第366章 四重曝光！這不符合物理
看了一會後，王建平痴迷地站了起來，心情有些激動地問著那位戴著國家基金徽章的工作人員。
「這台設備，多重曝光做了幾遍？」
那個人看了他一眼，然後笑了出來:「王總，你一眼就看得出來了。
四重！」
四重曝光，對乾式193nm光刻機來說這是一個非常極限的工藝，已經是量產的極限……
至於實驗室的六重曝光沒有任何意義，良品率將會低到不具備生產意義的程度。
那純粹是為了突破而突破！
而王建平則是驚訝地待在了那裡，作為一個專業人士，不太清楚答案代表什麼。
雖然四重曝光沒有六重極限，但同樣也是極限生產下的低良品率，哪怕工藝完善，最高也就是70%左右。
「四重？193nm，四重曝光做14nm套殼精度多少，你們太瘋狂了。」
「疊加誤差程度控制在2nm以內！」
王建平再一次瞪大了雙眼，然後便緊緊地皺上了眉頭。
「2nm，193的波長，四重曝光能做到2nm，你們把牛頓給挖出來了？」
畢竟以他的專業知識來看，這簡直不符合物理規律。
很快他又想到了一個思路，然後他緊緊地抓住了那位工作人員:「你們用的什麼對準方案？」
那個人沒有回答，而是從旁邊的文件夾上抽出了一份技術手冊，翻到某一頁遞給王建平。
王建平接過後，目光掃過那一頁的技術參數，然後停住了，他的手微微抖了一下。
「這個……這個是……」
「普通出廠的光刻機不帶這個算法，這是傳音科技自己研發的定製版本。。
不過您如果想要了解具體的算法細節，需要簽署「保密協議」才能看。」
那個人溫和地打斷了他。
「但我可以告訴你一個公開數據：這台機器在傳音的生產線上運轉了60多天。
晶圓總產量超過15000片，不過工藝控在了22nm，良品率85%。
驗收組的組長是您在京都大學的導師王志華教授。
他簽字的報告，你可以隨時查閱。」
王建國的嘴唇動了動，就目前華芯國際和傳音科技的關係來說，那個保密協議不用想，就是一份跳槽協議……
最終他轉過身又看了一眼光刻機。
機器的外身是白色的，上面印著「華國半導體國家基金」，還有一個醒目的編號NSE-CX14C【國家半導體裝備系列，晨星14C】
他伸出手輕輕摸了摸那個編號，像是在摸一個新生兒的額頭。
對華國來說，這台光刻機又何嘗不是一個新生兒呢，只不過華星的這個新生兒長得有點快。
「我們等這台機器等了20年。」
他的聲音很低，像是在自言自語，但他的心情……可是無比激動。
他緩緩地收回放在機身上的手，眼底的激動還沒有完全平復，可謂是一步三回頭……
突然間他晃了一下，呼吸卻先一步穩了下來。
他轉身看向旁邊的工作人員，剛才還是不敢相信這個結果，但現在已經化成了無數的期盼與懇求，但骨子裡的急切，還是藏不住的。
「我想再問一句實話，這台晨星14A，什麼時候開始大規模量產供應？
什麼價格？我們華星國際能不能簽意向訂單排上供貨隊列？」
對於王建國問的為什麼直白，為什麼卑微？
這還是因為之前華芯國際從外面放出小道消息說國產光刻機突破，企圖為自己吸引流量……
結果第一台光刻機根本沒有他們的事兒，甚至連詢問訂單也沒有得到任何回復。
所以在他們面前，他不是華芯國際手握大權的王總，而是一個為自己錯誤買單的小王。
工作人員看他這個樣子，眼睛裡多出了幾分嘆息，早知如此，何必當初呢。
不過對於華芯國際，傳音也沒有那麼大的仇視，給個教訓就行了……
「王總，這台晨星14系列光刻機是國家半導體大基金牽頭傳音科技主導研發的量產型裝備，供貨清單本就是面向所有合規晶圓代工企業。
未來技術成熟後也會向全球合作夥伴開放。
不過首批還是面向全球，華芯國際作為國內的龍頭企業，自然在優先供貨名單里。」
工作人員的話音還沒有落下，王建平剛想松下一口氣，對方卻突然話鋒一轉，說出了目前最困難的難題。
「只是目前有一個問題，首批量產專線的產能已經被全部鎖死。
這台光刻機預計年產量是八台，目前全都被劃歸傳音旗下的晶圓廠，用於22nm的成熟工藝量產，14nm工藝的進一步爬坡驗證。
後續批次，產能需要一定的調整，大概需要18個月。
按照常規流程，貴公司需要排隊等貨，至少需要等一年半才能拿到首台國產設備。」
「18個月……」
王建平的眉頭又皺了皺，不太清楚18個月意味著什麼。
並且這還是預期到時候稍微出點問題，至少要到2014年底或者2015年中他們才能拿到，到時候世界半導體工藝已經全員進入到了14nm……
而他們還是落後。
到時候依舊只能代工成熟製程，他們無法藉助國產設備邁向高端市場。
他往前走上半步，語氣也變得更加複雜:
「同志！」
他說出了這兩個字，工作人員的心也微微抽動了一下。
「我知道產能緊張，我知道這台設備離不開傳音的幫助，優先供應他們提高半導體很重要。
但華芯國際也很需要這台設備，我們也需要驗證一些先進技術………為了28nm工藝的突破，我們也鋪墊了很久，但還是卡在了光刻機這一環節上。」
工作人員的心在此抽動了一下。
28nm，華芯國際確實有這方面的計劃，但鋪墊了很久，他還真沒聽說過……
看著對方的情緒發生了變化，王建平立馬乘勝追擊。
「我們願意全額預付設備款，無條件簽署最嚴格的保密協議，後續所有工藝調試數據都可以和傳音科技及國家大基金共享。
產線排布，人員調整，我們完全配合牽頭組的要求！」
畢竟全額付款，又不是沒有做，只不過之前哪怕全額付款也不一定拿到貨，但這個只要全額付款，那絕對沒有問題……
這點小主意，王建平就可以做主！
「這台設備，多重曝光做了幾遍？」
那個人看了他一眼，然後笑了出來:「王總，你一眼就看得出來了。
四重！」
四重曝光，對乾式193nm光刻機來說這是一個非常極限的工藝，已經是量產的極限……
至於實驗室的六重曝光沒有任何意義，良品率將會低到不具備生產意義的程度。
那純粹是為了突破而突破！
而王建平則是驚訝地待在了那裡，作為一個專業人士，不太清楚答案代表什麼。
雖然四重曝光沒有六重極限，但同樣也是極限生產下的低良品率，哪怕工藝完善，最高也就是70%左右。
「四重？193nm，四重曝光做14nm套殼精度多少，你們太瘋狂了。」
「疊加誤差程度控制在2nm以內！」
王建平再一次瞪大了雙眼，然後便緊緊地皺上了眉頭。
「2nm，193的波長，四重曝光能做到2nm，你們把牛頓給挖出來了？」
畢竟以他的專業知識來看，這簡直不符合物理規律。
很快他又想到了一個思路，然後他緊緊地抓住了那位工作人員:「你們用的什麼對準方案？」
那個人沒有回答，而是從旁邊的文件夾上抽出了一份技術手冊，翻到某一頁遞給王建平。
王建平接過後，目光掃過那一頁的技術參數，然後停住了，他的手微微抖了一下。
「這個……這個是……」
「普通出廠的光刻機不帶這個算法，這是傳音科技自己研發的定製版本。。
不過您如果想要了解具體的算法細節，需要簽署「保密協議」才能看。」
那個人溫和地打斷了他。
「但我可以告訴你一個公開數據：這台機器在傳音的生產線上運轉了60多天。
晶圓總產量超過15000片，不過工藝控在了22nm，良品率85%。
驗收組的組長是您在京都大學的導師王志華教授。
他簽字的報告，你可以隨時查閱。」
王建國的嘴唇動了動，就目前華芯國際和傳音科技的關係來說，那個保密協議不用想，就是一份跳槽協議……
最終他轉過身又看了一眼光刻機。
機器的外身是白色的，上面印著「華國半導體國家基金」，還有一個醒目的編號NSE-CX14C【國家半導體裝備系列，晨星14C】
他伸出手輕輕摸了摸那個編號，像是在摸一個新生兒的額頭。
對華國來說，這台光刻機又何嘗不是一個新生兒呢，只不過華星的這個新生兒長得有點快。
「我們等這台機器等了20年。」
他的聲音很低，像是在自言自語，但他的心情……可是無比激動。
他緩緩地收回放在機身上的手，眼底的激動還沒有完全平復，可謂是一步三回頭……
突然間他晃了一下，呼吸卻先一步穩了下來。
他轉身看向旁邊的工作人員，剛才還是不敢相信這個結果，但現在已經化成了無數的期盼與懇求，但骨子裡的急切，還是藏不住的。
「我想再問一句實話，這台晨星14A，什麼時候開始大規模量產供應？
什麼價格？我們華星國際能不能簽意向訂單排上供貨隊列？」
對於王建國問的為什麼直白，為什麼卑微？
這還是因為之前華芯國際從外面放出小道消息說國產光刻機突破，企圖為自己吸引流量……
結果第一台光刻機根本沒有他們的事兒，甚至連詢問訂單也沒有得到任何回復。
所以在他們面前，他不是華芯國際手握大權的王總，而是一個為自己錯誤買單的小王。
工作人員看他這個樣子，眼睛裡多出了幾分嘆息，早知如此，何必當初呢。
不過對於華芯國際，傳音也沒有那麼大的仇視，給個教訓就行了……
「王總，這台晨星14系列光刻機是國家半導體大基金牽頭傳音科技主導研發的量產型裝備，供貨清單本就是面向所有合規晶圓代工企業。
未來技術成熟後也會向全球合作夥伴開放。
不過首批還是面向全球，華芯國際作為國內的龍頭企業，自然在優先供貨名單里。」
工作人員的話音還沒有落下，王建平剛想松下一口氣，對方卻突然話鋒一轉，說出了目前最困難的難題。
「只是目前有一個問題，首批量產專線的產能已經被全部鎖死。
這台光刻機預計年產量是八台，目前全都被劃歸傳音旗下的晶圓廠，用於22nm的成熟工藝量產，14nm工藝的進一步爬坡驗證。
後續批次，產能需要一定的調整，大概需要18個月。
按照常規流程，貴公司需要排隊等貨，至少需要等一年半才能拿到首台國產設備。」
「18個月……」
王建平的眉頭又皺了皺，不太清楚18個月意味著什麼。
並且這還是預期到時候稍微出點問題，至少要到2014年底或者2015年中他們才能拿到，到時候世界半導體工藝已經全員進入到了14nm……
而他們還是落後。
到時候依舊只能代工成熟製程，他們無法藉助國產設備邁向高端市場。
他往前走上半步，語氣也變得更加複雜:
「同志！」
他說出了這兩個字，工作人員的心也微微抽動了一下。
「我知道產能緊張，我知道這台設備離不開傳音的幫助，優先供應他們提高半導體很重要。
但華芯國際也很需要這台設備，我們也需要驗證一些先進技術………為了28nm工藝的突破，我們也鋪墊了很久，但還是卡在了光刻機這一環節上。」
工作人員的心在此抽動了一下。
28nm，華芯國際確實有這方面的計劃，但鋪墊了很久，他還真沒聽說過……
看著對方的情緒發生了變化，王建平立馬乘勝追擊。
「我們願意全額預付設備款，無條件簽署最嚴格的保密協議，後續所有工藝調試數據都可以和傳音科技及國家大基金共享。
產線排布，人員調整，我們完全配合牽頭組的要求！」
畢竟全額付款，又不是沒有做，只不過之前哪怕全額付款也不一定拿到貨，但這個只要全額付款，那絕對沒有問題……
這點小主意，王建平就可以做主！