第324章 目前就這些
肖宿點了點頭，一點不含糊地開口了。
「場地方面，實驗室面積不能小。」
「光學平台要單獨隔一間百級潔淨間出來做納米壓印，旁邊還得留出檢測區和裝調區，整體算下來，最少得四百平米。」
孟祥林在筆記本上記了兩筆，抬起頭問了句：「四百平米是淨面積還是建築面積？」
「淨面積。」
孟祥林點點頭，詳細記了下來。
「設備方面，」肖宿接著說，「第一項是六軸精密裝調平台，定位精度要到亞納米級。
隱身衣的超表面天線陣列裝配全靠它，精度差一點都不行，天線單元的間距偏差超過五納米，譜域對消的干涉條件就破了。」
趙鐵軍靠在椅背上，挑了一下眉毛。
亞納米級六軸平台，這玩意兒裝備部下屬的研究所里有一台從瑞士進口的，精度倒是夠，不過，那可是做陀螺儀校準用的，平時都是當寶貝一樣供著的。
他還沒開口，韓柏岩先出聲了。
「六軸平台我們有，」韓柏岩說，「航天那邊做衛星光學載荷裝調用的，精度能到零點幾個納米，不過那台現在排期很滿，要調出來的話得協調一下。」
「排期的事好辦，」二把手接了一句，「韓總你回頭跟院裡打個招呼，就說這邊是國家專項，優先安排。」
韓柏岩點頭：「行，我回去就協調。」
肖宿接著說道：
「光學相干層析檢測系統，波段要覆蓋從深紫外到近紅外，兩百納米到一千一百納米。
隱身衣要在整個可見光頻段工作，檢測系統的帶寬必須比它更寬，不然做出來也測不全。」
趙鐵軍直接問道：
「深紫外到近紅外全覆蓋？市面上標準的光學相干層析系統波段一般是分段走的，深紫外的光源和探測器跟近紅外的完全是兩套東西，要拼到一起的話，系統集成上得花點功夫。」
「就是要拼到一起，」肖宿說，「分段測量的話不同波段的校準誤差會疊加，最後散射殘差的測量精度保不住，必須是一套系統，一次掃描全波段出結果。」
趙鐵軍想了想，轉頭看了韓柏岩一眼：
「老韓，我記得你們航天那邊做光學薄膜檢測，是不是有一套寬光譜的橢偏儀？」
「有，但是橢偏儀只能測薄膜的折射率和厚度，跟層析成像是兩回事。」
韓柏岩搖了搖頭，又想了想，「不過光源部分可以拆過來用。
我們有一台深紫外到近紅外的超連續譜光源，是跟德國一家公司聯合開發的，光譜範圍正好是兩百納米到一千一百納米。探測器的話……」
「探測器我們這邊有。」
趙鐵軍接過話頭：
「裝備部光電實驗室有一台背照式CCD，量子效率在深紫外段能做到百分之四十以上，近紅外段也有百分之六十，配超連續譜光源正合適。
光源從航天那邊調，探測器從我這邊出，剩下的分光系統和掃描模塊讓孟主任走經費採購，三家拼一台，你們覺得怎麼樣？」
「我看行。」韓柏岩點頭。
孟祥林的筆一直沒停下來：
「分光系統和掃描模塊的採購我記下了，會後我拉個設備清單，肖教授確認一下具體型號和參數。」
肖宿點了點頭，說道：
「第三項是納米壓印潔淨間產線，必須百級的。
氣浮平台、壓印模板、鍍膜設備，這三個是一套的，少一個整條鏈就斷了。」
趙鐵軍這會兒已經徹底放開了，語氣比剛才又熱絡了幾分：
「肖教授，氣浮平台我們有現成的，軍工標準的，隔振性能比你市面上能買到的高一個量級，做納米壓印綽綽有餘，壓印模板的話……」
「模板得自己設計，」肖宿說，「超表面天線陣列的幾何圖案要根據最終確定的譜域對消參數來定製，沒有現成的。」
「那就涉及到電子束光刻做模板母版了，」韓柏岩插了一句，「航天那邊有台JBX-6300FS，一百千伏的加速電壓，線寬能做到十納米以下。做壓印模板的母版夠了。」
孟祥林抬起頭，推了推眼鏡：
「鍍膜設備呢？金屬介質金屬三層結構的話，膜厚控制得在納米量級，得用原子層沉積還是磁控濺射？」
「原子層沉積做膜厚控制更精準，」肖宿說，「但三層結構里金屬層用電介質層用ALD的話，界面處的附著力可能有問題。
可以先上磁控濺射做第一輪工藝驗證，如果界面質量不行再換ALD。」
孟祥林點了點頭，又記了兩筆。
說到這裡，肖宿頓了頓，話頭一轉：「隱身衣的設備基本就這些，不過，光刻機方案那邊還有一個東西，原理驗證需要一台小型自由電子雷射器。
功率不用太高，但波長調諧範圍必須能覆蓋深紫外，不然多束相干合成的第一步實驗沒法做。」
趙鐵軍聽完這句，愣了一下，然後轉頭看看韓柏岩，又看看孟祥林，嘴角直接翹了起來：「這個我可就真的只能出錢了。」
韓柏岩也難得笑了一下：「趙處長別急著認，自由電子雷射器我倒是有門路。
航天科工跟中科院高能所合作過一台小型的，原先是做空間光通信實驗用的，波長從極紫外到近紅外連續可調，功率幾百瓦，後來項目結題了就一直放在高能所的實驗室里，保養倒是沒斷過。
肖教授這個實驗幾百瓦功率可能還嫌大了，調低一些應該能用。」
「幾百瓦調低到實驗功率沒問題，加個衰減器就行，」肖宿說，「關鍵是波長的調諧精度和光束質量。
多束相干合成對波前一致性的要求很高，輸出鏡的波前畸變得控在幾分之一個波長以內。」
「這個我得回去確認一下那台機器的輸出波前指標。」
韓柏岩收起笑意，認真地點了點頭，「明天之內給你答覆，如果不達標，看能不能加一套波前整形光路補償一下。」
「可以。」肖宿說。
孟祥林擱下筆，把剛才記的從頭捋了一遍：
「那我匯總一下，場地最少四百平米淨面積，六軸平台從航天調，檢測系統光源航天出、探測器裝備部出、分光模塊走採購，納米壓印產線氣浮平台裝備部出、母版用航天的電子束光刻機做、鍍膜設備採購磁控濺射，自由電子雷射器從高能所調。
肖教授，還有漏的嗎？」
肖宿想了想：「目前就這些。」
「場地方面，實驗室面積不能小。」
「光學平台要單獨隔一間百級潔淨間出來做納米壓印，旁邊還得留出檢測區和裝調區，整體算下來，最少得四百平米。」
孟祥林在筆記本上記了兩筆，抬起頭問了句：「四百平米是淨面積還是建築面積？」
「淨面積。」
孟祥林點點頭，詳細記了下來。
「設備方面，」肖宿接著說，「第一項是六軸精密裝調平台，定位精度要到亞納米級。
隱身衣的超表面天線陣列裝配全靠它，精度差一點都不行，天線單元的間距偏差超過五納米，譜域對消的干涉條件就破了。」
趙鐵軍靠在椅背上，挑了一下眉毛。
亞納米級六軸平台，這玩意兒裝備部下屬的研究所里有一台從瑞士進口的，精度倒是夠，不過，那可是做陀螺儀校準用的，平時都是當寶貝一樣供著的。
他還沒開口，韓柏岩先出聲了。
「六軸平台我們有，」韓柏岩說，「航天那邊做衛星光學載荷裝調用的，精度能到零點幾個納米，不過那台現在排期很滿，要調出來的話得協調一下。」
「排期的事好辦，」二把手接了一句，「韓總你回頭跟院裡打個招呼，就說這邊是國家專項，優先安排。」
韓柏岩點頭：「行，我回去就協調。」
肖宿接著說道：
「光學相干層析檢測系統，波段要覆蓋從深紫外到近紅外，兩百納米到一千一百納米。
隱身衣要在整個可見光頻段工作，檢測系統的帶寬必須比它更寬，不然做出來也測不全。」
趙鐵軍直接問道：
「深紫外到近紅外全覆蓋？市面上標準的光學相干層析系統波段一般是分段走的，深紫外的光源和探測器跟近紅外的完全是兩套東西，要拼到一起的話，系統集成上得花點功夫。」
「就是要拼到一起，」肖宿說，「分段測量的話不同波段的校準誤差會疊加，最後散射殘差的測量精度保不住，必須是一套系統，一次掃描全波段出結果。」
趙鐵軍想了想，轉頭看了韓柏岩一眼：
「老韓，我記得你們航天那邊做光學薄膜檢測，是不是有一套寬光譜的橢偏儀？」
「有，但是橢偏儀只能測薄膜的折射率和厚度，跟層析成像是兩回事。」
韓柏岩搖了搖頭，又想了想，「不過光源部分可以拆過來用。
我們有一台深紫外到近紅外的超連續譜光源，是跟德國一家公司聯合開發的，光譜範圍正好是兩百納米到一千一百納米。探測器的話……」
「探測器我們這邊有。」
趙鐵軍接過話頭：
「裝備部光電實驗室有一台背照式CCD，量子效率在深紫外段能做到百分之四十以上，近紅外段也有百分之六十，配超連續譜光源正合適。
光源從航天那邊調，探測器從我這邊出，剩下的分光系統和掃描模塊讓孟主任走經費採購，三家拼一台，你們覺得怎麼樣？」
「我看行。」韓柏岩點頭。
孟祥林的筆一直沒停下來：
「分光系統和掃描模塊的採購我記下了，會後我拉個設備清單，肖教授確認一下具體型號和參數。」
肖宿點了點頭，說道：
「第三項是納米壓印潔淨間產線，必須百級的。
氣浮平台、壓印模板、鍍膜設備，這三個是一套的，少一個整條鏈就斷了。」
趙鐵軍這會兒已經徹底放開了，語氣比剛才又熱絡了幾分：
「肖教授，氣浮平台我們有現成的，軍工標準的，隔振性能比你市面上能買到的高一個量級，做納米壓印綽綽有餘，壓印模板的話……」
「模板得自己設計，」肖宿說，「超表面天線陣列的幾何圖案要根據最終確定的譜域對消參數來定製，沒有現成的。」
「那就涉及到電子束光刻做模板母版了，」韓柏岩插了一句，「航天那邊有台JBX-6300FS，一百千伏的加速電壓，線寬能做到十納米以下。做壓印模板的母版夠了。」
孟祥林抬起頭，推了推眼鏡：
「鍍膜設備呢？金屬介質金屬三層結構的話，膜厚控制得在納米量級，得用原子層沉積還是磁控濺射？」
「原子層沉積做膜厚控制更精準，」肖宿說，「但三層結構里金屬層用電介質層用ALD的話，界面處的附著力可能有問題。
可以先上磁控濺射做第一輪工藝驗證，如果界面質量不行再換ALD。」
孟祥林點了點頭，又記了兩筆。
說到這裡，肖宿頓了頓，話頭一轉：「隱身衣的設備基本就這些，不過，光刻機方案那邊還有一個東西，原理驗證需要一台小型自由電子雷射器。
功率不用太高，但波長調諧範圍必須能覆蓋深紫外，不然多束相干合成的第一步實驗沒法做。」
趙鐵軍聽完這句，愣了一下，然後轉頭看看韓柏岩，又看看孟祥林，嘴角直接翹了起來：「這個我可就真的只能出錢了。」
韓柏岩也難得笑了一下：「趙處長別急著認，自由電子雷射器我倒是有門路。
航天科工跟中科院高能所合作過一台小型的，原先是做空間光通信實驗用的，波長從極紫外到近紅外連續可調，功率幾百瓦，後來項目結題了就一直放在高能所的實驗室里，保養倒是沒斷過。
肖教授這個實驗幾百瓦功率可能還嫌大了，調低一些應該能用。」
「幾百瓦調低到實驗功率沒問題，加個衰減器就行，」肖宿說，「關鍵是波長的調諧精度和光束質量。
多束相干合成對波前一致性的要求很高，輸出鏡的波前畸變得控在幾分之一個波長以內。」
「這個我得回去確認一下那台機器的輸出波前指標。」
韓柏岩收起笑意，認真地點了點頭，「明天之內給你答覆，如果不達標，看能不能加一套波前整形光路補償一下。」
「可以。」肖宿說。
孟祥林擱下筆，把剛才記的從頭捋了一遍：
「那我匯總一下，場地最少四百平米淨面積，六軸平台從航天調，檢測系統光源航天出、探測器裝備部出、分光模塊走採購，納米壓印產線氣浮平台裝備部出、母版用航天的電子束光刻機做、鍍膜設備採購磁控濺射，自由電子雷射器從高能所調。
肖教授，還有漏的嗎？」
肖宿想了想：「目前就這些。」