第362章 光刻機的事，是時候提上日程了，前往光電技術研究所！
東芯電池的事，總算告一段落了。
江辰靠在圖書館老位置的椅背上，長長地吐出一口氣。
唐若曦坐在他旁邊，面前攤著一本《編譯原理》，手裡轉著筆，眼睛卻盯著他的側臉。
「老辰，你這幾天是不是閒下來了？」她問。
「還行。」
江辰閉著眼睛，「老趙那邊基本不用我盯著了，擰德時代和比亞帝的代工產線也穩定了，第一批電池已經裝車交付，後續就是按部就班爬產能。」
「那你接下來打算幹嘛？」
江辰睜開眼，坐直了身子。
他看著天花板沉默了幾秒，然後轉過頭，認真地看著唐若曦。
「光刻機的事，是時候提上日程了。」
唐若曦手裡的筆停了。
她當然知道他一直在謀劃這件事，從之前在梅花洞水庫邊跟她提起的那天起，她就知道這一天遲早會來。
「你打算怎麼搞？」
江辰從背包里掏出一個厚厚的筆記本，翻到其中一頁，上面密密麻麻畫著一張樹狀圖。
唐若曦湊過去看了一眼……
從「1nm光刻機」這個根節點開始，分出三個粗壯的分支：極紫外光源、超高精度物鏡系統、納米級工件台。
每個分支下面又分出密密麻麻的子節點，有的標註了「已解決」，有的標註了「部分解決」，還有的標註了「待攻克」。
「光刻機這玩意兒，說白了就是三個核心子系統。」
江辰指著那張圖，「光源，負責產生極紫外光，把電路圖案『刻』到晶圓上。」
「物鏡系統，負責把掩模版上的圖案縮小、聚焦、投射到晶圓表面，精度要求是亞納米級別的。」
「工件台，負責承載晶圓在曝光過程中做納米級的精密運動。」
「這三個東西，任何一個拎出來，都是工業皇冠上的明珠。」
「全世界能獨立搞定其中任何一個的國家，一隻手數得過來。」
「能同時搞定三個的，一個都沒有……包括燈塔國。」
他頓了頓，「但我們有。」
唐若曦看著那張密密麻麻的樹狀圖。
她知道，這人一旦認真起來，就說明他已經有了至少七八成的把握，只是還沒開始動手罷了。
「光源部分。」
江辰指著第一個分支，「極紫外光本質上是個高能物理問題……用高功率雷射轟擊錫滴，產生等離子體，激發出13.5納米波長的極紫外光。」
「這玩意兒難在兩個地方。」
「一個是雷射器本身，需要超高功率的二氧化碳雷射器，單個脈衝能量要好幾百毫焦，重複頻率要好幾十千赫茲。」
「另一個是錫靶系統，錫滴的直徑要控制在幾十微米，發射頻率要跟雷射脈衝精確同步，偏差不能超過幾個微秒。」
他翻到另一頁，上面畫著一個複雜的光路圖。
「電源系統我們已經解決了。」
「東芯電池的能量密度和瞬時放電能力，比傳統鋰電池強了不止一個數量級，用來驅動高功率雷射器綽綽有餘。」
「雷射器本身的核心技術，我之前刷東科院圖書館的時候，翻到過一套完整的極紫外光源設計方案……」
「從增益介質到泵浦方式，從光學諧振腔到Q開關，每一個細節都有。」
「只要找到合適的代工廠，三個月之內可以做出原型機。」
唐若曦安靜地聽著。
她學的是計算機，對光學工程不算精通。
但每次聽他講這些的時候，她都能感受到一種說不清的踏實感。
他從不畫大餅，也很少說「我試試」。
而是會告訴你第一步怎麼走，第二步怎麼走。
每一步的依據是什麼，大概需要多長時間。
「第二個，物鏡系統。」
江辰繼續往下翻，「這是光刻機最核心、也是卡脖子最狠的部分。」
「極紫外光波長短，穿透力極弱，連空氣都穿不透，所以整個光路系統必須在真空中運行。」
「不能用傳統的透鏡，只能用多層膜反射鏡。」
「這種反射鏡的表面粗糙度必須控制在原子級別……零點幾納米的起伏都不能有。」
「全球只有蔡司能做，而且限制出口。」
「所以這部分我們得自己搞，沒捷徑。」
「核心難點有兩個：一個是反射鏡的鍍膜工藝，另一個是光學系統的裝配精度。」
「鍍膜的事，我之前研究了一下，用離子束濺射沉積法可以搞定，關鍵參數我都算好了。」
「裝配精度的事，可以用我開發的一個AI模型來做自動校準，比人工裝配的精度高兩個數量級。」
唐若曦聽到這裡，終於沒忍住：「你連AI自動校準的模型都寫好了？」
江辰點頭，「之前寫Stellaris框架的時候順帶寫的，反正底層數學邏輯是一樣的，順手。」
她沉默了片刻，然後笑了。
「順帶寫的？別人搞個AI模型得發一篇頂會論文，你順帶寫的。」
「還行。」
江辰面不改色，繼續往下翻，
「第三個，工件台，這部分反而是我們目前最有把握的。」
唐若曦愣了一下，「為什麼？」
「因為比亞帝。」
江辰說，「比亞帝在精密製造方面有幾十年的積累，他們的數控工具機、精密模具、自動化產線，都是國內頂尖水平。」
「我之前跟王川福聊過，他說只要我們能拿出技術方案和設計圖紙，他們可以在三個月內做出工件台的原型機。」
唐若曦若有所思地點點頭，
「所以光源自己搞，物鏡自己搞，工件台跟比亞帝合作。」
「聽起來好像......也不是特別難？」
江辰合上筆記本，靠在椅背上。
「當然不難。」
「只要配套工業基礎跟得上，快則半年，慢則一年，第一台原型機就能下線。」
唐若曦看著他，忽然笑了，「那你什麼時候開始？」
「明天。」
江辰站起來，把筆記本塞回背包，
「今天先去吃飯，食堂紅燒肉要沒了。」
兩人並肩走出圖書館，夕陽把他們的影子拉得很長。
陳小胖正抱著一摞書從對面走來，看到兩人眼睛一亮，剛想打招呼。
看到江辰手裡那個鼓鼓囊囊的背包和唐若曦手裡的筆記本，又默默把嘴閉上了。
跟江神和嫂子擦肩而過之後，他掏出手機給李默發了條消息。
「李默，江神好像又要搞事情了。」
「你怎麼知道？」
「他那個背包，裝筆記本的那個格子，鼓得都快炸了。」
「上次看到他背包鼓成這樣，是在他寫Stellaris之前。」
「......那他可能又要創造一個奇蹟了，準備好花生瓜子礦泉水，坐等看戲。」
第二天一早。
江辰就去了東科院光電技術研究所。
這家研究所位於燕京西北郊，是國內光學工程和精密製造領域的頂尖機構。
江辰聯繫了他在東科院的朋友……王圓院士，托他幫忙聯繫了光電所的所長。
光電所的所長姓曹，五十多歲，頭髮微白，戴著厚厚的眼鏡，一看就是那種在實驗室里泡了幾十年的老專家。
曹所長早早就等在門口，看到江辰下車，快步迎上來握住他的手。
「江院士，久仰久仰！「
「您能來我們所里指導工作，我們全所上下都激動得不行！」
江辰笑了笑，「曹所長客氣了，我是來請教的。」
曹所長連連擺手，「您這話說的，您那東芯電池和Stellaris框架，我們都研究過了……完全是劃時代的技術！」
「所里好幾個搞光學計算的年輕人，現在全轉去學您的Stellaris了，天天在實驗室里跑模型，調參數，飯都不吃。」
兩人寒暄了幾句。
曹所長帶著江辰走進研究所大樓。
走廊兩側的實驗室里，研究員們正在忙著各種實驗。
看到江辰進來，齊刷刷抬頭，眼神里寫滿了「臥槽是江神」五個大字。
一個戴眼鏡的年輕工程師正蹲在光學平台旁邊調光路，餘光瞥見江辰，手裡的螺絲刀差點掉地上。
「江......江院士？」
江辰點點頭，「你好。」
那年輕工程師臉瞬間紅了，憋了半天憋出一句：
「江院士，我......我用了您的Stellaris框架，跑了一個光學設計模型，效率比以前用的商業軟體快了好幾倍！」
「您那個框架，真的太牛逼了！」
「不對，您是神！我......我能跟您合個影嗎？」
江辰笑了，「行，等會兒。」
曹所長領著江辰走進會議室，所里的幾位核心專家已經等著了。
……
江辰靠在圖書館老位置的椅背上，長長地吐出一口氣。
唐若曦坐在他旁邊，面前攤著一本《編譯原理》，手裡轉著筆，眼睛卻盯著他的側臉。
「老辰，你這幾天是不是閒下來了？」她問。
「還行。」
江辰閉著眼睛，「老趙那邊基本不用我盯著了，擰德時代和比亞帝的代工產線也穩定了，第一批電池已經裝車交付，後續就是按部就班爬產能。」
「那你接下來打算幹嘛？」
江辰睜開眼，坐直了身子。
他看著天花板沉默了幾秒，然後轉過頭，認真地看著唐若曦。
「光刻機的事，是時候提上日程了。」
唐若曦手裡的筆停了。
她當然知道他一直在謀劃這件事，從之前在梅花洞水庫邊跟她提起的那天起，她就知道這一天遲早會來。
「你打算怎麼搞？」
江辰從背包里掏出一個厚厚的筆記本，翻到其中一頁，上面密密麻麻畫著一張樹狀圖。
唐若曦湊過去看了一眼……
從「1nm光刻機」這個根節點開始，分出三個粗壯的分支：極紫外光源、超高精度物鏡系統、納米級工件台。
每個分支下面又分出密密麻麻的子節點，有的標註了「已解決」，有的標註了「部分解決」，還有的標註了「待攻克」。
「光刻機這玩意兒，說白了就是三個核心子系統。」
江辰指著那張圖，「光源，負責產生極紫外光，把電路圖案『刻』到晶圓上。」
「物鏡系統，負責把掩模版上的圖案縮小、聚焦、投射到晶圓表面，精度要求是亞納米級別的。」
「工件台，負責承載晶圓在曝光過程中做納米級的精密運動。」
「這三個東西，任何一個拎出來，都是工業皇冠上的明珠。」
「全世界能獨立搞定其中任何一個的國家，一隻手數得過來。」
「能同時搞定三個的，一個都沒有……包括燈塔國。」
他頓了頓，「但我們有。」
唐若曦看著那張密密麻麻的樹狀圖。
她知道，這人一旦認真起來，就說明他已經有了至少七八成的把握，只是還沒開始動手罷了。
「光源部分。」
江辰指著第一個分支，「極紫外光本質上是個高能物理問題……用高功率雷射轟擊錫滴，產生等離子體，激發出13.5納米波長的極紫外光。」
「這玩意兒難在兩個地方。」
「一個是雷射器本身，需要超高功率的二氧化碳雷射器，單個脈衝能量要好幾百毫焦，重複頻率要好幾十千赫茲。」
「另一個是錫靶系統，錫滴的直徑要控制在幾十微米，發射頻率要跟雷射脈衝精確同步，偏差不能超過幾個微秒。」
他翻到另一頁，上面畫著一個複雜的光路圖。
「電源系統我們已經解決了。」
「東芯電池的能量密度和瞬時放電能力，比傳統鋰電池強了不止一個數量級，用來驅動高功率雷射器綽綽有餘。」
「雷射器本身的核心技術，我之前刷東科院圖書館的時候，翻到過一套完整的極紫外光源設計方案……」
「從增益介質到泵浦方式，從光學諧振腔到Q開關，每一個細節都有。」
「只要找到合適的代工廠，三個月之內可以做出原型機。」
唐若曦安靜地聽著。
她學的是計算機，對光學工程不算精通。
但每次聽他講這些的時候，她都能感受到一種說不清的踏實感。
他從不畫大餅，也很少說「我試試」。
而是會告訴你第一步怎麼走，第二步怎麼走。
每一步的依據是什麼，大概需要多長時間。
「第二個，物鏡系統。」
江辰繼續往下翻，「這是光刻機最核心、也是卡脖子最狠的部分。」
「極紫外光波長短，穿透力極弱，連空氣都穿不透，所以整個光路系統必須在真空中運行。」
「不能用傳統的透鏡，只能用多層膜反射鏡。」
「這種反射鏡的表面粗糙度必須控制在原子級別……零點幾納米的起伏都不能有。」
「全球只有蔡司能做，而且限制出口。」
「所以這部分我們得自己搞，沒捷徑。」
「核心難點有兩個：一個是反射鏡的鍍膜工藝，另一個是光學系統的裝配精度。」
「鍍膜的事，我之前研究了一下，用離子束濺射沉積法可以搞定，關鍵參數我都算好了。」
「裝配精度的事，可以用我開發的一個AI模型來做自動校準，比人工裝配的精度高兩個數量級。」
唐若曦聽到這裡，終於沒忍住：「你連AI自動校準的模型都寫好了？」
江辰點頭，「之前寫Stellaris框架的時候順帶寫的，反正底層數學邏輯是一樣的，順手。」
她沉默了片刻，然後笑了。
「順帶寫的？別人搞個AI模型得發一篇頂會論文，你順帶寫的。」
「還行。」
江辰面不改色，繼續往下翻，
「第三個，工件台，這部分反而是我們目前最有把握的。」
唐若曦愣了一下，「為什麼？」
「因為比亞帝。」
江辰說，「比亞帝在精密製造方面有幾十年的積累，他們的數控工具機、精密模具、自動化產線，都是國內頂尖水平。」
「我之前跟王川福聊過，他說只要我們能拿出技術方案和設計圖紙，他們可以在三個月內做出工件台的原型機。」
唐若曦若有所思地點點頭，
「所以光源自己搞，物鏡自己搞，工件台跟比亞帝合作。」
「聽起來好像......也不是特別難？」
江辰合上筆記本，靠在椅背上。
「當然不難。」
「只要配套工業基礎跟得上，快則半年，慢則一年，第一台原型機就能下線。」
唐若曦看著他，忽然笑了，「那你什麼時候開始？」
「明天。」
江辰站起來，把筆記本塞回背包，
「今天先去吃飯，食堂紅燒肉要沒了。」
兩人並肩走出圖書館，夕陽把他們的影子拉得很長。
陳小胖正抱著一摞書從對面走來，看到兩人眼睛一亮，剛想打招呼。
看到江辰手裡那個鼓鼓囊囊的背包和唐若曦手裡的筆記本，又默默把嘴閉上了。
跟江神和嫂子擦肩而過之後，他掏出手機給李默發了條消息。
「李默，江神好像又要搞事情了。」
「你怎麼知道？」
「他那個背包，裝筆記本的那個格子，鼓得都快炸了。」
「上次看到他背包鼓成這樣，是在他寫Stellaris之前。」
「......那他可能又要創造一個奇蹟了，準備好花生瓜子礦泉水，坐等看戲。」
第二天一早。
江辰就去了東科院光電技術研究所。
這家研究所位於燕京西北郊，是國內光學工程和精密製造領域的頂尖機構。
江辰聯繫了他在東科院的朋友……王圓院士，托他幫忙聯繫了光電所的所長。
光電所的所長姓曹，五十多歲，頭髮微白，戴著厚厚的眼鏡，一看就是那種在實驗室里泡了幾十年的老專家。
曹所長早早就等在門口，看到江辰下車，快步迎上來握住他的手。
「江院士，久仰久仰！「
「您能來我們所里指導工作，我們全所上下都激動得不行！」
江辰笑了笑，「曹所長客氣了，我是來請教的。」
曹所長連連擺手，「您這話說的，您那東芯電池和Stellaris框架，我們都研究過了……完全是劃時代的技術！」
「所里好幾個搞光學計算的年輕人，現在全轉去學您的Stellaris了，天天在實驗室里跑模型，調參數，飯都不吃。」
兩人寒暄了幾句。
曹所長帶著江辰走進研究所大樓。
走廊兩側的實驗室里，研究員們正在忙著各種實驗。
看到江辰進來，齊刷刷抬頭，眼神里寫滿了「臥槽是江神」五個大字。
一個戴眼鏡的年輕工程師正蹲在光學平台旁邊調光路，餘光瞥見江辰，手裡的螺絲刀差點掉地上。
「江......江院士？」
江辰點點頭，「你好。」
那年輕工程師臉瞬間紅了，憋了半天憋出一句：
「江院士，我......我用了您的Stellaris框架，跑了一個光學設計模型，效率比以前用的商業軟體快了好幾倍！」
「您那個框架，真的太牛逼了！」
「不對，您是神！我......我能跟您合個影嗎？」
江辰笑了，「行，等會兒。」
曹所長領著江辰走進會議室，所里的幾位核心專家已經等著了。
……