第802章 歐皇妲：我不太懂光刻膠
程新彤顯然也是聽說過自己這小師妹的傳奇。
因為自己的光刻膠研究，現在的主要客戶，就是茂市的紫晶工廠。
作為一個純國產研究的光刻膠材料廠商，程新彤自然是知道國產的光刻膠是比不上櫻花國的。在以前，她也向國內諸多晶片製造廠推薦，但是奈何，因為技術不成熟，並沒有多少大公司願意使用新彤的光刻膠。
就在一年以前，情況變了。
紫晶工廠自己給了一個億的大訂單，並且要求他們逐步更新光刻膠技術。有了客戶訂單，就有了資金，有了資金，就可以繼續鑽研。
陸陸續續的，新彤光刻膠又做了不少的技術疊代。
而紫晶工廠，也是從多個光刻膠廠商中對比發現新彤光刻膠是目前自研所做的最好的，於是繼續增加採購訂單。
一直到現在，新彤光刻膠的質量已經相當不錯。只是如果是要用到13nm製程的光刻機上，還是有些差距。
為此程新彤是急的暈頭轉向，找遍了國內的頂級材料研究團隊，然後又是請教自己二十年前的導師，這才無意中被推薦找來歐皇妲。
用自己導師的話來說就是：「如果你想短期間內有所突破，可以拜託一下這位小師妹。除非你有能力找來櫻花國的光刻膠技術文檔，否則，只有她能做到。」
程新彤看著自己這傳奇小師妹，內心裡還在震驚她在材料研究所作出的突破。
歐皇妲則是尷尬的撓著頭，「那個，師姐，我其實不太懂光刻膠。」
很快她帶著幾人進入到機密的實驗大樓。
門崗看到程新彤先是敬了個禮，然後看到後面的歐皇妲，制止說道：「抱歉，實驗樓不能帶吃喝進入。」
歐皇妲眨著大眼，顯然有些費解。只因自己走到哪裡都是奶茶不離手的。雖然這奶茶比不上星空奶茶好喝，但一天不喝奶茶她渾身不得勁。
程新彤見狀，趕忙說道：「沒事，這是我小師妹，不用管那些規矩。」
「小師妹，你謙虛了……」程新彤笑著。
隨後，程新彤便帶著她們參觀了新彤光電的實驗室，見到了研究光刻膠的諸多團隊。
因為程新彤本身就是材料出身的專家，自己也一直抓著這一塊，哪怕是合併後，她主要負責的也是技術，因此一切都比較熟悉。
在開了幾個小會介紹眼下的問題，然後又說了紫晶工廠那邊的要求後，一行人走進了核心研發會議室。
程新彤示意助理把所有技術文檔投影到大屏幕上，自己走到白板前，拿起記號筆，神情變得異常嚴肅。
「小師妹，我跟你交個底吧。」程新彤在白板上寫下幾個關鍵詞，「目前我們的光刻膠用在28nm製程上已經完全沒有問題，良品率能做到97%以上。但紫晶那邊下一代產品線直接跳到了13nm，這中間的差距，比我想像的要大得多。」
歐皇妲歪了歪腦袋，吸了一口奶茶：「卡在哪兒了？」
程新彤嘆了口氣，在白板上畫了幾條線：「第一，解析度。13nm節點要求光刻膠的解析度控制在10nm以內，否則會出現橋接和斷線。我們的配方目前極限只能做到16nm左右，再往下，線條就會開始扭曲。」
她頓了頓，又寫下第二點：「第二，線寬粗糙度，也就是LWR。
紫晶要求LWR低於1.5nm，我們現在勉強能做到2.2nm。
別看就差0.7nm，這背後涉及的是分子量分布和光酸擴散長度的平衡問題。
我帶著團隊試了三個月，調整了三十多種聚合物配比，始終突破不了。」
程新彤有些失落，她沒想到自己帶領的團隊，還真就遲遲沒法解決這個問題。
自己好歹從校園出來後，也從事這方面的研究二十年。
結果科技就是這樣，突破不了，就是沒法突破。
稍作停頓後，她繼續往下分析。
「第三，敏感度。」程新彤的聲音帶上了一絲疲憊，「13nm製程用的光源波長極短，能量密度很高。我們的光刻膠要麼敏感度不夠，曝光時間太長影響產能；
要麼敏感度上去了，但又會出現嚴重的產酸擴散，導致圖案模糊。
這個平衡點，我找了國內三個頂尖團隊會診，都沒給出可行方案。」
「我也請教過導師……導師一時間也沒有什麼建議。」程新彤苦澀的說道，「只說需要多嘗試，用時間來試錯。」
程新彤面露無奈，時間，她現在最缺的就是時間！
自從跟光電集團合併後，強強聯合，公司的業務方面需要她擔心的並不多，因此研究資金也豐裕了不少。可是如果再遲遲沒法突破。
跟不上櫻花國的前沿光刻膠步伐，那恐怕將會錯過這個千載難逢的機會。
特別是紫晶工廠作為自研光刻機的機構，一旦對南彤光電失望，選擇支持其他的光刻膠，那缺乏後續持續資金的投研，恐怕將會被淘汰。
旁邊一位戴眼鏡的男研究員補充道：「程總，還有缺陷率的問題。上周測試的批次，顯影后缺陷密度還在30個/平方厘米以上，紫晶那邊要求低於5個。」
程新彤點了點頭，看向歐皇妲：「小師妹你看，解析度、LWR、敏感度、缺陷率，每一個都是死結。
現在紫晶那邊的採購部已經放話了，如果三個月內拿不出達標的小批量樣品，他們就要考慮在跟其他的廠家合作，支持其他廠家的光刻膠研究。
甚至……他們要自己展開研究。師姐我也是沒辦法了。」
程新彤無奈的說著。
會議室里安靜了幾秒。
秦嵐在一邊如聽天書，但她心裡覺得：「這不會是紫晶工廠為了刺激新彤故意放出狠話吧？目前國內最頂級的就是新彤，再支持其他廠家，那不是要耗費更多時間麼。」
歐皇妲放下奶茶杯，走到大屏幕前，目光掃過那些密密麻麻的參數表格和分子結構式。
「師姐，你們的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯類吧？」歐皇妲忽然開口。
程新彤跟著她的目光，立即回答道：「對，PMMA衍生物，目前國內最成熟的體系。」
「光酸產生劑呢？三芳基硫鎓鹽？」
「是。」
「淬滅劑用的三級胺？」
「沒錯。」程新彤眼睛亮了一下，「小師妹你怎麼一眼就看出來了？」
因為自己的光刻膠研究，現在的主要客戶，就是茂市的紫晶工廠。
作為一個純國產研究的光刻膠材料廠商，程新彤自然是知道國產的光刻膠是比不上櫻花國的。在以前，她也向國內諸多晶片製造廠推薦，但是奈何，因為技術不成熟，並沒有多少大公司願意使用新彤的光刻膠。
就在一年以前，情況變了。
紫晶工廠自己給了一個億的大訂單，並且要求他們逐步更新光刻膠技術。有了客戶訂單，就有了資金，有了資金，就可以繼續鑽研。
陸陸續續的，新彤光刻膠又做了不少的技術疊代。
而紫晶工廠，也是從多個光刻膠廠商中對比發現新彤光刻膠是目前自研所做的最好的，於是繼續增加採購訂單。
一直到現在，新彤光刻膠的質量已經相當不錯。只是如果是要用到13nm製程的光刻機上，還是有些差距。
為此程新彤是急的暈頭轉向，找遍了國內的頂級材料研究團隊，然後又是請教自己二十年前的導師，這才無意中被推薦找來歐皇妲。
用自己導師的話來說就是：「如果你想短期間內有所突破，可以拜託一下這位小師妹。除非你有能力找來櫻花國的光刻膠技術文檔，否則，只有她能做到。」
程新彤看著自己這傳奇小師妹，內心裡還在震驚她在材料研究所作出的突破。
歐皇妲則是尷尬的撓著頭，「那個，師姐，我其實不太懂光刻膠。」
很快她帶著幾人進入到機密的實驗大樓。
門崗看到程新彤先是敬了個禮，然後看到後面的歐皇妲，制止說道：「抱歉，實驗樓不能帶吃喝進入。」
歐皇妲眨著大眼，顯然有些費解。只因自己走到哪裡都是奶茶不離手的。雖然這奶茶比不上星空奶茶好喝，但一天不喝奶茶她渾身不得勁。
程新彤見狀，趕忙說道：「沒事，這是我小師妹，不用管那些規矩。」
「小師妹，你謙虛了……」程新彤笑著。
隨後，程新彤便帶著她們參觀了新彤光電的實驗室，見到了研究光刻膠的諸多團隊。
因為程新彤本身就是材料出身的專家，自己也一直抓著這一塊，哪怕是合併後，她主要負責的也是技術，因此一切都比較熟悉。
在開了幾個小會介紹眼下的問題，然後又說了紫晶工廠那邊的要求後，一行人走進了核心研發會議室。
程新彤示意助理把所有技術文檔投影到大屏幕上，自己走到白板前，拿起記號筆，神情變得異常嚴肅。
「小師妹，我跟你交個底吧。」程新彤在白板上寫下幾個關鍵詞，「目前我們的光刻膠用在28nm製程上已經完全沒有問題，良品率能做到97%以上。但紫晶那邊下一代產品線直接跳到了13nm，這中間的差距，比我想像的要大得多。」
歐皇妲歪了歪腦袋，吸了一口奶茶：「卡在哪兒了？」
程新彤嘆了口氣，在白板上畫了幾條線：「第一，解析度。13nm節點要求光刻膠的解析度控制在10nm以內，否則會出現橋接和斷線。我們的配方目前極限只能做到16nm左右，再往下，線條就會開始扭曲。」
她頓了頓，又寫下第二點：「第二，線寬粗糙度，也就是LWR。
紫晶要求LWR低於1.5nm，我們現在勉強能做到2.2nm。
別看就差0.7nm，這背後涉及的是分子量分布和光酸擴散長度的平衡問題。
我帶著團隊試了三個月，調整了三十多種聚合物配比，始終突破不了。」
程新彤有些失落，她沒想到自己帶領的團隊，還真就遲遲沒法解決這個問題。
自己好歹從校園出來後，也從事這方面的研究二十年。
結果科技就是這樣，突破不了，就是沒法突破。
稍作停頓後，她繼續往下分析。
「第三，敏感度。」程新彤的聲音帶上了一絲疲憊，「13nm製程用的光源波長極短，能量密度很高。我們的光刻膠要麼敏感度不夠，曝光時間太長影響產能；
要麼敏感度上去了，但又會出現嚴重的產酸擴散，導致圖案模糊。
這個平衡點，我找了國內三個頂尖團隊會診，都沒給出可行方案。」
「我也請教過導師……導師一時間也沒有什麼建議。」程新彤苦澀的說道，「只說需要多嘗試，用時間來試錯。」
程新彤面露無奈，時間，她現在最缺的就是時間！
自從跟光電集團合併後，強強聯合，公司的業務方面需要她擔心的並不多，因此研究資金也豐裕了不少。可是如果再遲遲沒法突破。
跟不上櫻花國的前沿光刻膠步伐，那恐怕將會錯過這個千載難逢的機會。
特別是紫晶工廠作為自研光刻機的機構，一旦對南彤光電失望，選擇支持其他的光刻膠，那缺乏後續持續資金的投研，恐怕將會被淘汰。
旁邊一位戴眼鏡的男研究員補充道：「程總，還有缺陷率的問題。上周測試的批次，顯影后缺陷密度還在30個/平方厘米以上，紫晶那邊要求低於5個。」
程新彤點了點頭，看向歐皇妲：「小師妹你看，解析度、LWR、敏感度、缺陷率，每一個都是死結。
現在紫晶那邊的採購部已經放話了，如果三個月內拿不出達標的小批量樣品，他們就要考慮在跟其他的廠家合作，支持其他廠家的光刻膠研究。
甚至……他們要自己展開研究。師姐我也是沒辦法了。」
程新彤無奈的說著。
會議室里安靜了幾秒。
秦嵐在一邊如聽天書，但她心裡覺得：「這不會是紫晶工廠為了刺激新彤故意放出狠話吧？目前國內最頂級的就是新彤，再支持其他廠家，那不是要耗費更多時間麼。」
歐皇妲放下奶茶杯，走到大屏幕前，目光掃過那些密密麻麻的參數表格和分子結構式。
「師姐，你們的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯類吧？」歐皇妲忽然開口。
程新彤跟著她的目光，立即回答道：「對，PMMA衍生物，目前國內最成熟的體系。」
「光酸產生劑呢？三芳基硫鎓鹽？」
「是。」
「淬滅劑用的三級胺？」
「沒錯。」程新彤眼睛亮了一下，「小師妹你怎麼一眼就看出來了？」