第273章 第一道光刻
「嗡——」
一聲沉穩而有力的電流通過線圈的聲音,在寂靜的廠房裡驟然響起。
這聲音不像眾人擔心的那樣刺耳,反而帶著一種令人心安的厚重質感。
操作台上的指示燈一排排地依次亮起,綠色的光芒映照在龍建國平靜的臉上。
「崑崙一號」的主軸開始以極低的速度緩緩旋轉起來。
緊接著,工作檯在伺服電機的驅動下,開始沿著X軸和Y軸平穩地移動。
整個過程如絲般順滑,沒有絲毫的抖動和噪音。
只聽得到伺服電機發出的輕微「嘶嘶」聲,和導軌上滾珠滾動時那幾乎微不可聞的細碎聲響。
「動了!動了!」
人群中,不知是誰發出了一聲壓抑的驚呼。
所有人的心都提到了嗓子眼。
李衛國和王浩更是牢牢地盯著各自面前的監控屏幕。
「主軸跳動,0.1微米!」
「X軸定位精度,誤差0.2微米!」
「Y軸重複定位精度,誤差0.15微米!」
軟體團隊的工程師們看著屏幕上那些不斷跳出、代表著工具機實時運行狀態、堪稱恐怖的數據,一個個都驚得張大了嘴巴。
這些數據已經全面超越了他們仿製的那台德國DMG-50樣機!
「天吶……我們,我們成功了?」一個年輕的工程師喃喃自語。
「閉嘴!測試還沒結束!」王浩低聲喝道,但他的聲音里也帶著掩飾不住的顫抖。
真正的考驗是實際加工。
根據測試計劃,第一次「開光」要加工的,是一個極其考驗工具機綜合性能的零件——一塊用於光刻機工件台的超平面反射鏡基座。
這塊巴掌大小、用特種陶瓷燒制而成的基座,要求的平面度是0.5微米。
一塊經過粗磨的陶瓷基座被自動夾具牢牢地固定在了工作檯上。
主軸上換上了一支高速金剛石磨頭。
「嗡——」
主軸的轉速開始急劇提升。
一萬轉,兩萬轉,五萬轉!
最終穩定在了驚人的十萬轉每分鐘!
在如此高的轉速下,整個工具機依然穩如泰山。只有湊近了才能聽到主軸發出蜜蜂振翅般的高頻蜂鳴。
「開始加工!」
隨著王浩在計算機上敲下最後一行指令,高速旋轉的金剛石磨頭帶著一往無前的氣勢,緩緩地靠近了那塊黑色的陶瓷基座。
「滋——」
磨頭與陶瓷表面接觸的瞬間,濺起了一串細微得如星塵般的白色火花。
一股淡淡的陶瓷被灼燒的焦糊味在空氣中瀰漫開來。
所有人都屏住了呼吸。
只見那支磨頭在軟體的精確控制下,以一種肉眼難以分辨的玄奧軌跡,在陶瓷基座的表面來回往復地遊走著。
它每走過一遍,那塊原本粗糙的黑色表面就變得更加光滑、更加明亮。
五分鐘後。
磨頭緩緩抬起,停止了旋轉。
工作檯載著那塊加工完成的基座,平穩地移動到了檢測區。
一名負責檢測的老師傅戴上白手套,小心翼翼地將那塊還帶著溫熱的基座取了下來。
他將基座放到了一台從德國進口的、最高精度的雷射干涉儀上。
這是最後的審判。
所有人的目光都聚焦在那台連接著雷射干涉儀的顯示器屏幕上。
老師傅的手有些顫抖地按下了檢測按鈕。
屏幕上開始出現複雜的干涉條紋。計算機正在根據條紋的變化,計算出這塊基座表面的最終平面度。
一秒,兩秒,十秒……
時間被無限拉長。
李衛國感覺自己的心臟都快要跳出胸膛了。
終於,屏幕上的條紋停止了變化。
一個鮮紅的、最終的檢測結果跳了出來。
0.1μm!
當看清屏幕上那個數字的瞬間,整個廠房陷入了一片死一般的寂靜。
所有人都像是被施了定身法,一動不動地看著那個足以讓任何一個從事精密製造的人都為之瘋狂的數字。
0.1微米!
比設計要求高了整整五倍!
這已經不是簡單的超越德國。
這是碾壓!
「成功了……」
不知是誰用夢囈般的聲音說了一句。
下一秒。
「我們成功了!!!」
「噢——!!!」
雷鳴般的、震耳欲聾的歡呼聲,好像火山噴發一般,瞬間席捲了整個廠房!
年輕的工程師們把手裡的圖紙和工具扔向空中,互相擁抱、嘶吼、跳躍著。
幾個白髮蒼蒼的老師傅再也控制不住自己的情緒,抱著身邊的工具機,像個孩子一樣嚎啕大哭。
他們這輩子受夠了沒有好工具機、只能靠一雙手跟洋人較勁的憋屈。
今天,他們終於用上了我們中國人自己造的、世界上最好的工具機!
李衛國雙腿一軟,差點癱倒在地。他被旁邊的王浩一把扶住。兩個大男人看著彼此通紅的眼睛,淚水再也抑制不住地奪眶而出。
羅部長激動得滿臉通紅,一個勁地拍著龍建國的手臂:「建國!建國!你看到了嗎!0.1微米!我們做到了!我們真的做到了!」
而舒馬赫,這位見慣了大場面的德國專家,此刻也呆呆地站在那裡。
他看著屏幕上那個刺眼的「0.1μm」,又看了看那台藝術品般的「崑崙一號」,嘴裡不停地用德語喃喃自語:
「Mein Gott… das ist unmöglich… das ist ein Wunder…」
(我的上帝……這不可能……這是一個奇蹟……)
他忽然想起了龍建國剛才說的那句話。
「在中國,我們不信上帝。我們信的,是人定勝天!」
他轉過頭,用一種看「神」的目光,看著那個從始至終都保持著平靜的年輕中國男人。
他終於明白。
他來到的,是一個能夠創造奇蹟的國度。
而他,正在親眼見證這個奇蹟的發生。
一聲沉穩而有力的電流通過線圈的聲音,在寂靜的廠房裡驟然響起。
這聲音不像眾人擔心的那樣刺耳,反而帶著一種令人心安的厚重質感。
操作台上的指示燈一排排地依次亮起,綠色的光芒映照在龍建國平靜的臉上。
「崑崙一號」的主軸開始以極低的速度緩緩旋轉起來。
緊接著,工作檯在伺服電機的驅動下,開始沿著X軸和Y軸平穩地移動。
整個過程如絲般順滑,沒有絲毫的抖動和噪音。
只聽得到伺服電機發出的輕微「嘶嘶」聲,和導軌上滾珠滾動時那幾乎微不可聞的細碎聲響。
「動了!動了!」
人群中,不知是誰發出了一聲壓抑的驚呼。
所有人的心都提到了嗓子眼。
李衛國和王浩更是牢牢地盯著各自面前的監控屏幕。
「主軸跳動,0.1微米!」
「X軸定位精度,誤差0.2微米!」
「Y軸重複定位精度,誤差0.15微米!」
軟體團隊的工程師們看著屏幕上那些不斷跳出、代表著工具機實時運行狀態、堪稱恐怖的數據,一個個都驚得張大了嘴巴。
這些數據已經全面超越了他們仿製的那台德國DMG-50樣機!
「天吶……我們,我們成功了?」一個年輕的工程師喃喃自語。
「閉嘴!測試還沒結束!」王浩低聲喝道,但他的聲音里也帶著掩飾不住的顫抖。
真正的考驗是實際加工。
根據測試計劃,第一次「開光」要加工的,是一個極其考驗工具機綜合性能的零件——一塊用於光刻機工件台的超平面反射鏡基座。
這塊巴掌大小、用特種陶瓷燒制而成的基座,要求的平面度是0.5微米。
一塊經過粗磨的陶瓷基座被自動夾具牢牢地固定在了工作檯上。
主軸上換上了一支高速金剛石磨頭。
「嗡——」
主軸的轉速開始急劇提升。
一萬轉,兩萬轉,五萬轉!
最終穩定在了驚人的十萬轉每分鐘!
在如此高的轉速下,整個工具機依然穩如泰山。只有湊近了才能聽到主軸發出蜜蜂振翅般的高頻蜂鳴。
「開始加工!」
隨著王浩在計算機上敲下最後一行指令,高速旋轉的金剛石磨頭帶著一往無前的氣勢,緩緩地靠近了那塊黑色的陶瓷基座。
「滋——」
磨頭與陶瓷表面接觸的瞬間,濺起了一串細微得如星塵般的白色火花。
一股淡淡的陶瓷被灼燒的焦糊味在空氣中瀰漫開來。
所有人都屏住了呼吸。
只見那支磨頭在軟體的精確控制下,以一種肉眼難以分辨的玄奧軌跡,在陶瓷基座的表面來回往復地遊走著。
它每走過一遍,那塊原本粗糙的黑色表面就變得更加光滑、更加明亮。
五分鐘後。
磨頭緩緩抬起,停止了旋轉。
工作檯載著那塊加工完成的基座,平穩地移動到了檢測區。
一名負責檢測的老師傅戴上白手套,小心翼翼地將那塊還帶著溫熱的基座取了下來。
他將基座放到了一台從德國進口的、最高精度的雷射干涉儀上。
這是最後的審判。
所有人的目光都聚焦在那台連接著雷射干涉儀的顯示器屏幕上。
老師傅的手有些顫抖地按下了檢測按鈕。
屏幕上開始出現複雜的干涉條紋。計算機正在根據條紋的變化,計算出這塊基座表面的最終平面度。
一秒,兩秒,十秒……
時間被無限拉長。
李衛國感覺自己的心臟都快要跳出胸膛了。
終於,屏幕上的條紋停止了變化。
一個鮮紅的、最終的檢測結果跳了出來。
0.1μm!
當看清屏幕上那個數字的瞬間,整個廠房陷入了一片死一般的寂靜。
所有人都像是被施了定身法,一動不動地看著那個足以讓任何一個從事精密製造的人都為之瘋狂的數字。
0.1微米!
比設計要求高了整整五倍!
這已經不是簡單的超越德國。
這是碾壓!
「成功了……」
不知是誰用夢囈般的聲音說了一句。
下一秒。
「我們成功了!!!」
「噢——!!!」
雷鳴般的、震耳欲聾的歡呼聲,好像火山噴發一般,瞬間席捲了整個廠房!
年輕的工程師們把手裡的圖紙和工具扔向空中,互相擁抱、嘶吼、跳躍著。
幾個白髮蒼蒼的老師傅再也控制不住自己的情緒,抱著身邊的工具機,像個孩子一樣嚎啕大哭。
他們這輩子受夠了沒有好工具機、只能靠一雙手跟洋人較勁的憋屈。
今天,他們終於用上了我們中國人自己造的、世界上最好的工具機!
李衛國雙腿一軟,差點癱倒在地。他被旁邊的王浩一把扶住。兩個大男人看著彼此通紅的眼睛,淚水再也抑制不住地奪眶而出。
羅部長激動得滿臉通紅,一個勁地拍著龍建國的手臂:「建國!建國!你看到了嗎!0.1微米!我們做到了!我們真的做到了!」
而舒馬赫,這位見慣了大場面的德國專家,此刻也呆呆地站在那裡。
他看著屏幕上那個刺眼的「0.1μm」,又看了看那台藝術品般的「崑崙一號」,嘴裡不停地用德語喃喃自語:
「Mein Gott… das ist unmöglich… das ist ein Wunder…」
(我的上帝……這不可能……這是一個奇蹟……)
他忽然想起了龍建國剛才說的那句話。
「在中國,我們不信上帝。我們信的,是人定勝天!」
他轉過頭,用一種看「神」的目光,看著那個從始至終都保持著平靜的年輕中國男人。
他終於明白。
他來到的,是一個能夠創造奇蹟的國度。
而他,正在親眼見證這個奇蹟的發生。