第42章 軍工大佬親自撐腰！
「炸了？哈哈哈，活該！」師兄張偉第一個沒忍住，笑出了聲，「我就說他們那套縫合怪的理論行不通，這下好了！」
「老趙這回可栽了個大跟頭。」錢立人教授也忍不住搖頭，語氣裡帶著幾分幸災樂禍。
付成卻笑不出來。他眉頭微皺，意識到問題沒那麼簡單。
秦雪的方案雖然有理論缺陷，但還不至於導致反應室爆炸。
CCP技術非常成熟，最多就是性能不穩定，刻蝕效果差。
會爆炸，只有一種可能——她們為了在短時間內拿到漂亮的樣品數據，去參加評審會，瘋狂地提高了射頻功率和磁場強度。
簡單粗暴地「大力出奇蹟」，結果就是系統過載，能量失控，最終導致了這場事故。
秦雪這個人，太好強，也太心急了。
「看來，後天的評審會，她們是參加不了了。」陳默推了推眼鏡，下了結論。
「豈止是參加不了，」錢立人冷哼一聲，「出了這麼大的安全事故，趙汝成這個項目負責人，少不了一個處分。秦雪作為直接操作人，估計畢業都懸了。這叫偷雞不成蝕把米。」
「好了，別管他們了。」付成將眾人的注意力拉了回來，他揚了揚手中的那封邀請函，「現在，我們的戰場不在這裡了。在這裡。」
所有人的目光都聚焦到那封來自國家科委的邀請函上。
「青年學者前沿科技閉門研討會……」錢立人念著這個名字，神情變得無比嚴肅，「這可不是鬧著玩的。能去那裡的，都是各個領域的頂尖專家和未來的希望。我們這個連原型機都還沒影兒的項目，拿什麼去跟人家交流？」
「就拿這個去。」付成指著那張完美的仿真圖，「理論，就是我們目前最強的武器。我們的『解耦』思想，在理論層面是自洽的，是領先的。這就夠了。」
他看著眾人，一字一句地說道：「這次研討會，我們要把我們的想法毫無保留地展示給所有人看！我們要告訴他們，華夏的半導體工藝，除了跟在別人屁股後面模仿，還有第二條路可以走！」
接下來的幾天，整個課題組都異常忙碌。
錢立人負責撰寫項目的理論綜述，把「脈衝多極磁場約束等離子體」的核心思想，用最嚴謹的學術語言闡述出來。
張偉和孫濤負責繪製原型機的三維結構圖和模塊化電源的設計圖。
而付成和陳默，則在機房裡，不眠不休地進行著各種極限條件下的仿真，以獲取更全面的數據，來支撐他們的理論。
付成甚至再次動用了系統的「知識推演」功能。
他將自己剩餘的青睞值積分全部投入，兌換了整整5個小時的「等離子體物理」和「高能物理」領域的深度推演。
在推演中，他不僅進一步完善了「防漏補丁」算法，甚至還受到了核聚變研究中「托卡馬克裝置」的啟發，構想出一種環形的、更加穩定的磁場約束模型。
當他把這些超前的構想寫在紙上時，連繫統都彈出了一條提示：【宿主正在嘗試觸及當前科技樹的未知領域，請注意理論與現實工程能力的匹配度。】
付成只是笑了笑。他知道，飯要一口一口吃。但站在巨人的肩膀上，他必須看得比所有人都遠。
一周後，西山賓館。
這裡是燕京著名的國賓館之一，環境清幽，安保森嚴。
付成和錢立人教授一下車，就有專人引導他們進入會場。
研討會在一個不對外開放的小禮堂舉行。
禮堂不大，只坐了不到五十人。
但這些人，隨便拎出一個，都是國內相關領域的權威。
付成甚至看到了幾位只在教科書封面上見過的院士。
付成和錢立人被安排在第二排。
他環顧四周，很快就在角落裡找到了一個熟悉的身影——葉文潔。
她今天沒有穿平時的學生裝，而是穿了一件得體的白襯衫，長發簡單地束在腦後，顯得愈發清冷幹練。
她也在看他，目光交匯時，她微微點了點頭。
研討會開始了。
一位頭髮花白的領導簡單致辭後，各個項目組開始輪流上台報告。
有研究新型合金材料的，有攻關生物基因工程的，還有設計新一代運載火箭發動機的……
每一個項目，都代表了華夏科技的最高水平和未來方向。
付成聽得心潮澎湃，也感到了前所未有的壓力。
跟這些項目比起來，他們那個連零件都還沒湊齊的課題組，實在太「寒酸」了。
終於，輪到他們了。
「下一位報告人，華清大學精密儀器系，錢立人教授。報告題目：《一種基於脈衝多極磁場解耦控制的等離子體刻蝕技術新構想》。」
錢立人教授深吸一口氣，走上講台。
他先從宏觀上介紹了國內半導體產業的困境，以及傳統刻蝕技術的瓶頸。
隨後，他話鋒一轉：「面對這些困難，我們課題組，提出了一條全新的技術路線。具體的理論模型和仿真結果，將由我們課題組的核心成員，付成同學，來向大家介紹。」
付成坦然地走上講台，沒有絲毫的緊張。他將一張張仿真圖和數據表，通過投影儀展示在幕布上。
「……傳統的CCP和ICP技術，其核心矛盾在於等離子體密度與離子能量的耦合。也就是說，你想提高刻蝕速率，就必須增加功率，但這同時也會提高離子轟擊能量，損傷晶圓。我們稱之為『左腳踩右腳』的困境。」
「而我們的方案，核心思想只有一個詞——解耦。」
「我們通過外部施加的高速脈衝多極磁場，將等離子體『抓』起來，約束在一個特定區域。同時，我們通過獨立控制晶圓基座的射頻偏壓，來精確調節轟擊晶圓的離子能量。這就好比，我們用一隻手控制『子彈』的數量，用另一隻手控制每一顆『子彈』的威力。兩隻手，互不干擾，獨立調節……」
台下的專家們，都是頂級聰明人，立刻就聽懂了這套「解耦」思想的顛覆性所在。
報告結束後，坐在第一排的一位戴著金絲眼鏡的老院士，率先舉起了手。
「小同志，我有一個問題。你的理論非常精彩，但磁場約束等離子體，是核聚變領域才用的技術，極不穩定。你們如何解決『磁鏡像效應』和『漂移不穩定性』帶來的等離子體逃逸問題？」
付成微微一笑，按下了投影儀的下一頁。
幕布上，出現了一套複雜的、基於「二級絕熱不變量」的約束方程。
「這位前輩，您問得非常好。這個問題的答案，我們要感謝一位物理學天才的啟發。」他看了一眼角落裡的葉文潔，「我們並沒有試圖完全『消滅』逃逸，而是通過這套『動態校正算法』，在每個模擬步長中，對逃逸概率進行補償。就像一個水桶，我們不是把所有的洞都堵死，而是在旁邊放了一個水龍頭，漏多少，就補多少，從而實現一種動態的平衡……」
他的回答，讓那位老院士露出了滿意的笑容。
然而，就在這時，會場後排，一個聲音響了起來。
「理論說得天花亂墜，仿真圖畫得再漂亮，也只是紙上談兵。請問付成同學，你們的原型機在哪裡？你們的實驗數據在哪裡？據我所知，你們連一塊像樣的晶圓都沒刻出來過吧？」
付成循聲望去，只見華清大學行政總辦的王副主任，正抱著手臂，一臉譏諷地看著他。
王副主任身邊，還坐著一個西裝革履的中年人，眼神銳利。付成注意到，他的胸牌上寫著——東方工業集團，投資部總監，劉勝利。
劉進的親戚？付成心裡一動。
王副主任見付成不語，笑得更得意了：「各位專家領導，據我了解，這個項目連學校的正式立項都還沒通過，經費都還沒拿到。一個連學校內部都無法取得共識的『構想』，就拿到國家級的研討會上來，是不是太兒戲了？這不是在浪費各位寶貴的時間嗎？」
會場裡，開始響起竊竊私語。
是啊，沒有實物，沒有數據，說得再好聽，也只是空中樓閣。
就在這尷尬的時刻，禮堂的大門突然被推開了。
一個穿著軍綠色舊大衣，身材高大，面容堅毅的老者，在一群人的簇擁下，大步走了進來。
「誰說這個項目沒有得到支持？」老者的聲音洪亮如鍾，「我今天來，就是要告訴大家，這個項目，我們軍工『863』計劃的專家組，原則上通過了！」
他轉向付成，露出一絲微笑。
「付成同志，還記得我嗎？我是馬智文的老領導，陳建國。」
「老趙這回可栽了個大跟頭。」錢立人教授也忍不住搖頭，語氣裡帶著幾分幸災樂禍。
付成卻笑不出來。他眉頭微皺，意識到問題沒那麼簡單。
秦雪的方案雖然有理論缺陷，但還不至於導致反應室爆炸。
CCP技術非常成熟，最多就是性能不穩定，刻蝕效果差。
會爆炸，只有一種可能——她們為了在短時間內拿到漂亮的樣品數據，去參加評審會，瘋狂地提高了射頻功率和磁場強度。
簡單粗暴地「大力出奇蹟」，結果就是系統過載，能量失控，最終導致了這場事故。
秦雪這個人，太好強，也太心急了。
「看來，後天的評審會，她們是參加不了了。」陳默推了推眼鏡，下了結論。
「豈止是參加不了，」錢立人冷哼一聲，「出了這麼大的安全事故，趙汝成這個項目負責人，少不了一個處分。秦雪作為直接操作人，估計畢業都懸了。這叫偷雞不成蝕把米。」
「好了，別管他們了。」付成將眾人的注意力拉了回來，他揚了揚手中的那封邀請函，「現在，我們的戰場不在這裡了。在這裡。」
所有人的目光都聚焦到那封來自國家科委的邀請函上。
「青年學者前沿科技閉門研討會……」錢立人念著這個名字，神情變得無比嚴肅，「這可不是鬧著玩的。能去那裡的，都是各個領域的頂尖專家和未來的希望。我們這個連原型機都還沒影兒的項目，拿什麼去跟人家交流？」
「就拿這個去。」付成指著那張完美的仿真圖，「理論，就是我們目前最強的武器。我們的『解耦』思想，在理論層面是自洽的，是領先的。這就夠了。」
他看著眾人，一字一句地說道：「這次研討會，我們要把我們的想法毫無保留地展示給所有人看！我們要告訴他們，華夏的半導體工藝，除了跟在別人屁股後面模仿，還有第二條路可以走！」
接下來的幾天，整個課題組都異常忙碌。
錢立人負責撰寫項目的理論綜述，把「脈衝多極磁場約束等離子體」的核心思想，用最嚴謹的學術語言闡述出來。
張偉和孫濤負責繪製原型機的三維結構圖和模塊化電源的設計圖。
而付成和陳默，則在機房裡，不眠不休地進行著各種極限條件下的仿真，以獲取更全面的數據，來支撐他們的理論。
付成甚至再次動用了系統的「知識推演」功能。
他將自己剩餘的青睞值積分全部投入，兌換了整整5個小時的「等離子體物理」和「高能物理」領域的深度推演。
在推演中，他不僅進一步完善了「防漏補丁」算法，甚至還受到了核聚變研究中「托卡馬克裝置」的啟發，構想出一種環形的、更加穩定的磁場約束模型。
當他把這些超前的構想寫在紙上時，連繫統都彈出了一條提示：【宿主正在嘗試觸及當前科技樹的未知領域，請注意理論與現實工程能力的匹配度。】
付成只是笑了笑。他知道，飯要一口一口吃。但站在巨人的肩膀上，他必須看得比所有人都遠。
一周後，西山賓館。
這裡是燕京著名的國賓館之一，環境清幽，安保森嚴。
付成和錢立人教授一下車，就有專人引導他們進入會場。
研討會在一個不對外開放的小禮堂舉行。
禮堂不大，只坐了不到五十人。
但這些人，隨便拎出一個，都是國內相關領域的權威。
付成甚至看到了幾位只在教科書封面上見過的院士。
付成和錢立人被安排在第二排。
他環顧四周，很快就在角落裡找到了一個熟悉的身影——葉文潔。
她今天沒有穿平時的學生裝，而是穿了一件得體的白襯衫，長發簡單地束在腦後，顯得愈發清冷幹練。
她也在看他，目光交匯時，她微微點了點頭。
研討會開始了。
一位頭髮花白的領導簡單致辭後，各個項目組開始輪流上台報告。
有研究新型合金材料的，有攻關生物基因工程的，還有設計新一代運載火箭發動機的……
每一個項目，都代表了華夏科技的最高水平和未來方向。
付成聽得心潮澎湃，也感到了前所未有的壓力。
跟這些項目比起來，他們那個連零件都還沒湊齊的課題組，實在太「寒酸」了。
終於，輪到他們了。
「下一位報告人，華清大學精密儀器系，錢立人教授。報告題目：《一種基於脈衝多極磁場解耦控制的等離子體刻蝕技術新構想》。」
錢立人教授深吸一口氣，走上講台。
他先從宏觀上介紹了國內半導體產業的困境，以及傳統刻蝕技術的瓶頸。
隨後，他話鋒一轉：「面對這些困難，我們課題組，提出了一條全新的技術路線。具體的理論模型和仿真結果，將由我們課題組的核心成員，付成同學，來向大家介紹。」
付成坦然地走上講台，沒有絲毫的緊張。他將一張張仿真圖和數據表，通過投影儀展示在幕布上。
「……傳統的CCP和ICP技術，其核心矛盾在於等離子體密度與離子能量的耦合。也就是說，你想提高刻蝕速率，就必須增加功率，但這同時也會提高離子轟擊能量，損傷晶圓。我們稱之為『左腳踩右腳』的困境。」
「而我們的方案，核心思想只有一個詞——解耦。」
「我們通過外部施加的高速脈衝多極磁場，將等離子體『抓』起來，約束在一個特定區域。同時，我們通過獨立控制晶圓基座的射頻偏壓，來精確調節轟擊晶圓的離子能量。這就好比，我們用一隻手控制『子彈』的數量，用另一隻手控制每一顆『子彈』的威力。兩隻手，互不干擾，獨立調節……」
台下的專家們，都是頂級聰明人，立刻就聽懂了這套「解耦」思想的顛覆性所在。
報告結束後，坐在第一排的一位戴著金絲眼鏡的老院士，率先舉起了手。
「小同志，我有一個問題。你的理論非常精彩，但磁場約束等離子體，是核聚變領域才用的技術，極不穩定。你們如何解決『磁鏡像效應』和『漂移不穩定性』帶來的等離子體逃逸問題？」
付成微微一笑，按下了投影儀的下一頁。
幕布上，出現了一套複雜的、基於「二級絕熱不變量」的約束方程。
「這位前輩，您問得非常好。這個問題的答案，我們要感謝一位物理學天才的啟發。」他看了一眼角落裡的葉文潔，「我們並沒有試圖完全『消滅』逃逸，而是通過這套『動態校正算法』，在每個模擬步長中，對逃逸概率進行補償。就像一個水桶，我們不是把所有的洞都堵死，而是在旁邊放了一個水龍頭，漏多少，就補多少，從而實現一種動態的平衡……」
他的回答，讓那位老院士露出了滿意的笑容。
然而，就在這時，會場後排，一個聲音響了起來。
「理論說得天花亂墜，仿真圖畫得再漂亮，也只是紙上談兵。請問付成同學，你們的原型機在哪裡？你們的實驗數據在哪裡？據我所知，你們連一塊像樣的晶圓都沒刻出來過吧？」
付成循聲望去，只見華清大學行政總辦的王副主任，正抱著手臂，一臉譏諷地看著他。
王副主任身邊，還坐著一個西裝革履的中年人，眼神銳利。付成注意到，他的胸牌上寫著——東方工業集團，投資部總監，劉勝利。
劉進的親戚？付成心裡一動。
王副主任見付成不語，笑得更得意了：「各位專家領導，據我了解，這個項目連學校的正式立項都還沒通過，經費都還沒拿到。一個連學校內部都無法取得共識的『構想』，就拿到國家級的研討會上來，是不是太兒戲了？這不是在浪費各位寶貴的時間嗎？」
會場裡，開始響起竊竊私語。
是啊，沒有實物，沒有數據，說得再好聽，也只是空中樓閣。
就在這尷尬的時刻，禮堂的大門突然被推開了。
一個穿著軍綠色舊大衣，身材高大，面容堅毅的老者，在一群人的簇擁下，大步走了進來。
「誰說這個項目沒有得到支持？」老者的聲音洪亮如鍾，「我今天來，就是要告訴大家，這個項目，我們軍工『863』計劃的專家組，原則上通過了！」
他轉向付成，露出一絲微笑。
「付成同志，還記得我嗎？我是馬智文的老領導，陳建國。」