第42章 土光刻機製成
拆裝的主力最終還是落到卓邵文身上。
沈永健自己手上功夫不如對方穩，包括曹文三在內的兩位平日在車間的技術員也一樣。
卓邵文這位副研究員的確不止理論紮實，動手能力也是一流。
只不過這種精密儀器，尤其是這年代的老式精密儀器，完好的拆卸都不容易。
直到下午三點左右，顯微鏡才拆得差不多。
「今天就到這兒吧，明早再繼續。」
…
「沈工，不繼續安裝麼？」
卓邵文眼下聲音倒是洪亮，只是雙眼紅血絲愈加多，而且都隱隱開始外凸。
沈永健雖然心中對這項目挺上心，但還沒想要逼得這麼緊。
「算了，今天就先到這兒。」
「紹文同志，我知道你能繼續堅持，只是接下來的組裝任務會更加艱巨，需要絕對集中的注意力。」
「你先回去養足精神，今天就先到這裡。」
眼見沈永健態度堅決，卓邵文雖然心癢卻也不好堅持。
直至車間的大門鎖上，也只得回去休息。
曹文三和曲崇二人同樣聽他安排，安心早下班回去。
第二日一早，三人再度回車間後，狀態立刻不一樣了。
卓邵文臉色雖然憔悴，但雙眼紅血絲褪去大半，看著才正常得多。
至於曹文三兩人年紀小，一夜睡足後精神頭極佳。
開始正式組裝起土法的「光刻機」。
這一過程，一連持續了三天。
事實上整個組裝用了兩天，最後一天全用來進行校準與調試。
也全靠了沈永健眼下極強的數學能力，哪怕拆裝的動手能力不及卓邵文，但在設備的調校上，他對角度、距離、光路計算的精確把控，讓這台「拼湊」出來的設備精度達到了理論設計的極限。
「這算成了吧！？沈工？」
隨著卓邵文一聲壓抑著激動、帶著微微顫抖的低呼，簡易的紫外曝光燈亮起。
透過那精心倒置並調試過的顯微鏡物鏡，在塗有臨時調配光刻膠的多晶矽片上投射出清晰的圖案邊緣。
沈永健此刻心情也不由得激動，點了點頭回應道。
「成了，初步研製是夠用了。」
身前的這台由顯微鏡重新拆裝後的「土光刻機」，雖然樣子難看了些
整台機器零件顏色各異，但用是足夠用了。
哪怕只是極其初步的驗證，也標誌著這台光刻機核心部分已搭建完成，具備了進行光刻實驗的基礎能力！
曹文三和曲崇瞪大了眼睛，他二人當下也鬆了口氣。
事實上，這次設備的製造他二人只是打打下手，更多的就是學習而已。
此刻看著那在紫光燈下顯現的細微光斑，雖然不甚理解其全部意義，但卓邵文的激動和沈永健臉上那抹終於舒展的、帶著成就感的笑意，讓他們明白，這應當是件了不起的大事。
經過反覆確認使用效果，目前精度暫時勉強夠用。
沈永健長舒了口氣，連日緊繃的神經稍緩，拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
「邵文同志，辛苦了！這第一步，咱們算是邁出去了！」
「後續等真正的矽晶圓製成後，還有場硬仗要打。」
卓邵文用力點頭，眼鏡片後的目光依舊緊緊盯著那光斑，心中的激動難以言喻。
要知道這可是光刻機，哪怕在沈永健眼中這機子還算不上真正的一代自製光刻機，但在卓邵文的視角下，這就是真正的第一代。
「沈工，矽晶圓製成還得多久？」
…
「應該也就這幾天吧？矽單晶爐軋鋼廠那邊零件都已經打造好，這兩天正在組裝調試，我一會兒就過去。」
「不過正式研製也得是年後了，你在廠里的工作暫時就到這裡，餘下時間你自己安排就行。」
這種具體的科研工作進行起來，時間總是過得飛快。
眼下日子已經步入二月，距離過年也就四五天的時間。
沈永健等矽單晶爐製成後，也準備給自己歇個幾天。
「沈工…我有個請求。」
…
「紹文同志，你有事直說就行，不用這麼客氣。」
將近一周的時間接觸下來，卓邵文的性子他如今是越來越熟悉。
的確是那種讓人省心的同志，尤其是作為團隊的隊員，眼裡全是活，且許多事都不需要他提，對方主動便替他考慮到，幫他完成了。
對科研的態度也無比嚴肅和認真。
唯獨一點，就是對他的態度過於嚴肅和敬重，有種將他當做老師一般對待。
他其實更想與對方像同事或者朋友一般相處。
「我能利用這幾天…寫一篇您這自製的這『光刻機』論文麼？」
「您放心，這文章署名還是沈工您的…」
不等卓邵文說完，沈永健便已應下。
不就是拿這機器的成果寫篇論文麼，多大的事。
「行啊！」
「不過你別把自己逼太緊了，文章要真寫完了，別忘了把你自己名字也署上。」
…
「沈工，這不合適，我只是想替…替所里總結這個設備研製的思路…」
…
「邵文同志，你不用這樣，這台光刻機的研製咱們四人是一個團隊的。」
「文章署名自然有你的一份，要是有第三第四作者，你可以把他們倆也帶上。」
沈永健本著一個團隊人人有份的想法，並未多在意。
畢竟這年頭國內連微電子領域都幾乎是空白，唯有部分教授與研究員在艱難探索這個領域，109所已經是這個領域的國內領頭羊，有他這設備參考也好。
這種自製的「土光刻機」文章要是發了，過個幾十年倒是會被後人記上一筆，我國第一台光刻機研發等等…
至於眼下，能不能引起重視，他也說不好。
許多技術唯有等真正能應用之際，才會真正受到重視。
……
另一邊，第三軋鋼廠內。
矽單晶爐已在李工的重點關注下加急組裝。
沈永健趕到廠里的時候，這台大設備已初見雛形。
藍色的腳手架上，一個巨大的鐵皮爐上頭矗立著一根長管。
看著好似簡單，實際這些爐子有許多關竅都很複雜，比如外頭分布的進出水管，爐壁刻意留的觀察窗。
畢竟要燒到1400℃，這爐子能打造出來幾乎是這年頭軋鋼廠工人的智慧結晶。
「沈工，為了你這次的任務，我可是廢了老大勁兒，把廠里計劃外的特種鋼材都調配給你了。」
開口的是李工身邊的另一中年男子，身高不高，不過長相不差，濃眉大眼的國字臉。
此刻笑著湊近，與沈永健一臉親近的交談道。
「閔廠長，多謝了，要是日後有什麼我能幫得上忙的，您儘管提。」
…
「哈哈，那倒不用日後，眼下就有個事想問問沈工你的意見。」
沈永健自己手上功夫不如對方穩，包括曹文三在內的兩位平日在車間的技術員也一樣。
卓邵文這位副研究員的確不止理論紮實，動手能力也是一流。
只不過這種精密儀器，尤其是這年代的老式精密儀器，完好的拆卸都不容易。
直到下午三點左右，顯微鏡才拆得差不多。
「今天就到這兒吧，明早再繼續。」
…
「沈工，不繼續安裝麼？」
卓邵文眼下聲音倒是洪亮，只是雙眼紅血絲愈加多，而且都隱隱開始外凸。
沈永健雖然心中對這項目挺上心，但還沒想要逼得這麼緊。
「算了，今天就先到這兒。」
「紹文同志，我知道你能繼續堅持，只是接下來的組裝任務會更加艱巨，需要絕對集中的注意力。」
「你先回去養足精神，今天就先到這裡。」
眼見沈永健態度堅決，卓邵文雖然心癢卻也不好堅持。
直至車間的大門鎖上，也只得回去休息。
曹文三和曲崇二人同樣聽他安排，安心早下班回去。
第二日一早，三人再度回車間後，狀態立刻不一樣了。
卓邵文臉色雖然憔悴，但雙眼紅血絲褪去大半，看著才正常得多。
至於曹文三兩人年紀小，一夜睡足後精神頭極佳。
開始正式組裝起土法的「光刻機」。
這一過程，一連持續了三天。
事實上整個組裝用了兩天，最後一天全用來進行校準與調試。
也全靠了沈永健眼下極強的數學能力，哪怕拆裝的動手能力不及卓邵文，但在設備的調校上，他對角度、距離、光路計算的精確把控，讓這台「拼湊」出來的設備精度達到了理論設計的極限。
「這算成了吧！？沈工？」
隨著卓邵文一聲壓抑著激動、帶著微微顫抖的低呼，簡易的紫外曝光燈亮起。
透過那精心倒置並調試過的顯微鏡物鏡，在塗有臨時調配光刻膠的多晶矽片上投射出清晰的圖案邊緣。
沈永健此刻心情也不由得激動，點了點頭回應道。
「成了，初步研製是夠用了。」
身前的這台由顯微鏡重新拆裝後的「土光刻機」，雖然樣子難看了些
整台機器零件顏色各異，但用是足夠用了。
哪怕只是極其初步的驗證，也標誌著這台光刻機核心部分已搭建完成，具備了進行光刻實驗的基礎能力！
曹文三和曲崇瞪大了眼睛，他二人當下也鬆了口氣。
事實上，這次設備的製造他二人只是打打下手，更多的就是學習而已。
此刻看著那在紫光燈下顯現的細微光斑，雖然不甚理解其全部意義，但卓邵文的激動和沈永健臉上那抹終於舒展的、帶著成就感的笑意，讓他們明白，這應當是件了不起的大事。
經過反覆確認使用效果，目前精度暫時勉強夠用。
沈永健長舒了口氣，連日緊繃的神經稍緩，拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
「邵文同志，辛苦了！這第一步，咱們算是邁出去了！」
「後續等真正的矽晶圓製成後，還有場硬仗要打。」
卓邵文用力點頭，眼鏡片後的目光依舊緊緊盯著那光斑，心中的激動難以言喻。
要知道這可是光刻機，哪怕在沈永健眼中這機子還算不上真正的一代自製光刻機，但在卓邵文的視角下，這就是真正的第一代。
「沈工，矽晶圓製成還得多久？」
…
「應該也就這幾天吧？矽單晶爐軋鋼廠那邊零件都已經打造好，這兩天正在組裝調試，我一會兒就過去。」
「不過正式研製也得是年後了，你在廠里的工作暫時就到這裡，餘下時間你自己安排就行。」
這種具體的科研工作進行起來，時間總是過得飛快。
眼下日子已經步入二月，距離過年也就四五天的時間。
沈永健等矽單晶爐製成後，也準備給自己歇個幾天。
「沈工…我有個請求。」
…
「紹文同志，你有事直說就行，不用這麼客氣。」
將近一周的時間接觸下來，卓邵文的性子他如今是越來越熟悉。
的確是那種讓人省心的同志，尤其是作為團隊的隊員，眼裡全是活，且許多事都不需要他提，對方主動便替他考慮到，幫他完成了。
對科研的態度也無比嚴肅和認真。
唯獨一點，就是對他的態度過於嚴肅和敬重，有種將他當做老師一般對待。
他其實更想與對方像同事或者朋友一般相處。
「我能利用這幾天…寫一篇您這自製的這『光刻機』論文麼？」
「您放心，這文章署名還是沈工您的…」
不等卓邵文說完，沈永健便已應下。
不就是拿這機器的成果寫篇論文麼，多大的事。
「行啊！」
「不過你別把自己逼太緊了，文章要真寫完了，別忘了把你自己名字也署上。」
…
「沈工，這不合適，我只是想替…替所里總結這個設備研製的思路…」
…
「邵文同志，你不用這樣，這台光刻機的研製咱們四人是一個團隊的。」
「文章署名自然有你的一份，要是有第三第四作者，你可以把他們倆也帶上。」
沈永健本著一個團隊人人有份的想法，並未多在意。
畢竟這年頭國內連微電子領域都幾乎是空白，唯有部分教授與研究員在艱難探索這個領域，109所已經是這個領域的國內領頭羊，有他這設備參考也好。
這種自製的「土光刻機」文章要是發了，過個幾十年倒是會被後人記上一筆，我國第一台光刻機研發等等…
至於眼下，能不能引起重視，他也說不好。
許多技術唯有等真正能應用之際，才會真正受到重視。
……
另一邊，第三軋鋼廠內。
矽單晶爐已在李工的重點關注下加急組裝。
沈永健趕到廠里的時候，這台大設備已初見雛形。
藍色的腳手架上，一個巨大的鐵皮爐上頭矗立著一根長管。
看著好似簡單，實際這些爐子有許多關竅都很複雜，比如外頭分布的進出水管，爐壁刻意留的觀察窗。
畢竟要燒到1400℃，這爐子能打造出來幾乎是這年頭軋鋼廠工人的智慧結晶。
「沈工，為了你這次的任務，我可是廢了老大勁兒，把廠里計劃外的特種鋼材都調配給你了。」
開口的是李工身邊的另一中年男子，身高不高，不過長相不差，濃眉大眼的國字臉。
此刻笑著湊近，與沈永健一臉親近的交談道。
「閔廠長，多謝了，要是日後有什麼我能幫得上忙的，您儘管提。」
…
「哈哈，那倒不用日後，眼下就有個事想問問沈工你的意見。」