第352章 130納米製程情況
馬宇騰他放下手中的水杯。
目光從那些喜人的數據上移開，落在了肖光楠的臉上。
「你之前的匯報文件中提到，灣灣的台積電，在最近已經通過採用浸沒式光刻技術，成功實現了90納米製程的量產突破？」
「是的，我已經通過行業內的關係確認了這個消息的真實性。」
這個消息，對於半導體行業之外的人來說，或許只是一行冰冷的技術新聞。
但對於肖光楠這樣的從業者而言，不啻於一聲驚雷。
這意味著，在先進位程的賽道上，領跑者又一次拉開了與追趕者的距離。
馬宇騰的聲音再次響起，帶著不容置疑的壓迫感。
「我們不能永遠停留在成熟製程上，靠著關聯公司的訂單過日子，那最後只會變成價格戰的紅海。」
「所以，我們的下一代製程研發，現在是怎樣的情況?」
肖光楠深吸一口氣，調出了另一份PPT。
這份PPT的標題是——「130納米工藝製程研發進展」。
「馬總，您的顧慮，我們已經意識到了。在保證現有生產任務的同時，技術部已經成立了專項攻關小組，進行130納米製程的開發。」
肖光楠指著屏幕上的一張設備採購單。
「我們從尼康採購了一台NSR-S307E ArF掃描式光刻機，這是開發130納米工藝的關鍵設備。」
「之後，通過這台光刻機進行了新製程工藝的開發，只是良品率……」
馬宇騰的目光落在報告的最後一頁，那裡有一張醒目的良率統計圖。
那條代表著良率的曲線，在經歷了初期的幾次小幅爬升後，就死死地停在了一個數字上，再也無法寸進。
百分之三十。
一個根本不具備任何商業量產價值的數字。
馬宇騰抬起頭，看著肖光楠，眼神平靜，卻仿佛能穿透人心。
「原因是什麼？」
肖光楠的嘴唇動了動，鏡片後的雙眼流露出一絲技術人員面對難題時的凝重與無奈。
他走到白板前，調出了一張更為複雜的工藝流程圖。
「問題是系統性的。」
他指著圖上一個被紅框標記出來的區域。
「這是在進行柵極刻蝕的環節。我們的180納米用的是成熟的干法刻蝕。」
「但到了130納米，線寬急劇縮小，等離子體對光刻膠的損傷變得非常嚴重，導致刻蝕後的柵極側壁形貌控制不住，出現大量的『腳丫』缺陷。」
他又切換到另一張電子顯微鏡下的掃描圖片，圖片上，本該是筆直的線條，底部卻出現了不規則的凸起，如同人的腳丫。
「我們嘗試了調整刻蝕氣體的配比，優化等離子體的功率，甚至更換了光刻膠的供應商，但效果都不理想。」
「還有銅互連工藝。」肖光楠的聲音愈發沉重。
「130納米開始，必須使用電阻率更低的銅來代替鋁作為互連線。」
「但銅原子非常容易在矽片中擴散，造成器件失效。我們需要沉積一層足夠緻密且均勻的阻擋層，比如氮化鉭。」
「但我們新採購的尼康光刻機，和原有的PVD（物理氣相沉積）設備，在工藝整合上出現了匹配問題。」
「老師傅們的經驗都在原有的設備體系上，對於這套新的組合，他們也需要時間摸索。」
肖光楠一口氣說了很多，全是專業的技術術語。
馬宇騰安靜地聽著，沒有打斷。
他雖然不是半導體製造的專家，但憑藉著兩世的知識儲備和對產業鏈的理解，他能聽懂肖光楠話里的核心。
缺的不是設備，也不是理論，而是將理論和設備結合起來，實現穩定大規模量產的實踐經驗。
也就是「Know-how」。
這支從摩托羅拉繼承過來的團隊，在180納米的陣地上是經驗豐富的老兵。
但到了130納米這條新的戰壕里，他們也成了需要摸著石頭過河的新兵。
而那些年輕的工程師，現在還處在「看」和「學」的階段，指望他們解決這種級別的難題，無異於天方夜譚。
這就是雷霆晶片目前最大的瓶頸。
「所以，你們的結論是什麼？」馬宇騰問。
肖光楠沉默了片刻，似乎在組織語言。
他關掉了白板上的技術圖表，轉過身，鄭重地看著馬宇騰。
「馬總，閉門造車是行不通的。半導體製程的提升，每一步都是在燒錢和燒時間。」
「我們或許花上一年，甚至更久的時間，也能把良率啃下來。但是，市場等不了我們那麼久。」
他停頓了一下，拋出了自己的建議。
「據我所知，國內的東芯國際，他們的130納米製程，早在兩年前就已經實現了穩定量產，現在聽說良率已經能做到百分之九十五以上，在國際上也屬於是比較先進的水平。」
「我的建議是，我們是否可以嘗試，以技術交流的名義，向他們『請教』。」
話音落下，辦公室里陷入了長久的寂靜。
馬宇騰沒有說話，只是端起那杯已經涼透了的純淨水，喝了一口。
向東芯國際請教？
好處是顯而易見的。
這是解決當前困境最快、最高效的路徑。直接跳過漫長的摸索期，讓雷霆晶片的130納米產線迅速具備戰鬥力。
但問題是，他們雷霆晶片與東芯國際是競爭對手。
雖然目前他們目前的製程比對方要落後一代，業務交叉還不多。
但一個有志於成為國內晶片製造龍頭的企業，會心甘情願地去幫助競爭對手提升製程工藝來與自己競爭嗎？
一絲若有若無的煩躁感在馬宇騰心底升起。
就在這時，當東芯國際這個名字在他腦海中盤旋時，另一個名字，如同閃電般划過。
張如晶張老。
這個被譽為「中國半導體之父」的男人，以及他未來幾年後在那場著名的東芯國際人事地震和與台積電官司中的黯然離場。
馬宇騰的瞳孔猛地收縮了一下。
一瞬間，一個大膽的念頭，在他心裡轟然成型！
去見張如晶。
但目的，不再是單純的為了130納米的工藝。
在東芯國際還處於蓬勃發展，但內部矛盾已然在醞釀的此刻，提前與張老建立聯繫。
等到未來那場風暴來臨時，無論是撿漏那些經驗豐富的頂尖工程師，還是承接對方動盪中散落的技術……
都大有可為！
想到這裡，馬宇騰心中那絲煩躁煙消雲散。
他抬起頭，看向依舊在等待他決斷的肖光楠，表情已經恢復了平靜。
「你說的有道理。」
「這件事，我會安排。」
目光從那些喜人的數據上移開，落在了肖光楠的臉上。
「你之前的匯報文件中提到，灣灣的台積電，在最近已經通過採用浸沒式光刻技術，成功實現了90納米製程的量產突破？」
「是的，我已經通過行業內的關係確認了這個消息的真實性。」
這個消息，對於半導體行業之外的人來說，或許只是一行冰冷的技術新聞。
但對於肖光楠這樣的從業者而言，不啻於一聲驚雷。
這意味著，在先進位程的賽道上，領跑者又一次拉開了與追趕者的距離。
馬宇騰的聲音再次響起，帶著不容置疑的壓迫感。
「我們不能永遠停留在成熟製程上，靠著關聯公司的訂單過日子，那最後只會變成價格戰的紅海。」
「所以，我們的下一代製程研發，現在是怎樣的情況?」
肖光楠深吸一口氣，調出了另一份PPT。
這份PPT的標題是——「130納米工藝製程研發進展」。
「馬總，您的顧慮，我們已經意識到了。在保證現有生產任務的同時，技術部已經成立了專項攻關小組，進行130納米製程的開發。」
肖光楠指著屏幕上的一張設備採購單。
「我們從尼康採購了一台NSR-S307E ArF掃描式光刻機，這是開發130納米工藝的關鍵設備。」
「之後，通過這台光刻機進行了新製程工藝的開發，只是良品率……」
馬宇騰的目光落在報告的最後一頁，那裡有一張醒目的良率統計圖。
那條代表著良率的曲線，在經歷了初期的幾次小幅爬升後，就死死地停在了一個數字上，再也無法寸進。
百分之三十。
一個根本不具備任何商業量產價值的數字。
馬宇騰抬起頭，看著肖光楠，眼神平靜，卻仿佛能穿透人心。
「原因是什麼？」
肖光楠的嘴唇動了動，鏡片後的雙眼流露出一絲技術人員面對難題時的凝重與無奈。
他走到白板前，調出了一張更為複雜的工藝流程圖。
「問題是系統性的。」
他指著圖上一個被紅框標記出來的區域。
「這是在進行柵極刻蝕的環節。我們的180納米用的是成熟的干法刻蝕。」
「但到了130納米，線寬急劇縮小，等離子體對光刻膠的損傷變得非常嚴重，導致刻蝕後的柵極側壁形貌控制不住，出現大量的『腳丫』缺陷。」
他又切換到另一張電子顯微鏡下的掃描圖片，圖片上，本該是筆直的線條，底部卻出現了不規則的凸起，如同人的腳丫。
「我們嘗試了調整刻蝕氣體的配比，優化等離子體的功率，甚至更換了光刻膠的供應商，但效果都不理想。」
「還有銅互連工藝。」肖光楠的聲音愈發沉重。
「130納米開始，必須使用電阻率更低的銅來代替鋁作為互連線。」
「但銅原子非常容易在矽片中擴散，造成器件失效。我們需要沉積一層足夠緻密且均勻的阻擋層，比如氮化鉭。」
「但我們新採購的尼康光刻機，和原有的PVD（物理氣相沉積）設備，在工藝整合上出現了匹配問題。」
「老師傅們的經驗都在原有的設備體系上，對於這套新的組合，他們也需要時間摸索。」
肖光楠一口氣說了很多，全是專業的技術術語。
馬宇騰安靜地聽著，沒有打斷。
他雖然不是半導體製造的專家，但憑藉著兩世的知識儲備和對產業鏈的理解，他能聽懂肖光楠話里的核心。
缺的不是設備，也不是理論，而是將理論和設備結合起來，實現穩定大規模量產的實踐經驗。
也就是「Know-how」。
這支從摩托羅拉繼承過來的團隊，在180納米的陣地上是經驗豐富的老兵。
但到了130納米這條新的戰壕里，他們也成了需要摸著石頭過河的新兵。
而那些年輕的工程師，現在還處在「看」和「學」的階段，指望他們解決這種級別的難題，無異於天方夜譚。
這就是雷霆晶片目前最大的瓶頸。
「所以，你們的結論是什麼？」馬宇騰問。
肖光楠沉默了片刻，似乎在組織語言。
他關掉了白板上的技術圖表，轉過身，鄭重地看著馬宇騰。
「馬總，閉門造車是行不通的。半導體製程的提升，每一步都是在燒錢和燒時間。」
「我們或許花上一年，甚至更久的時間，也能把良率啃下來。但是，市場等不了我們那麼久。」
他停頓了一下，拋出了自己的建議。
「據我所知，國內的東芯國際，他們的130納米製程，早在兩年前就已經實現了穩定量產，現在聽說良率已經能做到百分之九十五以上，在國際上也屬於是比較先進的水平。」
「我的建議是，我們是否可以嘗試，以技術交流的名義，向他們『請教』。」
話音落下，辦公室里陷入了長久的寂靜。
馬宇騰沒有說話，只是端起那杯已經涼透了的純淨水，喝了一口。
向東芯國際請教？
好處是顯而易見的。
這是解決當前困境最快、最高效的路徑。直接跳過漫長的摸索期，讓雷霆晶片的130納米產線迅速具備戰鬥力。
但問題是，他們雷霆晶片與東芯國際是競爭對手。
雖然目前他們目前的製程比對方要落後一代，業務交叉還不多。
但一個有志於成為國內晶片製造龍頭的企業，會心甘情願地去幫助競爭對手提升製程工藝來與自己競爭嗎？
一絲若有若無的煩躁感在馬宇騰心底升起。
就在這時，當東芯國際這個名字在他腦海中盤旋時，另一個名字，如同閃電般划過。
張如晶張老。
這個被譽為「中國半導體之父」的男人，以及他未來幾年後在那場著名的東芯國際人事地震和與台積電官司中的黯然離場。
馬宇騰的瞳孔猛地收縮了一下。
一瞬間，一個大膽的念頭，在他心裡轟然成型！
去見張如晶。
但目的，不再是單純的為了130納米的工藝。
在東芯國際還處於蓬勃發展，但內部矛盾已然在醞釀的此刻，提前與張老建立聯繫。
等到未來那場風暴來臨時，無論是撿漏那些經驗豐富的頂尖工程師，還是承接對方動盪中散落的技術……
都大有可為！
想到這裡，馬宇騰心中那絲煩躁煙消雲散。
他抬起頭，看向依舊在等待他決斷的肖光楠，表情已經恢復了平靜。
「你說的有道理。」
「這件事，我會安排。」