第728章 只有材料的進度最迅速……

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  哪怕是擁有諸多支持,擁有大量的資源,研製光刻機依舊是困難重重。

  他指著光學系統,說道:「DUV光刻機需要由15-20個直徑200-300mm的透鏡組成的透鏡組;

  EUV光刻機則需要由20多塊「鍋底大」的鏡片串聯組成的反射系統。

  鏡面表面起伏要求極其嚴苛,如30cm長的鏡子起伏不超過0.3nm!」

  「這一項技術,目前在國內,還沒有能實現。」

  「更別說對光學元件進行原子級精度的拋光和高精度鍍膜……」

  郭汝京一想到這些完全沒有儲備的技術,就覺得頭腦發熱。

  單一研製光刻機的國家,基本不存在。

  而現在,紫晶工廠要做的,就是突破這全球的限制,完全依賴國內的廠家,或者自身研製,造出一台光刻機來!

  「0.3nm的起伏……這,鄭穩都摸不出來吧?」蔣新松有些咋舌。

  「嗯,我已經聯繫了國內幾家光學頂尖的實驗室,諮詢了一番,但暫時還是沒有消息。」郭汝京指著上面任務里的備註,寫著正在求助,待攻克。

  蔣新松理了理頭緒,然後看向運動模塊,問道,「工件台與掩模台的進度,怎樣了?」

  「精密運動與定位系統啊……」郭汝京又點開另一個模塊,面露難色的說道:「情況也不太妙啊!」

  他一一點開裡面的詳細任務,這個蔣新松倒是不需要他的解釋,就完全能看懂。

  製造能夠在高速運動下(如掃描曝光)實現亞納米級定位精度的雙工件台系統。

  其定位精度需小於10nm,甚至要達到3nm以內的套刻精度要求。

  研發應用雷射干涉儀、光柵尺等超精密測量傳感器,以及直線電機、壓電陶瓷等驅動器,實現對晶圓和掩模版的實時位置反饋與控制 。

  這些都是超精密的器件。

  如果只是一般的光柵尺,或許萬八千就能買到,但是要放在光刻機上,顯然不夠。

  蔣新松看著下面一堆紅色的待開展任務,也不禁皺起眉頭,「這需要更高性能的點擊,才能實現運動的精度。」

  「而因為燈塔國的制裁,發那科、西門子等大集團,都已經中斷了咱們採購性能級以上的電機……」

  他覺得十分棘手。

  現在的情況,真的就是,幾乎是一顆螺絲,都得自己造,人家都不肯賣給你。

  而這些,在國內又沒有替代品。特別是高端電機,目前初苗集團的德多電機,就已經是國產電機的領軍人物了。

  壓根找不到第二家能直接買來使用的。

  「哎,還是得等老錢發力啊!」郭汝京感慨說道。

  好在這條路也不是只有他一個人,整個光科技項目,牽扯進來的團隊不下百個,上萬名工程師,都在研究著。

  其中還有不少高校的團隊,也在接到紫晶工廠的委託研究任務後,加入到研究行列中來。

  而除了核心的系統外,還有整機集成與軟體控制。

  需要將上述數十萬個零部件(包括4萬個螺栓、3千條電線、2公里長軟管)進行精密組裝 。

  其中發光刻機的底層作業系統和控制軟體,用於協調工件台運動、曝光劑量控制、自動對準、故障診斷等。包括版圖設計與系統控制軟體、EDA接口工具,也都

  「前些日子我跟求伯君也有過溝通,EDA工具,進度也十分緩慢。」郭汝京說著這些不好的消息,也是略微有些心情沉重。

  蔣新松輕輕點頭,「嗯,畢竟咱們也是才開始研究工業EDA,確實積累不夠……」

  同樣作為研發部負責人,他自然是知道劉一首的壓力,那也是相當的巨大。

  雖然有求伯君這位大佬在鎮著,但這些軟體,人家都是絕密的,又沒有給你破解。

  想要自己研究起來,還是十分困難。

  並且要適配天窗作業系統,等於就是從零開始的研究。

  「是呀,什麼都要從頭開始,確實不容易!」郭汝京也深知這個道理。

  但是沒辦法。現在的情況屬於是,國內能購買,用外國替代的,他都已經先買來測試,實在是買不到的,再開課題研究。


  像光刻膠,除了櫻花國的高端光刻膠外,其實國內也有不少的公司有。

  但是以前是因為一直都沒人使用,所以自然就沒有資金更新疊代,也就導致持續落後。

  現在郭汝京手裡有的是現金,對於這些,不管行不行,只要看著可以的,有可能的,有機會的,他都先嘗試買來測試一下,先看看效果。

  這也確實讓他找到不少,勉強可以替代的。

  郭汝京帶著蔣新松半響,才說道:「基礎材料研發、超精密機械加工、極限光學製造、高速高精運動控制、複雜軟體算法、以及極致的環境工程……諸多任務里,只有基礎材料研發,目前的進度超過預期。」

  「高精度的陶瓷、碳化矽等複合材料,比我預算的時間足足早了一兩年。」郭汝京感嘆。

  他沒想到,原本預料要花時間最長,最難突破的部分,竟然是最先攻克的。

  「基礎材料……」蔣新松看著那一欄,數十項任務中,科研方負責部門赫然寫著和聯鋼鐵廠。

  負責人自然是歐皇妲。

  「歐博士啊……」蔣新松一看到歐皇妲的名字,就又想起王希的邀請。

  連夏國航發都想要挖牆腳,可見這歐皇妲博士在材料學中的地位和重要性。

  「是呀,我估計,用不了幾年,這丫頭,就得拿上國家最高科技獎,嘖嘖,不到三十歲的最高科技獎得主啊!」郭汝京想到這傳奇的材料學博士,也是忍不住的誇讚。

  甚至他還覺得,這丫頭,身上擁有諾貝爾之姿。

  並且會成為夏國最年輕的院士。

  蔣新松聽著,也是直羨慕,但是他也知道,這種大氣運,自己也羨慕不來。

  他仔細看著那密密麻麻的科研任務,也忍不住苦笑,「咱們給歐皇妲博士的任務,是不是太多了些……不會把她給累著吧?」

  如果陳岩在場,他會立即回答蔣新松,他的擔憂是有道理的。

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