第226章 縱論EUV（上）
「你小子，跟老師說話還這麼不著調，小心我期末掛你的科。」周萬達是一個好奇心很重的人，現在他詢問的問題，沒有得到答案，讓他百爪撓心一般的難受，忍不住出言威脅了一句。周萬達本就是北大集成電路專業的教授，這一學期負責教授喬瑞達他們班的一門專業課。喬瑞達又經常曠課，點名經常不在，如果專業老師以此為理由，讓他掛科，誰也挑不出毛病。
聽到來自周萬達的威脅，喬瑞達立馬服軟，「別呀，周老師，周教授，你如此寬洪大量的人，怎麼能跟我一般見識，讓我掛科呢。周老師，你不就是想知道後面那輛車上拉的是什麼嗎，我這就告訴你，那輛車上拉的是一台EUV光刻機。由於設備太過精密，震動，或者溫濕度劇烈變化，都有可能影響它的加工精度，這才在車輛上加裝了防震措施，又在貨櫃上裝了空調，以保障內部環境恆溫恆濕度。」
「什麼，我沒聽錯吧，你竟然搞來了一台EUV光刻機！這怎麼可能呢，連國際光刻機巨頭阿斯麥都只有測試樣機，沒有量產上市的東西，你小子又是怎麼搞來的？」喬瑞達說出來的信息太過于震撼，引的坐在后座的周萬達驚呼不已，當教授，做科研培養出來的沉穩氣質，蕩然無存。
「嘿嘿嘿，對不住了周老師，這個EUV光刻機的來源就真的不能對外說，否則將供貨渠道暴露出來，下次就再也拿不到貨了。你也是搞晶片的，應該清楚，這些高端光刻機，對咱們華夏大陸都是禁運的。」其實這台EUV光刻機是喬瑞達通過金手指複製出來的，來源本就見不得光，這會兒被周萬達問起來，只能編出一個神秘的供貨商來，應付一二了。
「原來是這樣，要說你小子也真是厲害，還在測試階段的新設備，都能搞出來。渠道的事兒，我就不問了，你看能不能通過你的關係，給北大晶片實驗室也搞一台EUV光刻機，要多少錢你隨便開。」周萬達搓搓手，一臉期待的看向正在開車的喬瑞達。
作為一名晶片製程工藝研究員，周萬達太清楚EUV光刻機的威力了。當前市面上主流的浸潤式DUV光刻機，常規加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工藝，DUV光刻機的加工精度最多提升到7nm，而且會存在步驟繁瑣、加工難度大、良品率低等諸多的缺點。如果有了EUV光刻機，那就完全不同了，EUV由於採用了極紫外光對矽晶圓進行加工，可以把加工精度做到很小，起步就是7nm，具有加工速度快、良品率高、等優點，生產出來的晶片，性能強大，發熱低。後續採用一些其他工藝，還能加工出5nm、3nm，甚至2nm的晶片，絕對是未來晶片加工的發展方向。
「咦，周老師，你又沒見到EUV光刻機的實物，也沒進行過任何測試，為何會如此看好這台光刻機，不惜重金也要買一台？」這個型號的EUV光刻機的性能，喬瑞達在次元空間內做過測試，這才知道它的厲害。周萬達又沒做過測試，甚至連這台EUV光刻機的樣子都沒見過，就如此果斷的要花錢求購，當真奇怪。
周萬達嘿嘿一笑，說出了一些喬瑞達不知道的內幕消息，「嘿嘿，這不是見獵心喜嗎，EUV光刻機，多麼高大上的設備，全世界，只有阿斯麥公司能生產，而且只有幾台樣機，尚未量產交付。如果咱們北大的晶片實驗室能夠搞到一台，即使不能用於晶片的量產，只用來搞一下尖端晶片的流片測試，和7nm以下晶片加工工藝的摸索，也是賺大了。
咱們北大晶片實驗室內，那套晶片生產線你也見過，都是五年前的老傢伙了，即使我們做了不少的改造升級，生產40nm晶片，已經是它的極限了，在也沒有什麼潛力可挖。而且存在著生產成本過高，合格率低下等諸多缺陷。早在去年的時候，我和老師，參加了你們瑞達電子廠晶片生產線的安裝和調試工作，當時看到你們那套浸潤式DUV光刻機、和配套生產線，我們就羨慕的不行。回到學校之後，我老師就打報告上去，申請經費，對晶片實驗室的生產線，進行更新換代。
奈何此次設備升級，需要的費用太大，一些核心的設備還不太好買，那份申請報告在上級機構那裡卡了一年，最近才批覆下來。本來這次跟你一起來德誠市，就想著拜託你幫忙採購幾台DUV光刻機和刻蝕設備，沒成想更先進的EUV光刻機你小子都搞得來。有EUV在，誰還要落後的DUV呀，你說是不是。」
「原來如此，幫你搞一台EUV光刻機也不是不行，不過這東西的價格可不便宜，你要做好準備，我也不知道你們實驗室有沒有這麼多錢。」喬瑞達沉吟一番，最終還是給出了一個肯定的答覆。國內做晶片設計的公司和科研院所很少，搞先進晶片製程工藝研發的單位就更少了。隨著瑞芯晶圓廠的建立，對晶片合格率的提升，和對先進位程工藝的追逐，就不會停止。到時候和北大晶片實驗室的合作會很多，同時北大也能為瑞芯晶圓廠提供大量晶片領域的高端人才。現在冒著金手指曝光的危險，賣給他們一台EUV光刻機，也算是提前投資，支持母校了。
「國際上最先進的DUV光刻機售價就要五六個億，難道EUV光刻機的售價更貴？」說到價格，周萬達的心裡就真的沒底了，畢竟上面批下來的資金有限，他也不知能能不能買的起EUV光刻機。
「你這話說的，多新鮮吶，生產28nm晶片的DUV光刻機的售價都要6萬左右。可以生產7nm晶片的EUV光刻機，賣的比DUV光刻機價格更貴一些，不是很正常嗎。我也不瞞你，後面貨車上這台EUV光刻機，是我花費10億買回來的，這還沒算上渠道費用和運費。」(本章完)
聽到來自周萬達的威脅，喬瑞達立馬服軟，「別呀，周老師，周教授，你如此寬洪大量的人，怎麼能跟我一般見識，讓我掛科呢。周老師，你不就是想知道後面那輛車上拉的是什麼嗎，我這就告訴你，那輛車上拉的是一台EUV光刻機。由於設備太過精密，震動，或者溫濕度劇烈變化，都有可能影響它的加工精度，這才在車輛上加裝了防震措施，又在貨櫃上裝了空調，以保障內部環境恆溫恆濕度。」
「什麼，我沒聽錯吧，你竟然搞來了一台EUV光刻機！這怎麼可能呢，連國際光刻機巨頭阿斯麥都只有測試樣機，沒有量產上市的東西，你小子又是怎麼搞來的？」喬瑞達說出來的信息太過于震撼，引的坐在后座的周萬達驚呼不已，當教授，做科研培養出來的沉穩氣質，蕩然無存。
「嘿嘿嘿，對不住了周老師，這個EUV光刻機的來源就真的不能對外說，否則將供貨渠道暴露出來，下次就再也拿不到貨了。你也是搞晶片的，應該清楚，這些高端光刻機，對咱們華夏大陸都是禁運的。」其實這台EUV光刻機是喬瑞達通過金手指複製出來的，來源本就見不得光，這會兒被周萬達問起來，只能編出一個神秘的供貨商來，應付一二了。
「原來是這樣，要說你小子也真是厲害，還在測試階段的新設備，都能搞出來。渠道的事兒，我就不問了，你看能不能通過你的關係，給北大晶片實驗室也搞一台EUV光刻機，要多少錢你隨便開。」周萬達搓搓手，一臉期待的看向正在開車的喬瑞達。
作為一名晶片製程工藝研究員，周萬達太清楚EUV光刻機的威力了。當前市面上主流的浸潤式DUV光刻機，常規加工精度是28nm。即使使用套刻、多次曝光等工藝，DUV光刻機的加工精度最多提升到7nm，而且會存在步驟繁瑣、加工難度大、良品率低等諸多的缺點。如果有了EUV光刻機，那就完全不同了，EUV由於採用了極紫外光對矽晶圓進行加工，可以把加工精度做到很小，起步就是7nm，具有加工速度快、良品率高、等優點，生產出來的晶片，性能強大，發熱低。後續採用一些其他工藝，還能加工出5nm、3nm，甚至2nm的晶片，絕對是未來晶片加工的發展方向。
「咦，周老師，你又沒見到EUV光刻機的實物，也沒進行過任何測試，為何會如此看好這台光刻機，不惜重金也要買一台？」這個型號的EUV光刻機的性能，喬瑞達在次元空間內做過測試，這才知道它的厲害。周萬達又沒做過測試，甚至連這台EUV光刻機的樣子都沒見過，就如此果斷的要花錢求購，當真奇怪。
周萬達嘿嘿一笑，說出了一些喬瑞達不知道的內幕消息，「嘿嘿，這不是見獵心喜嗎，EUV光刻機，多麼高大上的設備，全世界，只有阿斯麥公司能生產，而且只有幾台樣機，尚未量產交付。如果咱們北大的晶片實驗室能夠搞到一台，即使不能用於晶片的量產，只用來搞一下尖端晶片的流片測試，和7nm以下晶片加工工藝的摸索，也是賺大了。
咱們北大晶片實驗室內，那套晶片生產線你也見過，都是五年前的老傢伙了，即使我們做了不少的改造升級，生產40nm晶片，已經是它的極限了，在也沒有什麼潛力可挖。而且存在著生產成本過高，合格率低下等諸多缺陷。早在去年的時候，我和老師，參加了你們瑞達電子廠晶片生產線的安裝和調試工作，當時看到你們那套浸潤式DUV光刻機、和配套生產線，我們就羨慕的不行。回到學校之後，我老師就打報告上去，申請經費，對晶片實驗室的生產線，進行更新換代。
奈何此次設備升級，需要的費用太大，一些核心的設備還不太好買，那份申請報告在上級機構那裡卡了一年，最近才批覆下來。本來這次跟你一起來德誠市，就想著拜託你幫忙採購幾台DUV光刻機和刻蝕設備，沒成想更先進的EUV光刻機你小子都搞得來。有EUV在，誰還要落後的DUV呀，你說是不是。」
「原來如此，幫你搞一台EUV光刻機也不是不行，不過這東西的價格可不便宜，你要做好準備，我也不知道你們實驗室有沒有這麼多錢。」喬瑞達沉吟一番，最終還是給出了一個肯定的答覆。國內做晶片設計的公司和科研院所很少，搞先進晶片製程工藝研發的單位就更少了。隨著瑞芯晶圓廠的建立，對晶片合格率的提升，和對先進位程工藝的追逐，就不會停止。到時候和北大晶片實驗室的合作會很多，同時北大也能為瑞芯晶圓廠提供大量晶片領域的高端人才。現在冒著金手指曝光的危險，賣給他們一台EUV光刻機，也算是提前投資，支持母校了。
「國際上最先進的DUV光刻機售價就要五六個億，難道EUV光刻機的售價更貴？」說到價格，周萬達的心裡就真的沒底了，畢竟上面批下來的資金有限，他也不知能能不能買的起EUV光刻機。
「你這話說的，多新鮮吶，生產28nm晶片的DUV光刻機的售價都要6萬左右。可以生產7nm晶片的EUV光刻機，賣的比DUV光刻機價格更貴一些，不是很正常嗎。我也不瞞你，後面貨車上這台EUV光刻機，是我花費10億買回來的，這還沒算上渠道費用和運費。」(本章完)