第1364章 膜厚控制
八月三號，鵬城，實驗樓三層。
錢院士帶了十二個人，關在機房裡，三天沒出來。
手冊拆開之後，問題比想像的多。蔡司的鍍膜工藝用的是磁控濺射加離子束輔助沉積，兩套系統配合，精度要求到了亞納米級別。
錢院士的助手小周拿著列印出來的參數表，站在設備前，對了半天。
「錢老，咱們這台濺射設備，靶材轉速最高到三千轉，手冊上要求四千五。」
錢院士走過來，看了一眼參數。
「膜厚控制呢？」
小周翻到第三頁：「手冊要求單層膜厚度誤差不超過零點零二納米。咱們這台設備最好做到零點零八，差四倍。」
錢院士把參數表放下，摘了老花鏡。
設備不夠——這是硬傷。
他打給張紅旗。
「紅旗，設備精度不夠。手冊里的工藝，咱們現有的機器跑不了。」
張紅旗在煤市街：「差多少？」
「核心指標差三到四倍。要麼換設備，要麼改設備。換設備國內買不到，國外買走審批，最快半年。」
張紅旗說：「改。」
「改設備風險很大，改壞了連現在的精度都保不住。」
張紅旗說：「錢老，您先穩住。材料那邊我來解決。設備改造的方案您先出，我這邊配合。」
掛了。
八月四號，東京，住友化學株式會社。
住友的半導體材料部門收到了一份內部通報：ASML和一家開曼信託公司達成了專利交叉授權協議，鍍膜技術參數外流。
住友的材料部部長田中看完通報，叫來下屬。
「查一下，之前跟我們採購高純度鉬靶材的那個中國團隊，是不是鵬城那邊的？」
下屬查了記錄：「是。去年十一月下過一批訂單，後來因為出口管制審批卡住了，一直沒發貨。」
田中點頭：「現在ASML把技術給出去了，說明這個團隊有背景。重新聯繫他們。」
下屬問：「價格呢？」
田中說：「漲百分之五十。」
下屬沒多問，發了郵件。
八月五號，鵬城，錢院士收到住友的郵件。
他看了報價，眉頭皺了一下，打給張紅旗。
「材料供應商主動聯繫過來了——日本住友。高純度鉬靶材，去年卡住的那批貨，現在願意賣了，但是漲價百分之五十。」
張紅旗問：「原價多少？」
「一批三百二十萬美元，現在要四百八十萬。」
張紅旗沒猶豫：「買。二十四小時內發貨，到不了貨換供應商。」
錢院士說：「國內沒有替代供應商，這個純度只有住友和德國賀利氏能做。」
張紅旗說：「那就讓他們發。錢的事我來辦。」
掛了電話，張紅旗打給劉浩。
劉浩在京城，剛從北影廠出來。
「浩子，走個帳。四百八十萬美元，從香港帳戶出，打到住友化學的指定帳戶，今天之內到。」
劉浩問：「什麼錢？」
「材料費，不多問。」
劉浩說：「行，我讓陳默那邊辦。」
當天下午，陳默在香港操作。錢從瑞士帳戶轉到香港，再從香港打到東京。四個小時，到帳。
住友收到款，田中簽了發貨單。鉬靶材從橫濱港裝船，走海運，三天到鵬城。
八月八號，材料到了。
錢院士沒急著裝料。他帶著團隊蹲在濺射設備前，幹了一件事。
改機器。
小周把設備的控制電路板拆出來。錢院士拿著手冊上的參數，在白板上畫了一個補償模型。
「設備精度不夠，用軟體補。」
他讓三個博士生把實驗樓地下室的模擬集群調出來——四十台伺服器，全部接上——跑了一個補償算法。
思路很簡單：設備硬體做不到零點零二納米的精度，就在每一層鍍膜的過程中用傳感器實時採集數據，反饋到算法裡，算法即時修正下一步的沉積參數。
等於讓一個手抖的人，靠一套自動修正系統，畫出一條直線。
八月九號，凌晨兩點，補償參數跑出來了。
小周把參數灌進設備控制系統，重啟。
濺射設備嗡嗡響了起來。
錢院士站在無塵室的觀察窗外，看著裡面。
第一層鉬膜，沉積開始。
傳感器採集，數據回傳，算法修正。第二層矽膜，沉積，採集，修正。
一層鉬，一層矽，交替沉積。
EUV反射鏡面需要四十對鉬矽多層膜——八十層，每層厚度不到七納米。
八月十號，下午三點，八十層鍍完。
小周從無塵室里出來，手裡端著一塊圓形基片，直徑十五厘米，表面泛著金屬光澤。
錢院士接過來，放在檢測台上。
橢偏儀啟動，雷射打在鏡面上，反射，探測器接收。
數據出來了。
小周看著屏幕，念數：「單層膜厚度誤差，零點零三五納米。」
錢院士沒說話。
手冊要求零點零二，他們做到了零點零三五。沒達標，但比原來的零點零八好了一倍多。
「反射率呢？」
小周切換到下一組數據：「十三點五納米波長，反射率百分之六十二點三。」
錢院士看著這個數字。
手冊上蔡司的指標是百分之六十七，差了不到五個點。
但是，EUV光刻機的最低工作門檻是百分之六十。
他們過線了。
錢院士走到角落，拿起電話。
「紅旗，光打通了。」
張紅旗在煤市街的院子裡，正看著陳默送來的一份報告。
「什麼意思？」
錢院士聲音平穩：「極紫外光源，十三點五納米，穿過反射鏡面，形成了穩定光束。參數達到了EUV光刻的最低發光標準。」
張紅旗把手裡的報告放下。
「錢老，您確認？」
「儀器記錄的，白紙黑字。反射率百分之六十二點三，過了百分之六十的門檻。」
張紅旗站了起來，走到院子裡。槐樹葉子在夜風裡晃。
「這是第一步。」
錢院士說：「是第一步。後面還有光源系統、物鏡組、工件台、掩模版，每一項都是硬骨頭。但鏡面這關，算是過了。」
張紅旗說：「錢老，辛苦了。數據鎖好，不要外傳。」
「放心。」
掛了電話。
張紅旗回到書房。桌上攤著麥佳佳從洛杉磯發來的一份行業報告。
他坐下來，翻到第十四頁。
全球寬帶網絡用戶增長曲線。
二零零一年底，全球寬帶用戶五千萬；二零零二年中，八千萬；預計年底突破一點二億。
增長率，年化百分之一百四十。
張紅旗盯著這條曲線。
他翻到下一頁。中國市場，寬帶用戶從年初的三百萬半年漲到六百萬，網吧數量突破十萬家。
他合上報告，拿起筆，在筆記本上寫了一行字。
「寬帶，內容，平台。」
他劃掉了「平台」兩個字，又寫上。
「先做內容。」
錢院士帶了十二個人，關在機房裡，三天沒出來。
手冊拆開之後，問題比想像的多。蔡司的鍍膜工藝用的是磁控濺射加離子束輔助沉積，兩套系統配合，精度要求到了亞納米級別。
錢院士的助手小周拿著列印出來的參數表，站在設備前，對了半天。
「錢老，咱們這台濺射設備，靶材轉速最高到三千轉，手冊上要求四千五。」
錢院士走過來，看了一眼參數。
「膜厚控制呢？」
小周翻到第三頁：「手冊要求單層膜厚度誤差不超過零點零二納米。咱們這台設備最好做到零點零八，差四倍。」
錢院士把參數表放下，摘了老花鏡。
設備不夠——這是硬傷。
他打給張紅旗。
「紅旗，設備精度不夠。手冊里的工藝，咱們現有的機器跑不了。」
張紅旗在煤市街：「差多少？」
「核心指標差三到四倍。要麼換設備，要麼改設備。換設備國內買不到，國外買走審批，最快半年。」
張紅旗說：「改。」
「改設備風險很大，改壞了連現在的精度都保不住。」
張紅旗說：「錢老，您先穩住。材料那邊我來解決。設備改造的方案您先出，我這邊配合。」
掛了。
八月四號，東京，住友化學株式會社。
住友的半導體材料部門收到了一份內部通報：ASML和一家開曼信託公司達成了專利交叉授權協議，鍍膜技術參數外流。
住友的材料部部長田中看完通報，叫來下屬。
「查一下，之前跟我們採購高純度鉬靶材的那個中國團隊，是不是鵬城那邊的？」
下屬查了記錄：「是。去年十一月下過一批訂單，後來因為出口管制審批卡住了，一直沒發貨。」
田中點頭：「現在ASML把技術給出去了，說明這個團隊有背景。重新聯繫他們。」
下屬問：「價格呢？」
田中說：「漲百分之五十。」
下屬沒多問，發了郵件。
八月五號，鵬城，錢院士收到住友的郵件。
他看了報價，眉頭皺了一下，打給張紅旗。
「材料供應商主動聯繫過來了——日本住友。高純度鉬靶材，去年卡住的那批貨，現在願意賣了，但是漲價百分之五十。」
張紅旗問：「原價多少？」
「一批三百二十萬美元，現在要四百八十萬。」
張紅旗沒猶豫：「買。二十四小時內發貨，到不了貨換供應商。」
錢院士說：「國內沒有替代供應商，這個純度只有住友和德國賀利氏能做。」
張紅旗說：「那就讓他們發。錢的事我來辦。」
掛了電話，張紅旗打給劉浩。
劉浩在京城，剛從北影廠出來。
「浩子，走個帳。四百八十萬美元，從香港帳戶出，打到住友化學的指定帳戶，今天之內到。」
劉浩問：「什麼錢？」
「材料費，不多問。」
劉浩說：「行，我讓陳默那邊辦。」
當天下午，陳默在香港操作。錢從瑞士帳戶轉到香港，再從香港打到東京。四個小時，到帳。
住友收到款，田中簽了發貨單。鉬靶材從橫濱港裝船，走海運，三天到鵬城。
八月八號，材料到了。
錢院士沒急著裝料。他帶著團隊蹲在濺射設備前，幹了一件事。
改機器。
小周把設備的控制電路板拆出來。錢院士拿著手冊上的參數，在白板上畫了一個補償模型。
「設備精度不夠，用軟體補。」
他讓三個博士生把實驗樓地下室的模擬集群調出來——四十台伺服器，全部接上——跑了一個補償算法。
思路很簡單：設備硬體做不到零點零二納米的精度，就在每一層鍍膜的過程中用傳感器實時採集數據，反饋到算法裡，算法即時修正下一步的沉積參數。
等於讓一個手抖的人，靠一套自動修正系統，畫出一條直線。
八月九號，凌晨兩點，補償參數跑出來了。
小周把參數灌進設備控制系統，重啟。
濺射設備嗡嗡響了起來。
錢院士站在無塵室的觀察窗外，看著裡面。
第一層鉬膜，沉積開始。
傳感器採集，數據回傳，算法修正。第二層矽膜，沉積，採集，修正。
一層鉬，一層矽，交替沉積。
EUV反射鏡面需要四十對鉬矽多層膜——八十層，每層厚度不到七納米。
八月十號，下午三點，八十層鍍完。
小周從無塵室里出來，手裡端著一塊圓形基片，直徑十五厘米，表面泛著金屬光澤。
錢院士接過來，放在檢測台上。
橢偏儀啟動，雷射打在鏡面上，反射，探測器接收。
數據出來了。
小周看著屏幕，念數：「單層膜厚度誤差，零點零三五納米。」
錢院士沒說話。
手冊要求零點零二，他們做到了零點零三五。沒達標，但比原來的零點零八好了一倍多。
「反射率呢？」
小周切換到下一組數據：「十三點五納米波長，反射率百分之六十二點三。」
錢院士看著這個數字。
手冊上蔡司的指標是百分之六十七，差了不到五個點。
但是，EUV光刻機的最低工作門檻是百分之六十。
他們過線了。
錢院士走到角落，拿起電話。
「紅旗，光打通了。」
張紅旗在煤市街的院子裡，正看著陳默送來的一份報告。
「什麼意思？」
錢院士聲音平穩：「極紫外光源，十三點五納米，穿過反射鏡面，形成了穩定光束。參數達到了EUV光刻的最低發光標準。」
張紅旗把手裡的報告放下。
「錢老，您確認？」
「儀器記錄的，白紙黑字。反射率百分之六十二點三，過了百分之六十的門檻。」
張紅旗站了起來，走到院子裡。槐樹葉子在夜風裡晃。
「這是第一步。」
錢院士說：「是第一步。後面還有光源系統、物鏡組、工件台、掩模版，每一項都是硬骨頭。但鏡面這關，算是過了。」
張紅旗說：「錢老，辛苦了。數據鎖好，不要外傳。」
「放心。」
掛了電話。
張紅旗回到書房。桌上攤著麥佳佳從洛杉磯發來的一份行業報告。
他坐下來，翻到第十四頁。
全球寬帶網絡用戶增長曲線。
二零零一年底，全球寬帶用戶五千萬；二零零二年中，八千萬；預計年底突破一點二億。
增長率，年化百分之一百四十。
張紅旗盯著這條曲線。
他翻到下一頁。中國市場，寬帶用戶從年初的三百萬半年漲到六百萬，網吧數量突破十萬家。
他合上報告，拿起筆，在筆記本上寫了一行字。
「寬帶，內容，平台。」
他劃掉了「平台」兩個字，又寫上。
「先做內容。」