第372章 光刻機原型機組裝，一個螺絲釘的精度都要親自把關！
九月中旬。
燕京的銀杏葉剛開始泛起一層淡淡的金邊。
光刻機三大核心子系統的研發和加工，幾乎在同一時間傳來了突破性進展。
最先傳來好消息的是光電所那邊。
曹所長在電話里的聲音激動得都劈叉了。
背景音里還能聽到劉工和幾個年輕工程師的歡呼聲。
有人喊「牛逼」，有人喊「穩了穩了」，還有人扯著嗓子喊「快給江院士打電話」。
曹所長嚎得嗓子都啞了：
「江院士！極紫外光源原型機完成了！」
「我們連續跑了七十二小時穩定性測試，錫滴發射頻率跟雷射脈衝的同步精度超過了您方案里給的參數，輸出功率直接干到了千瓦級！比全世界最先進的ASML光源高了好幾倍！」
江辰當時正在東科院圖書館翻一本關於量子糾纏純化方案的前沿論文，聽到這個消息也只是微微點頭：
「辛苦了，我明天過去看看。」
「不辛苦不辛苦！我們全所上下現在都跟打了雞血似的！」
曹所長頓了頓，壓低聲音補了一句，
「江院士，您是沒看到，劉工調試完最後一組參數的時候，整個人直接癱在實驗台旁邊哭了。」
「他說他搞了二十年雷射，從來沒想過有一天能做出這種級別的東西。」
次日一早。
江辰便驅車趕到燕京西北郊的光電所。
曹所長帶著劉工、陳工、張工三人，早早就等在門口。
看到江辰的車子駛來，曹所長三步並作兩步迎上去，腰都微微彎了幾分。
一行人簇擁著江辰走進超淨實驗室。
隔著防輻射玻璃。
江辰看到那台被安置在真空腔室正中央的光源原型機。
它比預想的還要緊湊。
銀灰色的腔體表面密布著精密的光學窗口和冷卻管路。
腔室內部。
極紫外光正以一種近乎神聖的頻率穩定輸出，將整個腔體映成一片幽藍色。
劉工站在旁邊，指著屏幕上一組實時跳動的參數，聲音都在發抖：
「江院士您看，這是輸出功率實時監控數據。」
「目前穩定在千瓦級，全世界沒有任何一家機構能做到這個水平。」
「ASML最先進的極紫外光源，輸出功率也就幾百瓦，我們直接翻了倍。」
江辰仔細看著屏幕上每一組數據，從雷射脈衝的波形到錫靶的發射頻率，從真空腔室的氣壓波動到冷卻系統的熱交換效率。
每一項參數都逐行掃過，確認無誤後才點了點頭：
「很好。物鏡系統那邊呢？」
陳工早就等在一旁了。
聽到這句話趕緊上前一步，把手裡的平板電腦遞過去，調出幾張顯微鏡下的反射鏡截面圖：
「江院士您看，這是我們按照您給的工藝參數做出來的多層膜反射鏡。」
「薄膜粗糙度只有零點零幾納米，比您要求的指標還高出一截，裝配精度也遠超預期，AI自動校準模型太強了。」
他說著說著眼眶就紅了，「我這輩子，值了。」
「工件台呢？」江辰轉向張工。
張工搓了搓手，表情裡帶著幾分驕傲：
「比亞帝那邊昨天剛把第一批工件台送過來，超淨裝配車間已經開始總裝了。」
「王總親自帶團隊過來的，還帶了他最精銳的精密裝配團隊，說這種活交給別人他不放心。」
江辰點頭：「走，去看看。」
燕北新能源研發中心。
二號廠房。
這棟原本用於東芯電池後續技術研發的建築，其中一整層已被改造為超淨裝配車間，專門用於光刻機整機的總裝。
車間裡恆溫恆濕，空氣經過多層過濾，潔淨度達到了最高等級。
所有進入車間的人員都必須穿上全套連體防塵服，戴上口罩和護目鏡，從頭到腳裹得嚴嚴實實，只露出一雙眼睛。
江辰走進車間的時候。
王川福正蹲在工件台旁邊，手裡拿著一把扭矩扳手，親自擰一組螺栓。
他穿著一身防塵服，袖口挽到手肘，額頭上全是汗。
完全不像一個千億市值企業的掌舵人，倒像一個在產線上幹了半輩子的老技工。
看到江辰進來。
王川福站起身，用胳膊肘擦了擦額頭上的汗，笑著迎上來：
「江總，你來了。」
「工件台底座已經就位了，光源模塊正在吊裝。」
「這台機器，是我們比亞帝建廠以來做過的精度要求最高的東西。」
「我那老技工來看過一次，回去之後沉默了半天，說他的手藝配不上這台機器。」
「王總謙虛了。」
江辰看著正在進行吊裝的光源模塊，銀灰色的腔體在無塵燈光下泛著幽微的反光。
他低頭看了看王川福手裡那把扭矩扳手，眉頭微微一挑，
「王總，你剛才擰的那組螺栓，預緊力參數是多少？」
王川福回頭看了老陳一眼。
老陳趕緊翻開手裡的工藝手冊，找到那組螺栓對應的編號，念了出來。
江辰聽完，走到工件台旁邊蹲下身，伸手摸了摸那組螺栓的六角頭，又看了看墊片的壓縮量，然後拿起旁邊的數顯扭矩扳手，重新擰了一遍。
扭矩數值在顯示屏上跳動了幾下，最終穩定下來。
他鬆開手，站起來說：
「剛才那組螺栓里，第三顆的預緊力偏高了零點幾牛·米。」
王川福愣住了。
零點幾牛·米是什麼概念？
就是用手指輕輕一推的力，肉眼根本看不出來。
只有最精密的數顯扭矩扳手才能捕捉到這種差異。
「這種精密裝配，不是擰緊就行。」
江辰語氣平靜，「太緊，墊片會產生微小形變，整個基座的平面度就會被破壞。」
「平面度偏幾個微米，工件台的定位精度就會差零點幾納米。」
「差零點幾納米，曝光出來的晶片良率可能就會掉好幾個百分點。」
整個車間瞬間安靜了。
那些正在忙碌的工程師和老技工們，全都停下手裡的活，看向那個穿著防塵服、手裡拿著扭矩扳手的年輕人。
王川福沉默了片刻，然後轉頭對老陳說：
「你馬上安排人把江總這段擰螺栓的視頻傳給每一個帶班組長，讓他們看清楚什麼才叫真正的精密製造。」
他頓了頓，又糾正自己：
「不對，我是讓他們看清楚什麼叫神級精密製造。」
「江總，你這雙手真不是手，是精密儀器，是成精的法器。」
江辰把扭矩扳手放回工具箱，擦了擦手上的油污：
「基座平面度的問題，源頭不是螺栓，是底座本身在加工過程中產生了殘餘應力。」
「這批底座毛坯在鑄造的時候冷卻速度不均勻，導致晶格結構不一致，應力在內部一直在緩慢釋放。」
「這種緩釋效應會持續很長時間，裝配之後再釋放就會把基座拉變形。」
他拿起記號筆，在底座側面畫了個圈標記出問題區域：
「這個地方的應力還沒完全釋放完。」
「下一步做時效處理的時候，時間延長到標準工序的兩倍，溫度曲線也別用常規的勻速升降溫方案。」
「用分階段變溫時效，每個溫度平台多保持一陣，讓殘餘應力充分再結晶和弛豫。」
「具體參數我讓老趙傳一份時效工藝補充方案過來，以後所有底座類大件都按新的曲線走。」
他放下記號筆，抬頭看向王川福。
卻發現王川福整個人都呆立在原地，眼神直愣愣的，半天沒說出話來。
「王總？」
王川福終於回過神來，深吸一口氣，轉頭對身後的老陳說：
「老陳，剛才江總說的那段，你都記下來了嗎？」
老陳連連點頭，手裡的筆在本子上抖個不停：
「記了記了，一個字沒落。」
……
燕京的銀杏葉剛開始泛起一層淡淡的金邊。
光刻機三大核心子系統的研發和加工，幾乎在同一時間傳來了突破性進展。
最先傳來好消息的是光電所那邊。
曹所長在電話里的聲音激動得都劈叉了。
背景音里還能聽到劉工和幾個年輕工程師的歡呼聲。
有人喊「牛逼」，有人喊「穩了穩了」，還有人扯著嗓子喊「快給江院士打電話」。
曹所長嚎得嗓子都啞了：
「江院士！極紫外光源原型機完成了！」
「我們連續跑了七十二小時穩定性測試，錫滴發射頻率跟雷射脈衝的同步精度超過了您方案里給的參數，輸出功率直接干到了千瓦級！比全世界最先進的ASML光源高了好幾倍！」
江辰當時正在東科院圖書館翻一本關於量子糾纏純化方案的前沿論文，聽到這個消息也只是微微點頭：
「辛苦了，我明天過去看看。」
「不辛苦不辛苦！我們全所上下現在都跟打了雞血似的！」
曹所長頓了頓，壓低聲音補了一句，
「江院士，您是沒看到，劉工調試完最後一組參數的時候，整個人直接癱在實驗台旁邊哭了。」
「他說他搞了二十年雷射，從來沒想過有一天能做出這種級別的東西。」
次日一早。
江辰便驅車趕到燕京西北郊的光電所。
曹所長帶著劉工、陳工、張工三人，早早就等在門口。
看到江辰的車子駛來，曹所長三步並作兩步迎上去，腰都微微彎了幾分。
一行人簇擁著江辰走進超淨實驗室。
隔著防輻射玻璃。
江辰看到那台被安置在真空腔室正中央的光源原型機。
它比預想的還要緊湊。
銀灰色的腔體表面密布著精密的光學窗口和冷卻管路。
腔室內部。
極紫外光正以一種近乎神聖的頻率穩定輸出，將整個腔體映成一片幽藍色。
劉工站在旁邊，指著屏幕上一組實時跳動的參數，聲音都在發抖：
「江院士您看，這是輸出功率實時監控數據。」
「目前穩定在千瓦級，全世界沒有任何一家機構能做到這個水平。」
「ASML最先進的極紫外光源，輸出功率也就幾百瓦，我們直接翻了倍。」
江辰仔細看著屏幕上每一組數據，從雷射脈衝的波形到錫靶的發射頻率，從真空腔室的氣壓波動到冷卻系統的熱交換效率。
每一項參數都逐行掃過，確認無誤後才點了點頭：
「很好。物鏡系統那邊呢？」
陳工早就等在一旁了。
聽到這句話趕緊上前一步，把手裡的平板電腦遞過去，調出幾張顯微鏡下的反射鏡截面圖：
「江院士您看，這是我們按照您給的工藝參數做出來的多層膜反射鏡。」
「薄膜粗糙度只有零點零幾納米，比您要求的指標還高出一截，裝配精度也遠超預期，AI自動校準模型太強了。」
他說著說著眼眶就紅了，「我這輩子，值了。」
「工件台呢？」江辰轉向張工。
張工搓了搓手，表情裡帶著幾分驕傲：
「比亞帝那邊昨天剛把第一批工件台送過來，超淨裝配車間已經開始總裝了。」
「王總親自帶團隊過來的，還帶了他最精銳的精密裝配團隊，說這種活交給別人他不放心。」
江辰點頭：「走，去看看。」
燕北新能源研發中心。
二號廠房。
這棟原本用於東芯電池後續技術研發的建築，其中一整層已被改造為超淨裝配車間，專門用於光刻機整機的總裝。
車間裡恆溫恆濕，空氣經過多層過濾，潔淨度達到了最高等級。
所有進入車間的人員都必須穿上全套連體防塵服，戴上口罩和護目鏡，從頭到腳裹得嚴嚴實實，只露出一雙眼睛。
江辰走進車間的時候。
王川福正蹲在工件台旁邊，手裡拿著一把扭矩扳手，親自擰一組螺栓。
他穿著一身防塵服，袖口挽到手肘，額頭上全是汗。
完全不像一個千億市值企業的掌舵人，倒像一個在產線上幹了半輩子的老技工。
看到江辰進來。
王川福站起身，用胳膊肘擦了擦額頭上的汗，笑著迎上來：
「江總，你來了。」
「工件台底座已經就位了，光源模塊正在吊裝。」
「這台機器，是我們比亞帝建廠以來做過的精度要求最高的東西。」
「我那老技工來看過一次，回去之後沉默了半天，說他的手藝配不上這台機器。」
「王總謙虛了。」
江辰看著正在進行吊裝的光源模塊，銀灰色的腔體在無塵燈光下泛著幽微的反光。
他低頭看了看王川福手裡那把扭矩扳手，眉頭微微一挑，
「王總，你剛才擰的那組螺栓，預緊力參數是多少？」
王川福回頭看了老陳一眼。
老陳趕緊翻開手裡的工藝手冊，找到那組螺栓對應的編號，念了出來。
江辰聽完，走到工件台旁邊蹲下身，伸手摸了摸那組螺栓的六角頭，又看了看墊片的壓縮量，然後拿起旁邊的數顯扭矩扳手，重新擰了一遍。
扭矩數值在顯示屏上跳動了幾下，最終穩定下來。
他鬆開手，站起來說：
「剛才那組螺栓里，第三顆的預緊力偏高了零點幾牛·米。」
王川福愣住了。
零點幾牛·米是什麼概念？
就是用手指輕輕一推的力，肉眼根本看不出來。
只有最精密的數顯扭矩扳手才能捕捉到這種差異。
「這種精密裝配，不是擰緊就行。」
江辰語氣平靜，「太緊，墊片會產生微小形變，整個基座的平面度就會被破壞。」
「平面度偏幾個微米，工件台的定位精度就會差零點幾納米。」
「差零點幾納米，曝光出來的晶片良率可能就會掉好幾個百分點。」
整個車間瞬間安靜了。
那些正在忙碌的工程師和老技工們，全都停下手裡的活，看向那個穿著防塵服、手裡拿著扭矩扳手的年輕人。
王川福沉默了片刻，然後轉頭對老陳說：
「你馬上安排人把江總這段擰螺栓的視頻傳給每一個帶班組長，讓他們看清楚什麼才叫真正的精密製造。」
他頓了頓，又糾正自己：
「不對，我是讓他們看清楚什麼叫神級精密製造。」
「江總，你這雙手真不是手，是精密儀器，是成精的法器。」
江辰把扭矩扳手放回工具箱，擦了擦手上的油污：
「基座平面度的問題，源頭不是螺栓，是底座本身在加工過程中產生了殘餘應力。」
「這批底座毛坯在鑄造的時候冷卻速度不均勻，導致晶格結構不一致，應力在內部一直在緩慢釋放。」
「這種緩釋效應會持續很長時間，裝配之後再釋放就會把基座拉變形。」
他拿起記號筆，在底座側面畫了個圈標記出問題區域：
「這個地方的應力還沒完全釋放完。」
「下一步做時效處理的時候，時間延長到標準工序的兩倍，溫度曲線也別用常規的勻速升降溫方案。」
「用分階段變溫時效，每個溫度平台多保持一陣，讓殘餘應力充分再結晶和弛豫。」
「具體參數我讓老趙傳一份時效工藝補充方案過來，以後所有底座類大件都按新的曲線走。」
他放下記號筆，抬頭看向王川福。
卻發現王川福整個人都呆立在原地，眼神直愣愣的，半天沒說出話來。
「王總？」
王川福終於回過神來，深吸一口氣，轉頭對身後的老陳說：
「老陳，剛才江總說的那段，你都記下來了嗎？」
老陳連連點頭，手裡的筆在本子上抖個不停：
「記了記了，一個字沒落。」
……