第421章 追光設備國產化試產節點
梁志遠在合城二期廠房的潔淨通道盡頭站了整整四十分鐘，看著第三代刻蝕設備的反應腔在等離子體輝光中完成第十二片晶圓的刻蝕工序。他手裡拿著的那份試產流程追蹤表，每一個工藝步驟的完成時間都用藍色原子筆標註在格子裡——藍色是他刻意選的，因為紅色代表問題，藍色代表進度。十二個格子裡已經填滿了八個，剩下四個分別對應薄膜沉積、離子注入、金屬互連和最終檢測。
這是追光四期產線上第一批全部使用國產替代零部件的十二英寸晶圓。從氣體純化系統的在線精密過濾器，到薄膜沉積設備的國產真空計，再到剛剛完成陶瓷封裝運放替換的零點漂移閉環驗證——每一個環節的設備和零部件供應商名錄都被梁志遠用不同顏色的標籤標註在產線流程圖上。綠色標籤代表國產供應商已通過驗收，黃色代表國產替代方案已完成驗證但尚未大規模量產，紅色標籤只剩下三個：光刻膠、離子注入機離子源燈絲和金屬互連工序的化學機械拋光液。
「第四道工序完成，薄膜沉積厚度偏差正負零點三納米，在工藝窗口內。」丁勇的聲音從對講機里傳來，背景里能聽到薄膜沉積設備控制面板的按鍵音。國產真空計在陶瓷封裝替換後的穩定性數據已經連續運行了八天，零點漂移在前十五分鐘的波動被壓到了進口型號的同等水平。丁勇在昨天提交的國產真空計最終驗收報告上寫了一句評價：「所有技術指標達到進口替換標準，封裝應力問題已關閉。」
梁志遠在對講機里確認了薄膜沉積的結果，然後在試產流程追蹤表的第九個格子裡畫了一個圈。他畫圈而不是打勾，是因為薄膜沉積之後還有一道最關鍵的工序——離子注入。這道工序使用的離子注入機是國內供應商替換進口型號的核心設備，也是追光五期投資方案中老韓力主從北洲進口改為國內採購的那一款。追光四期現有產線上的這台國產離子注入機已經並行驗證了六個月，累計處理晶圓超過三千片，性能數據與進口型號的差距從一年前的百分之十五縮小到了百分之五以內。但今天是它第一次在全部國產化替代的晶圓上執行注入工序——沒有進口設備的備份兜底，沒有北洲供應商的技術支持熱線隨時待命，只有國內供應商派駐合城的兩名駐廠工程師和追光設備工程團隊自己的工藝參數調試記錄。
「離子注入工序準備就緒，注入劑量和能量參數已按天權4號工藝設計套件預設。」國產離子注入機的駐廠工程師姓郭，三十歲出頭，是這家國內半導體設備廠商培養的第一代工藝應用工程師。他把注入參數的最終確認清單遞給梁志遠，清單上的每一項參數後面都附著了這台設備在過去六個月里同類注入的工藝穩定性數據——標準偏差、片內均勻性和片間重複性三項指標全部用控制圖的形式標註了上下限。
梁志遠逐項簽了字，然後問了一個問題：「如果注入劑量偏差超出工藝窗口，最可能的根因是什麼？」
「離子源燈絲。」郭工沒有迴避這個風險，「我們這台設備的離子源燈絲目前用的還是進口型號。國內替代燈絲已經在供應商的實驗室里完成了三千小時的壽命測試，但還沒在追光四期的產線上做過實際工況驗證。進口燈絲的穩定性經過全球產線的驗證，國產燈絲還差這最後一公里。今天這批晶圓用的是進口燈絲，所以風險可控。但下一批如果換國產燈絲，需要單獨做一次注入劑量均勻性的專項驗證。」
梁志遠在筆記本上記了一筆：「國產離子源燈絲——注入劑量均勻性驗證——排期。」這筆記錄會進入產業鏈高風險項台帳，編號排在光刻膠和拋光液之間。他抬頭看了一眼離子注入機的控制面板，注入腔體內的晶圓正在高真空環境中接受摻雜劑的轟擊，整個過程不到三分鐘，但這三分鐘決定的是晶片的電性能參數能不能達到設計規格。
注入工序完成後，晶圓被自動傳輸到金屬互連工序的緩衝區。這道工序使用的化學機械拋光液是追光四期目前仍在依賴進口的三種核心耗材之一，另外兩種是光刻膠和離子注入機離子源燈絲。國產拋光液的替代方案已經在崑崙基金二期的一個課題中立項，由國內一所化工大學的課題組與追光設備工程團隊聯合研發，目前進展到中試放大階段，預計三個月內能在追光四期的產線上做首次小批量驗證。但這批試產晶圓用的還是進口拋光液——不是國產方案不夠快，而是金屬互連工序的工藝窗口太窄，任何耗材的替換都需要至少三個月的並行驗證周期。
「金屬互連工序完成，片內電阻均勻性偏差正負百分之一點二，符合規格。」追光四期的工藝主管在對講機里報出了最後一個工序節點的數據。晶圓隨後進入在線檢測自動化站台，光學檢測模塊的缺陷識別算法在零點三秒內完成了整片晶圓的表面掃描，電子束檢測模塊在精度偏差零點三納米內定位了三個疑似缺陷點，自動分揀模塊將三個疑似點的位置坐標和顯微圖像上傳到天樞OS產線管理系統，等待人工復檢。
梁志遠走到在線檢測站台的顯示屏前，調出三個疑似缺陷點的顯微圖像。第一個是金屬互連線上的一處微小凹陷，尺寸在工藝容忍範圍內；第二個是層間介質層的一處厚度不均，偏差量在規格上限的邊緣；第三個是離子注入區域的一處摻雜濃度異常——這一個需要復檢。他讓丁勇把這片晶圓從自動分揀的待覆檢區取出來，送到追光設備工程團隊的失效分析實驗室做進一步的掃描電鏡成像和電性測試。
「前兩個問題可以放行，第三個等復檢結果。」梁志遠在試產流程追蹤表上寫下最終檢測環節的備註，然後抬頭看了一眼潔淨通道盡頭的時鐘。從第一批晶圓進入刻蝕工序到現在，正好過去了四小時零五分鐘。國產替代設備的全線貫通速度比預計快了二十分鐘——這二十分鐘來自在線檢測自動化站台的高通量檢測能力，聯合開發定製的檢測算法對追光四期晶圓的工藝特徵有高度適配性，不需要像進口設備那樣做反覆的參數補償調優。
追光四期的國產化試產節點，在梁志遠的計劃里不止是一次技術驗證。他讓廠務團隊在每道工序的關鍵工位旁加裝了高清攝像裝置，從刻蝕到檢測的全流程都被實時記錄下來。每一道工序的工藝參數——氣體流量、反應腔壓力、射頻功率、注入劑量、拋光速率——全部自動採集並存入天樞OS產線管理系統的資料庫，時間戳精確到毫秒級。這些數據和天罡Edge醫療版的臨床數據、恆信科技檢測設備的對比數據一樣，將成為歐羅巴聯合檢測驗證工作組關於「供應鏈韌性」維度的核心佐證材料。
陳醒在策略會上定下的那句話被梁志遠列印出來貼在了追光四期中控室的牆上：「不是讓別人相信我們說的話，而是讓別人不需要相信我們——因為他們可以自己驗證。」國產化試產的全程數據記錄，就是給那些需要自己驗證的人準備的。
第三個疑似缺陷點的復檢結果在四十分鐘後出來了。掃描電鏡成像顯示，離子注入區域的摻雜濃度異常是一處掩膜版邊緣效應導致的局部偏差，面積不到零點五平方微米，對晶片整體電性能的影響在仿真模型中可以忽略。丁勇在復檢報告上簽了字，結論是「工藝容忍範圍內，可放行」。
梁志遠把最終檢測結果填入試產流程追蹤表的最後一個格子，然後拿起終端給陳醒、章宸和林薇同時發了一條消息：「追光四期首批全國產替代零部件晶圓試產完成，全部工序通過在線檢測，良率待統計，預計四十八小時內完成全部電性測試和老化測試。全程工藝參數記錄已存入天樞OS產線管理系統，可隨時調取。」
消息發出後不到三分鐘，林薇從中央研究院回了電話。她沒有祝賀，而是直接問了一個技術問題：「國產離子注入機的注入劑量均勻性在片內分布如何？天權6號的羲和架構對閾值電壓的片內均勻性比天權4號敏感一個數量級，如果離子注入的片內均勻性有系統性偏差，天權6號的流片代工就需要重新評估工藝匹配度。」
梁志遠把國產離子注入機在過去六個月並行驗證中積累的片內均勻性數據調出來，和林薇逐項比對。片內注入劑量的標準偏差在百分之零點八以內，片間重複性偏差在百分之一點二以內，均在天權4號工藝設計套件的規格範圍內。但天權6號目標工藝節點對注入均勻性的要求比天權4號嚴苛至少一倍，國產離子注入機目前的數據還不足以支撐天權6號的流片代工需求。
「所以追光五期那兩台國產離子注入機能不能接天權6號的代工單，要看供應商在未來八個月內能不能把片內均勻性再提升一倍。」林薇在電話那頭飛快地算了一組數據，「如果提升達不到，天權6號的流片就只能走境外代工通道。但實體清單隨時可能落地，境外代工通道一旦被切斷——」
「天權6號就沒有代工選項了。」梁志遠替她把話說完了。
這個結論讓電話兩端都沉默了幾秒。追光四期的國產化試產節點剛剛成功，但成功的是天權4號這一代晶片的製造自主性。天權6號站在更先進的工藝節點上，對設備和耗材的要求比天權4號高了整整一個台階。國產替代的速度在加快，但能不能趕在實體清單落地之前追上天權6號流片需求的工藝節點，仍然是一個未知數。
梁志遠掛斷電話後，在試產流程追蹤表的背面寫了一份簡短的待辦清單。第一項：國產離子注入機片內均勻性提升驗證，排期與天權6號流片倒計時對齊，目標八個月內達到天權6號工藝規格。第二項：國產離子源燈絲在追光四期產線上的首輪注入劑量均勻性專項驗證，排期兩周內完成。第三項：化學機械拋光液國產替代中試樣品在追光四期的首輪並行驗證，排期三個月內啟動。
他把待辦清單拍照發給了老韓和郭工，同時抄送蘇黛——拋光液中試放大的預算需要從產業扶持基金第二批資助中協調一部分，國內那家化工大學的課題組已經完成了實驗室級的小試，但中試放大需要的超淨環境和分析儀器投入遠超出高校課題組的經費承載能力。蘇黛在三分鐘前剛批准了產業扶持基金第二批的三千萬元前置撥付，看完梁志遠的消息後追加了一條批註：「拋光液中試放大經費從產業鏈彈性預算中另行列支，不占用產業扶持基金額度。」
下午四點，追光四期中控室的顯示屏上跳出了首批國產化試產晶圓的電性測試初步結果。十二片晶圓中，十一片通過所有電性參數測試，一片在金屬互連電阻的片內均勻性上略超規格上限，被標記為待分析。初步良率估算在百分之九十一到九十三之間，與進口零部件產線的良率差距在兩個百分點以內。考慮到這是第一次全線使用國產替代零部件的試產，這個良率已經超出了梁志遠的預期。
他拿起終端給老韓發了第二條消息：「試產初步良率九十二，距追光四期標準良率差四個點。差距主要在金屬互連拋光液的進口國產差異上，等國產拋光液中試樣品上線後再做一輪驗證。」
老韓的回覆在一分鐘內到了：「比我預期的好。追光三期第一次全國產試產的時候，良率只有七十八。你們這一批直接從九十二起步，省了至少三個月的良率爬坡時間。晚上讓食堂給試產團隊加菜。」
梁志遠看完消息，把試產流程追蹤表合上，走進了追光四期的中控室隔壁的數據存檔間。這裡排列著八台伺服器機櫃，每一台都存儲著追光系列產線從一期到四期的全部工藝數據。天樞OS產線管理系統的數據採集模塊正在將今天試產的十二片晶圓的完整工藝參數自動歸檔——從刻蝕工序的等離子體密度和氣體流量，到離子注入的劑量和能量，再到金屬互連的拋光速率和終點檢測曲線，全部打包成一個加密數據文件，標註的時間範圍精確到每道工序的起始和結束毫秒。
這個數據文件將在四十八小時內被複製一份發送到歐羅巴聯合檢測驗證工作組的秘書處，作為未來科技產業鏈韌性驗證的第三批佐證材料。第一批是恆信科技的檢測設備對比數據，第二批是天罡Edge醫療版的臨床數據，第三批就是追光四期國產化替代產線的全流程工藝數據。三批數據分別對應周明在法律框架中設計的三個驗證維度——技術安全性、供應鏈韌性和數據合規透明度。追光四期的工藝數據覆蓋的是供應鏈韌性維度中最核心的環節：當進口設備和耗材被切斷時，國產替代方案能不能讓產線繼續運轉，以及運轉的質量能不能被獨立驗證。
梁志遠從數據存檔間出來時，天色已經暗了下來。合城產業園的主幹道上路燈亮了，追光四期廠房的潔淨車間外牆在燈光下泛著淡藍色的光。一輛從合城火車站方向駛來的貨車正在備品倉庫門口卸貨，貨箱上貼著新加坡區域備件倉的標籤——那是程功從南洋調撥的最後一批在線精密過濾器，以及恆信科技發往印巴裝配廠的新一批檢測設備組件。
他站在廠房門口，看著卸貨的叉車在倉庫和貨車之間來回穿梭。追光四期的國產化試產節點已經完成，但這只是整個國產替代長跑中的一個里程標記。離子源燈絲還在等著專項驗證，拋光液還在等著中試放大，離子注入機的片內均勻性還在等著向天權6號的標準衝刺。而所有這些努力的時間表，都被火龍聯盟隨時可能落地的實體清單壓在一個越來越緊的窗口裡。
終端上，章宸發來了一條會議通知。通知的標題是「天權6號功耗曲線優化攻關啟動會」，時間定在次日早上八點，地點在中央研究院封閉開發區四號會議室。通知末尾附了一行備註：「張京京的多時鐘域方案已凍結，下一步攻關重點是異構互聯總線的動態功耗曲線在極端工況下的非線性區建模。趙靜的小芯AI預調度模型需要追光四期極限溫度測試數據做校準，請梁志遠協調提供天權4號在一百二十五度環境溫度下的總線電流實測數據。」
梁志遠回了一個字：「好。」然後收起終端，走向備品倉庫。倉庫里，恆信科技的檢測設備組件已經被拆箱，王浩派來的安裝工程師正在核對組件清單。這批設備將在三天內裝車發往印巴工業城，安裝到第三條生產線的預留工位上。而在印巴裝配廠的第二條生產線上，阿米爾帶的第二批學員已經進入跟崗第三周，法蒂瑪的天罡Edge部署維護課程也進入了實操模塊。
梁志遠在備品倉庫的貨架間站了片刻，貨架上貼著的綠色、黃色和紅色標籤在倉庫的燈光下格外清晰。紅色標籤的貨位還有三個是空的——光刻膠、離子源燈絲和拋光液。他在心裡把這三個空缺和試產流程追蹤表上的三個紅色標籤對了一遍，然後拿起終端給程功發了一條消息：「下一階段國產替代攻堅重點：光刻膠中試線推進、離子源燈絲專項驗證、拋光液中試放大。供應鏈端請優先對接這三項的國內供應商產能摸底。」
消息發出後，他走出倉庫。合城產業園的夜幕已經完全降臨，追光四期潔淨車間的燈光在夜色中連成一片不滅的光帶。遠處產學研融合中心的大樓里，方敏辦公室的燈也還亮著——產業扶持基金第二批評審會的材料正堆在她的案頭，恆信科技、綠能環保和啟智軟體的成果匯報剛剛轉化為第二批申請企業的評審模板。
而在八千公里外的法蘭克福，李明哲正穿過美茵河畔的石橋，走向聯合檢測驗證工作組秘書處設在日內瓦的辦公樓方向。他手裡的公文包里裝著三份材料的目錄——恆信科技檢測數據、天罡Edge臨床數據、以及即將在四十八小時內從合城發來的追光四期國產化試產全流程工藝數據。三批數據將在一個月內全部提交完畢，作為未來科技在「供應鏈韌性」維度上的核心證明。
石橋下的河水在初冬的暮色中無聲流淌，兩岸的燈火倒映在水面上，像兩條正在逐漸靠近的光帶。
這是追光四期產線上第一批全部使用國產替代零部件的十二英寸晶圓。從氣體純化系統的在線精密過濾器，到薄膜沉積設備的國產真空計，再到剛剛完成陶瓷封裝運放替換的零點漂移閉環驗證——每一個環節的設備和零部件供應商名錄都被梁志遠用不同顏色的標籤標註在產線流程圖上。綠色標籤代表國產供應商已通過驗收，黃色代表國產替代方案已完成驗證但尚未大規模量產，紅色標籤只剩下三個：光刻膠、離子注入機離子源燈絲和金屬互連工序的化學機械拋光液。
「第四道工序完成，薄膜沉積厚度偏差正負零點三納米，在工藝窗口內。」丁勇的聲音從對講機里傳來，背景里能聽到薄膜沉積設備控制面板的按鍵音。國產真空計在陶瓷封裝替換後的穩定性數據已經連續運行了八天，零點漂移在前十五分鐘的波動被壓到了進口型號的同等水平。丁勇在昨天提交的國產真空計最終驗收報告上寫了一句評價：「所有技術指標達到進口替換標準，封裝應力問題已關閉。」
梁志遠在對講機里確認了薄膜沉積的結果，然後在試產流程追蹤表的第九個格子裡畫了一個圈。他畫圈而不是打勾，是因為薄膜沉積之後還有一道最關鍵的工序——離子注入。這道工序使用的離子注入機是國內供應商替換進口型號的核心設備，也是追光五期投資方案中老韓力主從北洲進口改為國內採購的那一款。追光四期現有產線上的這台國產離子注入機已經並行驗證了六個月，累計處理晶圓超過三千片，性能數據與進口型號的差距從一年前的百分之十五縮小到了百分之五以內。但今天是它第一次在全部國產化替代的晶圓上執行注入工序——沒有進口設備的備份兜底，沒有北洲供應商的技術支持熱線隨時待命，只有國內供應商派駐合城的兩名駐廠工程師和追光設備工程團隊自己的工藝參數調試記錄。
「離子注入工序準備就緒，注入劑量和能量參數已按天權4號工藝設計套件預設。」國產離子注入機的駐廠工程師姓郭，三十歲出頭，是這家國內半導體設備廠商培養的第一代工藝應用工程師。他把注入參數的最終確認清單遞給梁志遠，清單上的每一項參數後面都附著了這台設備在過去六個月里同類注入的工藝穩定性數據——標準偏差、片內均勻性和片間重複性三項指標全部用控制圖的形式標註了上下限。
梁志遠逐項簽了字，然後問了一個問題：「如果注入劑量偏差超出工藝窗口，最可能的根因是什麼？」
「離子源燈絲。」郭工沒有迴避這個風險，「我們這台設備的離子源燈絲目前用的還是進口型號。國內替代燈絲已經在供應商的實驗室里完成了三千小時的壽命測試，但還沒在追光四期的產線上做過實際工況驗證。進口燈絲的穩定性經過全球產線的驗證，國產燈絲還差這最後一公里。今天這批晶圓用的是進口燈絲，所以風險可控。但下一批如果換國產燈絲，需要單獨做一次注入劑量均勻性的專項驗證。」
梁志遠在筆記本上記了一筆：「國產離子源燈絲——注入劑量均勻性驗證——排期。」這筆記錄會進入產業鏈高風險項台帳，編號排在光刻膠和拋光液之間。他抬頭看了一眼離子注入機的控制面板，注入腔體內的晶圓正在高真空環境中接受摻雜劑的轟擊，整個過程不到三分鐘，但這三分鐘決定的是晶片的電性能參數能不能達到設計規格。
注入工序完成後，晶圓被自動傳輸到金屬互連工序的緩衝區。這道工序使用的化學機械拋光液是追光四期目前仍在依賴進口的三種核心耗材之一，另外兩種是光刻膠和離子注入機離子源燈絲。國產拋光液的替代方案已經在崑崙基金二期的一個課題中立項，由國內一所化工大學的課題組與追光設備工程團隊聯合研發，目前進展到中試放大階段，預計三個月內能在追光四期的產線上做首次小批量驗證。但這批試產晶圓用的還是進口拋光液——不是國產方案不夠快，而是金屬互連工序的工藝窗口太窄，任何耗材的替換都需要至少三個月的並行驗證周期。
「金屬互連工序完成，片內電阻均勻性偏差正負百分之一點二，符合規格。」追光四期的工藝主管在對講機里報出了最後一個工序節點的數據。晶圓隨後進入在線檢測自動化站台，光學檢測模塊的缺陷識別算法在零點三秒內完成了整片晶圓的表面掃描，電子束檢測模塊在精度偏差零點三納米內定位了三個疑似缺陷點，自動分揀模塊將三個疑似點的位置坐標和顯微圖像上傳到天樞OS產線管理系統，等待人工復檢。
梁志遠走到在線檢測站台的顯示屏前，調出三個疑似缺陷點的顯微圖像。第一個是金屬互連線上的一處微小凹陷，尺寸在工藝容忍範圍內；第二個是層間介質層的一處厚度不均，偏差量在規格上限的邊緣；第三個是離子注入區域的一處摻雜濃度異常——這一個需要復檢。他讓丁勇把這片晶圓從自動分揀的待覆檢區取出來，送到追光設備工程團隊的失效分析實驗室做進一步的掃描電鏡成像和電性測試。
「前兩個問題可以放行，第三個等復檢結果。」梁志遠在試產流程追蹤表上寫下最終檢測環節的備註，然後抬頭看了一眼潔淨通道盡頭的時鐘。從第一批晶圓進入刻蝕工序到現在，正好過去了四小時零五分鐘。國產替代設備的全線貫通速度比預計快了二十分鐘——這二十分鐘來自在線檢測自動化站台的高通量檢測能力，聯合開發定製的檢測算法對追光四期晶圓的工藝特徵有高度適配性，不需要像進口設備那樣做反覆的參數補償調優。
追光四期的國產化試產節點，在梁志遠的計劃里不止是一次技術驗證。他讓廠務團隊在每道工序的關鍵工位旁加裝了高清攝像裝置，從刻蝕到檢測的全流程都被實時記錄下來。每一道工序的工藝參數——氣體流量、反應腔壓力、射頻功率、注入劑量、拋光速率——全部自動採集並存入天樞OS產線管理系統的資料庫，時間戳精確到毫秒級。這些數據和天罡Edge醫療版的臨床數據、恆信科技檢測設備的對比數據一樣，將成為歐羅巴聯合檢測驗證工作組關於「供應鏈韌性」維度的核心佐證材料。
陳醒在策略會上定下的那句話被梁志遠列印出來貼在了追光四期中控室的牆上：「不是讓別人相信我們說的話，而是讓別人不需要相信我們——因為他們可以自己驗證。」國產化試產的全程數據記錄，就是給那些需要自己驗證的人準備的。
第三個疑似缺陷點的復檢結果在四十分鐘後出來了。掃描電鏡成像顯示，離子注入區域的摻雜濃度異常是一處掩膜版邊緣效應導致的局部偏差，面積不到零點五平方微米，對晶片整體電性能的影響在仿真模型中可以忽略。丁勇在復檢報告上簽了字，結論是「工藝容忍範圍內，可放行」。
梁志遠把最終檢測結果填入試產流程追蹤表的最後一個格子，然後拿起終端給陳醒、章宸和林薇同時發了一條消息：「追光四期首批全國產替代零部件晶圓試產完成，全部工序通過在線檢測，良率待統計，預計四十八小時內完成全部電性測試和老化測試。全程工藝參數記錄已存入天樞OS產線管理系統，可隨時調取。」
消息發出後不到三分鐘，林薇從中央研究院回了電話。她沒有祝賀，而是直接問了一個技術問題：「國產離子注入機的注入劑量均勻性在片內分布如何？天權6號的羲和架構對閾值電壓的片內均勻性比天權4號敏感一個數量級，如果離子注入的片內均勻性有系統性偏差，天權6號的流片代工就需要重新評估工藝匹配度。」
梁志遠把國產離子注入機在過去六個月並行驗證中積累的片內均勻性數據調出來，和林薇逐項比對。片內注入劑量的標準偏差在百分之零點八以內，片間重複性偏差在百分之一點二以內，均在天權4號工藝設計套件的規格範圍內。但天權6號目標工藝節點對注入均勻性的要求比天權4號嚴苛至少一倍，國產離子注入機目前的數據還不足以支撐天權6號的流片代工需求。
「所以追光五期那兩台國產離子注入機能不能接天權6號的代工單，要看供應商在未來八個月內能不能把片內均勻性再提升一倍。」林薇在電話那頭飛快地算了一組數據，「如果提升達不到，天權6號的流片就只能走境外代工通道。但實體清單隨時可能落地，境外代工通道一旦被切斷——」
「天權6號就沒有代工選項了。」梁志遠替她把話說完了。
這個結論讓電話兩端都沉默了幾秒。追光四期的國產化試產節點剛剛成功，但成功的是天權4號這一代晶片的製造自主性。天權6號站在更先進的工藝節點上，對設備和耗材的要求比天權4號高了整整一個台階。國產替代的速度在加快，但能不能趕在實體清單落地之前追上天權6號流片需求的工藝節點，仍然是一個未知數。
梁志遠掛斷電話後，在試產流程追蹤表的背面寫了一份簡短的待辦清單。第一項：國產離子注入機片內均勻性提升驗證，排期與天權6號流片倒計時對齊，目標八個月內達到天權6號工藝規格。第二項：國產離子源燈絲在追光四期產線上的首輪注入劑量均勻性專項驗證，排期兩周內完成。第三項：化學機械拋光液國產替代中試樣品在追光四期的首輪並行驗證，排期三個月內啟動。
他把待辦清單拍照發給了老韓和郭工，同時抄送蘇黛——拋光液中試放大的預算需要從產業扶持基金第二批資助中協調一部分，國內那家化工大學的課題組已經完成了實驗室級的小試，但中試放大需要的超淨環境和分析儀器投入遠超出高校課題組的經費承載能力。蘇黛在三分鐘前剛批准了產業扶持基金第二批的三千萬元前置撥付，看完梁志遠的消息後追加了一條批註：「拋光液中試放大經費從產業鏈彈性預算中另行列支，不占用產業扶持基金額度。」
下午四點，追光四期中控室的顯示屏上跳出了首批國產化試產晶圓的電性測試初步結果。十二片晶圓中，十一片通過所有電性參數測試，一片在金屬互連電阻的片內均勻性上略超規格上限，被標記為待分析。初步良率估算在百分之九十一到九十三之間，與進口零部件產線的良率差距在兩個百分點以內。考慮到這是第一次全線使用國產替代零部件的試產，這個良率已經超出了梁志遠的預期。
他拿起終端給老韓發了第二條消息：「試產初步良率九十二，距追光四期標準良率差四個點。差距主要在金屬互連拋光液的進口國產差異上，等國產拋光液中試樣品上線後再做一輪驗證。」
老韓的回覆在一分鐘內到了：「比我預期的好。追光三期第一次全國產試產的時候，良率只有七十八。你們這一批直接從九十二起步，省了至少三個月的良率爬坡時間。晚上讓食堂給試產團隊加菜。」
梁志遠看完消息，把試產流程追蹤表合上，走進了追光四期的中控室隔壁的數據存檔間。這裡排列著八台伺服器機櫃，每一台都存儲著追光系列產線從一期到四期的全部工藝數據。天樞OS產線管理系統的數據採集模塊正在將今天試產的十二片晶圓的完整工藝參數自動歸檔——從刻蝕工序的等離子體密度和氣體流量，到離子注入的劑量和能量，再到金屬互連的拋光速率和終點檢測曲線，全部打包成一個加密數據文件，標註的時間範圍精確到每道工序的起始和結束毫秒。
這個數據文件將在四十八小時內被複製一份發送到歐羅巴聯合檢測驗證工作組的秘書處，作為未來科技產業鏈韌性驗證的第三批佐證材料。第一批是恆信科技的檢測設備對比數據，第二批是天罡Edge醫療版的臨床數據，第三批就是追光四期國產化替代產線的全流程工藝數據。三批數據分別對應周明在法律框架中設計的三個驗證維度——技術安全性、供應鏈韌性和數據合規透明度。追光四期的工藝數據覆蓋的是供應鏈韌性維度中最核心的環節：當進口設備和耗材被切斷時，國產替代方案能不能讓產線繼續運轉，以及運轉的質量能不能被獨立驗證。
梁志遠從數據存檔間出來時，天色已經暗了下來。合城產業園的主幹道上路燈亮了，追光四期廠房的潔淨車間外牆在燈光下泛著淡藍色的光。一輛從合城火車站方向駛來的貨車正在備品倉庫門口卸貨，貨箱上貼著新加坡區域備件倉的標籤——那是程功從南洋調撥的最後一批在線精密過濾器，以及恆信科技發往印巴裝配廠的新一批檢測設備組件。
他站在廠房門口，看著卸貨的叉車在倉庫和貨車之間來回穿梭。追光四期的國產化試產節點已經完成，但這只是整個國產替代長跑中的一個里程標記。離子源燈絲還在等著專項驗證，拋光液還在等著中試放大，離子注入機的片內均勻性還在等著向天權6號的標準衝刺。而所有這些努力的時間表，都被火龍聯盟隨時可能落地的實體清單壓在一個越來越緊的窗口裡。
終端上，章宸發來了一條會議通知。通知的標題是「天權6號功耗曲線優化攻關啟動會」，時間定在次日早上八點，地點在中央研究院封閉開發區四號會議室。通知末尾附了一行備註：「張京京的多時鐘域方案已凍結，下一步攻關重點是異構互聯總線的動態功耗曲線在極端工況下的非線性區建模。趙靜的小芯AI預調度模型需要追光四期極限溫度測試數據做校準，請梁志遠協調提供天權4號在一百二十五度環境溫度下的總線電流實測數據。」
梁志遠回了一個字：「好。」然後收起終端，走向備品倉庫。倉庫里，恆信科技的檢測設備組件已經被拆箱，王浩派來的安裝工程師正在核對組件清單。這批設備將在三天內裝車發往印巴工業城，安裝到第三條生產線的預留工位上。而在印巴裝配廠的第二條生產線上，阿米爾帶的第二批學員已經進入跟崗第三周，法蒂瑪的天罡Edge部署維護課程也進入了實操模塊。
梁志遠在備品倉庫的貨架間站了片刻，貨架上貼著的綠色、黃色和紅色標籤在倉庫的燈光下格外清晰。紅色標籤的貨位還有三個是空的——光刻膠、離子源燈絲和拋光液。他在心裡把這三個空缺和試產流程追蹤表上的三個紅色標籤對了一遍，然後拿起終端給程功發了一條消息：「下一階段國產替代攻堅重點：光刻膠中試線推進、離子源燈絲專項驗證、拋光液中試放大。供應鏈端請優先對接這三項的國內供應商產能摸底。」
消息發出後，他走出倉庫。合城產業園的夜幕已經完全降臨，追光四期潔淨車間的燈光在夜色中連成一片不滅的光帶。遠處產學研融合中心的大樓里，方敏辦公室的燈也還亮著——產業扶持基金第二批評審會的材料正堆在她的案頭，恆信科技、綠能環保和啟智軟體的成果匯報剛剛轉化為第二批申請企業的評審模板。
而在八千公里外的法蘭克福，李明哲正穿過美茵河畔的石橋，走向聯合檢測驗證工作組秘書處設在日內瓦的辦公樓方向。他手裡的公文包里裝著三份材料的目錄——恆信科技檢測數據、天罡Edge臨床數據、以及即將在四十八小時內從合城發來的追光四期國產化試產全流程工藝數據。三批數據將在一個月內全部提交完畢，作為未來科技在「供應鏈韌性」維度上的核心證明。
石橋下的河水在初冬的暮色中無聲流淌，兩岸的燈火倒映在水面上，像兩條正在逐漸靠近的光帶。