第242章 齊魯微電子中心
早上八點十五分，一輛黑色奧迪駛入濟南高新技術產業開發區齊魯軟體園。車在園內一棟新建的五層灰白色建築前停下。樓體方正，窗戶寬大，樓頂立著幾個白色的通信天線。樓門口掛著兩塊牌子：左邊是「齊魯微電子研究中心」，右邊是「星火科技集成電路設計中心」。
凌雲推開車門，一月的濟南冷風撲面而來。他裹緊黑色羽絨服，抬頭看了看這座新樓。
趙虎從駕駛座下來，手裡拎著一個黑色公文包。
「凌總，直接進去？」趙虎問。
「嗯。」凌雲點頭。
兩人走進大樓。一樓大廳空曠，水磨石地面剛打過蠟，光可鑑人。前台空著，牆上掛著項目介紹展板，但還沒裝玻璃罩。展板上的字是列印貼上去的，有些邊角已經翹起。
一個穿著藍色工裝、約莫二十五六歲的年輕人正蹲在牆角調試一台網絡交換機，聽見腳步聲，轉頭看過來。
「你們找誰？」年輕人站起來，手上還拿著把螺絲刀。
「找倪光南倪總。」凌雲說。
年輕人上下打量了一下凌雲，又看看趙虎：「有預約嗎？倪總在四樓開會。」
「有預約。我姓凌。」
年輕人眼睛一亮：「凌總？倪總交代過。您稍等，我打個電話。」他快步走到前台，拿起座機撥了個號碼。
等待時，凌雲走到展板前。展板標題是「集成電路產業鏈示意圖」，畫著從矽材料到封裝測試的流程圖，每個環節用方框標出，箭頭連接。方框裡有些打了紅勾，有些是黃圈，有些空白。
「這圖誰做的？」凌雲問。
「我做的。」年輕人掛掉電話，走過來，「倪總讓做的，說要讓大家清楚我們在整個鏈條里的位置。紅勾是中心已經有研究方向的，黃圈是正在調研的，空白是暫時沒涉及的。」
凌雲仔細看。打紅勾的有：晶片設計（前端）、邏輯仿真、測試向量生成。黃圈的有：版圖設計（後端）、工藝模擬。空白的是：矽材料、晶圓製備、光刻系統、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、清洗檢測、封裝測試、EDA工具——幾乎整個製造端都是空白。
「空白這麼多。」凌雲說。
「是啊。」年輕人撓撓頭，「倪總說，設計我們能做，但製造……差距太大了。光刻機國內最好的還是上海那台0.8微米的，進口的能到0.35，但人家不賣給我們。」
樓梯間傳來急促的腳步聲，倪光南從二樓走下來，沒穿外套，灰色毛衣袖子挽到手肘，手裡拿著個筆記本。
「凌總！到了怎麼不直接上來？」倪光南臉上帶著笑，但眼袋很深，頭髮又白了不少。
「剛進來，看看你們設計的展板。」凌雲和他握手，倪光南的手乾燥，有老繭。
「小張，去給凌總倒杯茶。」倪光南對年輕人說，然後轉向凌雲，「走，先上樓，我帶你看看。」
電梯還沒啟用，他們走樓梯。樓梯間牆皮有些地方沒刷勻，露出水泥底色。
「樓是開發區特批的，免租金。」倪光南邊走邊說，「我們去年十一月搬進來，設備陸續到貨。現在一到三樓是辦公和實驗室，四樓會議室和圖書館，五樓是潔淨室在建。」
「人員呢？」凌雲問。
「七十三人。」倪光南如數家珍，「設計組三十二人，工藝組十八人，測試組十二人，軟體工具組八人，行政後勤三人。設計組裡，有十二個是我從計算所、電子部幾個老單位挖來的，經驗豐富。剩下的都是這兩年畢業的碩士博士，年輕人有衝勁。」
二樓是開放辦公區。七八排工位，坐滿了人。電腦都是星火品牌電腦，顯示器是球面的CRT。工位隔板上貼滿了圖紙、便簽，有些掛著國家地圖、世界地圖，上面用紅筆圈出幾個地方：美國矽谷、台灣新竹、日本筑波。
空氣中瀰漫著咖啡、泡麵和焊錫的味道。
倪光南拍了拍手：「大家停一下，介紹個人。」
敲鍵盤的聲音停下來，人們抬起頭。
「這位是凌雲凌總，星火科技的創始人，也是我們中心的出資方和戰略指導。」倪光南提高音量，「凌總今天來看大家。」
稀稀拉拉的掌聲。大多數人眼神裡帶著好奇，有些年輕員工露出興奮的表情，交頭接耳。
「你們忙你們的，我就是來看看。」凌雲擺擺手，「倪總，咱們繼續。」
倪光南領著他穿過辦公區，走到裡面一排用玻璃隔斷圍起來的實驗室。第一個實驗室門上貼著「邏輯設計驗證」。
推門進去，裡面六個人圍著一台工作站。工作站屏幕上顯示著複雜的電路圖，彩色線條交錯。
「這是1微米工藝的CPU原型設計驗證。」倪光南指著屏幕，「指令集我們自己定義的，精簡，但夠用。目標是做嵌入式控制晶片，比如智能電錶、工業控制器。」
一個戴眼鏡、頭髮花白的中年男人站起來：「倪工。」
「老李，給凌總講講進展。」
老李推了推眼鏡，走到白板前，拿起筆：「凌總，我們現在的設計是基於正向流程，從架構到寄存器傳輸級代碼，再到邏輯綜合。目前已經完成算術邏輯單元和控制單元的設計，正在做時序驗證。主要瓶頸是EDA工具——我們用的Synopsys是教育版，功能有限，而且版本是兩年前的。」
「盜版？」凌雲問。
「嗯……」老李有點尷尬，「正版太貴，一套要幾十萬美元。我們用學校的許可證。」
「能用嗎？」
「基本功能可以，但仿真速度慢，而且不能做先進工藝的物理設計。」老李說，「版圖設計我們現在還是手工居多，自動化程度低。」
凌雲點點頭，沒說話。
下一個實驗室是「工藝模擬」。裡面有幾台小設備，一台箱式爐，一台濺射台，還有一台顯微鏡。
一個年輕女工程師正在顯微鏡下觀察一片矽片。矽片只有指甲蓋大小，表面有細微的圖案。
「小周，給凌總看看。」倪光南說。
小周抬起頭，臉有點紅：「凌總好。」她把矽片從顯微鏡下取出來，小心地放在一個塑料托盤裡，遞給凌雲。
矽片在燈光下泛著金屬光澤，表面有規律的線條，線條邊緣有些毛刺。
「這是我們在實驗室條件下做的0.5微米線寬測試圖形。」小周解釋，「用的還是紫外接觸式光刻，掩模版是自己用雷射直寫的。線寬不均勻，但能看出圖形。」
「成品率多少？」凌雲問。
「很低……不到5%。」小周聲音小了，「主要是光刻對準精度不夠，還有膠的均勻性問題。我們用的光刻膠是國產的，性能不穩定。」
「設備呢？」
「光刻機是上海光學儀器廠的老型號，改裝的。刻蝕用反應離子刻蝕台，是二手的，從韓國買來的淘汰設備。」小周頓了頓，「倪總說，等五樓的潔淨室建好，搬進去再試試。」
凌雲把矽片放回托盤：「辛苦了。」
小周用力點頭。
三樓是測試區。幾台示波器、邏輯分析儀、探針台。一個年輕工程師正用探針扎在一片封裝好的晶片上，示波器屏幕上跳動著波形。
「這是測試組。」倪光南說，「我們設計的晶片流片回來，要在這裡做功能和性能測試。現在……還沒流片過。」
「為什麼？」凌雲問。
「流片費用太高。」倪光南苦笑，「哪怕找台灣的小廠，用0.8微米工藝流一次，也要十幾萬美元。我們沒那麼多錢，而且設計沒完全成熟，不敢流。」
「自己不能做嗎？」
「不能。」倪光南搖頭，「光刻、刻蝕、離子注入……這些工藝設備，我們一台都沒有。國內也沒有能代工0.8微米以下工藝的產線。上海華虹剛建，用的是日本的技術和設備，還沒量產。」
「明白了。」凌雲說。
參觀完，倪光南帶凌雲上四樓。樓梯間牆上貼著標語：「自力更生，艱苦奮鬥」、「造出中國芯」。
四樓會議室很大，能坐五十人。牆上掛著投影幕布，長桌上散落著圖紙、數據手冊、英文技術論文的複印件。
倪光南給凌雲倒了杯茶，茶是茉莉花茶，香氣撲鼻。
「坐，凌總。」倪光南拉把椅子坐下，掏出筆記本，「我先簡單匯報一下整體情況。」
凌雲推開車門，一月的濟南冷風撲面而來。他裹緊黑色羽絨服，抬頭看了看這座新樓。
趙虎從駕駛座下來，手裡拎著一個黑色公文包。
「凌總，直接進去？」趙虎問。
「嗯。」凌雲點頭。
兩人走進大樓。一樓大廳空曠，水磨石地面剛打過蠟，光可鑑人。前台空著，牆上掛著項目介紹展板，但還沒裝玻璃罩。展板上的字是列印貼上去的，有些邊角已經翹起。
一個穿著藍色工裝、約莫二十五六歲的年輕人正蹲在牆角調試一台網絡交換機，聽見腳步聲，轉頭看過來。
「你們找誰？」年輕人站起來，手上還拿著把螺絲刀。
「找倪光南倪總。」凌雲說。
年輕人上下打量了一下凌雲，又看看趙虎：「有預約嗎？倪總在四樓開會。」
「有預約。我姓凌。」
年輕人眼睛一亮：「凌總？倪總交代過。您稍等，我打個電話。」他快步走到前台，拿起座機撥了個號碼。
等待時，凌雲走到展板前。展板標題是「集成電路產業鏈示意圖」，畫著從矽材料到封裝測試的流程圖，每個環節用方框標出，箭頭連接。方框裡有些打了紅勾，有些是黃圈，有些空白。
「這圖誰做的？」凌雲問。
「我做的。」年輕人掛掉電話，走過來，「倪總讓做的，說要讓大家清楚我們在整個鏈條里的位置。紅勾是中心已經有研究方向的，黃圈是正在調研的，空白是暫時沒涉及的。」
凌雲仔細看。打紅勾的有：晶片設計（前端）、邏輯仿真、測試向量生成。黃圈的有：版圖設計（後端）、工藝模擬。空白的是：矽材料、晶圓製備、光刻系統、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、清洗檢測、封裝測試、EDA工具——幾乎整個製造端都是空白。
「空白這麼多。」凌雲說。
「是啊。」年輕人撓撓頭，「倪總說，設計我們能做，但製造……差距太大了。光刻機國內最好的還是上海那台0.8微米的，進口的能到0.35，但人家不賣給我們。」
樓梯間傳來急促的腳步聲，倪光南從二樓走下來，沒穿外套，灰色毛衣袖子挽到手肘，手裡拿著個筆記本。
「凌總！到了怎麼不直接上來？」倪光南臉上帶著笑，但眼袋很深，頭髮又白了不少。
「剛進來，看看你們設計的展板。」凌雲和他握手，倪光南的手乾燥，有老繭。
「小張，去給凌總倒杯茶。」倪光南對年輕人說，然後轉向凌雲，「走，先上樓，我帶你看看。」
電梯還沒啟用，他們走樓梯。樓梯間牆皮有些地方沒刷勻，露出水泥底色。
「樓是開發區特批的，免租金。」倪光南邊走邊說，「我們去年十一月搬進來，設備陸續到貨。現在一到三樓是辦公和實驗室，四樓會議室和圖書館，五樓是潔淨室在建。」
「人員呢？」凌雲問。
「七十三人。」倪光南如數家珍，「設計組三十二人，工藝組十八人，測試組十二人，軟體工具組八人，行政後勤三人。設計組裡，有十二個是我從計算所、電子部幾個老單位挖來的，經驗豐富。剩下的都是這兩年畢業的碩士博士，年輕人有衝勁。」
二樓是開放辦公區。七八排工位，坐滿了人。電腦都是星火品牌電腦，顯示器是球面的CRT。工位隔板上貼滿了圖紙、便簽，有些掛著國家地圖、世界地圖，上面用紅筆圈出幾個地方：美國矽谷、台灣新竹、日本筑波。
空氣中瀰漫著咖啡、泡麵和焊錫的味道。
倪光南拍了拍手：「大家停一下，介紹個人。」
敲鍵盤的聲音停下來，人們抬起頭。
「這位是凌雲凌總，星火科技的創始人，也是我們中心的出資方和戰略指導。」倪光南提高音量，「凌總今天來看大家。」
稀稀拉拉的掌聲。大多數人眼神裡帶著好奇，有些年輕員工露出興奮的表情，交頭接耳。
「你們忙你們的，我就是來看看。」凌雲擺擺手，「倪總，咱們繼續。」
倪光南領著他穿過辦公區，走到裡面一排用玻璃隔斷圍起來的實驗室。第一個實驗室門上貼著「邏輯設計驗證」。
推門進去，裡面六個人圍著一台工作站。工作站屏幕上顯示著複雜的電路圖，彩色線條交錯。
「這是1微米工藝的CPU原型設計驗證。」倪光南指著屏幕，「指令集我們自己定義的，精簡，但夠用。目標是做嵌入式控制晶片，比如智能電錶、工業控制器。」
一個戴眼鏡、頭髮花白的中年男人站起來：「倪工。」
「老李，給凌總講講進展。」
老李推了推眼鏡，走到白板前，拿起筆：「凌總，我們現在的設計是基於正向流程，從架構到寄存器傳輸級代碼，再到邏輯綜合。目前已經完成算術邏輯單元和控制單元的設計，正在做時序驗證。主要瓶頸是EDA工具——我們用的Synopsys是教育版，功能有限，而且版本是兩年前的。」
「盜版？」凌雲問。
「嗯……」老李有點尷尬，「正版太貴，一套要幾十萬美元。我們用學校的許可證。」
「能用嗎？」
「基本功能可以，但仿真速度慢，而且不能做先進工藝的物理設計。」老李說，「版圖設計我們現在還是手工居多，自動化程度低。」
凌雲點點頭，沒說話。
下一個實驗室是「工藝模擬」。裡面有幾台小設備，一台箱式爐，一台濺射台，還有一台顯微鏡。
一個年輕女工程師正在顯微鏡下觀察一片矽片。矽片只有指甲蓋大小，表面有細微的圖案。
「小周，給凌總看看。」倪光南說。
小周抬起頭，臉有點紅：「凌總好。」她把矽片從顯微鏡下取出來，小心地放在一個塑料托盤裡，遞給凌雲。
矽片在燈光下泛著金屬光澤，表面有規律的線條，線條邊緣有些毛刺。
「這是我們在實驗室條件下做的0.5微米線寬測試圖形。」小周解釋，「用的還是紫外接觸式光刻，掩模版是自己用雷射直寫的。線寬不均勻，但能看出圖形。」
「成品率多少？」凌雲問。
「很低……不到5%。」小周聲音小了，「主要是光刻對準精度不夠，還有膠的均勻性問題。我們用的光刻膠是國產的，性能不穩定。」
「設備呢？」
「光刻機是上海光學儀器廠的老型號，改裝的。刻蝕用反應離子刻蝕台，是二手的，從韓國買來的淘汰設備。」小周頓了頓，「倪總說，等五樓的潔淨室建好，搬進去再試試。」
凌雲把矽片放回托盤：「辛苦了。」
小周用力點頭。
三樓是測試區。幾台示波器、邏輯分析儀、探針台。一個年輕工程師正用探針扎在一片封裝好的晶片上，示波器屏幕上跳動著波形。
「這是測試組。」倪光南說，「我們設計的晶片流片回來，要在這裡做功能和性能測試。現在……還沒流片過。」
「為什麼？」凌雲問。
「流片費用太高。」倪光南苦笑，「哪怕找台灣的小廠，用0.8微米工藝流一次，也要十幾萬美元。我們沒那麼多錢，而且設計沒完全成熟，不敢流。」
「自己不能做嗎？」
「不能。」倪光南搖頭，「光刻、刻蝕、離子注入……這些工藝設備，我們一台都沒有。國內也沒有能代工0.8微米以下工藝的產線。上海華虹剛建，用的是日本的技術和設備，還沒量產。」
「明白了。」凌雲說。
參觀完，倪光南帶凌雲上四樓。樓梯間牆上貼著標語：「自力更生，艱苦奮鬥」、「造出中國芯」。
四樓會議室很大，能坐五十人。牆上掛著投影幕布，長桌上散落著圖紙、數據手冊、英文技術論文的複印件。
倪光南給凌雲倒了杯茶，茶是茉莉花茶，香氣撲鼻。
「坐，凌總。」倪光南拉把椅子坐下，掏出筆記本，「我先簡單匯報一下整體情況。」