第368章 追光設備的小改型驗證
追光三期廠房的第七號產線前，張京京蹲在地上，手裡拿著一個巴掌大小的金屬部件。部件的表面呈現出深灰色的金屬光澤，摸上去有一種細微的顆粒感——這是塗層改性後的質感。他的身旁站著老韓、梁志遠，以及追光設備團隊的五個核心工程師。
今天是追光設備小改型驗證的關鍵節點。張京京的團隊花了六周時間，設計了一套不改變腔體結構、只更換內構件材料和塗層的方案。目標很明確——把追光三期主腔體關鍵內構件的壽命從八百小時延長到一千五百小時以上，撐過追光四期量產線投產前的六個月過渡期。
小改型的核心是兩個技術方向。第一，內構件材料從原來的鋁合金換成高溫合金，耐腐蝕性和抗熱疲勞性能更好。第二，表面塗層從原來的單一氧化鋁塗層換成多層複合塗層——氧化鋁打底，中間是氮化鈦，表面是類金剛石。三層塗層的總厚度只有兩微米，但硬度和耐腐蝕性比原來提升了三倍。
這兩項改動，在實驗室環境下已經驗證過了。高溫合金試樣在模擬工藝環境中連續運行了兩千小時，表面幾乎沒有腐蝕。複合塗層試樣的硬度測試達到了二十五吉帕，是原來塗層的兩倍多。
但實驗室驗證和產線驗證是兩回事。實驗室的條件是理想化的——氣體純度百分之一百，溫度波動正負零點五度，沒有震動，沒有人為操作失誤。而產線的真實環境要惡劣得多——氣體純度會有波動，溫度會有漂移，設備會有震動，操作工的水平也參差不齊。
所以，張京京必須在追光三期的真實產線上，跑一批測試晶圓，用實際數據證明小改型方案的有效性。
「張總，第七號產線已經準備好了。主腔體的內構件全部換成了高溫合金加複合塗層，真空泵、加熱器、質量流量控制器都做了校準。按照你的要求，我們準備了兩百片測試晶圓，同一批次，同一規格。」老韓指著產線控制室里的監控屏幕，上面顯示著設備的所有關鍵參數。
張京京站起來，把手中的內構件遞給旁邊的工程師。「裝回去。我們十點整啟動第一批測試，連續跑一百個小時，中途不停機。每十個小時取一次樣，測量膜厚均勻性、顆粒度、以及內構件的表面狀態。」
梁志遠通過視頻連線接入，他的畫面顯示在新加坡服務中心的會議室里。「張京京，追光Mini的小改型驗證，能不能和追光三期同步？追光Mini的腔體結構和追光三期類似，只是尺寸小一號。如果追光三期的驗證通過，追光Mini可以直接復用方案。」
張京京想了想，說:「可以。但追光Mini的主腔體材料不同，用的是不鏽鋼而不是鋁合金。複合塗層在不鏽鋼上的附著力，需要單獨驗證。你寄兩台追光Mini的腔體組件回來，我們在合城的實驗室做塗層，然後在追光三期上跑驗證。追光三期的腔體大，放得下追光Mini的組件。」
梁志遠點頭。「好。我明天就寄。」
會議簡短，所有人各就各位。張京京走進產線控制室，在一台監控終端前坐下。屏幕上顯示著第七號產線的實時狀態——腔體真空度一點五帕，溫度三百五十度，氣體流量每分鐘兩百毫升，所有參數都在規格範圍內。
「啟動。」張京京對著對講機說。
產線操作員按下啟動按鈕。機械臂開始運轉，一片晶圓被送入負載腔，經過傳輸腔，進入主腔體。主腔體內的等離子體在高壓下點燃，發出暗紫色的光芒。沉積過程持續了四分鐘，晶圓被送出來，表面鍍上了一層均勻的薄膜。
第一片晶圓出來了。張京京親自走到出片口，用戴著手套的手接過晶圓盒，送到旁邊的測試間。測試間裡有一台橢偏儀，用來測量薄膜的厚度和均勻性。
他把晶圓放在載物台上，關上測試艙門。儀器自動掃描，幾秒鐘後，屏幕上顯示出了結果。
薄膜厚度一百零二納米，目標厚度一百納米，偏差百分之二。膜厚均勻性百分之零點八五，比追光三期原來的百分之一點五好了將近一半。
張京京盯著屏幕，沒有說話。旁邊的工程師們屏住了呼吸。
「均勻性百分之零點八五，比目標百分之一還好。第一片就這麼好，說明塗層的均勻沉積能力很強。」張京京終於開口，語氣裡帶著一絲壓抑的興奮。「但這才第一片，不能高興太早。繼續跑，每十片測一次。」
產線繼續運轉。機械臂不知疲倦地把晶圓送進送出，暗紫色的等離子體在主腔體裡持續燃燒。控制室里的工程師們盯著監控屏幕，記錄著每一個參數的變化。
十個小時後，第十片晶圓出來了。均勻性百分之零點八八，略高於第一片，但仍在規格內。
二十個小時後，第二十片晶圓。均勻性百分之零點九一。
三十個小時。百分之零點九五。
四十個小時。百分之零點九八。
五十個小時。百分之一點零二。
張京京皺起了眉頭。均勻性在緩慢惡化，雖然還在規格內，但趨勢是向上的。按照這個斜率，跑到一百個小時，均勻性可能會到百分之一點二到一點三，雖然仍優於原來的百分之一點五，但劣化的趨勢值得警惕。
「張總，均勻性劣化的原因是什麼？」一個工程師問。
張京京調出了工藝參數的記錄曲線。「你看，腔體壓力在緩慢上升。五十個小時，壓力從一點五帕上升到了二點一帕。壓力上升，意味著腔體裡有污染物積累。污染物的來源可能是內構件表面的塗層在等離子體轟擊下產生了微小的顆粒，也可能是工藝氣體不純帶來的雜質。」
「不管來源是什麼，我們需要知道——壓力上升到什麼程度，均勻性會超標。繼續跑，每兩個小時記錄一次壓力和均勻性。」
產線繼續運轉。六十個小時，壓力二點三帕，均勻性一點零五。七十個小時，壓力二點五帕，均勻性一點零八。八十個小時，壓力二點七帕，均勻性一點一二。九十個小時，壓力二點九帕，均勻性一點一五。一百個小時，壓力三點一帕，均勻性一點一八。
測試結束。張京京把所有數據匯總成一張表格，發給了林薇、老韓、梁志遠，以及Z實驗室的材料團隊。
「一百個小時連續運行，均勻性從百分之零點八五劣化到百分之一點一八，仍在規格百分之一以內。但劣化趨勢明顯，主要原因是腔體壓力上升導致的污染物積累。下一步需要分析污染物的成分，確定是塗層剝落還是工藝氣體雜質。」
他拿起終端，撥通了林薇的電話。
「林總，小改型驗證的第一階段完成了。一百個小時連續運行，均勻性合格，但劣化趨勢需要關注。我建議做兩個補充測試——第一，用質譜儀分析腔體殘留氣體的成分，看看污染物是什麼。第二，把內構件拆下來，用電子顯微鏡觀察表面，看看塗層有沒有剝落。」
林薇的聲音從終端里傳來:「做。兩個測試都要做。另外，張京京，你覺得小改型方案能撐到一千五百小時嗎？」
張京京沉默了幾秒，說:「從一百小時的數據看，均勻性的劣化速度大約是每十小時零點零三五個百分點。如果這個速度是線性的，跑到一千五百小時，均勻性會劣化到百分之五點二五，遠超規格。但實際情況不會是線性的——塗層的剝落速度通常是指數型的，前期慢，後期快。也就是說，實際劣化速度可能比線性預測更快。」
「所以，小改型方案的目標不是一千五百小時，而是八百到一千小時。八百小時，我們有信心。一千小時，可能有點懸。一千五百小時，基本不可能。」
林薇說:「八百到一千小時，也比原來的八百小時好不了多少。追光三期要撐六個月，平均每天運行二十小時，六個月就是三千六百小時。如果內構件只能用八百到一千小時，就需要換三到四次。換一次要停機十二小時，頻繁停機換件會影響產能。」
張京京說:「所以小改型方案只是權宜之計，不能解決根本問題。根本問題還是要靠追光四期的梯度過渡層方案——兩千五百小時的壽命，換件頻率降低到每三個月一次，產能影響小得多。」
林薇說:「明白。小改型驗證繼續做，把數據跑完整。同時，追光四期的工期不能放鬆。張京京，你那邊的人員，要不要再增加幾個？」
張京京說:「暫時夠。但驗證結束後，如果要批量改裝追光三期的八條產線，需要增加人手。每條產線改裝需要兩天，八條產線就是十六天，再加上調試和驗證，至少要一個月。這個月內，產能會下降百分之三十。」
林薇說:「產能下降的事，我和蘇黛、老韓協調。你先聚焦驗證，把數據跑紮實。」
張京京掛斷電話，走進產線。老韓正在第七號產線的旁邊，和操作工們一起拆內構件。內構件從主腔體裡取出來，表面蒙著一層灰白色的沉積物。張京京湊過去，用手指輕輕蹭了一下沉積物，粉末狀的東西粘在了他的手套上。
「老韓，你看這個沉積物的顏色——灰白色，不是塗層的顏色。塗層的顏色是深灰色。這說明，沉積物不是塗層剝落，而是工藝反應產生的副產物。副產物附著在塗層表面，改變了腔體的氣流場，導致壓力上升、均勻性劣化。」
老韓說:「副產物是不可避免的。任何薄膜沉積工藝都會產生副產物，關鍵是副產物能不能被抽走。如果抽氣系統效率不夠，副產物就會積累。」
張京京點頭。「抽氣系統的效率，取決於真空泵的性能和管路的流導。追光三期的真空泵用了十四個月，性能已經下降了百分之十五。管路里也有副產物沉積，流導下降。這兩個因素疊加，導致副產物排不出去。」
「小改型方案只改了內構件，沒改真空泵和管路。所以，副產物積累的問題還在。要徹底解決，要麼換新泵，要麼清洗管路。換新泵的成本高，一台泵要三十萬，八條產線就是兩百四十萬。清洗管路成本低，但需要停機拆管路，耗時兩天。」
老韓說:「那就清洗管路。兩百四十萬不是大數目，但能省則省。清洗管路的方案，你寫出來，我安排人去執行。」
張京京點頭，在筆記本上記了下來。
下午兩點，內構件被送到了Z實驗室的材料分析室。張京京和兩個材料工程師站在電子顯微鏡前，屏幕上顯示著塗層表面的微觀形貌。
放大一千倍。塗層表面有一些微小的凸起，但整體光滑。
放大五千倍。凸起變成了直徑一到兩微米的顆粒，均勻分布在塗層表面。
放大兩萬倍。顆粒的細節清晰可見——不是塗層剝落，而是副產物的結晶。顆粒和塗層之間有一層薄薄的界面，說明副產物是在塗層表面生長的，不是從塗層內部冒出來的。
「塗層沒有剝落。」材料工程師指著屏幕說。「副產物顆粒是物理吸附，不是化學結合。用等離子體清洗一下，應該能去掉。」
張京京說:「等離子體清洗，會不會損傷塗層？」
材料工程師搖頭。「不會。塗層的硬度是二十五吉帕，等離子體清洗的能量很低，只能打掉物理吸附的顆粒，打不動塗層。我們在實驗室里做過驗證，用氧等離子體清洗一百次，塗層表面沒有變化。」
張京京鬆了一口氣。小改型方案最擔心的就是塗層剝落，現在看來，塗層的附著力比預想的好。副產物積累的問題，可以通過定期等離子體清洗來解決——每次清洗半小時，每周一次，就可以把副產物控制在可接受的水平。
他拿起終端，給林薇發了一條消息。
「林總，小改型驗證的補充測試結果出來了。內構件塗層沒有剝落，副產物是物理吸附的顆粒，可以用等離子體清洗去除。建議在追光三期上增加每周一次的等離子體清洗工序，每次半小時。這樣，內構件的壽命可以從八百小時延長到一千二百到一千五百小時。小改型方案有效。」
林薇的回覆很快:「好。小改型方案批准批量實施。老韓負責安排追光三期八條產線的改裝和清洗工序導入。張京京負責提供技術支持和培訓。兩周內完成。」
張京京回復:「收到。」
他收起終端，對材料工程師說:「把今天的測試數據整理成報告，發給老韓和林總。另外，寫一份《追光三期等離子體清洗標準作業程序》，下周三之前給我。」
材料工程師點頭。
張京京走出Z實驗室，站在走廊里。窗外是合城產業園的全景，追光三期的廠房在左邊，追光四期的工地在前方。工地上，塔吊在轉動，工人們在腳手架上忙碌，新廠房的輪廓已經清晰可見。
小改型驗證的成功，給了合城製造團隊一個喘息的機會。追光三期可以撐更久了，追光四期的時間壓力小了一些。但張京京知道，這只是治標不治本。追光三期已經老了，再怎麼改，也不可能變成追光四期。
真正的解決方案，是追光四期的量產線儘快投產。十二條產線，前三條三個月內投產，後九條六個月內投產。到那個時候，追光三期就可以逐步退役，它的八條產線會變成備機和教學設備，在合城的培訓中心裡繼續發揮作用。
張京京的終端震動了，是梁志遠發來的消息。
「張京京，追光Mini的腔體組件已經寄出了。明天上午到合城。塗層的事，你抓緊做。追光Mini在東南亞的客戶等著交付，CE認證就差能效測試了。如果小改型驗證通過，追光Mini的部件壽命可以從六百小時提升到一千小時以上，客戶滿意度會大幅提升。」
張京京回復:「收到。塗層方案直接用追光三期的成熟方案，不需要重新驗證。追光Mini的腔體小，塗層均勻性應該比追光三期更好。我明天拿到組件後，三天內做完塗層，五天內上機驗證。」
他放下終端，深吸了一口氣。
追光設備的小改型驗證，只是未來科技製造體系中的一個環節。但這個環節，關係到追光三期的生死、追光四期的節奏、以及追光Mini的海外交付。每一個環節都不能掉鏈子。
夕陽西下，張京京站在合城產業園的中央廣場上，看著追光四期工地的塔吊在暮色中緩緩轉動。他的腦海里已經在盤算下一步——追光四期的工藝驗證、天權5號的流片準備、以及追光設備在海外市場的本地化維護體系。
每一件事都很重要，每一件事都要做好。
但他不慌。因為未來科技的製造體系，已經從三年前那個只有一條試驗線的小作坊，變成了今天擁有十二條量產線、兩個研發中心、一個培訓基地、以及一個海外服務中心的完整體系。
這個體系，是在一次次驗證中打磨出來的。
小改型驗證，只是又一次打磨。
而打磨出來的每一分精度，都會變成未來科技產品的競爭力。
終端震動了，是方程發來的消息。
「張京京，天罡生態服務的商用化推廣，下周要開啟動會。林總讓你也參加，天罡Edge的硬體產能要配合生態服務的推廣計劃。你下周三上午能來芯谷嗎？」
張京京回復:「能來。天罡Edge的產能沒問題，追光三期的改裝不會影響Edge的交付。下周三見。」
今天是追光設備小改型驗證的關鍵節點。張京京的團隊花了六周時間，設計了一套不改變腔體結構、只更換內構件材料和塗層的方案。目標很明確——把追光三期主腔體關鍵內構件的壽命從八百小時延長到一千五百小時以上，撐過追光四期量產線投產前的六個月過渡期。
小改型的核心是兩個技術方向。第一，內構件材料從原來的鋁合金換成高溫合金，耐腐蝕性和抗熱疲勞性能更好。第二，表面塗層從原來的單一氧化鋁塗層換成多層複合塗層——氧化鋁打底，中間是氮化鈦，表面是類金剛石。三層塗層的總厚度只有兩微米，但硬度和耐腐蝕性比原來提升了三倍。
這兩項改動，在實驗室環境下已經驗證過了。高溫合金試樣在模擬工藝環境中連續運行了兩千小時，表面幾乎沒有腐蝕。複合塗層試樣的硬度測試達到了二十五吉帕，是原來塗層的兩倍多。
但實驗室驗證和產線驗證是兩回事。實驗室的條件是理想化的——氣體純度百分之一百，溫度波動正負零點五度，沒有震動，沒有人為操作失誤。而產線的真實環境要惡劣得多——氣體純度會有波動，溫度會有漂移，設備會有震動，操作工的水平也參差不齊。
所以，張京京必須在追光三期的真實產線上，跑一批測試晶圓，用實際數據證明小改型方案的有效性。
「張總，第七號產線已經準備好了。主腔體的內構件全部換成了高溫合金加複合塗層，真空泵、加熱器、質量流量控制器都做了校準。按照你的要求，我們準備了兩百片測試晶圓，同一批次，同一規格。」老韓指著產線控制室里的監控屏幕，上面顯示著設備的所有關鍵參數。
張京京站起來，把手中的內構件遞給旁邊的工程師。「裝回去。我們十點整啟動第一批測試，連續跑一百個小時，中途不停機。每十個小時取一次樣，測量膜厚均勻性、顆粒度、以及內構件的表面狀態。」
梁志遠通過視頻連線接入，他的畫面顯示在新加坡服務中心的會議室里。「張京京，追光Mini的小改型驗證，能不能和追光三期同步？追光Mini的腔體結構和追光三期類似，只是尺寸小一號。如果追光三期的驗證通過，追光Mini可以直接復用方案。」
張京京想了想，說:「可以。但追光Mini的主腔體材料不同，用的是不鏽鋼而不是鋁合金。複合塗層在不鏽鋼上的附著力，需要單獨驗證。你寄兩台追光Mini的腔體組件回來，我們在合城的實驗室做塗層，然後在追光三期上跑驗證。追光三期的腔體大，放得下追光Mini的組件。」
梁志遠點頭。「好。我明天就寄。」
會議簡短，所有人各就各位。張京京走進產線控制室，在一台監控終端前坐下。屏幕上顯示著第七號產線的實時狀態——腔體真空度一點五帕，溫度三百五十度，氣體流量每分鐘兩百毫升，所有參數都在規格範圍內。
「啟動。」張京京對著對講機說。
產線操作員按下啟動按鈕。機械臂開始運轉，一片晶圓被送入負載腔，經過傳輸腔，進入主腔體。主腔體內的等離子體在高壓下點燃，發出暗紫色的光芒。沉積過程持續了四分鐘，晶圓被送出來，表面鍍上了一層均勻的薄膜。
第一片晶圓出來了。張京京親自走到出片口，用戴著手套的手接過晶圓盒，送到旁邊的測試間。測試間裡有一台橢偏儀，用來測量薄膜的厚度和均勻性。
他把晶圓放在載物台上，關上測試艙門。儀器自動掃描，幾秒鐘後，屏幕上顯示出了結果。
薄膜厚度一百零二納米，目標厚度一百納米，偏差百分之二。膜厚均勻性百分之零點八五，比追光三期原來的百分之一點五好了將近一半。
張京京盯著屏幕，沒有說話。旁邊的工程師們屏住了呼吸。
「均勻性百分之零點八五，比目標百分之一還好。第一片就這麼好，說明塗層的均勻沉積能力很強。」張京京終於開口，語氣裡帶著一絲壓抑的興奮。「但這才第一片，不能高興太早。繼續跑，每十片測一次。」
產線繼續運轉。機械臂不知疲倦地把晶圓送進送出，暗紫色的等離子體在主腔體裡持續燃燒。控制室里的工程師們盯著監控屏幕，記錄著每一個參數的變化。
十個小時後，第十片晶圓出來了。均勻性百分之零點八八，略高於第一片，但仍在規格內。
二十個小時後，第二十片晶圓。均勻性百分之零點九一。
三十個小時。百分之零點九五。
四十個小時。百分之零點九八。
五十個小時。百分之一點零二。
張京京皺起了眉頭。均勻性在緩慢惡化，雖然還在規格內，但趨勢是向上的。按照這個斜率，跑到一百個小時，均勻性可能會到百分之一點二到一點三，雖然仍優於原來的百分之一點五，但劣化的趨勢值得警惕。
「張總，均勻性劣化的原因是什麼？」一個工程師問。
張京京調出了工藝參數的記錄曲線。「你看，腔體壓力在緩慢上升。五十個小時，壓力從一點五帕上升到了二點一帕。壓力上升，意味著腔體裡有污染物積累。污染物的來源可能是內構件表面的塗層在等離子體轟擊下產生了微小的顆粒，也可能是工藝氣體不純帶來的雜質。」
「不管來源是什麼，我們需要知道——壓力上升到什麼程度，均勻性會超標。繼續跑，每兩個小時記錄一次壓力和均勻性。」
產線繼續運轉。六十個小時，壓力二點三帕，均勻性一點零五。七十個小時，壓力二點五帕，均勻性一點零八。八十個小時，壓力二點七帕，均勻性一點一二。九十個小時，壓力二點九帕，均勻性一點一五。一百個小時，壓力三點一帕，均勻性一點一八。
測試結束。張京京把所有數據匯總成一張表格，發給了林薇、老韓、梁志遠，以及Z實驗室的材料團隊。
「一百個小時連續運行，均勻性從百分之零點八五劣化到百分之一點一八，仍在規格百分之一以內。但劣化趨勢明顯，主要原因是腔體壓力上升導致的污染物積累。下一步需要分析污染物的成分，確定是塗層剝落還是工藝氣體雜質。」
他拿起終端，撥通了林薇的電話。
「林總，小改型驗證的第一階段完成了。一百個小時連續運行，均勻性合格，但劣化趨勢需要關注。我建議做兩個補充測試——第一，用質譜儀分析腔體殘留氣體的成分，看看污染物是什麼。第二，把內構件拆下來，用電子顯微鏡觀察表面，看看塗層有沒有剝落。」
林薇的聲音從終端里傳來:「做。兩個測試都要做。另外，張京京，你覺得小改型方案能撐到一千五百小時嗎？」
張京京沉默了幾秒，說:「從一百小時的數據看，均勻性的劣化速度大約是每十小時零點零三五個百分點。如果這個速度是線性的，跑到一千五百小時，均勻性會劣化到百分之五點二五，遠超規格。但實際情況不會是線性的——塗層的剝落速度通常是指數型的，前期慢，後期快。也就是說，實際劣化速度可能比線性預測更快。」
「所以，小改型方案的目標不是一千五百小時，而是八百到一千小時。八百小時，我們有信心。一千小時，可能有點懸。一千五百小時，基本不可能。」
林薇說:「八百到一千小時，也比原來的八百小時好不了多少。追光三期要撐六個月，平均每天運行二十小時，六個月就是三千六百小時。如果內構件只能用八百到一千小時，就需要換三到四次。換一次要停機十二小時，頻繁停機換件會影響產能。」
張京京說:「所以小改型方案只是權宜之計，不能解決根本問題。根本問題還是要靠追光四期的梯度過渡層方案——兩千五百小時的壽命，換件頻率降低到每三個月一次，產能影響小得多。」
林薇說:「明白。小改型驗證繼續做，把數據跑完整。同時，追光四期的工期不能放鬆。張京京，你那邊的人員，要不要再增加幾個？」
張京京說:「暫時夠。但驗證結束後，如果要批量改裝追光三期的八條產線，需要增加人手。每條產線改裝需要兩天，八條產線就是十六天，再加上調試和驗證，至少要一個月。這個月內，產能會下降百分之三十。」
林薇說:「產能下降的事，我和蘇黛、老韓協調。你先聚焦驗證，把數據跑紮實。」
張京京掛斷電話，走進產線。老韓正在第七號產線的旁邊，和操作工們一起拆內構件。內構件從主腔體裡取出來，表面蒙著一層灰白色的沉積物。張京京湊過去，用手指輕輕蹭了一下沉積物，粉末狀的東西粘在了他的手套上。
「老韓，你看這個沉積物的顏色——灰白色，不是塗層的顏色。塗層的顏色是深灰色。這說明，沉積物不是塗層剝落，而是工藝反應產生的副產物。副產物附著在塗層表面，改變了腔體的氣流場，導致壓力上升、均勻性劣化。」
老韓說:「副產物是不可避免的。任何薄膜沉積工藝都會產生副產物，關鍵是副產物能不能被抽走。如果抽氣系統效率不夠，副產物就會積累。」
張京京點頭。「抽氣系統的效率，取決於真空泵的性能和管路的流導。追光三期的真空泵用了十四個月，性能已經下降了百分之十五。管路里也有副產物沉積，流導下降。這兩個因素疊加，導致副產物排不出去。」
「小改型方案只改了內構件，沒改真空泵和管路。所以，副產物積累的問題還在。要徹底解決，要麼換新泵，要麼清洗管路。換新泵的成本高，一台泵要三十萬，八條產線就是兩百四十萬。清洗管路成本低，但需要停機拆管路，耗時兩天。」
老韓說:「那就清洗管路。兩百四十萬不是大數目，但能省則省。清洗管路的方案，你寫出來，我安排人去執行。」
張京京點頭，在筆記本上記了下來。
下午兩點，內構件被送到了Z實驗室的材料分析室。張京京和兩個材料工程師站在電子顯微鏡前，屏幕上顯示著塗層表面的微觀形貌。
放大一千倍。塗層表面有一些微小的凸起，但整體光滑。
放大五千倍。凸起變成了直徑一到兩微米的顆粒，均勻分布在塗層表面。
放大兩萬倍。顆粒的細節清晰可見——不是塗層剝落，而是副產物的結晶。顆粒和塗層之間有一層薄薄的界面，說明副產物是在塗層表面生長的，不是從塗層內部冒出來的。
「塗層沒有剝落。」材料工程師指著屏幕說。「副產物顆粒是物理吸附，不是化學結合。用等離子體清洗一下，應該能去掉。」
張京京說:「等離子體清洗，會不會損傷塗層？」
材料工程師搖頭。「不會。塗層的硬度是二十五吉帕，等離子體清洗的能量很低，只能打掉物理吸附的顆粒，打不動塗層。我們在實驗室里做過驗證，用氧等離子體清洗一百次，塗層表面沒有變化。」
張京京鬆了一口氣。小改型方案最擔心的就是塗層剝落，現在看來，塗層的附著力比預想的好。副產物積累的問題，可以通過定期等離子體清洗來解決——每次清洗半小時，每周一次，就可以把副產物控制在可接受的水平。
他拿起終端，給林薇發了一條消息。
「林總，小改型驗證的補充測試結果出來了。內構件塗層沒有剝落，副產物是物理吸附的顆粒，可以用等離子體清洗去除。建議在追光三期上增加每周一次的等離子體清洗工序，每次半小時。這樣，內構件的壽命可以從八百小時延長到一千二百到一千五百小時。小改型方案有效。」
林薇的回覆很快:「好。小改型方案批准批量實施。老韓負責安排追光三期八條產線的改裝和清洗工序導入。張京京負責提供技術支持和培訓。兩周內完成。」
張京京回復:「收到。」
他收起終端，對材料工程師說:「把今天的測試數據整理成報告，發給老韓和林總。另外，寫一份《追光三期等離子體清洗標準作業程序》，下周三之前給我。」
材料工程師點頭。
張京京走出Z實驗室，站在走廊里。窗外是合城產業園的全景，追光三期的廠房在左邊，追光四期的工地在前方。工地上，塔吊在轉動，工人們在腳手架上忙碌，新廠房的輪廓已經清晰可見。
小改型驗證的成功，給了合城製造團隊一個喘息的機會。追光三期可以撐更久了，追光四期的時間壓力小了一些。但張京京知道，這只是治標不治本。追光三期已經老了，再怎麼改，也不可能變成追光四期。
真正的解決方案，是追光四期的量產線儘快投產。十二條產線，前三條三個月內投產，後九條六個月內投產。到那個時候，追光三期就可以逐步退役，它的八條產線會變成備機和教學設備，在合城的培訓中心裡繼續發揮作用。
張京京的終端震動了，是梁志遠發來的消息。
「張京京，追光Mini的腔體組件已經寄出了。明天上午到合城。塗層的事，你抓緊做。追光Mini在東南亞的客戶等著交付，CE認證就差能效測試了。如果小改型驗證通過，追光Mini的部件壽命可以從六百小時提升到一千小時以上，客戶滿意度會大幅提升。」
張京京回復:「收到。塗層方案直接用追光三期的成熟方案，不需要重新驗證。追光Mini的腔體小，塗層均勻性應該比追光三期更好。我明天拿到組件後，三天內做完塗層，五天內上機驗證。」
他放下終端，深吸了一口氣。
追光設備的小改型驗證，只是未來科技製造體系中的一個環節。但這個環節，關係到追光三期的生死、追光四期的節奏、以及追光Mini的海外交付。每一個環節都不能掉鏈子。
夕陽西下，張京京站在合城產業園的中央廣場上，看著追光四期工地的塔吊在暮色中緩緩轉動。他的腦海里已經在盤算下一步——追光四期的工藝驗證、天權5號的流片準備、以及追光設備在海外市場的本地化維護體系。
每一件事都很重要，每一件事都要做好。
但他不慌。因為未來科技的製造體系，已經從三年前那個只有一條試驗線的小作坊，變成了今天擁有十二條量產線、兩個研發中心、一個培訓基地、以及一個海外服務中心的完整體系。
這個體系，是在一次次驗證中打磨出來的。
小改型驗證，只是又一次打磨。
而打磨出來的每一分精度，都會變成未來科技產品的競爭力。
終端震動了，是方程發來的消息。
「張京京，天罡生態服務的商用化推廣，下周要開啟動會。林總讓你也參加，天罡Edge的硬體產能要配合生態服務的推廣計劃。你下周三上午能來芯谷嗎？」
張京京回復:「能來。天罡Edge的產能沒問題，追光三期的改裝不會影響Edge的交付。下周三見。」