第61章 PCT專員

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  光源系統!

  漢斯的心臟像是被一隻手狠狠攥住!

  他雖然無法看清全貌,但那暴露出的部分結構他還是認出了一些。

  可雖然認出來了,卻還是陌生。

  獨特的能量耦合接口。

  非傳統的冷卻迴路設計。

  以及某種他從未在任何文獻或產品中見過的光束整形組件。

  每一處都散發著一種超越現有科技水平,令人心悸的氣息!

  其複雜程度和集成度,遠非ASML引以為傲的EUV光源可比!

  這……這是什麼?!

  就在他震驚得幾乎無法思考時,他的目光掃到了站在那台改裝光刻機控制台前的一群人。

  魏天華和陳進一果然在這裡!

  他們身邊還站著一位神情專注、頭髮有些凌亂的中年工程師(嚴正行)。

  但讓漢斯瞳孔驟然收縮的,是站在魏天華他們對面的那個人!

  那人穿著一身筆挺的西裝,氣質儒雅,手裡拿著一個平板電腦,正指著屏幕上的數據與魏天華等人交流。

  漢斯認得這張臉!

  他是國際專利合作條約(PCT)組織的高級專利審查官,戴維·諾頓!

  一個專門負責審查全球範圍內最尖端,最具商業潛力技術專利的權威人物!

  PCT的審查官?!

  他為什麼會在這裡?!

  在這個被軍方嚴密守護的核心實驗室里?!

  一股冰冷的寒意瞬間從漢斯的腳底竄上頭頂!

  他猛地意識到,魏天華剛才那個神秘電話里的「諾頓先生」是誰!

  那個「令人驚嘆」、「價值極高」的專利審查……

  指的莫非就是眼前這台古怪光刻機里,那個前所未見的光源系統!

  漢斯的心臟狂跳,幾乎要衝破胸膛。

  他貪婪地透過那道寶貴的觀察窗縫隙向內窺視,目光死死鎖定在超淨間內部。

  那台被改裝的SSA600/20光刻機並未停止工作!

  它正發出低沉而穩定的嗡鳴,機械臂流暢地運送著晶圓。

  而在光刻機周圍,除了海微的工程師,還有好幾位佩戴著PCT徽章的工作人員!

  他們手持平板或專業記錄設備,圍著那台暴露了部分內部結構的光刻機,臉上無一例外地寫滿了驚嘆和難以置信!

  他們正與海微的工程師們熱烈地交流著,手指不斷指向那奇特的光源結構和機器運行的實時數據。

  神情激動,如同發現了新大陸的探險家。

  PCT專員!

  不止一個!

  他們在現場審查!

  就在這機器運行時!

  漢斯感覺自己快要窒息了。

  他必須看得更清楚!

  特別是控制台的數據!

  那才是關鍵!

  他像著了魔一樣,沿著觀察窗的牆壁急切地尋找著更好的角度。

  突然,他發現側前方一個用於設備維護的狹窄通道似乎無人看守。

  盡頭似乎有一個更靠近中心控制台的觀察口!

  機會!

  他顧不得許多,像做賊一樣,弓著身子,快速地溜進了那條通道。

  幸運的是,通道盡頭果然有一個稍大的觀察窗口,角度正對著中心控制台!

  漢斯幾乎是撲了上去,整張狂熱的臉緊緊貼在冰冷的觀察窗玻璃上。

  眼睛瞪得溜圓,死死盯住控制台上方那塊巨大的主屏幕!

  屏幕上,瀑布般的數據流飛速刷新。

  漢斯的目光像雷達一樣精準地掃過那些重點參數:

  光源波長:13.42 nm (穩定)

  光源輸出功率:XXX kW

  光源轉化效率:31.8%(實時)

  能量密度:XXX mJ/cm²


  穩定性指標:< 0.005%(波動)

  曝光晶圓累計:第XXX片(持續運行)

  實測線寬:7.3 nm (套刻精度< 2.0 nm)

  「我的上帝啊!」

  一聲無法抑制,充滿極度震驚和難以置信的驚呼。

  如同被掐住脖子的鴨子發出的嘶鳴,猛地從漢斯喉嚨里爆發出來!

  他完全忘記了身處何地!

  他用力揉搓著自己的眼睛,仿佛屏幕上的數據是惡魔製造的幻象!

  他再看!

  再看!

  那恐怖的轉化效率!

  那穩定的13.5納米以下波長!

  那足以支撐7納米量產的實測線寬!

  這些數據每一項都像一記重錘,狠狠砸在他作為ASML技術總監的驕傲和認知上!

  這怎麼可能?!

  這完全顛覆了現有光刻技術的物理和工程極限!

  這根本就不是他們ASML的EUV技術路線!

  這是……這是全新的、劃時代的、足以徹底埋葬現有光刻體系的怪物!

  他像一尊石化的雕像,整張臉死死貼在玻璃上。

  眼神呆滯,嘴巴無意識地張開,大腦一片空白……

  只剩下屏幕上那冰冷而恐怖的數據在瘋狂旋轉!

  他親眼看著那台機器流暢地運作,看著那束他無法理解的光源系統穩定地輸出著毀滅性的能量!

  他仿佛看到了ASML帝國大廈的根基,正在這遙遠東方的實驗室里,被這台簡陋外殼包裹的怪物,一寸寸地瓦解!

  這聲失態的驚呼,在安靜的核心區域如同平地驚雷!

  超淨間內,所有交談瞬間停止!

  魏天華、陳進一、嚴正行、戴維·諾頓以及所有PCT專員、工程師……

  所有人的目光如同探照燈般,齊刷刷地射向了漢斯藏身的那個觀察窗口!

  糟了!

  當漢斯意識到麻煩時,已經無可挽回。

  他看到魏天華臉上的血色唰地一下褪得乾乾淨淨,變得慘白!

  對方眼中爆發出毫不掩飾的惶恐與驚怒!

  那眼神,再沒有一絲一毫先前在機房時的謙卑或虛心。

  那是被觸及核心逆鱗的狂暴!

  「誰?!警報!拉響最高警報!!」

  魏天華幾乎是嘶吼出聲。

  令人心悸的最高級別入侵警報瞬間響徹整個核心區域!

  走廊里紅光瘋狂閃爍!

  沉重且密集的腳步聲如同戰鼓般從四面八方傳來!

  是那些全副武裝的安保人員!

  「快!保護現場!封鎖所有數據!」

  魏天華對著身邊的工程師和PCT專員大吼。

  隨後和陳進一、嚴正行以及戴維·諾頓一起,以最快速度沖向觀察窗所在的位置!

  漢斯被這突如其來的變故和刺耳的警報嚇得魂飛魄散!

  他猛地從震驚中回過神來,下意識地想後退逃離,但雙腳卻像灌了鉛。

  他看到魏天華等人沖了出來,臉上帶著前所未有的可怕怒容。

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