第50章 此時此刻，天亮了
顧長明失魂落魄地盯著那台銀白色的巨獸。
他始終不敢相信，那是5納米的光刻機。
夏國的工業底子是什麼樣，沒人比他更清楚。
即是那行中文銘牌像耳光一樣貼在他臉上。
他那構建了三十年的認知堡壘，依舊在負隅頑抗。
「顧長明，看夠了嗎？」
牛一文火爆的聲音傳來，
「看夠了就讓你的人動起來，別耽誤正事。」
顧長明猛地回神，轉過頭。
「我不信，我要驗機。」
顧長明指著那台機器質問道，
「連高端軸承鋼都要進口，憑什麼造出EUV？憑什麼？」
「萬一是個空殼子？萬一裡面裝的是32納米改的呢？」
「不通電，不跑片，我不信！」
牛一文剛準備繼續痛罵，林辰卻抬手攔住了他。
林辰淡淡一笑。
「真金不怕火煉。」
林辰語氣十分隨意「既然顧所長不見棺材不落淚，那就讓他見見。」
「不過，顧所長，讓你的人動作快點。」
隨後顧長明效率驚人。
或者說，為了證明自己是對的。
為了證明夏國不可能有這種「神跡」。
他爆發出了前所未有的執行力。
備用實驗室在二十分鐘內被徹底清空。
趙德發一揮手。
全副武裝的工程兵迅速上前，配合重型吊裝設備，開始作業。
那台刻著「星辰科技」銘牌的機器，被穩穩安置在實驗室中央。
實驗室大門轟然關閉。
厚重的防輻射玻璃牆外，擠滿了研究所的技術骨幹。
每個人的臉上都寫滿了忐忑。
還有藏在眼底，那股不敢說出口的期盼。
無塵實驗室內。
顧長明穿上了全套防塵服，只露出一雙銳利得嚇人的眼睛。
他站在主控台前。
「聽好了。」
聲音通過麥克風傳遍全場。
「按照AML最嚴格的出廠標準測。」
「光源系統、雙工件台精度、物鏡數值孔徑……每一個參數，都給我核實三遍！
「只要有一個不達標，立刻停機！」
觀察室里。
趙德發突然開始緊張起來，「林辰，穩得住嗎？」
「顧所長這人雖然愛炫耀，但在技術上可是出了名的軸。。」
林辰表情十分輕鬆：「趙局，您就當是在看一場猴戲好了。」
實驗室內。
顧長明深吸一口氣。
手指顫抖著按下了那個紅色的啟動鍵。
嗡——！
低沉的轟鳴聲響起。
聲音渾厚，帶著一種直擊靈魂的穿透力。
那是大功率極紫外光源被激發時特有的聲浪。
如同深海巨鯨的低吟。
「供電系統正常！」
「真空腔體壓力正常！」
「冷卻系統介入……溫度恆定22攝氏度，誤差0.01度！」
技術員的聲音越來越高亢。
帶著明顯的顫音。
唰！
機身上，數萬個狀態指示燈瞬間被點亮。
全綠。
沒有一個紅燈報警。
這種工業暴力美學帶來的視覺衝擊，讓玻璃牆外的所有人都下意識地屏住了呼吸。
「切入自檢模式，調出光學參數！」
顧長明死咬著牙關下令。
大屏幕上，數據流瘋狂刷屏。
「數值孔徑（NA）：0.33……」
「所長，這……這是標準EUV的參數。」
顧長明死死盯著屏幕：
「別急！看光源！光源才是核心！」
「那是造假造不出來的！」
EUV光刻機，難就難在光源。
那需要用大功率雷射轟擊錫滴，產生13.5納米的極紫外光。
這個過程對能量控制的要求，相當於在狂風暴雨中。
站在過山車上用機槍打中一隻蚊子的左眼。
西方最頂級的機型，也不過250瓦。
屏幕上的數據條開始瘋狂向上攀升。
100W……
200W……
瞬間突破了顧長明認知的極限。
250W！
「到了！」顧長明低吼，「這就是極限了！哪怕是AML……」
話音未落。
數據猛地又向上竄了一大截。
300W！
400W！
最終定格。
【LPP光源即時輸出功率：500W】
啪嗒。
顧長明手中的特製防靜電記錄筆掉在了地上，摔成了兩截。
「五……五百瓦？」
旁邊那個負責光源檢測的技術員，像是見了鬼一樣，
「所長，我是不是眼花了？」
「這比AML最先進的還要高一倍？」
500W意味著什麼？
意味著曝光速度翻倍，意味著良品率的大幅提升！
這是西方夢寐以求卻遲遲無法攻克的技術高地！
現在，就在這間備用實驗室里。。
在這台國產機器里，輕描淡寫地實現了？
「假的……一定是軟體造假……」
顧長明還在喃喃自語，
「我不信……這是提前寫好的程序……」
「起開！」
一直站在旁邊的牛一文一巴掌把他推開。
「磨磨唧唧！看個屁的數據！」
老院士雙手在鍵盤上飛舞。
「上晶圓！」
牛一文一聲令下。
機械臂無聲地滑動，將一片早已準備好的12英寸矽晶圓送入曝光台。
「加載5納米邏輯電路掩膜版！」
「對準！」
「曝光！」
嗤——
極其輕微的聲響。
高能光束轟擊光刻膠。
這也是顧長明這輩子聽過的，最悅耳的聲音。
短短十幾秒。
「曝光完成。」
牛一文沒有絲毫停頓，操作行雲流水：
「顯影！上電鏡！」
實驗室里沒人說話，只有機器運轉的細微嗡鳴。
所有人的目光都集中在那塊巨大的顯示屏上，那裡連接著那台千萬級的電子顯微鏡。
屏幕亮起。
圖像開始放大。
100倍……1000倍……10000倍……
原本光滑的晶圓表面，在微觀世界裡展現出了它的真容。
那是一座迷宮。
一座精密到令人窒息的、由無數條納米級線路構成的宏偉迷宮。
線條筆直，邊緣銳利。
沒有毛刺，沒有斷裂。
完美。
只能用完美來形容。
屏幕右下角，實測數據跳出。
【線寬：4.98 納米】
死寂。
整個研究所陷入真空般的死寂。
這已經不是打臉了。
這是降維打擊。
這是把西方引以為傲的半導體技術壁壘，按在地上摩擦。
顧長明看著那個「4.98 納米」。
從他大學畢業進入這一行開始，整整三十年。
他聽過太多嘲諷。
「你們夏國人造不出光刻機。」
「EUV？下輩子吧。」
......
他習慣了低頭，習慣了求人。
習慣了花幾倍的價錢買人家淘汰的工業垃圾，還要陪著笑臉說謝謝。
他以為這輩子都要這麼過了。
他以為夏國的半導體，註定要在黑暗裡摸索很久很久。
可是今天。
此時此刻。
天亮了。
「噗通。」
顧長明雙膝一軟，重重地跪在了堅硬的防靜電地板上。
他沒有去擦眼淚，任由那些滾燙的液體肆意流淌。
「嗚……」
起初只是壓抑的嗚咽。
緊接著，聲音越來越大，越來越無法控制，仿佛要將這半輩子的委屈全部哭出來。
「啊！！！」
顧長明跪在那台光刻機面前，嚎啕大哭。
哭得撕心裂肺，哭得肝腸寸斷。
他是個體面人，是所長，是受人尊敬的專家。
但這一刻，他只想哭。
為自己的有眼無珠，為那台被他視若珍寶的28納米的洋垃圾而哭。
更為這三十年的屈辱，一朝雪恥而哭！
「顧所……」
旁邊技術員想去扶他，卻被牛一文攔住了。
牛一文看著跪地痛哭的顧長明，眼眶也紅了。
他沒說話，只是伸手拍了拍顧長明的肩膀，力道很重。
「哭吧。」
「哭出來就好了。」
「這口氣，咱們憋得太久了。」
玻璃牆外，不知道是誰先開始的。
一個人摘下了眼鏡，抹起了眼淚。
接著是第二個，第三個……
整個走廊里，只有壓抑的啜泣聲。
那不是悲傷。
是喜極而泣。
是黑暗中行走了太久的旅人，終於看到太陽時的驚喜。
觀察室內。
趙德發紅著眼，轉身看向林辰。
啪！
他敬了一個標準的軍禮。
「晨光，我代表夏國，謝謝你。」
林辰回以微笑。
夏國在晶片領域終於有了自己的脊樑。
但這只是開始。
他始終不敢相信，那是5納米的光刻機。
夏國的工業底子是什麼樣，沒人比他更清楚。
即是那行中文銘牌像耳光一樣貼在他臉上。
他那構建了三十年的認知堡壘，依舊在負隅頑抗。
「顧長明，看夠了嗎？」
牛一文火爆的聲音傳來，
「看夠了就讓你的人動起來，別耽誤正事。」
顧長明猛地回神，轉過頭。
「我不信，我要驗機。」
顧長明指著那台機器質問道，
「連高端軸承鋼都要進口，憑什麼造出EUV？憑什麼？」
「萬一是個空殼子？萬一裡面裝的是32納米改的呢？」
「不通電，不跑片，我不信！」
牛一文剛準備繼續痛罵，林辰卻抬手攔住了他。
林辰淡淡一笑。
「真金不怕火煉。」
林辰語氣十分隨意「既然顧所長不見棺材不落淚，那就讓他見見。」
「不過，顧所長，讓你的人動作快點。」
隨後顧長明效率驚人。
或者說，為了證明自己是對的。
為了證明夏國不可能有這種「神跡」。
他爆發出了前所未有的執行力。
備用實驗室在二十分鐘內被徹底清空。
趙德發一揮手。
全副武裝的工程兵迅速上前，配合重型吊裝設備，開始作業。
那台刻著「星辰科技」銘牌的機器，被穩穩安置在實驗室中央。
實驗室大門轟然關閉。
厚重的防輻射玻璃牆外，擠滿了研究所的技術骨幹。
每個人的臉上都寫滿了忐忑。
還有藏在眼底，那股不敢說出口的期盼。
無塵實驗室內。
顧長明穿上了全套防塵服，只露出一雙銳利得嚇人的眼睛。
他站在主控台前。
「聽好了。」
聲音通過麥克風傳遍全場。
「按照AML最嚴格的出廠標準測。」
「光源系統、雙工件台精度、物鏡數值孔徑……每一個參數，都給我核實三遍！
「只要有一個不達標，立刻停機！」
觀察室里。
趙德發突然開始緊張起來，「林辰，穩得住嗎？」
「顧所長這人雖然愛炫耀，但在技術上可是出了名的軸。。」
林辰表情十分輕鬆：「趙局，您就當是在看一場猴戲好了。」
實驗室內。
顧長明深吸一口氣。
手指顫抖著按下了那個紅色的啟動鍵。
嗡——！
低沉的轟鳴聲響起。
聲音渾厚，帶著一種直擊靈魂的穿透力。
那是大功率極紫外光源被激發時特有的聲浪。
如同深海巨鯨的低吟。
「供電系統正常！」
「真空腔體壓力正常！」
「冷卻系統介入……溫度恆定22攝氏度，誤差0.01度！」
技術員的聲音越來越高亢。
帶著明顯的顫音。
唰！
機身上，數萬個狀態指示燈瞬間被點亮。
全綠。
沒有一個紅燈報警。
這種工業暴力美學帶來的視覺衝擊，讓玻璃牆外的所有人都下意識地屏住了呼吸。
「切入自檢模式，調出光學參數！」
顧長明死咬著牙關下令。
大屏幕上，數據流瘋狂刷屏。
「數值孔徑（NA）：0.33……」
「所長，這……這是標準EUV的參數。」
顧長明死死盯著屏幕：
「別急！看光源！光源才是核心！」
「那是造假造不出來的！」
EUV光刻機，難就難在光源。
那需要用大功率雷射轟擊錫滴，產生13.5納米的極紫外光。
這個過程對能量控制的要求，相當於在狂風暴雨中。
站在過山車上用機槍打中一隻蚊子的左眼。
西方最頂級的機型，也不過250瓦。
屏幕上的數據條開始瘋狂向上攀升。
100W……
200W……
瞬間突破了顧長明認知的極限。
250W！
「到了！」顧長明低吼，「這就是極限了！哪怕是AML……」
話音未落。
數據猛地又向上竄了一大截。
300W！
400W！
最終定格。
【LPP光源即時輸出功率：500W】
啪嗒。
顧長明手中的特製防靜電記錄筆掉在了地上，摔成了兩截。
「五……五百瓦？」
旁邊那個負責光源檢測的技術員，像是見了鬼一樣，
「所長，我是不是眼花了？」
「這比AML最先進的還要高一倍？」
500W意味著什麼？
意味著曝光速度翻倍，意味著良品率的大幅提升！
這是西方夢寐以求卻遲遲無法攻克的技術高地！
現在，就在這間備用實驗室里。。
在這台國產機器里，輕描淡寫地實現了？
「假的……一定是軟體造假……」
顧長明還在喃喃自語，
「我不信……這是提前寫好的程序……」
「起開！」
一直站在旁邊的牛一文一巴掌把他推開。
「磨磨唧唧！看個屁的數據！」
老院士雙手在鍵盤上飛舞。
「上晶圓！」
牛一文一聲令下。
機械臂無聲地滑動，將一片早已準備好的12英寸矽晶圓送入曝光台。
「加載5納米邏輯電路掩膜版！」
「對準！」
「曝光！」
嗤——
極其輕微的聲響。
高能光束轟擊光刻膠。
這也是顧長明這輩子聽過的，最悅耳的聲音。
短短十幾秒。
「曝光完成。」
牛一文沒有絲毫停頓，操作行雲流水：
「顯影！上電鏡！」
實驗室里沒人說話，只有機器運轉的細微嗡鳴。
所有人的目光都集中在那塊巨大的顯示屏上，那裡連接著那台千萬級的電子顯微鏡。
屏幕亮起。
圖像開始放大。
100倍……1000倍……10000倍……
原本光滑的晶圓表面，在微觀世界裡展現出了它的真容。
那是一座迷宮。
一座精密到令人窒息的、由無數條納米級線路構成的宏偉迷宮。
線條筆直，邊緣銳利。
沒有毛刺，沒有斷裂。
完美。
只能用完美來形容。
屏幕右下角，實測數據跳出。
【線寬：4.98 納米】
死寂。
整個研究所陷入真空般的死寂。
這已經不是打臉了。
這是降維打擊。
這是把西方引以為傲的半導體技術壁壘，按在地上摩擦。
顧長明看著那個「4.98 納米」。
從他大學畢業進入這一行開始，整整三十年。
他聽過太多嘲諷。
「你們夏國人造不出光刻機。」
「EUV？下輩子吧。」
......
他習慣了低頭，習慣了求人。
習慣了花幾倍的價錢買人家淘汰的工業垃圾，還要陪著笑臉說謝謝。
他以為這輩子都要這麼過了。
他以為夏國的半導體，註定要在黑暗裡摸索很久很久。
可是今天。
此時此刻。
天亮了。
「噗通。」
顧長明雙膝一軟，重重地跪在了堅硬的防靜電地板上。
他沒有去擦眼淚，任由那些滾燙的液體肆意流淌。
「嗚……」
起初只是壓抑的嗚咽。
緊接著，聲音越來越大，越來越無法控制，仿佛要將這半輩子的委屈全部哭出來。
「啊！！！」
顧長明跪在那台光刻機面前，嚎啕大哭。
哭得撕心裂肺，哭得肝腸寸斷。
他是個體面人，是所長，是受人尊敬的專家。
但這一刻，他只想哭。
為自己的有眼無珠，為那台被他視若珍寶的28納米的洋垃圾而哭。
更為這三十年的屈辱，一朝雪恥而哭！
「顧所……」
旁邊技術員想去扶他，卻被牛一文攔住了。
牛一文看著跪地痛哭的顧長明，眼眶也紅了。
他沒說話，只是伸手拍了拍顧長明的肩膀，力道很重。
「哭吧。」
「哭出來就好了。」
「這口氣，咱們憋得太久了。」
玻璃牆外，不知道是誰先開始的。
一個人摘下了眼鏡，抹起了眼淚。
接著是第二個，第三個……
整個走廊里，只有壓抑的啜泣聲。
那不是悲傷。
是喜極而泣。
是黑暗中行走了太久的旅人，終於看到太陽時的驚喜。
觀察室內。
趙德發紅著眼，轉身看向林辰。
啪！
他敬了一個標準的軍禮。
「晨光，我代表夏國，謝謝你。」
林辰回以微笑。
夏國在晶片領域終於有了自己的脊樑。
但這只是開始。