第417章 光刻機項目啟動
2002年7月28日，濟南，齊魯微電子中心。
會議室里坐了二十幾個人。
有穿著軍便裝的老專家，頭髮全白了，胸前別著「長春光機所」的徽章。
有穿著西裝的中年人，是上海微電子裝備的總經理和總工程師。
有戴著厚眼鏡的教授，是清華大學精密儀器系的。
還有幾個年輕人，坐在後排，面前擺著筆記本電腦。
倪光南站在白板前，手裡拿著一支馬克筆。他清了清嗓子，會議室里安靜了下來。
「今天這個會，是光刻機項目的啟動會。在座的各位，有做光學的，有做機械的，有做控制的，有做軟體的。我們這些人聚在一起，要做一件事——造一台中國人自己的光刻機。」
他轉過身，在白板上寫了幾個字：90納米，五年。
「目標:五年之內，做出90納米工藝的光刻機原型機。能做樣品，能跑通工藝，能驗證技術路線，這是第一階段。第二階段，把原型機變成產品，變成生產線，變成產能。那可能需要另一個五年。但今天，我們先定第一個五年。」
他停了一下，看了一圈。
「任務分工是這樣的。光學系統，由長春光機所牽頭，包括光源、照明系統、投影物鏡，這是光刻機的心臟，也是最難的部分。機械與控制系統，由上海微電子裝備牽頭，包括工件台、掩模台、對準系統、調平調焦系統，這是光刻機的骨架和肌肉。計算光刻軟體，由清華大學牽頭，包括光學鄰近效應修正、光源掩模協同優化、計算光刻建模，這是光刻機的大腦。」
他翻了一頁，是經費預算表。
「星火集團首期投入五個億。光學系統兩個億，機械與控制系統兩個億，計算光刻軟體一個億。經費分三期撥付，每期對應階段性成果。成果達標了，撥付下一期經費。不達標，暫停下一期經費撥付，進行整改。整改還不達標，換團隊。」
會議室里安靜了幾秒。長春光機所的老專家開口了，聲音不大，但很清楚。「倪總，五個億，光學分兩個億。我幹了四十年光學，沒見過這麼多錢。我代表光機所表態，這個任務，我們接了。五年，90納米，做不出來，我這輩子不再碰光學。」
上海微電子裝備的總經理接著說：「我們也接了。機械和控制，我們有基礎。雖然跟ASML差距很大，但不是零基礎。五年，我們把工件台的定位精度做到10納米以內。」
清華的教授推了推眼鏡。「軟體這塊，我們團隊有十幾個人，一直在做計算光刻。經費夠的話，我們可以擴到三十人。五年，足夠做出一套可用的OPC軟體。」
倪光南點點頭。他拿起筆，在白板上又寫了一行字：智慧財產權歸屬——聯盟共有，星火優先使用。
「專利的事，提前說清楚。所有在這個項目里產生的專利，歸聯盟共有。聯盟里的單位，都可以使用。但星火集團作為出資方，擁有優先使用權。不是獨家，是優先。別人要用，得星火同意。同意的條件，由星火定。」
沒人反對。倪光南把筆放下，看著所有人。
「還有一件事。項目管理，要嚴格。每個季度檢查進度，完不成的要問責。不是走過場，是真問責。誰拖了後腿，誰負責。我醜話說在前頭，到時候別怪我不講情面。」
長春光機所的老專家笑了笑。「倪總，你放心。我們這些人，一輩子跟精度打交道。差一微米都不行，何況是差一個季度。」
倪光南點點頭，「那就這樣。下個月，各團隊提交詳細方案。方案過了，簽合同，撥款。今天就到這裡。」
散會後，倪光南和凌雲站在會議室門口。老專家們陸續離開，倪光南看著他們的背影，說：「這些人，是國內光學、機械、控制、軟體領域最頂尖的人才。有的退休了，被返聘回來。有的還在崗位上，帶著團隊。把他們聚在一起，不容易。」
凌雲說：「五年後，他們會為自己做的事驕傲的。」
倪光南沒說話。他站在那裡，看著走廊盡頭，看了很久。然後他轉過身，看著凌雲。
「凌總，有件事我要提前跟你說。光刻機這個項目，五年出原型機，只是第一步。第二步是量產，那需要的錢是第一步的十倍。而且，就算我們做出來了，ASML也不會坐視。他們會降價，會放開對中國市場的供應，會用一切手段打壓我們。到時候，我們造出來的光刻機，可能一台都賣不出去。」
凌雲看著他。「你怕嗎？」
倪光南沉默了幾秒。「怕。但我更怕的是，十年後，二十年後，我們的孫子輩要用天價，去買別人落後兩代的淘汰光刻機，還要看別人的臉色。所以，怕也要做。」
凌雲說：「那就做。ASML降價，我們就買他們的，先用著。但我們自己的研發不能停。他們降價一次，我們就多買一次時間。時間夠了，技術成熟了，成本降下來了，市場自然就有了。這不是一場速決戰，是一場持久戰。」
倪光南點點頭。他轉過身，看著走廊盡頭那些老專家消失的方向。
「持久戰。我打了大半輩子了，不差這五年。」
凌雲沒有說話，他站在倪光南旁邊，也看著那個方向。
會議室里坐了二十幾個人。
有穿著軍便裝的老專家，頭髮全白了，胸前別著「長春光機所」的徽章。
有穿著西裝的中年人，是上海微電子裝備的總經理和總工程師。
有戴著厚眼鏡的教授，是清華大學精密儀器系的。
還有幾個年輕人，坐在後排，面前擺著筆記本電腦。
倪光南站在白板前，手裡拿著一支馬克筆。他清了清嗓子，會議室里安靜了下來。
「今天這個會，是光刻機項目的啟動會。在座的各位，有做光學的，有做機械的，有做控制的，有做軟體的。我們這些人聚在一起，要做一件事——造一台中國人自己的光刻機。」
他轉過身，在白板上寫了幾個字：90納米，五年。
「目標:五年之內，做出90納米工藝的光刻機原型機。能做樣品，能跑通工藝，能驗證技術路線，這是第一階段。第二階段，把原型機變成產品，變成生產線，變成產能。那可能需要另一個五年。但今天，我們先定第一個五年。」
他停了一下，看了一圈。
「任務分工是這樣的。光學系統，由長春光機所牽頭，包括光源、照明系統、投影物鏡，這是光刻機的心臟，也是最難的部分。機械與控制系統，由上海微電子裝備牽頭，包括工件台、掩模台、對準系統、調平調焦系統，這是光刻機的骨架和肌肉。計算光刻軟體，由清華大學牽頭，包括光學鄰近效應修正、光源掩模協同優化、計算光刻建模，這是光刻機的大腦。」
他翻了一頁，是經費預算表。
「星火集團首期投入五個億。光學系統兩個億，機械與控制系統兩個億，計算光刻軟體一個億。經費分三期撥付，每期對應階段性成果。成果達標了，撥付下一期經費。不達標，暫停下一期經費撥付，進行整改。整改還不達標，換團隊。」
會議室里安靜了幾秒。長春光機所的老專家開口了，聲音不大，但很清楚。「倪總，五個億，光學分兩個億。我幹了四十年光學，沒見過這麼多錢。我代表光機所表態，這個任務，我們接了。五年，90納米，做不出來，我這輩子不再碰光學。」
上海微電子裝備的總經理接著說：「我們也接了。機械和控制，我們有基礎。雖然跟ASML差距很大，但不是零基礎。五年，我們把工件台的定位精度做到10納米以內。」
清華的教授推了推眼鏡。「軟體這塊，我們團隊有十幾個人，一直在做計算光刻。經費夠的話，我們可以擴到三十人。五年，足夠做出一套可用的OPC軟體。」
倪光南點點頭。他拿起筆，在白板上又寫了一行字：智慧財產權歸屬——聯盟共有，星火優先使用。
「專利的事，提前說清楚。所有在這個項目里產生的專利，歸聯盟共有。聯盟里的單位，都可以使用。但星火集團作為出資方，擁有優先使用權。不是獨家，是優先。別人要用，得星火同意。同意的條件，由星火定。」
沒人反對。倪光南把筆放下，看著所有人。
「還有一件事。項目管理，要嚴格。每個季度檢查進度，完不成的要問責。不是走過場，是真問責。誰拖了後腿，誰負責。我醜話說在前頭，到時候別怪我不講情面。」
長春光機所的老專家笑了笑。「倪總，你放心。我們這些人，一輩子跟精度打交道。差一微米都不行，何況是差一個季度。」
倪光南點點頭，「那就這樣。下個月，各團隊提交詳細方案。方案過了，簽合同，撥款。今天就到這裡。」
散會後，倪光南和凌雲站在會議室門口。老專家們陸續離開，倪光南看著他們的背影，說：「這些人，是國內光學、機械、控制、軟體領域最頂尖的人才。有的退休了，被返聘回來。有的還在崗位上，帶著團隊。把他們聚在一起，不容易。」
凌雲說：「五年後，他們會為自己做的事驕傲的。」
倪光南沒說話。他站在那裡，看著走廊盡頭，看了很久。然後他轉過身，看著凌雲。
「凌總，有件事我要提前跟你說。光刻機這個項目，五年出原型機，只是第一步。第二步是量產，那需要的錢是第一步的十倍。而且，就算我們做出來了，ASML也不會坐視。他們會降價，會放開對中國市場的供應，會用一切手段打壓我們。到時候，我們造出來的光刻機，可能一台都賣不出去。」
凌雲看著他。「你怕嗎？」
倪光南沉默了幾秒。「怕。但我更怕的是，十年後，二十年後，我們的孫子輩要用天價，去買別人落後兩代的淘汰光刻機，還要看別人的臉色。所以，怕也要做。」
凌雲說：「那就做。ASML降價，我們就買他們的，先用著。但我們自己的研發不能停。他們降價一次，我們就多買一次時間。時間夠了，技術成熟了，成本降下來了，市場自然就有了。這不是一場速決戰，是一場持久戰。」
倪光南點點頭。他轉過身，看著走廊盡頭那些老專家消失的方向。
「持久戰。我打了大半輩子了，不差這五年。」
凌雲沒有說話，他站在倪光南旁邊，也看著那個方向。