第308章 這能算對才怪了
第二天一早，肖宿的車駛入了京郊的一所科技園區。
園區環境清幽，綠樹成蔭，幾棟白色的實驗樓錯落有致，門禁也很嚴，高長安在前排刷了通行證，車才被放行。
又開了十分鐘，最後停在了一棟五層高的白色大樓前。
大樓門口掛著「國家光刻機專項研究中心」的牌子，安保看著挺嚴密的。
大樓門口已經站滿了人。
最前面的是高長平，他今天穿了件深灰色的夾克，頭髮梳得一絲不苟的，身後還烏泱泱站了一大群穿著白大褂的研究員。
車剛停穩，高長平就三步並作兩步迎了上來。
「肖教授，你好，我是科技部的高長平，可算把您給盼來了！這百忙之中麻煩您跑一趟，真是辛苦了！」
高長平雙手握住肖宿的手，用力晃了兩下，語氣里滿是激動。
他其實也不想這麼激動的，可是這太難了。
光刻機這個坎，他們整個專項組磨了多少年了還沒成功，可以說，肖宿是目前唯一能幫他們突破光刻機瓶頸的人了。
他能幫忙，那就是黑暗中見著亮光了啊。
他們的實驗這次有希望了！
這怎麼能不讓他高興呢。
他兩眼放光，語氣熱烈，迫切的讓肖宿有些不適應。
他抿了抿唇，快速把手收回來插進了兜里，又往後面移了一步，和高長平離得遠了一點：
「嗯。」
這個回答可真是簡單至極。
站在高長平身後的幾個年輕研究員互相遞了個眼神。
他們之前聽說過肖宿性格有些特別，沒想到竟然這麼特別。
有個戴眼鏡的小伙子偷偷用胳膊肘捅了捅旁邊的人，壓低聲音說：
「我去，肖神話好少啊？比傳說中還要冷。」
旁邊的人也小聲回了句：「天才嘛，都這樣吧。」
不過高長平卻並不意外，他早就打聽清楚肖宿的做事風格了，直接進入正題是最好的。
高長平笑了笑，側身讓出了位置，開始給肖宿介紹身邊的人：
「肖教授，我給你介紹下，這位是陳雲邦院士，咱們國內光刻仿真領域的泰斗，也是我們整個項目的中流砥柱。」
陳雲邦看到肖宿雙手插兜的樣子，也沒自討沒趣的要握手，只是聲音溫和的打了個招呼：
「肖教授，久仰大名啊，你之前反擊佐藤的那份清單，我和所里的老夥計們都仔細研究過了，邏輯縝密、分析透徹，真是年輕有為啊！」
肖宿微微頷首，高長平又挨個介紹了一下陳雲邦身後的人。
「這是陳院士的高徒羅華研究員，也是我們專項研究的核心成員，這是胡偉……這是林小雨……」
肖宿挨個點了點頭，算作打招呼了。
他清凌凌的目光落在羅華身上的時候，羅華緊張的手都出汗了。
他可以說是肖宿的鐵桿粉絲了，甚至可以說，肖宿是他在科研路上最暗時刻的光。
當初在WCLC上，佐藤健一郎站在台上，用輕蔑的語氣嘲諷華國光刻界的時候，他攥緊拳頭卻無力反駁，那種被碾壓的憋屈、那種看不到希望的迷茫，幾乎要將他壓垮了。
而就在他快要陷入自我懷疑，甚至覺得自己這輩子都趕不上國際頂尖水平的時候，是肖宿甩出了那份四十七頁的錯誤清單，硬生生扒掉了佐藤的偽裝，讓所有嘲諷華國科研的人都閉了嘴。
那份清單，他翻來覆去啃了整整三遍，每一個錯誤分析、每一處推導修正，他都逐字逐句琢磨了個遍。
從那個時候起，肖宿就成了他心中的標杆了。
而現在，肖宿竟然直接出現在了他面前，還要指導他們的實驗，簡直像做夢一樣。
介紹完人，高長平領著肖宿走進了實驗室。
實驗大廳空間很大，挑高將近十米，百級潔淨間的正壓氣流從頭頂的FFU送風單元勻速壓下，發出持續而低沉的嗡鳴。
幾排光學平台整齊列裝，氣浮支腿上的水平指示燈清一色亮著綠光。
靠里側是物鏡裝調工位，六軸調整台和數字波前干涉儀已經架好，鏡筒表面貼著的校準反射標記在潔淨燈下泛著冷白色的光澤。
再往裡走是光源測試區和工件台聯調區，深紫外雷射器的脈衝控制器面板上跳著時序波形，工件台的雷射干涉儀正以納米級解析度實時記錄位移數據。
走廊兩側的過道里，穿著潔淨服的研究員全都步履匆匆的，沒人在閒逛，也沒有人高聲說話，所有人的節奏里都帶著一種緊繃感。
高長平走在肖宿側前方，一邊穿過設備區一邊道：
「陳院士是我們專項的理論顧問，幹了一輩子光刻仿真了，國內這個領域的底子有一半是他鋪的，羅華研究員是陳老的得意門生，光學系統設計這一塊現在基本是他挑大樑，今天聯調正好輪到他們組，讓他給您先介紹一下情況？」
肖宿點點頭，沒什麼意見。
看到肖宿點頭，羅華有些激動的上前，走道肖宿的另一側，從口袋裡掏出雷射筆，一邊走一邊把幾個關鍵工位的布局點給肖宿看。
「肖……肖教授，我……我先把我們目前的實驗進度和您同步一下。」
「目前，我們這套物鏡系統從設計到裝調已經疊代了三輪了。
第一輪疊代是驗證光路布局的可行性，那時候鏡片還沒到位，用的是代用品，波前質量就不用提了，基本只是驗證了光路能走通。
第二輪是正式鏡片到位之後，我們按設計參數做了精密裝調，干涉儀測出來的波像差整體在公差範圍內，但邊緣視場的偏差還是比設計值要高出一截。
到第三輪，我們把邊緣視場的鏡片組單獨拆出來重新進行了裝調，結果這次邊緣是好了，可是中間又偏了，來來回回調了快一年了，整體波像差就是壓不到目標線以下。」
羅華的聲音挺奇怪的，有點一顫一顫的，每說完一段還會下意識地往肖宿那邊看一眼，直到肖宿投來一道略帶疑惑的目光，他才稍稍穩住心神，說話順暢了些。
他邊說邊走到物鏡裝調工位前，指了指六軸調整台上那個一人多高的鏡筒說：
「這就是我們第三輪裝調的鏡筒。
您看，這是它的整個光路布局，第一組透鏡負責把入射光準直聚焦，第二組是折反射鏡組，負責光路摺疊和像差校正，第三組是最後的成像放大組。
現在的問題出在第二組和第三組之間。
光經過折反射鏡的時候，空間相干性的均勻度被破壞了，到了第三組透鏡的時候，入射光的光瞳函數已經不是設計時假設的那個均勻分布了。
我們在仿真里怎麼也算不出這麼大幅度的非均勻化，但每次裝調完一測，數據就在那兒擺著，根本跑不掉。」
肖宿站在光學平台前，隔著潔淨室的玻璃看向裡面的鏡筒。
他沒有立刻說話，目光從第一組透鏡的位置慢慢掃到第三組透鏡的出口。
「仿真用的光瞳函數是均勻假設？」
「對，」羅華點頭，「設計階段默認入射光在光瞳面上是均勻分布的，這個假設在傳統光學設計里是基本前提，我們也是照著這個來做的。
但實測出來的光瞳函數在邊緣區域還是存在明顯的衰減，中高頻還有一個局部峰值。」
「這個峰值的位置穩定嗎？」
羅華愣了一下，轉頭看向旁邊負責測試的工程師。
那工程師趕緊翻了翻手裡的數據記錄本：
「前三次裝調，峰值在視場角零點三五度附近，第四次換了一批鏡片，峰值挪到了零點四一度，第五次又回到零點三六度，基本就在這個區間裡晃悠。」
「那問題就不是出在鏡片本身的加工精度上，」肖宿的目光從鏡筒上收回來，「如果峰值的空間位置隨裝調批次而漂移，那就說明它的來源不是某個固定鏡片的加工缺陷，而是整個光路在某個節點上的系統性偏差被逐級放大了，這個節點應該就在光路摺疊的地方。」
他走到旁邊那台用於數據分析的電腦前，羅華趕緊跟過去，調出了光瞳函數的實測曲線。
屏幕上兩組數據疊在一起，一組是設計階段的均勻分布假設，一條漂亮平滑的直線。
另一組是上次裝調後實測的分布，邊緣區域明顯下垂，中高頻段鼓起了一個小山包。
肖宿快速掃了一遍數據，在腦海中計算了一下，指著那個小山包的位置說：
「問題應該出在這兒，光路在折反射鏡這裡被摺疊了，相應的，空間相干性在傅立葉平面上的分布也被重新排布了。
原來均勻的光瞳函數經過這次摺疊之後，出現了與折反射鏡幾何形狀強相關的非均勻調製。
後面的第三組透鏡在設計的時候沒有考慮這個調製，它默認進來的是均勻光，結果進來的不是。
這個偏差在第三組每一片透鏡的裝調裕度上被逐片放大，最後你測到的波像差分布就是這個放大效應的總和。」
羅華緊緊盯著屏幕上那個小山包，嘴唇動了兩下，腦子裡飛速地把他之前五輪裝調的數據全過了一遍。
零點三五度，零點四一度，零點三六度……每一輪峰值的漂移量都恰好落在折反射鏡曲率公差和裝調角度公差的乘積範圍之內。
所以，正如肖宿所說，不是鏡片沒裝好，而是光走到那一步的時候，已經被摺疊給掰彎了。
「所以……我們這陣子，其實一直在調一個系統性的偏差？」
羅華的聲音帶著幾分乾澀，還帶著一絲難以置信。
「我們一直以為是鏡片裝調不到位的問題，每次都憑著干涉儀的測量數據，去調整下游第三組透鏡的鏡片參數。
原來問題根本不是出在鏡片上，而是因為上游的光瞳函數在經過折反射鏡摺疊後，早就變了質、失了真，不再是設計時假設的均勻分布了。」
「難怪，難怪我們之前怎麼調都對不齊，怎麼校都達不到標準！」
後面跟著的研究員心情也挺複雜的，原來他們一直在用一個錯誤的輸入，去硬擬合一個正確的輸出，從頭到尾都搞錯了方向，難怪怎麼折騰都沒有結果。
這能算對才怪了。
園區環境清幽，綠樹成蔭，幾棟白色的實驗樓錯落有致，門禁也很嚴，高長安在前排刷了通行證，車才被放行。
又開了十分鐘，最後停在了一棟五層高的白色大樓前。
大樓門口掛著「國家光刻機專項研究中心」的牌子，安保看著挺嚴密的。
大樓門口已經站滿了人。
最前面的是高長平，他今天穿了件深灰色的夾克，頭髮梳得一絲不苟的，身後還烏泱泱站了一大群穿著白大褂的研究員。
車剛停穩，高長平就三步並作兩步迎了上來。
「肖教授，你好，我是科技部的高長平，可算把您給盼來了！這百忙之中麻煩您跑一趟，真是辛苦了！」
高長平雙手握住肖宿的手，用力晃了兩下，語氣里滿是激動。
他其實也不想這麼激動的，可是這太難了。
光刻機這個坎，他們整個專項組磨了多少年了還沒成功，可以說，肖宿是目前唯一能幫他們突破光刻機瓶頸的人了。
他能幫忙，那就是黑暗中見著亮光了啊。
他們的實驗這次有希望了！
這怎麼能不讓他高興呢。
他兩眼放光，語氣熱烈，迫切的讓肖宿有些不適應。
他抿了抿唇，快速把手收回來插進了兜里，又往後面移了一步，和高長平離得遠了一點：
「嗯。」
這個回答可真是簡單至極。
站在高長平身後的幾個年輕研究員互相遞了個眼神。
他們之前聽說過肖宿性格有些特別，沒想到竟然這麼特別。
有個戴眼鏡的小伙子偷偷用胳膊肘捅了捅旁邊的人，壓低聲音說：
「我去，肖神話好少啊？比傳說中還要冷。」
旁邊的人也小聲回了句：「天才嘛，都這樣吧。」
不過高長平卻並不意外，他早就打聽清楚肖宿的做事風格了，直接進入正題是最好的。
高長平笑了笑，側身讓出了位置，開始給肖宿介紹身邊的人：
「肖教授，我給你介紹下，這位是陳雲邦院士，咱們國內光刻仿真領域的泰斗，也是我們整個項目的中流砥柱。」
陳雲邦看到肖宿雙手插兜的樣子，也沒自討沒趣的要握手，只是聲音溫和的打了個招呼：
「肖教授，久仰大名啊，你之前反擊佐藤的那份清單，我和所里的老夥計們都仔細研究過了，邏輯縝密、分析透徹，真是年輕有為啊！」
肖宿微微頷首，高長平又挨個介紹了一下陳雲邦身後的人。
「這是陳院士的高徒羅華研究員，也是我們專項研究的核心成員，這是胡偉……這是林小雨……」
肖宿挨個點了點頭，算作打招呼了。
他清凌凌的目光落在羅華身上的時候，羅華緊張的手都出汗了。
他可以說是肖宿的鐵桿粉絲了，甚至可以說，肖宿是他在科研路上最暗時刻的光。
當初在WCLC上，佐藤健一郎站在台上，用輕蔑的語氣嘲諷華國光刻界的時候，他攥緊拳頭卻無力反駁，那種被碾壓的憋屈、那種看不到希望的迷茫，幾乎要將他壓垮了。
而就在他快要陷入自我懷疑，甚至覺得自己這輩子都趕不上國際頂尖水平的時候，是肖宿甩出了那份四十七頁的錯誤清單，硬生生扒掉了佐藤的偽裝，讓所有嘲諷華國科研的人都閉了嘴。
那份清單，他翻來覆去啃了整整三遍，每一個錯誤分析、每一處推導修正，他都逐字逐句琢磨了個遍。
從那個時候起，肖宿就成了他心中的標杆了。
而現在，肖宿竟然直接出現在了他面前，還要指導他們的實驗，簡直像做夢一樣。
介紹完人，高長平領著肖宿走進了實驗室。
實驗大廳空間很大，挑高將近十米，百級潔淨間的正壓氣流從頭頂的FFU送風單元勻速壓下，發出持續而低沉的嗡鳴。
幾排光學平台整齊列裝，氣浮支腿上的水平指示燈清一色亮著綠光。
靠里側是物鏡裝調工位，六軸調整台和數字波前干涉儀已經架好，鏡筒表面貼著的校準反射標記在潔淨燈下泛著冷白色的光澤。
再往裡走是光源測試區和工件台聯調區，深紫外雷射器的脈衝控制器面板上跳著時序波形，工件台的雷射干涉儀正以納米級解析度實時記錄位移數據。
走廊兩側的過道里，穿著潔淨服的研究員全都步履匆匆的，沒人在閒逛，也沒有人高聲說話，所有人的節奏里都帶著一種緊繃感。
高長平走在肖宿側前方，一邊穿過設備區一邊道：
「陳院士是我們專項的理論顧問，幹了一輩子光刻仿真了，國內這個領域的底子有一半是他鋪的，羅華研究員是陳老的得意門生，光學系統設計這一塊現在基本是他挑大樑，今天聯調正好輪到他們組，讓他給您先介紹一下情況？」
肖宿點點頭，沒什麼意見。
看到肖宿點頭，羅華有些激動的上前，走道肖宿的另一側，從口袋裡掏出雷射筆，一邊走一邊把幾個關鍵工位的布局點給肖宿看。
「肖……肖教授，我……我先把我們目前的實驗進度和您同步一下。」
「目前，我們這套物鏡系統從設計到裝調已經疊代了三輪了。
第一輪疊代是驗證光路布局的可行性，那時候鏡片還沒到位，用的是代用品，波前質量就不用提了，基本只是驗證了光路能走通。
第二輪是正式鏡片到位之後，我們按設計參數做了精密裝調，干涉儀測出來的波像差整體在公差範圍內，但邊緣視場的偏差還是比設計值要高出一截。
到第三輪，我們把邊緣視場的鏡片組單獨拆出來重新進行了裝調，結果這次邊緣是好了，可是中間又偏了，來來回回調了快一年了，整體波像差就是壓不到目標線以下。」
羅華的聲音挺奇怪的，有點一顫一顫的，每說完一段還會下意識地往肖宿那邊看一眼，直到肖宿投來一道略帶疑惑的目光，他才稍稍穩住心神，說話順暢了些。
他邊說邊走到物鏡裝調工位前，指了指六軸調整台上那個一人多高的鏡筒說：
「這就是我們第三輪裝調的鏡筒。
您看，這是它的整個光路布局，第一組透鏡負責把入射光準直聚焦，第二組是折反射鏡組，負責光路摺疊和像差校正，第三組是最後的成像放大組。
現在的問題出在第二組和第三組之間。
光經過折反射鏡的時候，空間相干性的均勻度被破壞了，到了第三組透鏡的時候，入射光的光瞳函數已經不是設計時假設的那個均勻分布了。
我們在仿真里怎麼也算不出這麼大幅度的非均勻化，但每次裝調完一測，數據就在那兒擺著，根本跑不掉。」
肖宿站在光學平台前，隔著潔淨室的玻璃看向裡面的鏡筒。
他沒有立刻說話，目光從第一組透鏡的位置慢慢掃到第三組透鏡的出口。
「仿真用的光瞳函數是均勻假設？」
「對，」羅華點頭，「設計階段默認入射光在光瞳面上是均勻分布的，這個假設在傳統光學設計里是基本前提，我們也是照著這個來做的。
但實測出來的光瞳函數在邊緣區域還是存在明顯的衰減，中高頻還有一個局部峰值。」
「這個峰值的位置穩定嗎？」
羅華愣了一下，轉頭看向旁邊負責測試的工程師。
那工程師趕緊翻了翻手裡的數據記錄本：
「前三次裝調，峰值在視場角零點三五度附近，第四次換了一批鏡片，峰值挪到了零點四一度，第五次又回到零點三六度，基本就在這個區間裡晃悠。」
「那問題就不是出在鏡片本身的加工精度上，」肖宿的目光從鏡筒上收回來，「如果峰值的空間位置隨裝調批次而漂移，那就說明它的來源不是某個固定鏡片的加工缺陷，而是整個光路在某個節點上的系統性偏差被逐級放大了，這個節點應該就在光路摺疊的地方。」
他走到旁邊那台用於數據分析的電腦前，羅華趕緊跟過去，調出了光瞳函數的實測曲線。
屏幕上兩組數據疊在一起，一組是設計階段的均勻分布假設，一條漂亮平滑的直線。
另一組是上次裝調後實測的分布，邊緣區域明顯下垂，中高頻段鼓起了一個小山包。
肖宿快速掃了一遍數據，在腦海中計算了一下，指著那個小山包的位置說：
「問題應該出在這兒，光路在折反射鏡這裡被摺疊了，相應的，空間相干性在傅立葉平面上的分布也被重新排布了。
原來均勻的光瞳函數經過這次摺疊之後，出現了與折反射鏡幾何形狀強相關的非均勻調製。
後面的第三組透鏡在設計的時候沒有考慮這個調製，它默認進來的是均勻光，結果進來的不是。
這個偏差在第三組每一片透鏡的裝調裕度上被逐片放大，最後你測到的波像差分布就是這個放大效應的總和。」
羅華緊緊盯著屏幕上那個小山包，嘴唇動了兩下，腦子裡飛速地把他之前五輪裝調的數據全過了一遍。
零點三五度，零點四一度，零點三六度……每一輪峰值的漂移量都恰好落在折反射鏡曲率公差和裝調角度公差的乘積範圍之內。
所以，正如肖宿所說，不是鏡片沒裝好，而是光走到那一步的時候，已經被摺疊給掰彎了。
「所以……我們這陣子，其實一直在調一個系統性的偏差？」
羅華的聲音帶著幾分乾澀，還帶著一絲難以置信。
「我們一直以為是鏡片裝調不到位的問題，每次都憑著干涉儀的測量數據，去調整下游第三組透鏡的鏡片參數。
原來問題根本不是出在鏡片上，而是因為上游的光瞳函數在經過折反射鏡摺疊後，早就變了質、失了真，不再是設計時假設的均勻分布了。」
「難怪，難怪我們之前怎麼調都對不齊，怎麼校都達不到標準！」
後面跟著的研究員心情也挺複雜的，原來他們一直在用一個錯誤的輸入，去硬擬合一個正確的輸出，從頭到尾都搞錯了方向，難怪怎麼折騰都沒有結果。
這能算對才怪了。