第641章 保密通信計算機

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  集成電路的研究,也並沒有出現太大問題。

  畢竟已經有了規劃,按照規劃往下走,一步步進行研究就可以,只不過光刻機的研究並不是那麼順利。

  光刻機的研究已經定下了基調。

  要研究接觸式光刻機,除了觸式光刻機外,在這年代還有接近式光刻機。

  接觸式光刻機它的優點就是結構相對簡單,成本較低,並且因為掩模版和矽片緊密接觸,所以光的衍射效應較小,這樣就能得到相對較高的解析度。

  但也有缺點。

  那就是掩模版與矽片表面的光刻膠會有直接接觸,所以這就容易導致相互污染和磨損,讓掩模版使用壽命大幅減少,必須要頻繁更換。

  接近式光刻機就不一樣了。

  它的研究出來的原因,就是因為解決接觸式光刻機掩模版易損壞的問題,所以才有了接近式光刻機。

  這樣就能夠提高掩模版的使用壽命,以及良品率。

  但也有缺點,那就是容易導致系統的解析度下降,不如接近式光刻機接觸式光刻機。

  可以說這兩種光刻機,都是這個年代的主流,不過相比起來還是接觸式光刻機更容易製造。

  雖然接近式光刻機與矽片表,只有2.5-25微米的距離,但就是這麼微小的距離,增加了機器製造的難度。

  而像是後世的投影式光刻機、掃描投影式光刻機、步進重複式光刻機、步進掃描式光刻機 、浸沒式光刻機、極紫外光刻機。

  這些雖然更好用,但在這年代根本就製造不出來。

  先不說後面幾款光刻機,就算是投影式光刻機、掃描投影式光刻機,這兩款計算機,都要等到70年代初才會被研究出來。

  並且研究出來的難度,比起接觸式光刻機難度不止增加了一倍。

  李梟也不奢望其它,能在1970年代以前,研究出投影式光刻機就可以,這也就意味著追上了國際水平,不至於被落下。

  「小梟你什麼時候回來的?」,看到李梟,羅教授很高興道。

  「昨天剛到,羅教授,光刻機研究的怎麼樣了?」,在羅教授的辦公室中,坐下後李梟問道。

  「不太理想,中間遇上了問題,一直沒找到解決的辦法。」,提到正事,羅教授也是皺起眉道。

  聞言李梟心裡也跟著沉了沉,能讓羅教授這般犯難的,絕不是小麻煩,也就道:「都有什麼問題?」。

  「那問題就太多了,我都有些頭痛。」,羅教授嘆了口氣,伸手從抽屜里拿出兩片透明的石英掩模,遞給了李梟。

  李梟接過去看了看,就看到上面那許多細密的劃痕,羅教授也是這個時候開口道:「你先看看這個,這是上周剛做的掩模,才用了三次,表面就劃成這樣,現在用的掩模基板太薄,壓的時候只要稍微沒控制好,要麼掩模裂了,要麼晶圓表面被刮出印子,後續刻蝕出來的電路全是斷口,良率連三成也達不到。」。

  「有沒有換厚一點的試試。」,李梟也是看著石英掩模,想了想道。

  「試過了,基板加厚到2.5毫米,壓力調到最低,但這樣一來掩模和晶圓貼不緊,中間容易留氣泡,曝光的時候氣泡處的圖形就會變形,線寬偏差能到2微米,差的太多根本就沒辦法用。」 。

  說完羅教授又嘆了口氣道:「這還只是第一個問題,還有就是對準的事兒,這更讓人鬧心,我們只能靠人眼通過顯微鏡手動對準,但沒有人能夠一天全部精神力集中,

  稍一分心套刻精度增大,有的偏差直接能飆到3微米,這也沒有辦法,人的精力有限,不可能每時每刻都保證高精度操作。

  而最讓人頭痛的還是咱們的環境問題,不要說外面,就說實驗室內,現在我們都無法保證千級潔淨,空氣中的灰塵落到掩模上,曝光後就是一個個黑點,有時候一批晶圓里,一半都因為灰塵報廢了,

  我們也想過辦法,想著在操作台上加了個簡易防塵罩,但結果通風,光刻膠固化速度變慢,曝光時間得延長兩倍,效率低得嚇人。」。

  聽著羅教授講的這些,這一講就是八九個問題,李梟也是皺起了眉,這些問題之前他也查過,但很多都沒有太好的解決辦法。

  像是環境控制的問題,接觸式光刻機要求的環境,在這個年代來講,是比較苛刻的。

  因為光刻的過程對于振動、溫度波動甚至空氣潔淨度都非常敏感,這也是為什麼要求在千級潔淨的環境中製造。


  但要知道想要達到千級潔淨可沒那麼簡單,所謂的千級潔淨,要求的是每立方米直徑≥0.5 μm 的懸浮顆粒不超過約35,200個。

  這就需要通過控制空氣中微粒、溫度、濕度、壓力等參數,來滿足特定潔淨需求。

  而這種技術國內現在根本就製造不出來,至少也要等到幾年後,才建立起千級潔淨室,來進行軍工、電子等的研究。

  這個目前來講沒有太好的解決辦法,只能夠盡力去克服。

  還有機械對準的問題也是一樣,必須要精確控制掩模版與晶圓的平行度和接觸壓力,這樣才能夠讓曝光區域內接觸均勻,導致圖形失真或局部不清晰。

  否則要是壓力不均或存在微小傾斜的話,都會導致出現問題。

  但現在機械加工精度、自動化控制水平本來就有限,本就難以進行高精度的對準和均勻的接觸壓力。

  這個也沒有太好的解決辦法, 畢竟工業水平就擺在這裡,想要工業水平提升,那更是難上加難。

  只能依靠人員的經驗和手工調試。

  可以說這一次光刻機的研究,直接挑戰了精密機械加工、光學設計與製造、精密化學、自動控制以及超淨環境構建等多個領域。

  這些領域和機械設計不一樣,機械設計的話,只要設計出來,加工精度足夠,在不涉及到電子元器件的情況下,就能夠給製造出來。

  還有像是光刻膠技術,光刻膠的配製、曝光靈敏度均勻塗覆,以及顯影效果,這些都直接關係到圖形轉移的質量,但國內現在對於這一項技術,還處於起步階段。

  是靠著量大的實驗慢慢摸索,堆出來的成果,這些也是需要慢慢的研究,他也插不上手。

  想到這些李梟也是跟著嘆了口氣道:「這些只能是慢慢的來了,急不得。」。

  「也只有這樣了。」,羅教授也是跟著道,感嘆完了這一句,羅教授就又道:「對了,上個月上面要求我們設計一款,保密通信與數據加密的計算機,不過我們這邊一直沒多少頭緒,你有沒有什麼想法?」。

  「哦!保密通信。」,聞言李梟心道,也是驚訝了一下,畢竟前世國內也專門生產過類似的計算機,不過那要等到70年代去了。

  但想想這一世計算機的研究提前了這麼多年,李梟也就不再奇怪了。

  而對於那款計算機李梟也看過一些資料,那款計算機前世是1970年至1974年期間,由電訊工程學院,為了國防重點工程研製專門研究的。

  被稱為930保密通信專用計算機。

  它的主要作用就是用於戰術保密通訊,就比如數字電話和語言的處理,可以說它是緊緊圍繞國防保密通信,來進行研究的。

  為此甚至加入了專用的硬體加密模塊,這些模塊與CPU緊密耦合,通過專用總線連接以確保加密解密運算的高速和安全。

  這還只是一部分,其中還加入了保密通信協議和加密算法,把這些緊密聯合起來。

  這才形成了一個高度協同、穩定可靠的整機系統。

  對於這台計算機,李梟並沒想加入進去,不過羅教授一些提示還是沒問題的。

  聽著李梟的講述,羅教授最開始還只是點頭,表示認可,和聽著聽著,就拿起筆,開始在紙上記錄了起來。

  他沒有想到只是隨口給李梟這麼一說,李梟竟然就想到了這麼多點子。

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