第969章 5nm工藝試生產
秘書接受完指令，就點了點頭。
看著有了指令就去辦事兒的員工，馬斯克心中有了一個決定，要不就把這些人全都換成機器。
畢竟都是接受指令幹活……
此刻他心裡第一次生出一種失控感。
畢竟火箭上輸了一城，接下來即將開拓歐洲市場也被撬了牆角，現在連人形機器人賽道，對方也在悄無聲息間走在了前面。
沈飛這個人，比他預想的，要可怕得多。
……
與此同時，華星晶圓廠的無塵車間裡，一個即將震驚世界的工藝，正在進行當中。
李家輝正帶著流片團隊來到這邊。
距離上次來驗證5nm工藝，已經過去了兩個多月。
自從過年得到消息後，他除了研發新一代晶片、晶片架構就是在這幾個辦公室之間來回走動。
不過這兩個多月，他倒是帶著團隊啃下了十幾道工藝難題，把驗證線的良品率從最初的32%，硬生生拉到了50%的臨界線。
今天，是正式啟動量產流片的日子。
沈飛已經在辦公樓樓下等他。
「李院士，辛苦了。」沈飛伸手握手，眼神里也帶著期待。
「分內的事。」李家輝笑了笑，又看了一下旁邊的袁國慶，「數據我都帶來了，50%的驗證良品率，已經摸到大規模量產的門檻了。
今天流完片，就能知道實際量產水平到底怎麼樣。」
「是的，沈總，絕對能達到！」
說完兩人又對視了一眼，畢竟5%10隻是他們兩人估測的最差成績，結果可能要遠超預期。
一行人，正在往前走。
廠區里比上次來時更熱鬧，新的生產線廠房正在收尾，設備正在緊急安裝中。
畢竟等5nm工藝徹底跑通，這條線就要全速擴產。
至於7nm，必須要用國產設備頂上去，畢竟7nm依舊是先進水平，不能少。
換無塵服，風淋室除塵，一套流程走完，三人站在了晶圓生產車間的玻璃外。
車間裡，機器臂正在運檢
「這次是首批量產流片，一共投了二十片晶圓。」袁國慶指著裡面的投料口，「工藝參數都是按驗證線最優方案調的。
刻蝕、沉積、光刻三道關鍵工序，在李教授的帶領下，我們前後改了七版參數，才把良率拉上來。」
沈飛點頭，目光落在車間裡的設備上。
整條5nm驗證線，從光刻機到刻蝕機，九成以上都是國產設備。
這裡面除了自己的技術突破以外，全部依靠統子。
不過，兩條線還是有點少。
就像現在把這條線給改了，7nm那邊就會受到一定的限制。
此時在某處把妹的系統忽然打了一個噴嚏，他總感覺自己被惦記了。
「風險大嗎？」
「有。」李家輝和袁國慶兩人幾乎同時說道。
「驗證線和量產線不一樣，小批量測出來的良率，放大到量產往往會打折扣。
我心裡預期是40%左右，能摸到45%就算超預期。」
說完之後，李家輝又單獨匯報導:
「只要能穩定在40%以上，就能小批量供貨。
邊產邊優化，慢慢往上爬。」
沈飛嗯了一聲：「按你們的節奏來，不用急。
但有一點，明年星雲六的上市節點不能動，晶片供應必須跟上。」
「放心。」李家輝聽到這話瞬間保證道，「就算良率爬得慢，Q4之前摸到60%沒問題，絕對耽誤不了新機備貨。」
幾人隔著玻璃看了一會兒。
首批晶圓順利進入光刻工序，機械臂動作精準，沒有出現任何異常。
「走吧，流片要等上一段時間，總不能一直站在這兒等。」李家輝笑著拍了拍玻璃，「先去會議室，我跟您說說後續的工藝疊代方案。
等晶圓出來，我們第一時間匯報給您。」
沈飛點頭。
一行退出車間，一路聊到辦公樓。
從5nm良率提升路徑，聊到下一代3nm工藝的預研，再到車載晶片、機器人晶片的產能分配，足足聊了一下午。
…………
三天後結果出來，李家輝立刻派人前往晶圓廠。
畢竟首批二十片晶圓，昨晚剛剛走完所有工序，正式下線。
他的團隊已經在測試車間待命，探針台、測試儀全部調試完畢，就等他來開箱。
「李院士，都準備好了。」團隊負責人上前匯報，語氣裡帶著緊張。
李家輝深吸一口氣：「開吧。」
晶圓盒被小心翼翼地打開。
一片圓形的矽晶圓靜靜躺在盒裡，上面密密麻麻排布著指甲蓋大小的晶片晶粒，在燈光下泛著銀亮的光澤。
「先測第一片。」
李家輝站在探針台旁，盯著屏幕。
工程師將晶圓放到設備上，探針緩緩落下，接觸到晶片引腳。
屏幕上的數據開始跳動。
功能測試、功耗測試、算力測試，一項項跑過去。
「第一顆，正常。」
「第二顆，正常。」
「第三顆，算力不達標，廢片。」
李家輝的情緒並沒有任何變化。
測晶圓就是這樣，一顆好一顆壞，心臟跟著數據起起落落。
一片晶圓上有幾百顆晶片，要一顆顆測完，才能算出準確的良率。
如果一顆壞片就生氣，那他估計活不到60歲……
時間一分一秒過去。
車間裡只有測試設備還在工作，其他人都在祈禱，希望良品率高一點。
第一片晶圓測完。
工程師抬頭，聲音帶著點激動：「李院士，第一片良率49%！」
李家輝懸著的心落了一半，良品率還算不錯，但比他保守估計的50%差了一點，幸好沒在沈總面前說大話。
不過這也算好的了，差距不大。
「繼續測。」
李家輝有了底之後，這個工作就交給了其他人，三個小組同步進行，結果出來的很快。
第二片，53%。
第三片，57%。
第四片，58%。
一片接一片，數據陸續出來，李家輝臉上的神色越來越松。
但此刻他覺得自己像個倒霉蛋，畢竟其他人的良品率都比他高，難道他最近有點霉運纏身，不適合搞這些東西？
不過他沒有多想，因為測到第十五片的時候，他已經能大概算出整體水平。
穩在55%上下，比他預想的最好結果還要好。
看著有了指令就去辦事兒的員工，馬斯克心中有了一個決定，要不就把這些人全都換成機器。
畢竟都是接受指令幹活……
此刻他心裡第一次生出一種失控感。
畢竟火箭上輸了一城，接下來即將開拓歐洲市場也被撬了牆角，現在連人形機器人賽道，對方也在悄無聲息間走在了前面。
沈飛這個人，比他預想的，要可怕得多。
……
與此同時，華星晶圓廠的無塵車間裡，一個即將震驚世界的工藝，正在進行當中。
李家輝正帶著流片團隊來到這邊。
距離上次來驗證5nm工藝，已經過去了兩個多月。
自從過年得到消息後，他除了研發新一代晶片、晶片架構就是在這幾個辦公室之間來回走動。
不過這兩個多月，他倒是帶著團隊啃下了十幾道工藝難題，把驗證線的良品率從最初的32%，硬生生拉到了50%的臨界線。
今天，是正式啟動量產流片的日子。
沈飛已經在辦公樓樓下等他。
「李院士，辛苦了。」沈飛伸手握手，眼神里也帶著期待。
「分內的事。」李家輝笑了笑，又看了一下旁邊的袁國慶，「數據我都帶來了，50%的驗證良品率，已經摸到大規模量產的門檻了。
今天流完片，就能知道實際量產水平到底怎麼樣。」
「是的，沈總，絕對能達到！」
說完兩人又對視了一眼，畢竟5%10隻是他們兩人估測的最差成績，結果可能要遠超預期。
一行人，正在往前走。
廠區里比上次來時更熱鬧，新的生產線廠房正在收尾，設備正在緊急安裝中。
畢竟等5nm工藝徹底跑通，這條線就要全速擴產。
至於7nm，必須要用國產設備頂上去，畢竟7nm依舊是先進水平，不能少。
換無塵服，風淋室除塵，一套流程走完，三人站在了晶圓生產車間的玻璃外。
車間裡，機器臂正在運檢
「這次是首批量產流片，一共投了二十片晶圓。」袁國慶指著裡面的投料口，「工藝參數都是按驗證線最優方案調的。
刻蝕、沉積、光刻三道關鍵工序，在李教授的帶領下，我們前後改了七版參數，才把良率拉上來。」
沈飛點頭，目光落在車間裡的設備上。
整條5nm驗證線，從光刻機到刻蝕機，九成以上都是國產設備。
這裡面除了自己的技術突破以外，全部依靠統子。
不過，兩條線還是有點少。
就像現在把這條線給改了，7nm那邊就會受到一定的限制。
此時在某處把妹的系統忽然打了一個噴嚏，他總感覺自己被惦記了。
「風險大嗎？」
「有。」李家輝和袁國慶兩人幾乎同時說道。
「驗證線和量產線不一樣，小批量測出來的良率，放大到量產往往會打折扣。
我心裡預期是40%左右，能摸到45%就算超預期。」
說完之後，李家輝又單獨匯報導:
「只要能穩定在40%以上，就能小批量供貨。
邊產邊優化，慢慢往上爬。」
沈飛嗯了一聲：「按你們的節奏來，不用急。
但有一點，明年星雲六的上市節點不能動，晶片供應必須跟上。」
「放心。」李家輝聽到這話瞬間保證道，「就算良率爬得慢，Q4之前摸到60%沒問題，絕對耽誤不了新機備貨。」
幾人隔著玻璃看了一會兒。
首批晶圓順利進入光刻工序，機械臂動作精準，沒有出現任何異常。
「走吧，流片要等上一段時間，總不能一直站在這兒等。」李家輝笑著拍了拍玻璃，「先去會議室，我跟您說說後續的工藝疊代方案。
等晶圓出來，我們第一時間匯報給您。」
沈飛點頭。
一行退出車間，一路聊到辦公樓。
從5nm良率提升路徑，聊到下一代3nm工藝的預研，再到車載晶片、機器人晶片的產能分配，足足聊了一下午。
…………
三天後結果出來，李家輝立刻派人前往晶圓廠。
畢竟首批二十片晶圓，昨晚剛剛走完所有工序，正式下線。
他的團隊已經在測試車間待命，探針台、測試儀全部調試完畢，就等他來開箱。
「李院士，都準備好了。」團隊負責人上前匯報，語氣裡帶著緊張。
李家輝深吸一口氣：「開吧。」
晶圓盒被小心翼翼地打開。
一片圓形的矽晶圓靜靜躺在盒裡，上面密密麻麻排布著指甲蓋大小的晶片晶粒，在燈光下泛著銀亮的光澤。
「先測第一片。」
李家輝站在探針台旁，盯著屏幕。
工程師將晶圓放到設備上，探針緩緩落下，接觸到晶片引腳。
屏幕上的數據開始跳動。
功能測試、功耗測試、算力測試，一項項跑過去。
「第一顆，正常。」
「第二顆，正常。」
「第三顆，算力不達標，廢片。」
李家輝的情緒並沒有任何變化。
測晶圓就是這樣，一顆好一顆壞，心臟跟著數據起起落落。
一片晶圓上有幾百顆晶片，要一顆顆測完，才能算出準確的良率。
如果一顆壞片就生氣，那他估計活不到60歲……
時間一分一秒過去。
車間裡只有測試設備還在工作，其他人都在祈禱，希望良品率高一點。
第一片晶圓測完。
工程師抬頭，聲音帶著點激動：「李院士，第一片良率49%！」
李家輝懸著的心落了一半，良品率還算不錯，但比他保守估計的50%差了一點，幸好沒在沈總面前說大話。
不過這也算好的了，差距不大。
「繼續測。」
李家輝有了底之後，這個工作就交給了其他人，三個小組同步進行，結果出來的很快。
第二片，53%。
第三片，57%。
第四片，58%。
一片接一片，數據陸續出來，李家輝臉上的神色越來越松。
但此刻他覺得自己像個倒霉蛋，畢竟其他人的良品率都比他高，難道他最近有點霉運纏身，不適合搞這些東西？
不過他沒有多想，因為測到第十五片的時候，他已經能大概算出整體水平。
穩在55%上下，比他預想的最好結果還要好。