第390章 1nm光刻機問世，全世界第一片1nm晶圓流片成功了！
第二天一早。
江辰的生物鐘準時把他叫醒。
六點半，天剛蒙蒙亮。
陳小胖的呼嚕聲還在隔壁床鋪上震天響。
李默已經坐在書桌前翻那本永遠翻不完的《深度學習數學基礎》。
江辰翻身下床，洗漱的工夫，手機屏幕亮了一下。
是唐若曦的消息：「今天去研發中心？幾點出門？」
「七點。」
「包子和豆漿在老地方，今天豬肉大蔥餡的，阿姨說給你多放了兩勺肉。」
「她每次都這麼說，然後偷偷給我多加一個蛋。」
「誰讓你是江辰呢，對了，陳小胖昨晚在群里開盤口，賭你今天幾點回來，我押了『天黑以後』，賠率一賠三。」
「那你穩賺。」
洗漱完換好衣服背上包，剛走到樓下。
唐若曦已經等在老地方了。
手裡拎著兩個包子和一杯豆漿，頭髮紮成高馬尾，素麵朝天，皮膚白得發光。
她把包子遞過來，又幫他整了整背包帶子。
「曹所長昨晚在工作群里連發了十八個大拇指，說整機聯調全部跑通了，最後一項穩定性測試也過了，就等你今天過去確認。
江辰接過包子咬了一口：「他凌晨三點還在發消息，我讓他早點睡。」
「他說睡不著，比自己當年結婚還激動。」
「那不叫激動，那叫亢奮。」
「聽說劉工昨晚直接在車間裡打地鋪了，說怕設備半夜出問題，守著才安心。」
「他守了一夜？」
「守了一夜，張工也在，兩人輪流盯著屏幕上的數據，誰都不肯先睡。」
江辰幾口吃完包子，把豆漿喝完，塑膠袋扔進垃圾桶：
「那走吧，讓他們別守了，今天應該能出最終結果。」
研發中心今天的氣氛明顯不一樣。
還沒到車間門口。
老趙就迎上來了，手裡抱著個平板電腦，臉上寫滿了「江總你快來我有大事要匯報」的急切。
他一邊跟著江辰往裡走，一邊飛快地翻著屏幕上的數據頁面：
「江總，整機聯調昨晚全部跑完了！」
「七十二小時穩定性測試，所有參數全部達標！」
「光源輸出功率穩定在千瓦級以上，物鏡系統裝配精度完全符合您給的指標，工件台定位精度也穩在亞納米級別！」
他頓了頓，深吸一口氣，然後一字一句地說：
「曹所長說，可以準備首片晶圓流片了。」
江辰接過平板掃了一眼數據曲線，每一條都平滑得像死人的心電圖，所有關鍵指標全綠。
他把平板還給老趙：「讓他們準備流片。」
老趙愣了一秒，然後整個人像被電了一下似的彈起來，轉身就往車間裡跑，邊跑邊喊：
「江總說了！準備流片！都動起來動起來！」
車間裡瞬間炸了。
曹所長從控制室衝出來，頭髮亂得跟雞窩似的，衣服皺巴巴的，一看就是熬了大半夜。
他衝到江辰面前，聲音都在抖：
「江院士，真的可以流片了？」
「各項參數都達標了，可以試。」
曹所長用力點頭，轉身對著車間裡所有人吼了一嗓子：
「都聽到了嗎？江院士說可以流片！」
「全體就位！準備首片晶圓流片！」
整個車間像一台被按下啟動鍵的精密機器，瞬間高速運轉起來。
劉工頂著兩個黑眼圈從地鋪上爬起來，精神頭比喝了十罐紅牛還足，嘴裡喊著「光源組準備就緒」。
陳工在物鏡系統控制台前坐下，匯報說光學對準已鎖定，偏移量低於零點幾納米。
張工盯著工件台的實時數據，確認運動控制精度穩定，雷射干涉儀讀數紋絲不動。
比亞帝的老陳也在，帶著幾個老技工守在旁邊隨時待命。
工具都整整齊齊碼在手推車上，六角扳手從大到小排成一排。
王川福站在車間角落，雙手抱胸，表情看似淡定，但攥緊的拳頭和微微發抖的手指還是暴露了他的緊張。
流片流程嚴格到近乎苛刻。
晶圓被機械臂從真空存儲櫃中取出，送入光刻機腔體，每一步都按照預定的SOP執行。
曹所長盯著總控台上密密麻麻的數據，眼睛都不敢眨，額頭上全是細密的汗珠。
劉工在旁邊不停地搓手。
陳工一直咬著嘴唇看光路監控。
張工每隔幾秒就小聲念一句「穩住了穩住了」。
老趙站在角落裡，手裡的平板差點被他捏碎。
江辰拿著平板站在總控台旁邊，屏幕上實時同步著流片進度和各項關鍵參數。
他表情平靜，偶爾在某個數據上多停留一兩秒，然後繼續看下一個。
沒有人出聲。
車間裡安靜得只剩下空氣淨化系統的低鳴和設備運行時有節奏的電子音。
不知過了多久。
總控台上的進度條終於走到了百分之百。
曹所長聲音沙啞地念出最後一組數據，整個人像被抽空了力氣一樣往後一仰，癱在椅子上，盯著天花板看了好一會兒，然後用一種近乎夢囈的語氣說：
「首片晶圓流片成功。」
整個車間安靜了足足三秒。
然後「轟」的一聲炸了。
劉工第一個蹦起來，抱著旁邊的張工又跳又叫，嗓子都劈叉了：
「成功了！我們成功了！」
「1nm！全世界第一片1nm晶圓！」
張工被他箍得快喘不過氣，使勁拍他後背讓他鬆手。
但自己也在那兒傻笑，眼鏡都笑歪了。
陳工比較含蓄，只是摘下眼鏡擦了擦眼角，但手抖得連眼鏡布都拿不穩，擦了好幾遍還沒擦乾淨。
最後索性不擦了，就這麼紅著眼眶看著屏幕上那些數據。
老趙更誇張，直接蹲在地上哭出來了。
抱著那個差點被他捏碎的平板，邊哭邊說：
「我這輩子值了，真的值了。」
曹所長從椅子上站起來，走到江辰面前，想說什麼。
張了張嘴，發現嗓子哽得一個字都說不出來。
他伸出手想跟江辰握手，手伸到一半又收回去，在自己衣服上使勁擦了擦。
然後再次伸出去，雙手握住江辰的手，用力到指節都發白了，聲音沙啞得像砂紙磨在粗糲的表面：
「江院士，謝謝您。」
「我搞了這麼多年光學工程，從來沒想過有一天能親手做出1nm光刻機。」
「這輩子值了，真的值了，死而無憾了。」
江辰握了握他的手，認真地看著他：
「曹所長，這台機器不是我一個人的功勞。」
「光源是你和劉工一點一點調試出來的，物鏡系統是陳工他們熬了無數個通宵才做到的，工件台是老陳和比亞帝的技師們反覆打磨出來的。」
「我只是提供了方案，真正把它做出來的，是你們所有人。」
……
江辰的生物鐘準時把他叫醒。
六點半，天剛蒙蒙亮。
陳小胖的呼嚕聲還在隔壁床鋪上震天響。
李默已經坐在書桌前翻那本永遠翻不完的《深度學習數學基礎》。
江辰翻身下床，洗漱的工夫，手機屏幕亮了一下。
是唐若曦的消息：「今天去研發中心？幾點出門？」
「七點。」
「包子和豆漿在老地方，今天豬肉大蔥餡的，阿姨說給你多放了兩勺肉。」
「她每次都這麼說，然後偷偷給我多加一個蛋。」
「誰讓你是江辰呢，對了，陳小胖昨晚在群里開盤口，賭你今天幾點回來，我押了『天黑以後』，賠率一賠三。」
「那你穩賺。」
洗漱完換好衣服背上包，剛走到樓下。
唐若曦已經等在老地方了。
手裡拎著兩個包子和一杯豆漿，頭髮紮成高馬尾，素麵朝天，皮膚白得發光。
她把包子遞過來，又幫他整了整背包帶子。
「曹所長昨晚在工作群里連發了十八個大拇指，說整機聯調全部跑通了，最後一項穩定性測試也過了，就等你今天過去確認。
江辰接過包子咬了一口：「他凌晨三點還在發消息，我讓他早點睡。」
「他說睡不著，比自己當年結婚還激動。」
「那不叫激動，那叫亢奮。」
「聽說劉工昨晚直接在車間裡打地鋪了，說怕設備半夜出問題，守著才安心。」
「他守了一夜？」
「守了一夜，張工也在，兩人輪流盯著屏幕上的數據，誰都不肯先睡。」
江辰幾口吃完包子，把豆漿喝完，塑膠袋扔進垃圾桶：
「那走吧，讓他們別守了，今天應該能出最終結果。」
研發中心今天的氣氛明顯不一樣。
還沒到車間門口。
老趙就迎上來了，手裡抱著個平板電腦，臉上寫滿了「江總你快來我有大事要匯報」的急切。
他一邊跟著江辰往裡走，一邊飛快地翻著屏幕上的數據頁面：
「江總，整機聯調昨晚全部跑完了！」
「七十二小時穩定性測試，所有參數全部達標！」
「光源輸出功率穩定在千瓦級以上，物鏡系統裝配精度完全符合您給的指標，工件台定位精度也穩在亞納米級別！」
他頓了頓，深吸一口氣，然後一字一句地說：
「曹所長說，可以準備首片晶圓流片了。」
江辰接過平板掃了一眼數據曲線，每一條都平滑得像死人的心電圖，所有關鍵指標全綠。
他把平板還給老趙：「讓他們準備流片。」
老趙愣了一秒，然後整個人像被電了一下似的彈起來，轉身就往車間裡跑，邊跑邊喊：
「江總說了！準備流片！都動起來動起來！」
車間裡瞬間炸了。
曹所長從控制室衝出來，頭髮亂得跟雞窩似的，衣服皺巴巴的，一看就是熬了大半夜。
他衝到江辰面前，聲音都在抖：
「江院士，真的可以流片了？」
「各項參數都達標了，可以試。」
曹所長用力點頭，轉身對著車間裡所有人吼了一嗓子：
「都聽到了嗎？江院士說可以流片！」
「全體就位！準備首片晶圓流片！」
整個車間像一台被按下啟動鍵的精密機器，瞬間高速運轉起來。
劉工頂著兩個黑眼圈從地鋪上爬起來，精神頭比喝了十罐紅牛還足，嘴裡喊著「光源組準備就緒」。
陳工在物鏡系統控制台前坐下，匯報說光學對準已鎖定，偏移量低於零點幾納米。
張工盯著工件台的實時數據，確認運動控制精度穩定，雷射干涉儀讀數紋絲不動。
比亞帝的老陳也在，帶著幾個老技工守在旁邊隨時待命。
工具都整整齊齊碼在手推車上，六角扳手從大到小排成一排。
王川福站在車間角落，雙手抱胸，表情看似淡定，但攥緊的拳頭和微微發抖的手指還是暴露了他的緊張。
流片流程嚴格到近乎苛刻。
晶圓被機械臂從真空存儲櫃中取出，送入光刻機腔體，每一步都按照預定的SOP執行。
曹所長盯著總控台上密密麻麻的數據，眼睛都不敢眨，額頭上全是細密的汗珠。
劉工在旁邊不停地搓手。
陳工一直咬著嘴唇看光路監控。
張工每隔幾秒就小聲念一句「穩住了穩住了」。
老趙站在角落裡，手裡的平板差點被他捏碎。
江辰拿著平板站在總控台旁邊，屏幕上實時同步著流片進度和各項關鍵參數。
他表情平靜，偶爾在某個數據上多停留一兩秒，然後繼續看下一個。
沒有人出聲。
車間裡安靜得只剩下空氣淨化系統的低鳴和設備運行時有節奏的電子音。
不知過了多久。
總控台上的進度條終於走到了百分之百。
曹所長聲音沙啞地念出最後一組數據，整個人像被抽空了力氣一樣往後一仰，癱在椅子上，盯著天花板看了好一會兒，然後用一種近乎夢囈的語氣說：
「首片晶圓流片成功。」
整個車間安靜了足足三秒。
然後「轟」的一聲炸了。
劉工第一個蹦起來，抱著旁邊的張工又跳又叫，嗓子都劈叉了：
「成功了！我們成功了！」
「1nm！全世界第一片1nm晶圓！」
張工被他箍得快喘不過氣，使勁拍他後背讓他鬆手。
但自己也在那兒傻笑，眼鏡都笑歪了。
陳工比較含蓄，只是摘下眼鏡擦了擦眼角，但手抖得連眼鏡布都拿不穩，擦了好幾遍還沒擦乾淨。
最後索性不擦了，就這麼紅著眼眶看著屏幕上那些數據。
老趙更誇張，直接蹲在地上哭出來了。
抱著那個差點被他捏碎的平板，邊哭邊說：
「我這輩子值了，真的值了。」
曹所長從椅子上站起來，走到江辰面前，想說什麼。
張了張嘴，發現嗓子哽得一個字都說不出來。
他伸出手想跟江辰握手，手伸到一半又收回去，在自己衣服上使勁擦了擦。
然後再次伸出去，雙手握住江辰的手，用力到指節都發白了，聲音沙啞得像砂紙磨在粗糲的表面：
「江院士，謝謝您。」
「我搞了這麼多年光學工程，從來沒想過有一天能親手做出1nm光刻機。」
「這輩子值了，真的值了，死而無憾了。」
江辰握了握他的手，認真地看著他：
「曹所長，這台機器不是我一個人的功勞。」
「光源是你和劉工一點一點調試出來的，物鏡系統是陳工他們熬了無數個通宵才做到的，工件台是老陳和比亞帝的技師們反覆打磨出來的。」
「我只是提供了方案，真正把它做出來的，是你們所有人。」
……