第892章 不是替代是重做！這座百年巨塔，已經在推了！
合作攻關組掛牌後的第一個清晨，303所門口來了三輛黑色通勤車。
車身沒有標識。
車窗貼著深色防窺膜。
車門打開時，先下來的是兩名安保，隨後才是幾個頭髮花白的老人。
他們每個人手裡都拎著加密箱。
箱體上貼著紅色封條。
【絕密光學資料】
秦立成站在門口迎接，聲音壓得很低。
「許總，他們到了。」
許燃從大廳里走出來，看了一眼隊伍最前方的白髮老人。
張懷民低聲介紹：
「羅世鈞院士。」
「國內傳統光刻物鏡這一塊，繞不開他。」
羅世鈞穿著灰色夾克，背挺得很直，眼神像磨舊的工具機刀頭，舊歸舊，刃還利。
他伸出手。
「許總，久仰。」
許燃握住他的手。
「辛苦了。」
羅世鈞看向許燃身後的地下通道。
「我們帶來的東西，不能在普通會議室展開。」
「這裡面有十七套高數值孔徑物鏡路線，兩套極限備選方案，還有一批從沒公開過的玻璃熔煉和鍍膜數據。」
旁邊一名中年專家補了一句：
「這是我們幾十年一點點啃下來的家底。」
許燃點頭。
「去地下二層密室。」
陳容與遠程窗口一亮，忍不住插了一句：
「歡迎各位光學前輩蒞臨原子排隊現場。」
老鄭看了他一眼。
「你少說兩句，沒人把你當啞巴。」
陳容與立刻縮回去。
「收到，我安靜。」
沒人理他。
半小時後。
地下二層光學評審室。
所有加密箱開啟。
一摞摞資料被擺上桌。
超低膨脹玻璃。
氟化鈣晶體。
多組非球面鏡。
超高精度鍍膜。
主動熱漂移補償。
七十二點波前控制。
幾名老專家站在屏幕前，講得不快。
羅世鈞指著主圖。
「我們不否認燭龍的原子製造路線有突破。」
「可只要涉及光場診斷，只要涉及勢阱閉合，就繞不開物鏡。」
「阿貝極限不是一句口號。」
「數值孔徑、波長、相干性、像差控制，這些東西不講情面。」
他停頓一下，看向許燃。
「許總，你要做0.1納米，我們支持。」
「但前端診斷物鏡，不能靠想像。」
另一名老專家接過話。
「這套方案如果拿到完整供應鏈，能支撐國內7納米驗證。」
「再往前走，很難。」
「可在現有條件下，這已經是國內極限。」
會議室里沒人打斷。
秦立成坐在後排，聽得手心冒汗。
這些老專家不是來拖後腿的。
他們是真把壓箱底的東西帶來了。
東西不新。
卻是國內磨得最鋒利的一套方案。
許燃翻資料的速度卻越來越快。
第一頁。
第三頁。
第九頁。
第二十七頁。
羅世鈞看著他的手，眉頭慢慢皺起。
「許總，不用全看完？」
許燃把資料合上。
「看完了。」
屋裡瞬間安靜。
那名中年專家忍不住開口：
「這可是十七套方案。」
「有些波前模型，一頁公式推導就夠看半天。」
許燃抬頭。
「結論一樣。」
羅世鈞盯著他。
「什麼結論？」
許燃只說了兩個字。
「落後。」
空氣像一下子凝住了。
中年專家臉色當場沉下去。
「許總，這話過了吧？」
「我們承認你在能源、空天、原子製造上走到了前面。」
「可光學物鏡這條路，我們這幫人走了一輩子。」
「你翻了幾頁，就說落後？」
另一名老人也開口：
「這套方案承載了幾代人的心血。」
「為了那塊玻璃，我們有人在爐前守了三個月。」
「為了一個鍍膜窗口，我們報廢過上百片基底。」
「落後兩個字，太輕了。」
羅世鈞沒有拍桌子。
他只是把眼鏡摘下來，慢慢擦了一遍。
「許總，我想聽理由。」
張懷民看向許燃，沒有勸。
他太清楚許燃。
這小子嘴狠。
可從來不空口傷人。
許燃站起來，走到屏幕前。
「我說落後，不是說你們落後。」
「是這套打法落後。」
他點開方案主圖。
「多組鏡片堆疊。」
「高數值孔徑硬沖。」
「靠材料均勻性壓像差。」
「靠主動補償修熱漂移。」
「靠更高加工精度去堵每一個誤差口。」
「你們是在和阿貝極限硬碰硬。」
「就算打贏了，也只是追上西方昨天的路線。」
中年專家咬牙。
「那你說，不打阿貝極限，打什麼？」
許燃看向周群。
「開測試台。」
周群已經站起來。
「普通光源？」
「普通光源。」
羅世鈞眉頭一跳。
「普通光源？」
「你拿普通光源測超分辨物鏡？」
陳容與的遠程窗口又亮了。
「羅院，先別急。」
「我們這邊一向講究樸素，能簡單測，就不先上大陣仗。」
老鄭直接關了他的麥。
周群把一套便攜測試台推到桌前。
它不大。
沒有龐大的真空腔和一人高的鏡筒。
中間只放著一片薄薄的模塊。
那東西看起來像幾層透明薄片疊在一起。
邊緣泛著一點暗灰色金屬光。
中年專家看得一愣。
「這是什麼？」
周群說：
「透鏡模組。」
他把光路鎖定。
羅世鈞差點氣笑。
「這也叫透鏡？」
「遮光片都比它厚。」
許燃沒有解釋。
「上標準板。」
周群放入亞波長刻線樣品。
普通光源點亮。
一束白光穿過那片薄得不像話的模組，落到探測屏上。
一開始，屏幕上只有模糊亮斑。
幾秒後，簡瑤接入邊界態解碼模型。
畫面一跳。
原本該糊成一片的細微結構，被一點點撕開。
刻線。
斷點。
邊緣缺陷。
局部材料起伏。
全都露了出來。
會議室里沒人說話。
羅世鈞身體猛地前傾。
中年專家第一個反應過來。
「不可能。」
「探測器過採樣。」
周群看向他。
「換。」
備用探測器接入。
結果不變。
另一名老人立刻說：
「算法重構。」
簡瑤抬頭。
「關掉補償算法，只保留原始相位映射。」
畫面再次刷新。
細節少了一點。
可超分辨結構還在。
羅世鈞聲音發緊。
「換樣品。」
秦立成立刻讓人送上另一塊隨機缺陷標定片。
周群重新校準光路。
白光穿過模組。
屏幕上又一次出現遠超傳統衍射極限的細節。
這一次，連那名中年專家都不說話了。
他盯著屏幕，眼神像被釘住一樣。
「再換檢測路徑。」
簡瑤直接把光源角度改掉。
「偏振態打亂。」
周群接上多角度偏振。
「環境噪聲抬高。」
老鄭把旁邊一台老設備打開，讓底噪往上飄。
屏幕閃了幾下。
圖像仍然穩住了。
羅世鈞的手按在桌面上，指節微微發白。
「這不符合體相傳播。」
許燃點頭。
「所以我們不走體相。」
他走到測試台旁邊，指了指那片極簡透鏡模組。
「負折射邊緣態材料。」
「傳統透鏡讓光穿過材料內部。」
「材料有折射率波動，就會帶來像差。」
「你們用十幾組鏡片去修。」
「越修，系統越重。」
「系統越重，熱漂移、裝調誤差、機械振動全都會進來。」
「我們換一條路。」
他手指落在模組邊緣。
「光不從體相走，從邊界走。」
羅世鈞抬頭。
「拓撲邊緣態導光？」
簡瑤接話。
「對。」
「材料內部可以有缺陷。」
「但邊界態看的不是單個缺陷，而是整體拓撲結構。」
「只要邊界閉合，光路就不會輕易被體相噪聲拖垮。」
周群補了一句：
「負折射不是拿來炫技。」
「它把原本散掉的高頻信息，從邊界拖回來。」
「這並非正面突破阿貝極限。」
「而是繞開阿貝極限那張桌子。」
中年專家低聲罵了一句。
「這也太不講規矩了。」
老鄭瞥他。
「科研講的是結果。」
「能跑通，就是規矩。」
屋裡終於響起幾聲壓著的笑。
可笑聲很快停了。
因為屏幕上，簡瑤把A-17樣片的勢能谷線疊了進去。
那片十四年前被判死刑的廢樣片，在負折射邊緣態物鏡下，展現出另一層結構。
是表面勢能的長程走向。
羅世鈞猛地站起來。
「這東西能讀晶圓表面勢能？」
許燃點頭。
「燭龍需要一雙眼睛。」
「不是看光刻圖案。」
「是看原子該往哪兒落。」
羅世鈞走到測試台前，彎下腰。
他的動作很慢，像怕驚動什麼。
「你們想用這幾層邊緣態材料，替代幾十片高精密鏡組？」
周群搖頭。
「不是替代。」
「是重做。」
中年專家臉上掛不住了。
「重做容易。」
「工程化呢？」
「熱穩定呢？」
「批量一致性呢？」
「邊緣態材料良率呢？」
陳容與的麥又被他自己打開了。
「良率九十四點八。」
「昨天還九十一，今天凌晨剛抬上去。」
「暫時能看，但我不滿意。」
羅世鈞看向屏幕。
「九十四點八？」
陳容與點頭。
「對，暫時的。」
「還得往上壓。」
這下連張懷民都沒忍住笑了一聲。
羅世鈞卻笑不出來。
他把老式筆記本掏出來，手寫了幾行，又猛地停住。
「色散補償怎麼做？」
簡瑤調出偏振耦合模型。
「不是傳統色散補償。」
「多極光源分頻，邊緣態透鏡只負責鎖住相位骨架。」
「色差不在鏡組裡修。」
「在光場勢阱里消。」
羅世鈞深吸一口氣。
「場曲？」
周群說：
「拓撲邊界映射。」
「畸變？」
許燃說：
「材料邊界提前校正。」
「裝調誤差？」
老鄭接話：
「少了幾十片鏡子，能調出來的誤差也少了。」
中年專家張了張嘴。
半天沒說出話。
他看了一眼桌上那摞厚資料，又看了一眼測試台上的薄片。
幾十年堆出來的玻璃山，被一片薄薄的東西壓得說不出聲。
這感覺太難受。
又太痛快。
羅世鈞忽然抬手，按住那名中年專家的肩膀。
「別爭了。」
中年專家咬牙。
「老師……」
羅世鈞盯著屏幕上的勢能谷線。
「我們不是輸給幾層膜。」
「是新路線已經走到門口了。」
他沉默幾秒，聲音啞下來。
「許總，我問一句。」
許燃看著他。
羅世鈞一字一頓。
「物鏡系統，能推倒重來嗎？」
會議室里所有目光都落到許燃身上。
許燃轉身，打開地下五層的燭龍主腔結構圖。
負折射邊緣態透鏡的位置，已經被標成紅色。
他只回了一句。
「已經在推了。」
車身沒有標識。
車窗貼著深色防窺膜。
車門打開時，先下來的是兩名安保，隨後才是幾個頭髮花白的老人。
他們每個人手裡都拎著加密箱。
箱體上貼著紅色封條。
【絕密光學資料】
秦立成站在門口迎接，聲音壓得很低。
「許總，他們到了。」
許燃從大廳里走出來，看了一眼隊伍最前方的白髮老人。
張懷民低聲介紹：
「羅世鈞院士。」
「國內傳統光刻物鏡這一塊，繞不開他。」
羅世鈞穿著灰色夾克，背挺得很直，眼神像磨舊的工具機刀頭，舊歸舊，刃還利。
他伸出手。
「許總，久仰。」
許燃握住他的手。
「辛苦了。」
羅世鈞看向許燃身後的地下通道。
「我們帶來的東西，不能在普通會議室展開。」
「這裡面有十七套高數值孔徑物鏡路線，兩套極限備選方案，還有一批從沒公開過的玻璃熔煉和鍍膜數據。」
旁邊一名中年專家補了一句：
「這是我們幾十年一點點啃下來的家底。」
許燃點頭。
「去地下二層密室。」
陳容與遠程窗口一亮，忍不住插了一句：
「歡迎各位光學前輩蒞臨原子排隊現場。」
老鄭看了他一眼。
「你少說兩句，沒人把你當啞巴。」
陳容與立刻縮回去。
「收到，我安靜。」
沒人理他。
半小時後。
地下二層光學評審室。
所有加密箱開啟。
一摞摞資料被擺上桌。
超低膨脹玻璃。
氟化鈣晶體。
多組非球面鏡。
超高精度鍍膜。
主動熱漂移補償。
七十二點波前控制。
幾名老專家站在屏幕前，講得不快。
羅世鈞指著主圖。
「我們不否認燭龍的原子製造路線有突破。」
「可只要涉及光場診斷，只要涉及勢阱閉合，就繞不開物鏡。」
「阿貝極限不是一句口號。」
「數值孔徑、波長、相干性、像差控制，這些東西不講情面。」
他停頓一下，看向許燃。
「許總，你要做0.1納米，我們支持。」
「但前端診斷物鏡，不能靠想像。」
另一名老專家接過話。
「這套方案如果拿到完整供應鏈，能支撐國內7納米驗證。」
「再往前走，很難。」
「可在現有條件下，這已經是國內極限。」
會議室里沒人打斷。
秦立成坐在後排，聽得手心冒汗。
這些老專家不是來拖後腿的。
他們是真把壓箱底的東西帶來了。
東西不新。
卻是國內磨得最鋒利的一套方案。
許燃翻資料的速度卻越來越快。
第一頁。
第三頁。
第九頁。
第二十七頁。
羅世鈞看著他的手，眉頭慢慢皺起。
「許總，不用全看完？」
許燃把資料合上。
「看完了。」
屋裡瞬間安靜。
那名中年專家忍不住開口：
「這可是十七套方案。」
「有些波前模型，一頁公式推導就夠看半天。」
許燃抬頭。
「結論一樣。」
羅世鈞盯著他。
「什麼結論？」
許燃只說了兩個字。
「落後。」
空氣像一下子凝住了。
中年專家臉色當場沉下去。
「許總，這話過了吧？」
「我們承認你在能源、空天、原子製造上走到了前面。」
「可光學物鏡這條路，我們這幫人走了一輩子。」
「你翻了幾頁，就說落後？」
另一名老人也開口：
「這套方案承載了幾代人的心血。」
「為了那塊玻璃，我們有人在爐前守了三個月。」
「為了一個鍍膜窗口，我們報廢過上百片基底。」
「落後兩個字，太輕了。」
羅世鈞沒有拍桌子。
他只是把眼鏡摘下來，慢慢擦了一遍。
「許總，我想聽理由。」
張懷民看向許燃，沒有勸。
他太清楚許燃。
這小子嘴狠。
可從來不空口傷人。
許燃站起來，走到屏幕前。
「我說落後，不是說你們落後。」
「是這套打法落後。」
他點開方案主圖。
「多組鏡片堆疊。」
「高數值孔徑硬沖。」
「靠材料均勻性壓像差。」
「靠主動補償修熱漂移。」
「靠更高加工精度去堵每一個誤差口。」
「你們是在和阿貝極限硬碰硬。」
「就算打贏了，也只是追上西方昨天的路線。」
中年專家咬牙。
「那你說，不打阿貝極限，打什麼？」
許燃看向周群。
「開測試台。」
周群已經站起來。
「普通光源？」
「普通光源。」
羅世鈞眉頭一跳。
「普通光源？」
「你拿普通光源測超分辨物鏡？」
陳容與的遠程窗口又亮了。
「羅院，先別急。」
「我們這邊一向講究樸素，能簡單測，就不先上大陣仗。」
老鄭直接關了他的麥。
周群把一套便攜測試台推到桌前。
它不大。
沒有龐大的真空腔和一人高的鏡筒。
中間只放著一片薄薄的模塊。
那東西看起來像幾層透明薄片疊在一起。
邊緣泛著一點暗灰色金屬光。
中年專家看得一愣。
「這是什麼？」
周群說：
「透鏡模組。」
他把光路鎖定。
羅世鈞差點氣笑。
「這也叫透鏡？」
「遮光片都比它厚。」
許燃沒有解釋。
「上標準板。」
周群放入亞波長刻線樣品。
普通光源點亮。
一束白光穿過那片薄得不像話的模組，落到探測屏上。
一開始，屏幕上只有模糊亮斑。
幾秒後，簡瑤接入邊界態解碼模型。
畫面一跳。
原本該糊成一片的細微結構，被一點點撕開。
刻線。
斷點。
邊緣缺陷。
局部材料起伏。
全都露了出來。
會議室里沒人說話。
羅世鈞身體猛地前傾。
中年專家第一個反應過來。
「不可能。」
「探測器過採樣。」
周群看向他。
「換。」
備用探測器接入。
結果不變。
另一名老人立刻說：
「算法重構。」
簡瑤抬頭。
「關掉補償算法，只保留原始相位映射。」
畫面再次刷新。
細節少了一點。
可超分辨結構還在。
羅世鈞聲音發緊。
「換樣品。」
秦立成立刻讓人送上另一塊隨機缺陷標定片。
周群重新校準光路。
白光穿過模組。
屏幕上又一次出現遠超傳統衍射極限的細節。
這一次，連那名中年專家都不說話了。
他盯著屏幕，眼神像被釘住一樣。
「再換檢測路徑。」
簡瑤直接把光源角度改掉。
「偏振態打亂。」
周群接上多角度偏振。
「環境噪聲抬高。」
老鄭把旁邊一台老設備打開，讓底噪往上飄。
屏幕閃了幾下。
圖像仍然穩住了。
羅世鈞的手按在桌面上，指節微微發白。
「這不符合體相傳播。」
許燃點頭。
「所以我們不走體相。」
他走到測試台旁邊，指了指那片極簡透鏡模組。
「負折射邊緣態材料。」
「傳統透鏡讓光穿過材料內部。」
「材料有折射率波動，就會帶來像差。」
「你們用十幾組鏡片去修。」
「越修，系統越重。」
「系統越重，熱漂移、裝調誤差、機械振動全都會進來。」
「我們換一條路。」
他手指落在模組邊緣。
「光不從體相走，從邊界走。」
羅世鈞抬頭。
「拓撲邊緣態導光？」
簡瑤接話。
「對。」
「材料內部可以有缺陷。」
「但邊界態看的不是單個缺陷，而是整體拓撲結構。」
「只要邊界閉合，光路就不會輕易被體相噪聲拖垮。」
周群補了一句：
「負折射不是拿來炫技。」
「它把原本散掉的高頻信息，從邊界拖回來。」
「這並非正面突破阿貝極限。」
「而是繞開阿貝極限那張桌子。」
中年專家低聲罵了一句。
「這也太不講規矩了。」
老鄭瞥他。
「科研講的是結果。」
「能跑通，就是規矩。」
屋裡終於響起幾聲壓著的笑。
可笑聲很快停了。
因為屏幕上，簡瑤把A-17樣片的勢能谷線疊了進去。
那片十四年前被判死刑的廢樣片，在負折射邊緣態物鏡下，展現出另一層結構。
是表面勢能的長程走向。
羅世鈞猛地站起來。
「這東西能讀晶圓表面勢能？」
許燃點頭。
「燭龍需要一雙眼睛。」
「不是看光刻圖案。」
「是看原子該往哪兒落。」
羅世鈞走到測試台前，彎下腰。
他的動作很慢，像怕驚動什麼。
「你們想用這幾層邊緣態材料，替代幾十片高精密鏡組？」
周群搖頭。
「不是替代。」
「是重做。」
中年專家臉上掛不住了。
「重做容易。」
「工程化呢？」
「熱穩定呢？」
「批量一致性呢？」
「邊緣態材料良率呢？」
陳容與的麥又被他自己打開了。
「良率九十四點八。」
「昨天還九十一，今天凌晨剛抬上去。」
「暫時能看，但我不滿意。」
羅世鈞看向屏幕。
「九十四點八？」
陳容與點頭。
「對，暫時的。」
「還得往上壓。」
這下連張懷民都沒忍住笑了一聲。
羅世鈞卻笑不出來。
他把老式筆記本掏出來，手寫了幾行，又猛地停住。
「色散補償怎麼做？」
簡瑤調出偏振耦合模型。
「不是傳統色散補償。」
「多極光源分頻，邊緣態透鏡只負責鎖住相位骨架。」
「色差不在鏡組裡修。」
「在光場勢阱里消。」
羅世鈞深吸一口氣。
「場曲？」
周群說：
「拓撲邊界映射。」
「畸變？」
許燃說：
「材料邊界提前校正。」
「裝調誤差？」
老鄭接話：
「少了幾十片鏡子，能調出來的誤差也少了。」
中年專家張了張嘴。
半天沒說出話。
他看了一眼桌上那摞厚資料，又看了一眼測試台上的薄片。
幾十年堆出來的玻璃山，被一片薄薄的東西壓得說不出聲。
這感覺太難受。
又太痛快。
羅世鈞忽然抬手，按住那名中年專家的肩膀。
「別爭了。」
中年專家咬牙。
「老師……」
羅世鈞盯著屏幕上的勢能谷線。
「我們不是輸給幾層膜。」
「是新路線已經走到門口了。」
他沉默幾秒，聲音啞下來。
「許總，我問一句。」
許燃看著他。
羅世鈞一字一頓。
「物鏡系統，能推倒重來嗎？」
會議室里所有目光都落到許燃身上。
許燃轉身，打開地下五層的燭龍主腔結構圖。
負折射邊緣態透鏡的位置，已經被標成紅色。
他只回了一句。
「已經在推了。」