第166章 首測

投票推薦 加入書籤 小說報錯

  2020年11月19日。

  早上6點47分。

  蘇辰的眼睛在鬧鐘響起的前13秒自動睜開了。

  這是軍人留下的習慣——身體比鬧鐘更准。

  他躺在行軍床上沒有動,盯著天花板看了大約五秒鐘。

  然後他坐了起來。

  今天是11月19日。

  250mm DRIE首測日。

  他穿上了白色的潔淨服,戴上了防靜電手套,走到洗手台前洗了臉。水很涼,涼得他的神經瞬間清醒了。

  他看了一眼手機——依然是關機狀態。從昨天系統聯調完成後他就沒有再開過機。

  他不需要知道外面在發生什麼。

  他只需要知道一件事:今天,12.05度。

  ……

  早上7點15分。

  實驗室的燈亮了。

  沈志明第一個到。他比約定時間早了45分鐘。

  」蘇總。」他看了一眼已經站在設備前檢查參數的蘇辰,輕輕打了個招呼。

  」嗯。」蘇辰頭也沒抬,」真空泵昨晚預抽了嗎?」

  」預抽了。凌晨2點我過來看過一次,真空度穩定在3.1×10⁻³ Pa。」

  」好。」

  7點28分,李明到了。

  7點35分,陳國棟到了。

  7點41分,工藝工程師趙琳到了。

  7點50分,所有人都到齊了。

  一共七個人。

  蘇辰站在250mm DRIE設備前,轉身面對他的團隊。

  這台設備是他花了八個月時間設計、採購零件、組裝調試的。設備的核心腔體是陳國棟和他的團隊用六天六夜趕製出來的。腔體上安裝的預補償件,角度偏差控制在±0.01度,位置偏差控制在±5微米。

  校準程序是李明寫的。兩組交叉驗證誤差均在±0.005度以內。

  等效熱彈性近似法的解析預測值——12.05度——是蘇辰在今年7月14日,在他的筆記本第5本第116頁上寫下的。

  那個數字在筆記本上安靜地等待了四個月零五天。

  今天,它將被驗證。

  」各位,」蘇辰的聲音平靜而清晰,」今天的流程大家已經過了三遍了,我不再重複。只說一點——」

  他環顧了一圈,目光從每個人的臉上掃過。

  」不管結果是什麼,今天你們每一個人都可以為自己驕傲。250mm DRIE腔體的設計、加工、裝配、校準,在全世界範圍內沒有任何一個團隊做過。我們是第一個。」

  他停頓了一下。

  」好了。開始吧。」

  ……

  早上8點整。

  首測正式開始。

  第一步:最終真空度確認。

  沈志明在真空泵控制面板前讀出數據:」真空度2.8×10⁻³ Pa,達標。」

  蘇辰點頭:」進入第二步。」

  第二步:SF₆/C₄F₈氣體預充。

  趙琳操作氣體管路閥門,將刻蝕氣體SF₆和鈍化氣體C₄F₈分別充入儲氣罐。壓力傳感器的讀數在控制面板上實時跳動。

  」SF₆充氣完成,儲氣壓力1.2 bar。C₄F₈充氣完成,儲氣壓力0.8 bar。」

  」進入第三步。」

  第三步:等離子體點火測試。

  這是整個流程中最關鍵的環節之一——250mm腔體的等離子體均勻性直接決定了刻蝕的質量。如果等離子體在腔體內的分布不均勻,刻蝕出來的側壁角度就會偏離預測值。

  李明在控制台上啟動了等離子體電源。

  」RF功率600W……等離子體點火成功。」

  控制面板上的光譜分析窗口顯示出了等離子體的發射光譜——SF₆的特徵峰清晰可見,分布均勻。


  」等離子體均勻性檢測……」李明盯著屏幕上的數據,幾秒鐘後報出結果,」均勻性偏差1.2%,在可接受範圍內。」

  蘇辰的表情沒有變化。1.2%的均勻性偏差對於250mm腔體來說已經非常好了——他們在200mm腔體上的均勻性偏差是0.8%,考慮到尺寸增加了25%,1.2%是一個合理的數字。

  」進入第四步。正式刻蝕。」

  ……

  第四步是整個流程中最漫長的環節——Bosch工藝循環刻蝕。

  SF₆刻蝕矽→C₄F₈鈍化側壁→SF₆再刻蝕→C₄F₈再鈍化——這個循環將重複數百次,每次循環大約需要12秒,總耗時預計在3個小時左右。

  在這三個小時裡,蘇辰一直站在控制面板前,沒有坐下,沒有喝水,沒有說一句多餘的話。

  他盯著屏幕上實時跳動的三組數據——

  刻蝕深度。

  側壁角度。

  腔體溫度。

  前兩組數據在穩步推進,一切正常。

  但第三組數據——腔體溫度——在刻蝕進行到第47分鐘的時候,開始出現了蘇辰預料之中的變化。

  」溫度偏移開始了。」蘇辰的聲音很輕,但實驗室里所有人都聽到了。

  沈志明立刻看向溫度監控面板——腔體內壁的溫度從初始的23.0℃開始緩慢上升。

  23.2℃……23.5℃……23.8℃……

  這就是熱膨脹效應。

  在200mm腔體上,這個效應導致了側壁角度偏離預期8.71度——當時所有人都以為刻蝕失敗了,直到蘇辰拿出了等效熱彈性近似法的推導,證明8.71度不是失敗,而是熱膨脹效應的必然結果。

  現在,在250mm腔體上,同樣的效應正在發生——只是程度更大。

  」預補償系統準備。」蘇辰說。

  」預補償系統就緒。」趙琳回答。

  」等刻蝕深度達到180微米時啟動。」

  」明白。」

  時間一分一秒地過去。

  腔體溫度繼續上升:24.0℃……24.3℃……24.7℃……

  刻蝕深度穩步推進:50微米……80微米……120微米……150微米……

  到了上午10點17分,刻蝕深度達到了180微米。

  」啟動預補償系統。」蘇辰的聲音依然平靜。

  趙琳按下了預補償系統的啟動按鈕。

  預補償件開始工作——通過精確控制腔體壁上預埋的熱電偶和微調機構,對熱膨脹效應引起的形變進行實時補償。

  這套預補償系統的設計原理,正是基於蘇辰在筆記本第5本第112-116頁推導出的等效熱彈性近似法。

  補償方向:徑向。

  補償量:根據解析解實時計算。

  目標側壁角度:90度(在250mm尺寸下,熱膨脹效應會導致側壁角度偏離約12.05度——預補償系統的目標就是把這個偏差補回來)。

  」預補償系統運行正常。」趙琳報出了數據,」補償量與解析預測值的偏差在±0.3%以內。」

  蘇辰微微點頭。

  但他知道,預補償系統能不能真正起作用,要等到刻蝕結束後才能知道。

  現在能做的只有一件事——等。

  ……

  與此同時。

  深圳,南山區,鴻遠飛鳥總部。

  林薇坐在辦公室里,面前的電腦屏幕上沒有打開任何網頁。

  她盯著手機看了五分鐘了——蘇辰的微信頭像是灰色的,顯示」對方已關機」。

  她知道蘇辰在首測。

  她也知道自己什麼都幫不上。

  前天的直播,她能做的已經做了。昨天博世15億的消息,她已經看了一整天。今天——

  今天只能等。

  她的手機上有317條未讀消息——投資人、媒體、行業協會、飛鳥聯盟成員、甚至幾個中央部委的處級幹部。所有人都在問同一件事:


  」250mm驗證什麼時候出結果?」

  林薇沒有回覆任何一條。

  因為她不知道答案。

  她只知道蘇辰說過的那句話——」你去替我說話,我留下來替你做事。」

  所以她等。

  ……

  上午11點整。

  實驗室。

  刻蝕已經進行了三個小時。

  腔體溫度穩定在26.3℃,刻蝕深度達到了目標值的92%。

  一切正常。

  但蘇辰的眉頭在過去十分鐘裡微微皺了一下——不是因為數據出了問題,而是因為他注意到預補償系統的補償量在最後階段出現了一個微小的波動。

  波動幅度:±0.08%。

  在正常範圍內,但比之前的±0.3%更大了。

  」趙琳。」

  」在。」

  」熱電偶7號的讀數。」

  趙琳查看了7號熱電偶的數據:」26.31℃……26.33℃……26.29℃……讀數有輕微波動,但在±0.05℃以內。」

  蘇辰沉默了幾秒鐘。

  」繼續監控。如果波動超過±0.1℃,立刻通知我。」

  」明白。」

  波動沒有擴大。

  上午11點37分,最後一個Bosch循環完成。

  」刻蝕完成。」李明的聲音從控制台傳來,帶著一絲難以克制的顫抖,」目標深度達標。正在降溫。」

  實驗室里沒有人說話。

  沒有人歡呼。

  因為所有人都知道——刻蝕完成不代表成功。真正決定成敗的,是接下來的測量環節。

  ……

  降溫用了40分鐘。

  中午12點17分,腔體溫度降到了室溫。

  蘇辰親自操作了取樣程序——將刻蝕完成的250mm矽片從腔體中取出,放置在測量平台上。

  這片矽片是全世界第一塊在250mm尺寸DRIE設備上完成Bosch工藝刻蝕的矽片。

  它看起來和普通的矽片沒有什麼區別——直徑250毫米,厚度約0.7毫米,表面在無塵燈光下折射出淡淡的彩虹色光澤。

  但在它的表面之下,是數百個深度超過300微米的微型腔體——每一個腔體的側壁角度,都將決定蘇辰過去四個月的推導是對還是錯。

  蘇辰把矽片固定在掃描電鏡的樣品台上。

  」開始測量。」

  掃描電鏡的探針開始工作,逐個掃描矽片表面的微型腔體。數據在屏幕上實時生成——

  側壁角度的測量值一個一個地跳出來。

  實驗室里安靜得只能聽到掃描電鏡的嗡嗡聲和所有人的呼吸聲。

  蘇辰盯著屏幕。

  沈志明盯著屏幕。

  李明盯著屏幕。

  陳國棟盯著屏幕。

  趙琳盯著屏幕。

  所有人都盯著屏幕。

  三分鐘後,第一組測量數據出來了。

  屏幕上顯示著三行數字——

  仿真組A預測值:11.98度

  仿真組B預測值:12.11度

  等效熱彈性近似法解析預測值:12.05度

  然後,最下面一行——

  實測值:12.03度

  實驗室里依然沒有人說話。

  蘇辰看著那個數字——12.03度。

  與等效熱彈性近似法的解析預測值12.05度相比,偏差0.02度。

  與200mm腔體的驗證實驗一樣——偏差0.02度。

  這個偏差在深寬比小於0.3時的理論誤差範圍(0.5%)之內。

  12.05度的0.5%是0.06度。


  實際偏差0.02度,遠小於理論誤差上限。

  蘇辰的手指在鍵盤上停了兩秒鐘。

  然後他說了一句話——

  」再測一次。」

  ……

  沒有人反對。

  第二組測量在十五分鐘後完成。

  實測值:12.04度

  偏差0.01度。

  蘇辰看著屏幕上的數字,沉默了大約五秒鐘。

  然後他轉過身,面對他的團隊。

  他的表情沒有太大的變化——沒有狂喜,沒有激動,沒有熱淚盈眶。

  只是嘴角微微上揚了一點點。

  」驗證通過。」

  兩個字。

  實驗室里沉默了一秒。

  然後——

  」好!!!」

  沈志明第一個喊了出來。他的聲音在實驗室的金屬牆壁之間迴蕩,帶著一種壓抑了太久之後終於釋放的力量。

  」成了!成了!!」李明的聲音緊隨其後。

  陳國棟沒有喊。他只是靠在了身後的設備架上,閉上了眼睛,深深地吸了一口氣——然後呼了出來。

  趙琳的眼眶紅了。

  蘇辰站在原地,看著他的團隊——這些跟著他沒日沒夜工作了幾個月的人——露出了一個笑容。

  不是那種爽朗的大笑。

  是一種安靜的、確定的笑。

  就像三年前在城中村的出租屋裡,第一次打開那塊280塊錢的開發板時心裡湧起的那種感覺。

  確定。

  」志明。」蘇辰說。

  」在!」沈志明的眼睛裡還閃著光。

  」通知林總。」

  」好嘞!」沈志明掏出手機,撥通了林薇的號碼。

  電話響了一聲就被接了。

  」志明?」林薇的聲音帶著一絲克制不住的顫抖——她顯然一直在等這個電話。

  」林總——」沈志明的聲音也有些發抖,」12.03度。偏差0.02。第二次測量12.04。驗證通過。」

  電話那頭沉默了三秒鐘。

  然後林薇說了一個字:

  」好。」

  然後電話掛了。

  沈志明看著掛斷的手機屏幕,愣了一下——他以為林薇至少會多說幾句話。

  但他不知道的是——

  在深圳南山區鴻遠飛鳥總部的辦公室里,林薇掛斷電話後,一個人坐在椅子上,雙手捂住了臉。

  她沒有哭。

  但她的肩膀在輕微地顫抖。

  良久,她放下了手。

  她的眼睛是紅的,但眼角是乾的。

  她拿起手機,給蘇辰發了一條微信——雖然她知道蘇辰現在是關機的:

  」12.03。我知道了。」

  停了幾秒,她又加了一句:

  」該請全公司吃飯了。」

  然後她站起身,走到窗前,深吸了一口氣。

  窗外的深圳,陽光正好。

  她拿起電話,撥通了公關部的號碼。

  」小周,準備一下。半小時後發布官方聲明。」

  」內容呢?」

  」250mm DRIE首測完成。側壁角度實測值12.03度,與等效熱彈性近似法解析預測值12.05度偏差0.02度,驗證成功。附上第三方檢測預約確認——中航工業611所檢測中心,三天內出具正式報告。」

  」明白。」

  」還有一句——」

  林薇想了幾秒鐘。

  」加上一句:'技術是唯一不需要解釋的語言。'」

  」……收到。」

章節目錄