第312章 不錯
他看得很仔細，目光在幾組鍍膜均勻性數據和表面粗糙度測量結果上停留了好一會兒。
這個區域的工作主要是對光學元件做入廠檢驗和定期復檢，檢測標準和流程都很成熟，只是工藝穩定性上還有提升的空間，但這些都依靠工程積累，如果不是從底層設計上全盤更改，那技術上是很難再有質的提升的。
從光學實驗區出來，一行人穿過走廊，來到工件台聯調區。
這個區域比剛才的光學實驗區大了不少，幾台工件台正在各自的工位上跑著不同的測試工況，雷射干涉儀的顯示屏上跳動著納米級的位移數據，空氣中還飄著一股導軌潤滑油和電機線圈發熱混合的味道。
高長平微微抬手示意，跟在身後的負責人鄧威連忙上前介紹道：
「肖教授，我是聯調區的負責人鄧威，那我先給您介紹一下我們目前最新的聯調進展吧。」
他走到控制台前，調出了實時監控畫面，上面出現一紅一藍兩條位移曲線，紅的是曝光台，藍的是測量台。
兩條曲線在時間軸上的交接點乾淨利落，幾乎沒有重疊和等待間隔。
「這是我們最近剛優化的雙台交替調度策略。
原來兩個台子切換的時候，曝光台要等測量台全部退出曝光區之後才能進場，中間浪費的時間占了整個曝光周期的百分之十二。
我們後來把切換時序重新規劃了一遍，讓曝光台在測量台退出的同時就開始進場，兩台子在高架軌道上擦肩而過，切換間隙就從原來的一百二十毫秒壓到了十五毫秒，產能直接提升了將近十個百分點。」
他邊說邊在屏幕上放大了一段切換過程的位移曲線，兩段弧線在交會處幾乎是貼在一起的，中間那條若有似無的縫隙被他用指尖圈了出來。
「就這一小段，我們磨了快兩個月，現在整機的產率已經能做到每小時兩百片以上了，跟國外主流機型的差距也縮小個位數百分比了。」
肖宿看著屏幕上那兩條乾淨利落的位移曲線，點了點頭。
這套雙台交替調度的思路確實做得不錯，用極短的交接間隙換取產能的線性提升，在工程調度層面已經優化到了接近理論極限了。
鄧威見肖宿點頭，臉上的表情更放鬆了些，又調出另一組數據。
屏幕上跳出來的是工件台在勻速掃描段的定位誤差分布，一條幾乎貼在地板上的平滑直線，縱坐標的誤差值全程壓在正負兩納米以內。
「這是我們勻速段的定位精度，」鄧威的語氣裡帶著不加掩飾的自豪，「正負兩納米以內，重複定位精度已經做到了一納米以下。
雷射干涉儀的採樣頻率也提到了十千赫茲，位移解析度零點三納米，單看靜態指標和勻速段指標的話，我們已經追平了國際上同級別機型的最好水平了。」
他說著，手指在屏幕上那條誤差分布曲線上從左劃到右，整條曲線幾乎是一條完美的平線，只在中間有一處細微的波動，幅度不超過一納米。
「這一處波動我們排查過，是空調機組的壓縮機啟動時產生的地面微振動傳導上來的，後來給空調機組加了隔振基座，波動就消失了。」
肖宿微微頷首。
高長平站在旁邊，臉上的笑意已經藏不住了。
他雖然不是技術出身，但聽了鄧威這一串數據，也知道這套工件台在常規掃描性能上已經做到了國際一流水平。
這個成果拿到任何一個專項評審會上去匯報，都是能拍胸脯的成績。
「不錯。」
肖宿終於開口了，評價很直接：
「調度策略和勻速段精度都做到了接近理論極限，再往上優化的空間已經不大了。」
鄧威聽到這句話，眼睛一亮，下意識的挺了挺腰板。
能被肖宿評價不錯，他在今天看到的幾撥人里算是頭一份了。
但肖宿的目光很快就掠過了那兩條平滑的勻速段位移曲線，視線移到了測試屏幕右下角一個被他剛才忽略的小窗口上。
那是一組換向過程的實時測試曲線，不過，振幅坐標被放大了十倍，勻速段平滑如鏡的定位誤差在換向節點上突然鼓起了一個小尖峰，峰值大概有十幾納米，持續的時間極短，但是每一段換向周期里都精準地出現了一次。
「換向過程中的瞬態呢？」肖宿問。
鄧威臉上的笑意微微滯了一下。
他本來還打算再給肖宿看看他們剛優化完的曝光劑量均勻度數據，但肖宿卻直接跳到了他最不想談的那塊。
他頓了頓，倒也沒有迴避，把那個小窗口拖到主屏上放大了。
換向段的位移曲線在拐點處猛地往上一跳，然後迅速回落，尖峰兩側的衰減曲線一左一右，形成一個幾乎完美對稱的窄峰。
「這個就是我們目前最大的攔路虎了。」
鄧威指著那個尖峰，聲音里的驕傲褪去了大半。
「換向瞬態振動的振幅雖然只有十幾納米，但是在高速掃描狀態下每次換向都會來一次，平均每片晶圓要經歷上千次換向，累積下來曝光線條的邊緣粗糙度就超標了。
我們試過的控制算法不在少數，可是，PID的增益調大了就會引入高頻噪聲，調小了壓不住尖峰，而滑模控制在切換面上抖振太大，自抗擾的擴張狀態觀測器又對這類脈衝型擾動的跟蹤有延遲，等觀測器跟上的時候尖峰早就已經過去了。
能用的方法都試過了，可全都沒效果。
我們另外還試過疊代學習控制，但是工況變化之後學習率收斂實在太慢了，換一批次就重新來一遍，根本跟不上量產的節奏。」
他說完這段，自己都覺得自己像是在倒苦水，但肖宿的表情沒什麼變化，只是盯著那個尖峰看了好幾秒。
他腦子裡已經把鄧威說的那些控制算法的特點挨個過了一遍。
他們試過的那些方法局限性確實挺大的，PID是線性控制器，對付脈衝型擾動本來就不是長項，滑模的抖振在納米級定位精度下也是致命缺陷，而自抗擾的觀測器帶寬有限，跟蹤延遲是結構性的。
此外，疊代學習在變工況場景里收斂太慢，量產確實不適用。
這個區域的工作主要是對光學元件做入廠檢驗和定期復檢，檢測標準和流程都很成熟，只是工藝穩定性上還有提升的空間，但這些都依靠工程積累，如果不是從底層設計上全盤更改，那技術上是很難再有質的提升的。
從光學實驗區出來，一行人穿過走廊，來到工件台聯調區。
這個區域比剛才的光學實驗區大了不少，幾台工件台正在各自的工位上跑著不同的測試工況，雷射干涉儀的顯示屏上跳動著納米級的位移數據，空氣中還飄著一股導軌潤滑油和電機線圈發熱混合的味道。
高長平微微抬手示意，跟在身後的負責人鄧威連忙上前介紹道：
「肖教授，我是聯調區的負責人鄧威，那我先給您介紹一下我們目前最新的聯調進展吧。」
他走到控制台前，調出了實時監控畫面，上面出現一紅一藍兩條位移曲線，紅的是曝光台，藍的是測量台。
兩條曲線在時間軸上的交接點乾淨利落，幾乎沒有重疊和等待間隔。
「這是我們最近剛優化的雙台交替調度策略。
原來兩個台子切換的時候，曝光台要等測量台全部退出曝光區之後才能進場，中間浪費的時間占了整個曝光周期的百分之十二。
我們後來把切換時序重新規劃了一遍，讓曝光台在測量台退出的同時就開始進場，兩台子在高架軌道上擦肩而過，切換間隙就從原來的一百二十毫秒壓到了十五毫秒，產能直接提升了將近十個百分點。」
他邊說邊在屏幕上放大了一段切換過程的位移曲線，兩段弧線在交會處幾乎是貼在一起的，中間那條若有似無的縫隙被他用指尖圈了出來。
「就這一小段，我們磨了快兩個月，現在整機的產率已經能做到每小時兩百片以上了，跟國外主流機型的差距也縮小個位數百分比了。」
肖宿看著屏幕上那兩條乾淨利落的位移曲線，點了點頭。
這套雙台交替調度的思路確實做得不錯，用極短的交接間隙換取產能的線性提升，在工程調度層面已經優化到了接近理論極限了。
鄧威見肖宿點頭，臉上的表情更放鬆了些，又調出另一組數據。
屏幕上跳出來的是工件台在勻速掃描段的定位誤差分布，一條幾乎貼在地板上的平滑直線，縱坐標的誤差值全程壓在正負兩納米以內。
「這是我們勻速段的定位精度，」鄧威的語氣裡帶著不加掩飾的自豪，「正負兩納米以內，重複定位精度已經做到了一納米以下。
雷射干涉儀的採樣頻率也提到了十千赫茲，位移解析度零點三納米，單看靜態指標和勻速段指標的話，我們已經追平了國際上同級別機型的最好水平了。」
他說著，手指在屏幕上那條誤差分布曲線上從左劃到右，整條曲線幾乎是一條完美的平線，只在中間有一處細微的波動，幅度不超過一納米。
「這一處波動我們排查過，是空調機組的壓縮機啟動時產生的地面微振動傳導上來的，後來給空調機組加了隔振基座，波動就消失了。」
肖宿微微頷首。
高長平站在旁邊，臉上的笑意已經藏不住了。
他雖然不是技術出身，但聽了鄧威這一串數據，也知道這套工件台在常規掃描性能上已經做到了國際一流水平。
這個成果拿到任何一個專項評審會上去匯報，都是能拍胸脯的成績。
「不錯。」
肖宿終於開口了，評價很直接：
「調度策略和勻速段精度都做到了接近理論極限，再往上優化的空間已經不大了。」
鄧威聽到這句話，眼睛一亮，下意識的挺了挺腰板。
能被肖宿評價不錯，他在今天看到的幾撥人里算是頭一份了。
但肖宿的目光很快就掠過了那兩條平滑的勻速段位移曲線，視線移到了測試屏幕右下角一個被他剛才忽略的小窗口上。
那是一組換向過程的實時測試曲線，不過，振幅坐標被放大了十倍，勻速段平滑如鏡的定位誤差在換向節點上突然鼓起了一個小尖峰，峰值大概有十幾納米，持續的時間極短，但是每一段換向周期里都精準地出現了一次。
「換向過程中的瞬態呢？」肖宿問。
鄧威臉上的笑意微微滯了一下。
他本來還打算再給肖宿看看他們剛優化完的曝光劑量均勻度數據，但肖宿卻直接跳到了他最不想談的那塊。
他頓了頓，倒也沒有迴避，把那個小窗口拖到主屏上放大了。
換向段的位移曲線在拐點處猛地往上一跳，然後迅速回落，尖峰兩側的衰減曲線一左一右，形成一個幾乎完美對稱的窄峰。
「這個就是我們目前最大的攔路虎了。」
鄧威指著那個尖峰，聲音里的驕傲褪去了大半。
「換向瞬態振動的振幅雖然只有十幾納米，但是在高速掃描狀態下每次換向都會來一次，平均每片晶圓要經歷上千次換向，累積下來曝光線條的邊緣粗糙度就超標了。
我們試過的控制算法不在少數，可是，PID的增益調大了就會引入高頻噪聲，調小了壓不住尖峰，而滑模控制在切換面上抖振太大，自抗擾的擴張狀態觀測器又對這類脈衝型擾動的跟蹤有延遲，等觀測器跟上的時候尖峰早就已經過去了。
能用的方法都試過了，可全都沒效果。
我們另外還試過疊代學習控制，但是工況變化之後學習率收斂實在太慢了，換一批次就重新來一遍，根本跟不上量產的節奏。」
他說完這段，自己都覺得自己像是在倒苦水，但肖宿的表情沒什麼變化，只是盯著那個尖峰看了好幾秒。
他腦子裡已經把鄧威說的那些控制算法的特點挨個過了一遍。
他們試過的那些方法局限性確實挺大的，PID是線性控制器，對付脈衝型擾動本來就不是長項，滑模的抖振在納米級定位精度下也是致命缺陷，而自抗擾的觀測器帶寬有限，跟蹤延遲是結構性的。
此外，疊代學習在變工況場景里收斂太慢，量產確實不適用。