙不可及的157納米雷射！只要在鏡頭和矽片之間加一層水，現有的設備就能直接突破物理極限！
「水……」倪光南喃喃自語，瞳孔劇烈收縮，「在鏡頭和晶圓之間……加水？」
「瘋了！這簡直是瘋了！」旁邊的老專家驚叫起來，「電子設備最怕水！而且水會產生氣泡，會污染光刻膠，高速運動下水的張力怎麼解決？這在工程學上是自殺！」
「工程學的問題，只要肯砸錢，總能解決。」陳念站在一旁，淡淡地補了一刀，「但物理學的問題，砸錢也解決不了。」
陳念從公文包里拿出一份文件，那是陳山根據後世記憶整理的《關於浸沒式光刻系統的可行性猜想》。
「爸說得對。」陳念把文件遞給倪光南，「為什麼非要死磕空氣？」
倪光南顫抖著手接過文件，只看了第一頁的示意圖，呼吸就變得急促起來。
那是一個極其大膽、卻又在理論上完美閉環的設計。
利用水的折射率，將193納米的光源「欺騙」成134納米。這不僅僅是技術的突破，這是思維維度的降維打擊！
「快！快！」倪光南突然像個瘋子一樣大吼起來，把手裡的圖紙撕得粉碎，「把那台ASML的廢機器抬過來！拆掉工件台！給我準備去離子水！我們要改裝！」
「倪工，這可是價值千萬的設備……」
「拆！出了事我負責！」倪光南一把推開阻攔的研究員。
……
凌晨四點。
實驗室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻機，此刻被改得面目全非。核心曝光區域被加上了一個簡陋的、甚至是用玻璃膠密封的注水槽。
「注水完畢。無氣泡。」
「液面穩定。」
「光源預熱完成。」
所有人的心都提到了嗓子眼。
陳山依然坐在角落裡，手裡盤著核桃，神色平靜。陳念則站在倪光南身後，目光緊鎖著監視器。
「曝光。」倪光南按下了紅色的按鈕。
「滋——」
看不見的紫外雷射穿過透鏡，穿過那層清澈的去離子水，最終轟擊在塗滿光刻膠的矽片上。
幾秒鐘後。
顯微鏡的圖像被投射到了大屏幕上。
死寂。
又是死寂。
緊接著，是一聲壓抑不住的抽泣。
屏幕上，那些原本在乾式光刻下模糊不清、粘連在一起的線條，此刻變得根根分明，銳利如刀。
那是90納米級別的線條。
那是全世界都在夢寐以求、卻始終無法觸及的精度。
「成了……」剛才那個反對最激烈的老專家，此刻跪在地上，捧著臉痛哭流涕，「真的成了……竟然真的成了……」
實驗室里爆發出了雷鳴般的歡呼聲。有人把帽子扔上了天，有人抱在一起跳，倪光南靠在實驗台上，摘下眼鏡，擦去了眼角的淚水。
這一刻，他們跨越了整整兩代技術鴻溝。
當西方還在為157納米光源焦頭爛額時，中國已經拿到了通往45納米、甚至28納米製程的鑰匙。
「安靜。」
陳念的聲音帶著一股冷意，瞬間讓沸騰的實驗室冷卻下來。
他走到實驗台前，看著那張代表著世界最高水平的顯微照片。
「把照片銷毀。」陳念冷冷地說道。
「什麼？」倪光南愣住了，「陳總，這是重大突破！這是我們要向國家……」
「我說了，銷毀。」陳念轉過身，目光掃過在場的每一個人，「這項技術，列為絕密。除了這間屋子裡的人，誰也不准透露半個字。」
「為什麼？」年輕的研究員不解，「我們有了這個，就不怕美國人的封鎖了啊！」
「因為我們要的不僅僅是技術，我們還要產業鏈。」陳念拿起那張照片，用打火機點燃。
火苗跳動，映照著他那張年輕卻深沉的臉。
「如果我們現在公布，ASML和尼康會立刻跟進。以他們的工業底子，半年就能造出商用機。到時候，我們依然是被卡脖子的命。」
陳念看著化為灰燼的照片，嘴角勾起一抹狡黠的弧度。
「我們要讓他們覺得我們失敗了。我們要讓他們覺得，中國人確實像巴爾舍夫斯基說的那樣，只能造襯衫。」
陳念看向倪光南：「倪老，明天寫一份報告。就說實驗徹底失敗，193納米無法突破。我們需要向ASML購買更多的『報廢』零件來維持低端研究。」
「我們要像一隻貪婪的、卻又無能的饕餮，把他們倉庫里積壓的那些鏡頭、光源、甚至是即將淘汰的生產線，全部吃進來。」
「等我們用這些『廢鐵』組裝出一百台浸沒式光刻機，等我們的晶片鋪滿全世界的時候……」
陳山站起身，笑著接過了話茬：「到時候，再告訴他們。」
倪光南看著這對父子。
一個老謀深算，一個步步為營。
他突然覺得，美國人惹上這家人，真是倒了八輩子的血霉。