第1608章 這位常院士未免太過激進了
第1608章 這位常院士未免太過激進了
三天後，火炬實驗室，地下測試中心。
常浩南剛踏進大門，就看見栗亞波正指揮著幾名工程師，在中央區域緊張地搭建著一個結構複雜的光學平台。
空氣中瀰漫著全新設備特有的正己烷氣味，一系列精密元件在燈光下下反射著冷冽的光澤。
「老師，您回來了！」栗亞波抬頭看見常浩南，立刻停下手中的活計迎了上來。
雙眼有神，明顯精神頭不錯——
制定實驗方案還有設備搭建都屬於慢工出細活，犯不上每天熬夜加班。
「大部分解析度測試需要的硬體都到了，氣浮隔振台、高精度位移台、光束整形器、旋轉毛玻璃、ND濾光片……」
還沒等常浩南主動開口詢問進度，他就指著平台上一件件昂貴的設備快速匯報：
「還有那個USAF 1951解析度靶標，11組3元素規格的，這東西雖然是標準件但用的人太少找不著現貨，還是加急空運到的……」
「現在正在調試光束準直和均勻性，預計還需要兩天時間才能完全準備好……」
「……」
一個星期的工作，足足十來分鐘才介紹完。
設備到位，只是準備工作的開始，而不是結束。
「辛苦了。」常浩南的目光掃過正在搭建的平台，微微頷首，「解析度測試不急這一兩天，按計劃穩步推進就好，確保系統穩定可靠。」
隨後，他話鋒一轉，語氣變得更為明確：
「不過，你現在需要優先準備另一次性能展示，明天上午，會有兩位非常重要的合作者到訪。」
栗亞波立刻領會：「還是用那個『雙負折射平板透鏡』做基礎演示？」
「對。」常浩南點頭，「來的都是內行，看一眼光路就能知道怎麼回事。」
「明白！」栗亞波神情一肅，「我馬上重新檢查一遍演示系統，保證不出紕漏。」
他知道，能讓老師如此重視，那這「合作者」的身份和分量都必定非同小可。
……
翌日清晨，火炬實驗室主樓。
常浩南親自來到門口迎接。
一輛中巴車的側門打開，吳明翰院士率先下車。
緊隨其後的是一位身材不高、但眼神銳利的中年人。
還親自提著一個看起來相當沉重、帶有物理鎖的黑色合金手提箱。
「常院士！」吳明翰快走兩步，熱情地與常浩南握手。
隨即側身介紹：「這位就是長光集團的張汝寧張研究員，ArF系列光刻機物鏡系統的研發負責人。」
「張研究員，歡迎！」常浩南伸出手，「久仰大名，我是常浩南。」
張汝寧把手提箱換到左手，然後才伸出右手相握：
「常院士客氣了，久仰大名這話，應該我來說才對。」
說話間，一眾隨行人員也陸續下車，分列在略靠後幾步的位置。
三人一邊寒暄，一邊進門乘上電梯，來到了位於頂層的會議室。
坐定之後，張汝寧沒有任何多餘的客套，直入主題。
「常院士，吳院士之前轉達了您的需求。」他拍了拍手中的合金箱，發出沉悶的聲響，「這次，我把壓箱底的東西帶來了。」
他說著向身後示意了一下，助手見狀立即上前，將一柄鑰匙交到張汝寧手中。
「咔噠」一聲，金屬箱打開。
裡面是幾塊用防震材料包裹得嚴嚴實實的硬碟。
以及一個厚厚的、封面印著「絕密」字樣的文件袋。
「這是我們長光為下一代國產ArF浸沒式光刻機『ArF-1800』項目準備的幾種核心折反式物鏡組設計方案。」
張汝寧的語氣帶著淡淡的自豪，同時還有幾分莊重。
坐在常浩南另一邊的吳明翰適時開口道：
「雖然目前還處於方案論證階段，尚未最終確定採用哪種設計路線，但毫不誇張地說老張的方案，就代表了國內光刻物鏡設計的最頂尖水平。」
張汝寧聞言笑了笑。
但這一次卻並未出言自謙。
而是半開玩笑半認真地說道：
「常院士，如果不是火炬實驗室的名頭，加上您親自開口，那這些東西，是絕對不可能帶出長光大門的。」
在這種場合下，需要對自己的成果表現出一些自信。
再者，過分的謙虛，也是對其它項目參與者的不尊重。
緊接著，他的語氣又恢復嚴肅：「另外，雖然是帶出來了，但根據規定，不能複製，不能拍照，演示交流結束後，我必須原樣帶回。」
大家都是體制內的技術人員，自然知道規矩。
常浩南也看得出對方的重視程度已經拉滿，也趕緊配合地接了一句：
「我代表火炬實驗室，對張研究員，以及長光集團的誠意表示感謝！」
「好！」張汝寧點點頭，神情放鬆下來。
然後示意助手將其中一塊硬碟連接到會議室的專用電腦上：
「那我們就開始？您這邊的新理念，或許可以和我們這幾個方案交流碰撞一下。」
ArF-1800項目是長光的心血，對標的是ASML的NXT:2000i系列，屬於當前DUV體系下的最頂級產品。
他也很想看看，對方能拿出什麼新的理念來交流。
然而，常浩南卻輕輕擺了擺手，示意那位助手先別動：
「張研究員，先不急著看資料。」
這個態度，讓另外二人有些愕然。
「火炬實驗室的新理念，是完全……顛覆性的。」常浩南解釋道，「現有設計方案本身的參考價值恐怕有限，關鍵在于思路，包括折反式系統的設計方法，還有一些關鍵過程和數據。」
張汝寧臉上的笑容微微一滯，眼底掠過一絲難以察覺的訝異和……不服氣。
參考價值有限？
他帶來的可是對標國際頂級DUV光刻機的核心光學設計方案！
這位常院士的口氣，未免太大了些。
不過，他倒也不至於表露出來，只是點了點頭：「那我們就客隨主便聽常院士您安排就是。」
常浩南也看出了對方的小情緒，但只是起身，做了個請的手勢：
「二位跟我來。」
張汝寧和吳明翰對視一眼，都看到了對方眼中的疑惑。
對方強調兩個人，那意思當然是不能帶隨行人員。
好在這是國內，倒不用擔心什麼摔杯為號衝出五百刀斧手之類的劇情。
於是兩人將隨行人員留在會議室，隻身跟隨常浩南，深入到了火炬實驗室的地下測試中心。
剛一踏進測試大廳，張汝寧的目光就被吸引住了。
「這是……蔡司最新的那台三坐標測量儀？精度能達到亞微米級了！」
他幾乎不由自主地走向一台造型精密、閃爍著金屬光澤的大型設備，如同看到稀世珍寶。
如果不是有一層窗戶擋著，怕是要上手摸一摸。
「還有這台，同步輻射光源的小角散射裝置……」
「Talysurf PRO+表面輪廓儀……」
「……」
張汝寧的語氣充滿驚嘆。
「這些設備的投入，簡直難以想像！」
他本人的課題組建立較早，不少設備已經並非最新型號。
而長光集團畢竟是個企業，要考慮投入產出比的問題，不可能無限制地追逐新款。
常浩南微微一笑，並未在此多作停留。
「張研究員見多識廣。不過，今天的重點不是這些。」
他引著二人，徑直走向測試中心一個相對僻靜的角落。
那裡擺放著一台看起來相當「樸素」的光路演示儀。
儀器主體就是一個帶有精密位移台的黑色光學平台，上面固定著光源、幾個調整架和一個觀察埠。
平台旁邊連接著控制電腦和顯示器。
但此時正關著機。
栗亞波早已在此等候。
張汝寧快走幾步，饒有興致地湊近光路儀。
他本以為會看到一組結構複雜、鏡片林立的實驗性物鏡原型。
然而，當他來到跟前時，卻發現光學平台中央的調整架上，只固定著孤零零的一個光學元件。
一片厚度大約幾個毫米的、長方形的……
鏡片？
它被小心翼翼地夾持在一個特製的夾具中，表面平整如新。
但無論怎麼看，這都只是一片平面鏡而已。
「常院士，這是……」張汝寧疑惑地看向常浩南，又看看同樣一臉茫然的吳明翰。
他完全無法理解，這片看似普通的平面鏡，如何能與「顛覆性」的光刻物鏡設計理念聯繫起來。
常浩南沒有直接解釋，只是對栗亞波點了點頭：「亞波，開始吧。」
「是，老師。」
栗亞波早已做好設置，此時只需要按動一下啟動按鍵即可。
嗡的一聲輕響，一道穩定而纖細的綠色雷射束亮起
與此同時，光路儀四周厚重的遮光罩緩緩升起、閉合，將整個平台籠罩在黑暗之中。
只有控制面板上幾個微弱的指示燈亮著。
幾秒鐘後，栗亞波輕輕點頭，讓出了觀察口的位置，示意準備就緒。
這個速度，快到如同兒戲。
吳明翰好奇心更重，率先將額頭貼上觀察口的目鏡。
然後……
安靜。
沉默。
直到幾秒鐘後。
「嘶——！」
一聲極度壓抑卻又充滿難以置信的抽氣聲，猛地從吳明翰喉嚨里發出！
他整個人如同被電流擊中，身體瞬間繃直，貼在目鏡上的額頭甚至微微後仰了一下，嘴巴張得老大。
仿佛看到了最不可思議的魔法！
(本章完)
三天後，火炬實驗室，地下測試中心。
常浩南剛踏進大門，就看見栗亞波正指揮著幾名工程師，在中央區域緊張地搭建著一個結構複雜的光學平台。
空氣中瀰漫著全新設備特有的正己烷氣味，一系列精密元件在燈光下下反射著冷冽的光澤。
「老師，您回來了！」栗亞波抬頭看見常浩南，立刻停下手中的活計迎了上來。
雙眼有神，明顯精神頭不錯——
制定實驗方案還有設備搭建都屬於慢工出細活，犯不上每天熬夜加班。
「大部分解析度測試需要的硬體都到了，氣浮隔振台、高精度位移台、光束整形器、旋轉毛玻璃、ND濾光片……」
還沒等常浩南主動開口詢問進度，他就指著平台上一件件昂貴的設備快速匯報：
「還有那個USAF 1951解析度靶標，11組3元素規格的，這東西雖然是標準件但用的人太少找不著現貨，還是加急空運到的……」
「現在正在調試光束準直和均勻性，預計還需要兩天時間才能完全準備好……」
「……」
一個星期的工作，足足十來分鐘才介紹完。
設備到位，只是準備工作的開始，而不是結束。
「辛苦了。」常浩南的目光掃過正在搭建的平台，微微頷首，「解析度測試不急這一兩天，按計劃穩步推進就好，確保系統穩定可靠。」
隨後，他話鋒一轉，語氣變得更為明確：
「不過，你現在需要優先準備另一次性能展示，明天上午，會有兩位非常重要的合作者到訪。」
栗亞波立刻領會：「還是用那個『雙負折射平板透鏡』做基礎演示？」
「對。」常浩南點頭，「來的都是內行，看一眼光路就能知道怎麼回事。」
「明白！」栗亞波神情一肅，「我馬上重新檢查一遍演示系統，保證不出紕漏。」
他知道，能讓老師如此重視，那這「合作者」的身份和分量都必定非同小可。
……
翌日清晨，火炬實驗室主樓。
常浩南親自來到門口迎接。
一輛中巴車的側門打開，吳明翰院士率先下車。
緊隨其後的是一位身材不高、但眼神銳利的中年人。
還親自提著一個看起來相當沉重、帶有物理鎖的黑色合金手提箱。
「常院士！」吳明翰快走兩步，熱情地與常浩南握手。
隨即側身介紹：「這位就是長光集團的張汝寧張研究員，ArF系列光刻機物鏡系統的研發負責人。」
「張研究員，歡迎！」常浩南伸出手，「久仰大名，我是常浩南。」
張汝寧把手提箱換到左手，然後才伸出右手相握：
「常院士客氣了，久仰大名這話，應該我來說才對。」
說話間，一眾隨行人員也陸續下車，分列在略靠後幾步的位置。
三人一邊寒暄，一邊進門乘上電梯，來到了位於頂層的會議室。
坐定之後，張汝寧沒有任何多餘的客套，直入主題。
「常院士，吳院士之前轉達了您的需求。」他拍了拍手中的合金箱，發出沉悶的聲響，「這次，我把壓箱底的東西帶來了。」
他說著向身後示意了一下，助手見狀立即上前，將一柄鑰匙交到張汝寧手中。
「咔噠」一聲，金屬箱打開。
裡面是幾塊用防震材料包裹得嚴嚴實實的硬碟。
以及一個厚厚的、封面印著「絕密」字樣的文件袋。
「這是我們長光為下一代國產ArF浸沒式光刻機『ArF-1800』項目準備的幾種核心折反式物鏡組設計方案。」
張汝寧的語氣帶著淡淡的自豪，同時還有幾分莊重。
坐在常浩南另一邊的吳明翰適時開口道：
「雖然目前還處於方案論證階段，尚未最終確定採用哪種設計路線，但毫不誇張地說老張的方案，就代表了國內光刻物鏡設計的最頂尖水平。」
張汝寧聞言笑了笑。
但這一次卻並未出言自謙。
而是半開玩笑半認真地說道：
「常院士，如果不是火炬實驗室的名頭，加上您親自開口，那這些東西，是絕對不可能帶出長光大門的。」
在這種場合下，需要對自己的成果表現出一些自信。
再者，過分的謙虛，也是對其它項目參與者的不尊重。
緊接著，他的語氣又恢復嚴肅：「另外，雖然是帶出來了，但根據規定，不能複製，不能拍照，演示交流結束後，我必須原樣帶回。」
大家都是體制內的技術人員，自然知道規矩。
常浩南也看得出對方的重視程度已經拉滿，也趕緊配合地接了一句：
「我代表火炬實驗室，對張研究員，以及長光集團的誠意表示感謝！」
「好！」張汝寧點點頭，神情放鬆下來。
然後示意助手將其中一塊硬碟連接到會議室的專用電腦上：
「那我們就開始？您這邊的新理念，或許可以和我們這幾個方案交流碰撞一下。」
ArF-1800項目是長光的心血，對標的是ASML的NXT:2000i系列，屬於當前DUV體系下的最頂級產品。
他也很想看看，對方能拿出什麼新的理念來交流。
然而，常浩南卻輕輕擺了擺手，示意那位助手先別動：
「張研究員，先不急著看資料。」
這個態度，讓另外二人有些愕然。
「火炬實驗室的新理念，是完全……顛覆性的。」常浩南解釋道，「現有設計方案本身的參考價值恐怕有限，關鍵在于思路，包括折反式系統的設計方法，還有一些關鍵過程和數據。」
張汝寧臉上的笑容微微一滯，眼底掠過一絲難以察覺的訝異和……不服氣。
參考價值有限？
他帶來的可是對標國際頂級DUV光刻機的核心光學設計方案！
這位常院士的口氣，未免太大了些。
不過，他倒也不至於表露出來，只是點了點頭：「那我們就客隨主便聽常院士您安排就是。」
常浩南也看出了對方的小情緒，但只是起身，做了個請的手勢：
「二位跟我來。」
張汝寧和吳明翰對視一眼，都看到了對方眼中的疑惑。
對方強調兩個人，那意思當然是不能帶隨行人員。
好在這是國內，倒不用擔心什麼摔杯為號衝出五百刀斧手之類的劇情。
於是兩人將隨行人員留在會議室，隻身跟隨常浩南，深入到了火炬實驗室的地下測試中心。
剛一踏進測試大廳，張汝寧的目光就被吸引住了。
「這是……蔡司最新的那台三坐標測量儀？精度能達到亞微米級了！」
他幾乎不由自主地走向一台造型精密、閃爍著金屬光澤的大型設備，如同看到稀世珍寶。
如果不是有一層窗戶擋著，怕是要上手摸一摸。
「還有這台，同步輻射光源的小角散射裝置……」
「Talysurf PRO+表面輪廓儀……」
「……」
張汝寧的語氣充滿驚嘆。
「這些設備的投入，簡直難以想像！」
他本人的課題組建立較早，不少設備已經並非最新型號。
而長光集團畢竟是個企業，要考慮投入產出比的問題，不可能無限制地追逐新款。
常浩南微微一笑，並未在此多作停留。
「張研究員見多識廣。不過，今天的重點不是這些。」
他引著二人，徑直走向測試中心一個相對僻靜的角落。
那裡擺放著一台看起來相當「樸素」的光路演示儀。
儀器主體就是一個帶有精密位移台的黑色光學平台，上面固定著光源、幾個調整架和一個觀察埠。
平台旁邊連接著控制電腦和顯示器。
但此時正關著機。
栗亞波早已在此等候。
張汝寧快走幾步，饒有興致地湊近光路儀。
他本以為會看到一組結構複雜、鏡片林立的實驗性物鏡原型。
然而，當他來到跟前時，卻發現光學平台中央的調整架上，只固定著孤零零的一個光學元件。
一片厚度大約幾個毫米的、長方形的……
鏡片？
它被小心翼翼地夾持在一個特製的夾具中，表面平整如新。
但無論怎麼看，這都只是一片平面鏡而已。
「常院士，這是……」張汝寧疑惑地看向常浩南，又看看同樣一臉茫然的吳明翰。
他完全無法理解，這片看似普通的平面鏡，如何能與「顛覆性」的光刻物鏡設計理念聯繫起來。
常浩南沒有直接解釋，只是對栗亞波點了點頭：「亞波，開始吧。」
「是，老師。」
栗亞波早已做好設置，此時只需要按動一下啟動按鍵即可。
嗡的一聲輕響，一道穩定而纖細的綠色雷射束亮起
與此同時，光路儀四周厚重的遮光罩緩緩升起、閉合，將整個平台籠罩在黑暗之中。
只有控制面板上幾個微弱的指示燈亮著。
幾秒鐘後，栗亞波輕輕點頭，讓出了觀察口的位置，示意準備就緒。
這個速度，快到如同兒戲。
吳明翰好奇心更重，率先將額頭貼上觀察口的目鏡。
然後……
安靜。
沉默。
直到幾秒鐘後。
「嘶——！」
一聲極度壓抑卻又充滿難以置信的抽氣聲，猛地從吳明翰喉嚨里發出！
他整個人如同被電流擊中，身體瞬間繃直，貼在目鏡上的額頭甚至微微後仰了一下，嘴巴張得老大。
仿佛看到了最不可思議的魔法！
(本章完)