第889章 封鎖的是今天,但我們要種出明天!

投票推薦 加入書籤 小說報錯

  會場裡的掌聲還沒停。

  那枚指甲蓋大小的載片被重新封進黑色加密箱,透明隔振托盤緩緩沉下去,四組電極逐一斷開。

  屏幕上那行字還掛著。

  【校驗結果:1000/1000】

  不少人盯著它,像盯著一口剛從地下挖出來的寶藏。

  一個手機廠代表喉嚨發乾,忍不住問:

  「許總,這東西……多久能上產線?」

  旁邊的晶圓廠負責人立刻瞪了他一眼。

  「你這問題問得跟催外賣一樣。」

  那代表也急了。

  「不催不行啊!美國半小時後斷EDA,我們下半年旗艦晶片還卡著呢!」

  「旗艦?」

  後排有人苦笑。

  「我這邊連工控晶片項目都要掉線了。」

  「特氣供應商剛發郵件,說高端訂單暫停履約。」

  「光刻機維護服務也停了。」

  「這幫人真是照著命門捅。」

  會場又亂了。

  剛才那股熱血還沒散,現實的刀子就拍在桌上。

  許燃沒有繼續解釋燭龍。

  他把加密箱扣上,抬頭問了一句:

  「國內現在最先進的晶圓基地,離這裡多遠?」

  主辦方負責人愣住。

  「許總,您是說……」

  「實地看。」

  許燃看向台下那些廠長、總師和工藝負責人。

  「會不開了。」

  「去產線。」

  全場一靜。

  上滬臨港晶圓基地的廠長秦立成站了起來。

  他五十出頭,頭髮白了一半,西裝袖口還別著臨時入場證。

  「許總,我們基地可以配合。」

  「不過無塵車間流程複雜,臨時進場要換裝、消殺、權限報備,還有設備供應商的駐場工程師……」

  許燃打斷他。

  「海外駐場工程師全部隔離在外。」

  「能看的,只讓國內團隊看。」

  秦立成喉結動了動。

  「明白。」

  老院士張懷民也站起來。

  「我一起去。」

  「我也去。」

  「算我一個。」

  幾名專家跟著起身。

  周群低頭看終端。

  「安保路線已經申請。」

  簡瑤把加密終端收進防護包。

  「燭龍底座數據不帶走,只帶驗證結論和載片封存箱。」

  陳容與在視頻里嚷了一聲:

  「許總,我能不能遠程掛個窗口?」

  老鄭瞥了一眼屏幕。

  「你那邊第三批數據補完了嗎?」

  陳容與瞬間低頭。

  「我剛想起來,我愛工作。」

  會場裡響起幾聲笑。

  緊繃的氣氛,被這一句撬開了一點。

  許燃拎起箱子,轉身往外走。

  「所有人記住。」

  「美國人封的是今天。」

  「我們要找的,是明天從哪兒長出來。」

  半小時後。

  車隊駛入上滬臨港晶圓基地。

  高牆、崗亭、潔淨廠房、白色管廊,一路延伸到遠處。

  平時這裡安靜,此刻卻像被推上戰場。

  秦立成一路快走,邊走邊匯報。

  「我們這條線以先進邏輯工藝驗證為主。」

  「DUV多重曝光能做一部分節點。」

  「EUV設備沒有。」


  「核心短板在光路精度、套刻誤差、光刻膠窗口、刻蝕選擇比,還有缺陷檢測。」

  他頓了頓,聲音低了些。

  「許總,說句丟人的話。」

  「這條線能跑到現在,靠的是全廠人拿命補窟窿。」

  許燃看著前方的換裝區。

  「不丟人。」

  「拿別人的算盤打自己的仗,能打成這樣,已經不容易。」

  秦立成腳步一頓。

  跟在後面的幾個工程師眼圈一下發熱。

  他們原本以為許燃來,是要罵人。

  罵他們不夠快。

  罵他們沒突破。

  罵他們花錢多、進度慢、良率低。

  可許燃第一句話,沒罵。

  換裝完成後,一行人進入無塵車間。

  白光鋪在地面上,設備運轉聲壓得人耳膜發緊。

  塗膠區,晶圓在機械臂上旋轉,光刻膠鋪成薄薄一層。

  秦立成指著旁邊的控制櫃。

  「膠液配方一部分能國產替代,一部分還依賴外部。」

  「最怕的是批次波動。」

  「供應商一句話,我們就得重新調窗口。」

  許燃點頭。

  「下一段。」

  曝光區。

  龐大的光刻設備像一座沉默的鋼鐵房子,警示燈冷冷閃著。

  一個年輕工藝工程師聲音發緊。

  「這台設備的幾個關鍵模塊,維護權限在原廠手裡。」

  「我們能做常規保養,深層診斷得等對方授權。」

  「今天禁令落地後,授權埠已經掉線。」

  周群看了一眼控制日誌。

  「掉得挺准。」

  「像掐表一樣。」

  年輕工程師咬牙。

  「他們連維護手冊的最新補丁都關了。」

  老鄭冷笑。

  「賣設備的時候叫合作夥伴。」

  「卡維護的時候叫戰略競爭。」

  許燃沒接話,繼續往前走。

  顯影。

  刻蝕。

  清洗。

  離子注入。

  薄膜沉積。

  缺陷檢測。

  每過一個工段,現場負責人就報一串問題。

  「這裡卡在進口閥組。」

  「這裡卡在檢測算法。」

  「這裡卡在高純前驅體。」

  「這裡卡在老外的遠程診斷。」

  「這裡的備件庫存只夠四十九天。」

  「這個泵,如果原廠不續保,三個月後風險飆升。」

  一圈走下來,所有人的臉都沉了。

  不是某一個環節不行。

  是每一步都被海外設備的影子按著脖子。

  這些影子平時藏在採購合同、授權碼、售後服務和技術協議里。

  美國封鎖令一落地,它們全伸出手,掐住了產線。

  一個工藝負責人終於忍不住開口:

  「許總,問題都在這兒。」

  「您要批評就批評吧。」

  「我們接受。」

  許燃停下腳步,看著他。

  「批評能讓光刻機自己長出來?」

  負責人一怔。

  「不能。」

  「那就別浪費時間。」

  許燃轉頭看向秦立成。

  「失敗數據在哪裡?」

  秦立成愣了。

  「成功批次數據在主控室,我馬上讓人調。」


  「我要失敗數據。」

  「所有被否掉的路線。」

  「所有沒通過驗收的實驗。」

  「所有被判定無商業價值的廢案。」

  「還有那些你們覺得拿出來丟人的東西。」

  秦立成臉色變了。

  「許總,那裡面有些資料……年代久,結論也不成熟。」

  「還有些項目當年鬧過爭議。」

  許燃開口:

  「燭龍不吃漂亮報表。」

  「它要揭開傷疤。」

  這句話落下,秦立成沉默了幾秒。

  隨後,他深吸一口氣。

  「跟我來。」

  一行人穿過兩道權限門,進入廠區深處一間低溫資料室。

  這裡沒有產線的轟鳴。

  只有除濕機輕輕響。

  一排排金屬櫃立在牆邊,櫃門上貼著老舊標籤。

  【電子束直寫中試記錄】

  【納米壓印模板損耗報告】

  【干涉光刻周期圖形偏差】

  【等離子輔助沉積邊緣異常】

  【自組裝圖形轉移試驗組】

  張懷民看見這些標籤,眼神變了。

  「這些項目,有些我當年聽過。」

  秦立成苦笑。

  「聽過的大多都黃了。」

  「沒聽過的,黃得更快。」

  一個資料管理員打開櫃門,搬出幾箱檔案。

  紙質報告、老硬碟、樣片盒、工藝日誌,一層層攤開。

  許燃戴著手套,翻得極快。

  電子束直寫。

  吞吐量死。

  納米壓印。

  模板顆粒污染,重複性崩。

  干涉光刻。

  周期結構能做,複雜邏輯圖形難。

  等離子輔助沉積。

  邊緣偏析不可控。

  每一條看似死路,都埋著當年的血汗。

  秦立成低聲說:

  「這些都是前輩們撞過的牆。」

  「撞完以後,大家還是回到光刻主線。」

  「因為那條路至少看得見產業鏈。」

  許燃翻到第五個箱子時,手停住了。

  檔案封皮發黃,標題有些舊。

  【嵌段共聚物自組裝圖形轉移及亞十納米線路探索】

  作者:顧景山。

  時間:十四年前。

  旁邊附著一張評審意見。

  【良率低於2.7%,缺陷密度不可接受,圖形長程有序性不足,不具備繼續投入價值。】

  秦立成看見這個名字,臉色變了一下。

  張懷民也皺眉。

  「顧景山?」

  「我有印象。」

  「當年在表面物理和聚合物自組裝上挺有想法。」

  秦立成嘆氣。

  「他在我們廠待過一段時間。」

  「這個項目停掉後,他申請過兩次複議。」

  「沒批。」

  「後來人就走了。」

  周群翻出幾張舊圖。

  「缺陷確實多。」

  「島狀偏移、線寬漂移、邊界斷裂。」

  「按傳統工藝看,沒法進產線。」

  簡瑤卻沒有急著下結論。

  她把其中一張統計圖放大,眉頭微動。

  「等一下。」

  「這些島狀偏移,不是完全隨機。」

  許燃抬手。

  「調A-17樣片。」

  秦立成一怔。

  「您怎麼知道有A-17?」

  許燃指了指報告頁腳。

  「這批數據只寫了十六片。」

  「曲線里多了一組未編號統計。」

  「它不在正文,只在附錄坐標里露了一下。」

  資料管理員連忙去翻冷藏樣片櫃。

  幾分鐘後,一個老式樣片盒被拿出來。

  標籤已經褪色。

  【A-17】

  許燃接過樣片盒,遞給周群。

  「上便攜診斷。」

  周群立刻讓工程師接入負折射邊緣態顯微模塊。

  老設備配新模塊,界面閃了兩次才穩定。

  屏幕上,樣片表面圖形被放大。

  坑坑窪窪。

  缺陷一堆。

  按傳統驗收標準,這就是廢品。

  幾個廠里工程師看得直皺眉。

  「這良率確實沒法看。」

  「邊界全亂了。」

  「當年評審沒冤枉。」

  許燃沒有出聲。

  他把一組坐標圈出來。

  「看這裡。」

  簡瑤已經同步建模。

  她手指快速敲過鍵盤,屏幕上那片看似凌亂的圖形被抽掉光刻圖案,只剩下表面能分布。

  下一秒。

  一條若隱若現的能量谷線浮現出來。

  張懷民猛地湊近。

  「這是……」

  周群接上電磁響應圖。

  「是勢能場有序。」

  秦立成聽得發懵。

  「什麼意思?」

  許燃抬頭看向所有人。

  「當年這條路線失敗,不是因為顧景山方向錯了。」

  「是因為他被傳統光刻框住了。」

  「他們想讓自組裝服務於光刻。」

  「先曝光,先刻圖,再讓材料按光刻留下的溝槽排隊。」

  「光刻圖形本身有缺陷,自組裝只會把缺陷放大。」

  張懷民反應過來,呼吸一沉。

  「反過來呢?」

  許燃點了點A-17樣片的能量谷線。

  「反過來。」

  「先用光場勢阱建立原子坐標。」

  「再讓晶圓表面勢能模板配合它。」

  「材料不是去補光刻留下的坑。」

  「材料自己被勢阱叫到該站的位置。」

  簡瑤抬頭,聲音清亮。

  「燭龍需要的不是更像EUV的物鏡。」

  「它還需要一張晶圓表面的勢能地圖。」

  「天上有光場。」

  「地上要有模板。」

  周群接了一句:

  「光場負責點名。」

  「表面模板負責排隊。」

  老鄭在旁邊聽得頭皮發麻。

  「所以這不是把廢案撿回來。」

  「這是把廢案翻了個面。」

  秦立成看著那份發黃報告,手指都在抖。

  「顧景山當年說過一句話。」

  「他說,圖形不是刻出來的,也可以長出來。」

  「那時候大家都覺得他魔怔了。」

  「評審會上有人當場拍桌子,說晶圓廠不是種菜。」

  陳容與的遠程窗口突然亮了。

  「誰說不是?」

  「種得好,晶片一茬一茬長,這不比種菜賺錢?」

  資料室里幾個人沒忍住笑了。


  笑完又安靜。

  因為他們都看見,許燃把那份報告合上了。

  動作像給一段塵封多年的舊案,重新蓋了章。

  許燃看向秦立成。

  「把這個作者找回來。」

  秦立成眼眶一下紅了。

  「許總,他當年走得不體面。」

  「項目停了,團隊散了。」

  「有人說他浪費經費。」

  「還有人說他拿幻想當科研。」

  許燃開口:

  「他不是失敗者。」

  「他提前十年摸到了門。」

  秦立成低下頭,聲音啞了。

  「我馬上找。」

  就在這時,林毅的加密終端響了一聲。

  他看了一眼,臉色微沉。

  「許總,有個情況。」

  「說。」

  「顧景山的舊檔案,昨晚被遠程檢索過。」

  秦立成猛地抬頭。

  「不可能!」

  「這間資料室不接外網。」

  林毅把記錄投到牆上。

  「不是直接進來的。」

  「走的是一條海外設備售後診斷殘留通道。」

  「檢索關鍵詞有三個。」

  「自組裝。」

  「勢能模板。」

  「還有……」

  他停了一下。

  屏幕最後一行亮起。

  【A-17】

  資料室里,除濕機的聲音忽然顯得刺耳。

  許燃抬眼。

  「把門關上。」

章節目錄