第34章 不搶就換
陳進一想到張雲似乎並非技術工程師的身份，還是耐心的解釋了：
「這台SSA600/20採用的是193nm氟化氬深紫外光源。
它的曝光波長達到了28納米，採用沉浸式光刻技術。
配合我們自研的雙工作檯系統，每小時能完成120片晶圓的曝光作業，套刻精度控制在3納米以內。
它的光源系統用了我們自己研發的準分子雷射器，穩定性比進口設備提升了15%。
而且重點零部件國產化率超過80%。
當然，和國際頂尖的5納米光刻機比，還有差距。
但這已經是我們目前能拿出的最好成果了。
目前，我們還在集中攻克7納米製程的量產問題。」
陳進一的話有些無奈，龍國的半導體行業，尤其是光刻機技術還是太落後了些。
誰都知道半導體領域想要突破，核心中的核心就是光刻機。
如今龍國大部分高端晶片，都需要依賴進口生產。
而且存在技術專利的問題，每年都要花上一大筆授權費用。
眼前這台機子已經是好幾年前的產物了，光是7納米級別的生產就已經卡了他們許多年。
張雲聽完後，緊接著問道：
「它在七納米以下的製程上有什麼問題嗎？」
陳進一沒想到他會直接問出這個問題，愣了一下才回答：
「問題還不少，主要是在多重曝光的疊加誤差上。
DUV的波長是193nm，從根本上限制了解析度的理論上限。
目前28納米波長要實現7納米製程，需要進行4次曝光。
但每次曝光的定位誤差會累積，目前最多只能穩定在9納米左右，離量產要求的7納米還有距離。」
嚴正行聽到這裡，嘆了口氣，心裡搖了搖頭。
這就是他當初為什麼離開龍國的原因了。
和世界頂尖的光刻機相差數代的技術，要怎麼靠努力去追趕？
但靠張雲可以呀！
張雲等人此次前來的目的，自然是為了解決晶片生產問題，使其能夠在戰備狀態下提供應有的支持。
不過張雲還沒有天真到，認為能花幾個月時間就造出一台超越EUV光刻機的東西。
雖然張雲的腦中確實有全套光刻機的生產技術。
但還是那個問題，技術消化也需要時間。
即使擁有全套 EUV技術圖紙和原理知識，並得到國家最高權力的全力支持。
想在兩、三個月內從零打造出一台可用的EUV光刻機，仍然是近乎不可能完成的任務。
原因在於EUV光刻機的製造不僅是技術問題，也是極端精密製造，全球頂級供應鏈整合和複雜系統工程的巔峰體現。
老愛曾經說過，邏輯只能讓你從a到b，但想像力可以帶你到任何地方。
三個月，你就想走在世界前列，這個想像力需要帶著物理課本一起飛。
那真不如去搶算了。
其實原本張雲提出的打算是，讓國家乾脆派一支秘密部隊搶了ASML，直接解決所有問題！
這家破公司可是一台EUV都沒賣給咱們。
那天他還因為這件事情，和邱將軍聊了很長時間。
邱老爺子甚至差一點就要被張雲說服了。
畢竟等到末世降臨，誰還管什麼仁義道德。
不過最終方案沒有達成，龍國還是太講武德了些。
那怎麼辦呢？
張雲很快提出了B方案，高效，快捷，而且合法！
雖然是不搶了，但我們可以換呀。
張雲提出的第二個方案，其實邱將軍也是萬分不情願。
甚至想要趕緊讓人限制張雲的行動，千萬不能讓他跟海外有所聯絡。
這個方案就是，張雲打算將更先進的光刻機光源系統賣給ASML公司，用以購買實體光刻機全套！
對於張雲來說，他最寶貴也是最不值錢的，便是腦海中那萬千的先進知識。
能夠拿出一點，來換取實質性的物品對他來說是非常划算的。
因為他們現在最缺的不是知識，而是時間！
在參觀的差不多了之後，眾人又回到了會客廳。
張雲衝著嚴正行使了個眼色，對方心領神會，說道：
「魏總，陳工，接下來我們要開展的項目，需要貴公司全力配合。」
「當然沒問題，您儘管說。」
魏天華滿臉笑意。
「簡單說，就是以嚴某的名義，在海微的技術基礎上，研發一套全新的光刻機光源系統。」
話音剛落，陳勁剛已從公文包中取出幾份文件，推到魏天華面前：
「這是保密協議，涉及國家最高級別的技術機密。」
「簽署之後，海微的中心實驗室將由我們全權接管。」
「原有科研團隊可保留輔助崗位，但重點研發區域僅限指定人員進入。」
魏天華拿起協議，仔細看了看，上面好幾個公章都不簡單，心中突然一緊。
他原以為只是引進技術專家和研發資金，最多是成立個專項課題組。
沒想到會上升到「全權接管實驗室」的地步。
這已經不是合作，更像是一場由國家主導的神密研究。
「這……陳科長。」
魏天華咽了口唾沫，說：
「中心實驗室是我們海微的命根子，裡面還有好幾台正在調試的28納米光刻機樣機……」
「請問這接管的範圍是？」
陳勁剛解釋：
「協議里寫得很清楚，從簽署這一刻起，實驗室進入最高保密狀態！」
「所有進出人員需經過雙重核驗，通訊設備一律不准帶入。」
「內部數據只許在物理隔離的區域網內流轉。」
「實驗室所有設備、原材料、甚至供電系統都將納入統一調度。」
「魏總放心，國家會按市場價對占用的資源進行補償。」
「項目結束後，實驗室原貌歸還，期間產生的所有技術專利，海微可共享使用權。」
這時，一直沉默的陳進一忍不住開口：
「嚴博士，您剛才說的新型光源系統……到底是什麼技術路線？」
DUV的極限陳進一可太清楚了，難道是……EUV？
可他們連最基礎的高能雷射等離子體光源都沒摸透啊？
嚴正行看向張雲，見對方微微點頭，才緩緩說道：
「比EUV更先進，具體原理現在沒法多說，但可以透個底。
它的波長能穩定在13.5納米以下，而且不需要像現在的EUV那樣依賴極端複雜的反射鏡組。」
「這台SSA600/20採用的是193nm氟化氬深紫外光源。
它的曝光波長達到了28納米，採用沉浸式光刻技術。
配合我們自研的雙工作檯系統，每小時能完成120片晶圓的曝光作業，套刻精度控制在3納米以內。
它的光源系統用了我們自己研發的準分子雷射器，穩定性比進口設備提升了15%。
而且重點零部件國產化率超過80%。
當然，和國際頂尖的5納米光刻機比，還有差距。
但這已經是我們目前能拿出的最好成果了。
目前，我們還在集中攻克7納米製程的量產問題。」
陳進一的話有些無奈，龍國的半導體行業，尤其是光刻機技術還是太落後了些。
誰都知道半導體領域想要突破，核心中的核心就是光刻機。
如今龍國大部分高端晶片，都需要依賴進口生產。
而且存在技術專利的問題，每年都要花上一大筆授權費用。
眼前這台機子已經是好幾年前的產物了，光是7納米級別的生產就已經卡了他們許多年。
張雲聽完後，緊接著問道：
「它在七納米以下的製程上有什麼問題嗎？」
陳進一沒想到他會直接問出這個問題，愣了一下才回答：
「問題還不少，主要是在多重曝光的疊加誤差上。
DUV的波長是193nm，從根本上限制了解析度的理論上限。
目前28納米波長要實現7納米製程，需要進行4次曝光。
但每次曝光的定位誤差會累積，目前最多只能穩定在9納米左右，離量產要求的7納米還有距離。」
嚴正行聽到這裡，嘆了口氣，心裡搖了搖頭。
這就是他當初為什麼離開龍國的原因了。
和世界頂尖的光刻機相差數代的技術，要怎麼靠努力去追趕？
但靠張雲可以呀！
張雲等人此次前來的目的，自然是為了解決晶片生產問題，使其能夠在戰備狀態下提供應有的支持。
不過張雲還沒有天真到，認為能花幾個月時間就造出一台超越EUV光刻機的東西。
雖然張雲的腦中確實有全套光刻機的生產技術。
但還是那個問題，技術消化也需要時間。
即使擁有全套 EUV技術圖紙和原理知識，並得到國家最高權力的全力支持。
想在兩、三個月內從零打造出一台可用的EUV光刻機，仍然是近乎不可能完成的任務。
原因在於EUV光刻機的製造不僅是技術問題，也是極端精密製造，全球頂級供應鏈整合和複雜系統工程的巔峰體現。
老愛曾經說過，邏輯只能讓你從a到b，但想像力可以帶你到任何地方。
三個月，你就想走在世界前列，這個想像力需要帶著物理課本一起飛。
那真不如去搶算了。
其實原本張雲提出的打算是，讓國家乾脆派一支秘密部隊搶了ASML，直接解決所有問題！
這家破公司可是一台EUV都沒賣給咱們。
那天他還因為這件事情，和邱將軍聊了很長時間。
邱老爺子甚至差一點就要被張雲說服了。
畢竟等到末世降臨，誰還管什麼仁義道德。
不過最終方案沒有達成，龍國還是太講武德了些。
那怎麼辦呢？
張雲很快提出了B方案，高效，快捷，而且合法！
雖然是不搶了，但我們可以換呀。
張雲提出的第二個方案，其實邱將軍也是萬分不情願。
甚至想要趕緊讓人限制張雲的行動，千萬不能讓他跟海外有所聯絡。
這個方案就是，張雲打算將更先進的光刻機光源系統賣給ASML公司，用以購買實體光刻機全套！
對於張雲來說，他最寶貴也是最不值錢的，便是腦海中那萬千的先進知識。
能夠拿出一點，來換取實質性的物品對他來說是非常划算的。
因為他們現在最缺的不是知識，而是時間！
在參觀的差不多了之後，眾人又回到了會客廳。
張雲衝著嚴正行使了個眼色，對方心領神會，說道：
「魏總，陳工，接下來我們要開展的項目，需要貴公司全力配合。」
「當然沒問題，您儘管說。」
魏天華滿臉笑意。
「簡單說，就是以嚴某的名義，在海微的技術基礎上，研發一套全新的光刻機光源系統。」
話音剛落，陳勁剛已從公文包中取出幾份文件，推到魏天華面前：
「這是保密協議，涉及國家最高級別的技術機密。」
「簽署之後，海微的中心實驗室將由我們全權接管。」
「原有科研團隊可保留輔助崗位，但重點研發區域僅限指定人員進入。」
魏天華拿起協議，仔細看了看，上面好幾個公章都不簡單，心中突然一緊。
他原以為只是引進技術專家和研發資金，最多是成立個專項課題組。
沒想到會上升到「全權接管實驗室」的地步。
這已經不是合作，更像是一場由國家主導的神密研究。
「這……陳科長。」
魏天華咽了口唾沫，說：
「中心實驗室是我們海微的命根子，裡面還有好幾台正在調試的28納米光刻機樣機……」
「請問這接管的範圍是？」
陳勁剛解釋：
「協議里寫得很清楚，從簽署這一刻起，實驗室進入最高保密狀態！」
「所有進出人員需經過雙重核驗，通訊設備一律不准帶入。」
「內部數據只許在物理隔離的區域網內流轉。」
「實驗室所有設備、原材料、甚至供電系統都將納入統一調度。」
「魏總放心，國家會按市場價對占用的資源進行補償。」
「項目結束後，實驗室原貌歸還，期間產生的所有技術專利，海微可共享使用權。」
這時，一直沉默的陳進一忍不住開口：
「嚴博士，您剛才說的新型光源系統……到底是什麼技術路線？」
DUV的極限陳進一可太清楚了，難道是……EUV？
可他們連最基礎的高能雷射等離子體光源都沒摸透啊？
嚴正行看向張雲，見對方微微點頭，才緩緩說道：
「比EUV更先進，具體原理現在沒法多說，但可以透個底。
它的波長能穩定在13.5納米以下，而且不需要像現在的EUV那樣依賴極端複雜的反射鏡組。」