第449章 新官的煩惱
王浩上任整機集成負責人的第四天，就遇到了第一個難題。
凌晨兩點，杭州指揮中心的光刻機模擬系統突然報警——光源系統與光學系統的接口參數出現偏差，模擬運行到第37分鐘時，反射率從68.7%驟降到61.2%。
「王總，這是原始數據。」技術員小張把平板遞過來，「光源系統那邊說是光學系統的問題，光學系統那邊說是光源的問題，兩邊都在推。」
王浩接過平板，快速瀏覽數據。反射率下降的曲線很陡，不是漸進式的，是突然跳崖。這意味著不是系統老化或磨損，而是某個關鍵參數設置錯誤。
「李維在哪？」
「在光源系統實驗室。」小張說，「他已經熬了三個通宵，今天下午暈過去一次，被人扶到休息室躺了兩個小時，晚上又回來了。」
王浩沉默。李維的壓力他懂。接任孫浩的位置，所有人都盯著他看。光源系統要是出問題，第一個被問責的就是他。
「走，去光源實驗室。」
---
凌晨兩點半，光源實驗室。
李維正趴在控制台上，手裡拿著筆，對著屏幕上的曲線發呆。看到王浩進來，他揉了揉眼睛，強打起精神。
「王總，你怎麼來了？」
王浩在他旁邊坐下：「看看你。」
李維苦笑：「別看了，快廢了。」
王浩沒有接話，調出那組數據，在屏幕上放大。
「反射率下降前，光源系統這邊有沒有異常？」
「沒有。」李維搖頭，「所有參數都是按照孫叔修正後的公式設置的，跑了三十七分鐘都很穩定。然後突然就掉了。」
「光學系統那邊呢？」
「他們說自己的參數沒問題，是光源輸出不穩定導致的。」李維嘆氣，「兩邊都在推，問題卡在這兒了。」
王浩盯著屏幕，沒有說話。
過了很久，他突然問：「李維，你信孫叔那個公式嗎？」
李維愣了一下：「當然信。孫叔算了一百遍，陳工驗證過，樣片也跑出來了。」
「那問題出在哪兒？」
李維搖頭：「我不知道。」
王浩站起來，在實驗室里慢慢走。他的目光掃過那些設備，那些線路，那些密密麻麻的儀表。突然，他在一台設備前停下。
「這是什麼？」
李維走過來：「真空腔體的壓力表。光源系統需要在超高真空環境下運行，這個表實時監測腔體壓力。」
「剛才那三十七分鐘，壓力穩定嗎？」
李維調出數據：「穩定，一直在10的負9次方帕左右。」
「那為什麼反射率會掉？」
兩人都沉默了。
王浩站在那台設備前，突然想起彼得森筆記里的一句話：
【EUV光刻機最難的，不是單個系統的精度，是系統之間的配合。就像交響樂團，每個樂手都完美，但指揮錯了，照樣難聽。】
「指揮錯了……」王浩喃喃自語。
李維看著他：「什麼？」
王浩猛地轉身：「李維，你調出整機集成系統的控制時序圖。」
李維愣了一秒，然後快速操作。屏幕上出現一張複雜的時序圖，顯示著光源系統、光學系統、工件台系統、掩模台系統之間的配合順序和時間節點。
「你看這裡。」王浩指著圖上的一行數字，「光源系統啟動後第0.3毫秒，光學系統開始接收光束。但這個時間節點，和孫叔公式里假設的0.5毫秒對不上。」
李維盯著那行數字，臉色變了。
「你是說……集成系統的時序錯了？」
「不是錯了，是假設條件不一樣。」王浩快速說，「孫叔的公式假設光源系統和光學系統之間有0.5毫秒的緩衝時間。但實際運行時，這個緩衝時間只有0.3毫秒。少了0.2毫秒，光束還沒穩定，光學系統就開始接收，反射率當然會掉。」
李維愣住，然後猛地拍了一下桌子。
「我靠！我怎麼沒想到！」
王浩已經撥通了陳鋒徒弟小周的電話——他是負責集成系統時序設計的。
「周工，你在哪兒？」
電話那頭傳來迷糊的聲音：「在家睡覺……怎麼了王總？」
「集成系統的時序，那個0.3毫秒的緩衝時間是誰設定的？」
小周清醒了一點：「那個……是根據ASML公開的專利數據反推的。我們當時覺得0.3毫秒已經夠了，沒想到孫叔的公式需要0.5毫秒……」
王浩深吸一口氣。
「現在改，來得及嗎？」
小周沉默了幾秒：「可以改，但需要重新編譯整個控制程序。至少需要三天。」
三天。光刻機樣機下個月就要總裝，三天就是極限。
「改。」王浩說，「我負責跟上面解釋。你負責改好。」
掛斷電話，他看向李維。
「李維，光源系統這邊，能不能先按0.5毫秒的緩衝時間重新調試？」
李維點頭：「能。但需要再跑一輪模擬，至少一天。」
「那就跑。」
---
凌晨四點，王浩回到指揮中心。
李衛東居然還在。他坐在監控台前，手裡端著一杯涼透的咖啡，看著屏幕上那些跳動的數據。
「爸？你怎麼還沒睡？」
李衛東沒有回頭：「睡不著，來看看。」他轉過頭，「你那邊怎麼樣了？」
王浩在他旁邊坐下，把剛才的事說了一遍。
李衛東聽完，沉默了幾秒。
「你怎麼發現問題的？」
「彼得森的筆記。」王浩說，「他提到過系統配合的重要性。我就順著這個思路，查了時序圖。」
李衛東看著他，點了點頭。
「幹得不錯。」
王浩愣了一下。這是他上任以來，第一次得到李衛東的肯定。
「爸……李總，您不怪我？」
「怪你什麼？」
「發現問題太晚？差點釀成大錯？」
李衛東搖搖頭。
「你發現問題的時間，是凌晨兩點。解決問題的方案，是凌晨四點想出來的。這個速度，比我們當年快多了。」
王浩低下頭，不知道該說什麼。
李衛東站起身，走到窗前。
「王浩，你知道孫浩為什麼推薦你嗎？」
王浩搖頭。
「因為他覺得，你身上有林浩然的影子。」李衛東看著窗外的夜色，「那種不認命，不死磕到底不罷休的勁兒。」
他轉過身：
「今天的事，證明他沒看錯。」
王浩的眼眶有些發酸。
「李總，我……」
「別說了。」李衛東走過來，拍了拍他的肩，「回去睡覺。明天還有仗要打。」
---
早上八點，王浩被手機震醒。
是小周發來的消息：
【王總，時序程序改好了，正在編譯。預計今晚八點能跑第一輪模擬。】
王浩盯著那行字，笑了。
他爬起來，沖了個冷水澡，換了件乾淨衣服，又往指揮中心走去。
走廊里，他遇到了李維。兩個人一對視，都笑了。
「李維，你那邊怎麼樣？」
「跑了一輪模擬，壓力穩定。等今晚集成測試。」
「好。晚上一起盯。」
李維點頭，然後突然問：
「王浩，你說咱們能行嗎？」
王浩看著他，沉默了幾秒。
「不知道。但得試試。」
李維笑了。
「那就試試。」
兩人走進指揮中心。
屏幕上，光刻機模擬系統正在安靜地運行。
時間一分一秒地過去。
晚上八點，第一輪集成測試開始。
所有人都盯著屏幕上的數據。
第37分鐘，反射率曲線平穩地划過，沒有下降。
第40分鐘，依然平穩。
第60分鐘，還是平穩。
李維第一個跳起來：
「成功了！」
王浩靠在椅背上，閉上眼睛。
耳邊是歡呼聲和掌聲。
但他想的，是孫浩臨走前說的那句話：
【以後，你們年輕人上。】
現在，他們上了。
能不能站穩，還得看以後。
但至少，第一步邁出去了。
凌晨兩點，杭州指揮中心的光刻機模擬系統突然報警——光源系統與光學系統的接口參數出現偏差，模擬運行到第37分鐘時，反射率從68.7%驟降到61.2%。
「王總，這是原始數據。」技術員小張把平板遞過來，「光源系統那邊說是光學系統的問題，光學系統那邊說是光源的問題，兩邊都在推。」
王浩接過平板，快速瀏覽數據。反射率下降的曲線很陡，不是漸進式的，是突然跳崖。這意味著不是系統老化或磨損，而是某個關鍵參數設置錯誤。
「李維在哪？」
「在光源系統實驗室。」小張說，「他已經熬了三個通宵，今天下午暈過去一次，被人扶到休息室躺了兩個小時，晚上又回來了。」
王浩沉默。李維的壓力他懂。接任孫浩的位置，所有人都盯著他看。光源系統要是出問題，第一個被問責的就是他。
「走，去光源實驗室。」
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凌晨兩點半，光源實驗室。
李維正趴在控制台上，手裡拿著筆，對著屏幕上的曲線發呆。看到王浩進來，他揉了揉眼睛，強打起精神。
「王總，你怎麼來了？」
王浩在他旁邊坐下：「看看你。」
李維苦笑：「別看了，快廢了。」
王浩沒有接話，調出那組數據，在屏幕上放大。
「反射率下降前，光源系統這邊有沒有異常？」
「沒有。」李維搖頭，「所有參數都是按照孫叔修正後的公式設置的，跑了三十七分鐘都很穩定。然後突然就掉了。」
「光學系統那邊呢？」
「他們說自己的參數沒問題，是光源輸出不穩定導致的。」李維嘆氣，「兩邊都在推，問題卡在這兒了。」
王浩盯著屏幕，沒有說話。
過了很久，他突然問：「李維，你信孫叔那個公式嗎？」
李維愣了一下：「當然信。孫叔算了一百遍，陳工驗證過，樣片也跑出來了。」
「那問題出在哪兒？」
李維搖頭：「我不知道。」
王浩站起來，在實驗室里慢慢走。他的目光掃過那些設備，那些線路，那些密密麻麻的儀表。突然，他在一台設備前停下。
「這是什麼？」
李維走過來：「真空腔體的壓力表。光源系統需要在超高真空環境下運行，這個表實時監測腔體壓力。」
「剛才那三十七分鐘，壓力穩定嗎？」
李維調出數據：「穩定，一直在10的負9次方帕左右。」
「那為什麼反射率會掉？」
兩人都沉默了。
王浩站在那台設備前，突然想起彼得森筆記里的一句話：
【EUV光刻機最難的，不是單個系統的精度，是系統之間的配合。就像交響樂團，每個樂手都完美，但指揮錯了，照樣難聽。】
「指揮錯了……」王浩喃喃自語。
李維看著他：「什麼？」
王浩猛地轉身：「李維，你調出整機集成系統的控制時序圖。」
李維愣了一秒，然後快速操作。屏幕上出現一張複雜的時序圖，顯示著光源系統、光學系統、工件台系統、掩模台系統之間的配合順序和時間節點。
「你看這裡。」王浩指著圖上的一行數字，「光源系統啟動後第0.3毫秒，光學系統開始接收光束。但這個時間節點，和孫叔公式里假設的0.5毫秒對不上。」
李維盯著那行數字，臉色變了。
「你是說……集成系統的時序錯了？」
「不是錯了，是假設條件不一樣。」王浩快速說，「孫叔的公式假設光源系統和光學系統之間有0.5毫秒的緩衝時間。但實際運行時，這個緩衝時間只有0.3毫秒。少了0.2毫秒，光束還沒穩定，光學系統就開始接收，反射率當然會掉。」
李維愣住，然後猛地拍了一下桌子。
「我靠！我怎麼沒想到！」
王浩已經撥通了陳鋒徒弟小周的電話——他是負責集成系統時序設計的。
「周工，你在哪兒？」
電話那頭傳來迷糊的聲音：「在家睡覺……怎麼了王總？」
「集成系統的時序，那個0.3毫秒的緩衝時間是誰設定的？」
小周清醒了一點：「那個……是根據ASML公開的專利數據反推的。我們當時覺得0.3毫秒已經夠了，沒想到孫叔的公式需要0.5毫秒……」
王浩深吸一口氣。
「現在改，來得及嗎？」
小周沉默了幾秒：「可以改，但需要重新編譯整個控制程序。至少需要三天。」
三天。光刻機樣機下個月就要總裝，三天就是極限。
「改。」王浩說，「我負責跟上面解釋。你負責改好。」
掛斷電話，他看向李維。
「李維，光源系統這邊，能不能先按0.5毫秒的緩衝時間重新調試？」
李維點頭：「能。但需要再跑一輪模擬，至少一天。」
「那就跑。」
---
凌晨四點，王浩回到指揮中心。
李衛東居然還在。他坐在監控台前，手裡端著一杯涼透的咖啡，看著屏幕上那些跳動的數據。
「爸？你怎麼還沒睡？」
李衛東沒有回頭：「睡不著，來看看。」他轉過頭，「你那邊怎麼樣了？」
王浩在他旁邊坐下，把剛才的事說了一遍。
李衛東聽完，沉默了幾秒。
「你怎麼發現問題的？」
「彼得森的筆記。」王浩說，「他提到過系統配合的重要性。我就順著這個思路，查了時序圖。」
李衛東看著他，點了點頭。
「幹得不錯。」
王浩愣了一下。這是他上任以來，第一次得到李衛東的肯定。
「爸……李總，您不怪我？」
「怪你什麼？」
「發現問題太晚？差點釀成大錯？」
李衛東搖搖頭。
「你發現問題的時間，是凌晨兩點。解決問題的方案，是凌晨四點想出來的。這個速度，比我們當年快多了。」
王浩低下頭，不知道該說什麼。
李衛東站起身，走到窗前。
「王浩，你知道孫浩為什麼推薦你嗎？」
王浩搖頭。
「因為他覺得，你身上有林浩然的影子。」李衛東看著窗外的夜色，「那種不認命，不死磕到底不罷休的勁兒。」
他轉過身：
「今天的事，證明他沒看錯。」
王浩的眼眶有些發酸。
「李總，我……」
「別說了。」李衛東走過來，拍了拍他的肩，「回去睡覺。明天還有仗要打。」
---
早上八點，王浩被手機震醒。
是小周發來的消息：
【王總，時序程序改好了，正在編譯。預計今晚八點能跑第一輪模擬。】
王浩盯著那行字，笑了。
他爬起來，沖了個冷水澡，換了件乾淨衣服，又往指揮中心走去。
走廊里，他遇到了李維。兩個人一對視，都笑了。
「李維，你那邊怎麼樣？」
「跑了一輪模擬，壓力穩定。等今晚集成測試。」
「好。晚上一起盯。」
李維點頭，然後突然問：
「王浩，你說咱們能行嗎？」
王浩看著他，沉默了幾秒。
「不知道。但得試試。」
李維笑了。
「那就試試。」
兩人走進指揮中心。
屏幕上，光刻機模擬系統正在安靜地運行。
時間一分一秒地過去。
晚上八點，第一輪集成測試開始。
所有人都盯著屏幕上的數據。
第37分鐘，反射率曲線平穩地划過，沒有下降。
第40分鐘，依然平穩。
第60分鐘，還是平穩。
李維第一個跳起來：
「成功了！」
王浩靠在椅背上，閉上眼睛。
耳邊是歡呼聲和掌聲。
但他想的，是孫浩臨走前說的那句話：
【以後，你們年輕人上。】
現在，他們上了。
能不能站穩，還得看以後。
但至少，第一步邁出去了。