第245章 你難道連這個也懂
第245章 你難道連這個也懂
「繼續講吧。」
徐銘點點頭重新看向對方，示意往下接著報告。
這時旁邊的余高遠，同樣沒有耽擱，迫不及待也跟在後面附和上一句。
「對。」
「快說下其他測試項目情況？」
迎上現場所有人目光的實驗室工作人員，因緊張下意識咽了口唾沫後，隨即接著念出手中報告後面的內容。
「線條邊緣粗糙度出現異常，LER的測量值，普遍比璇璣系統預測高出30%。」
隨著這句話講出，房間內的氛圍頓時一變。
原本還浮現在臉上的笑容，瞬間便消失不見，就像是大冬天突然被澆了盆冷水。
沒想到首次全鏈路功能驗證流片，還是不可避免的出現了問題。
而神情變化最大的，則要屬化學研究所人員，尤其是周啟深院士。
旁邊華天科技公司工程師，也微微有些皺眉。
從剛才的測試結果來看，國產逐光極紫外光刻機，主體研發成功沒有問題，在線條邊緣粗糙度上，出現這麼大數值的偏差，原因大概率在光刻膠或者算法工具，說明仍舊存在沒有發現的錯誤。
正當大家陷入沉思時，只見周啟深一個跨步，來到那位實驗室人員跟前，迅速接過數據報告認真查看起來。
視線約摸移動了幾行內容，口中不由得低喃出聲。
「線條邊緣在顯微鏡下，呈現出顫抖的毛邊形態，並非預測中的光滑刀刃。」
「我們的光刻膠剛完成技術升級————」
「不應出現這種情況才對？」
話音還未完全落下，華天科技董事長孫慶豐，幾乎下意識脫口接上一句。
「璇璣系統是由徐總師親自帶領大家開發，預測的數值絕對能夠保證精度。」
「沒錯。」蘇振豪聞言也點了點頭。
他全程見證了，徐銘親自參與璇璣系統開發，深知其核心算法和模型的技術程度，是絕無例外的遠遠領先於海外三大EDA公司產品。
賀鵬濤與丁順安等微電子裝備這邊，按理說應該會逐光極紫外光刻機的成功高興，但突然出現這種情況，心裡湧現出幾分擔憂。畢竟無論光刻機還是光刻膠，亦或者璇璣系統軟體，都是為了製造高端晶片服務，任何環節出現問題所帶來的結果一樣。
那就是生產線無法啟動。
至於院長余高遠，和其他領導，因未具體參加項目。
面對稍專業的內容，無法做出判斷。
只得把目光投向，身為總設計師的徐銘。
將大家的反應看在眼裡，徐銘這時卻並不意外，相反早就做出了類似情況的措施。
不管怎麼說，這都是首次進行全鏈路流片驗證，中間涉及到的因素實在太多太多，縱使發生狀況也屬於很正常的一件事情。
要知道在極紫外光刻機領域，國內可沒有什麼流片的具體經驗。
在這件事上，還是要承認海外優勢的。
念頭停留在這裡，他目光在眾人身上掃過，接下周院士遞來的報告，垂眼快速瀏覽完後，依舊無比鎮定的講出自己的相關判斷。
「可能是工藝波動，或者測量誤差，先等電性測試結果出來吧。」
「結果預計多久？」後邊這句是對實驗室人員說的。
「報告徐總師，電性測試也在進行中，下午應該就應能有詳細數據出來。」實驗室工作人員連忙沉聲回答。
「那好。」
「大家就再耐心等等吧。」徐銘收回目光看向大家說。
眼看後續方向明確下來，余高遠也不再沉默，主動接過話茬幫助大家調整好心態。
「為了研發出，百分之國產化的晶片製造產業鏈，咱們所有人都已經等了很多年。」
「哪還會差這點時間。」
「況且咱們還有將近一年時間，肯定來得及。」
儘管他很清楚，大家都肩負著很大壓力，無比希望能在阿斯麥新產品正式發布前，推出國產極紫外光刻機，但越是到這個時候越是要穩住心態。
確保產品技術的絕對成熟。
而最關鍵的一點，是他對徐銘的信心。
有著余高遠調節氛圍，待實驗室工作人員，急忙離開去盯電性測試時，房間內也再次恢復安靜，誰都沒有率先開口打破僵局進行交流。
不過可以確定一點，周啟深以及化學研究所，大部分人臉上神情都肉眼可見的緊張。
仿佛在等待最終的宣判書。
在這種氛圍下，中午大家甚至都沒捨得，下樓去外麵食堂吃飯。
直接訂了些盒飯送到房間，邊吃邊等結果。
時間一分一秒過去，當日頭走過正午，逐漸向西面偏移快到三點的時候。
萬眾期待下，房間的門終於再次被敲響。
這回不用徐銘開口，便有人一把拉開房門，將人拽進來的同時迫切詢問。
「怎麼樣？」
「數據結果出來了嗎？」
此話一出，也瞬間吸引現場所有人的目光。
「報告在這裡。」實驗室工作人員，點點頭主動走過去把文件遞到徐銘手中。
徐銘接下打量上去，約摸過去幾分鐘時間，方合上報告轉遞給身旁的其他人翻閱。
「你們也看看吧。」
口中話音前腳剛落下，緊跟在後面又詳細分析。
「電晶體性能未能達到預期，開關速度比璇璣系統預測值慢了15%左右，且波動範圍也比較大。」
「加上漏電流也比預測值高出一個量級，這會嚴重影響晶片的功耗出現失效「」
O
根據這幾項測試的結果看，實際流片數據，根本達不到璇璣系統的數字流片，這樣的良品率，可沒法用於商業生產線的使用。
必須找到問題將其解決。
很快。
伴隨大家都看完報告，人群中的蘇振豪率先開口，依舊堅持自己的判斷。
「璇璣系統的模型算法，經過了無數次驗證，預測數值是不可能出現問題的。」
眼看眾人要針對此事召開討論時，只聽徐銘再次開口拍板為情況做出決斷，顯然通過這些數據報告，已然成功找到了問題的真正所在。
「問題不在於我們的設計軟體，也不在逐光極紫外光刻機的光學投影上，如果我的判斷沒有錯，應該是光刻膠在響應極紫外光時發生了，模型之外的化學反應暴走。」
「由光刻膠響應遲緩隨機，引起圖案邊緣隨機潰散。」
「進而破壞了電晶體的電學特徵。」
「周院研發的新一代光刻膠，雖然實現技術突破，但仍舊沒能達到逐光和璇璣的要求。」
「我們的設計軟體和光刻機，在技術上與海外分屬於不同的技術路線，要想真正發揮出最大優勢，成為世界上最先進的高端晶片生產線，必須為他們量身打造一款國產高端光刻膠。」
當徐銘的話音傳到房間每個人耳中，大家心裡也不免感到五味雜陳。
面對這樣的一個結果，不知道該高興還是嘆氣。
首次全鏈路功能驗證流片，在一定程度上，證明了逐光極紫外光刻機，和璇璣系統EDA算法工具的成功，單憑這兩項成果自然值得高興慶賀。
然卻也發現了光刻膠的問題，依舊無法實現真正的國產化高端晶片製造。
周啟深看到結果雖情緒短暫低落，但畢竟是國內化學領域的頂尖專家，他很快便調整好了自己的心態。
待目光重新浮現堅定之色時，立刻向余高遠說話。
「請院裡和領導放心，我們化學研究所，保證在一年時間內找到並解決光刻膠響應遲緩隨機。」
「不影響國產晶片製造產業鏈問世。」
然余高遠聽完這句話後，卻並沒有立刻開口表態。
反倒是把視線投向徐銘詢問道：「你是整個專項項目的總設計師，先談談你的想法和後續打算吧？」說話時臉上表情隱隱夾雜著幾分期待。
以他對徐銘的了解，既然能直接確定問題，那麼大概率已經有解決方案。
肯定要先詢問清楚。
畢竟和徐銘接觸的這段時間，他可沒少從對方那裡聽到驚喜。
沒錯。
徐銘對於光刻膠的響應遲緩隨機，確實沒有太擔心。
正常情況下，要為光刻機和軟體量身打造光刻膠，的確是件非常困難的事情O
尤其在化學合成以及實驗的時候，往往要經歷無數次的失敗後，才能找到最合適的配比技術和數值，而這個過程相對來說也比較漫長。
若放在以前時間充足的情況下，那自然可以慢慢去研發實驗。
奈何眼下留給國內的時間只剩一年。
但好在憑藉璇璣系統的強大，可以通過數學物理模型把編寫光刻膠的分子結構。
真正做到完美適配。
要知道極紫外光刻的本質，是光與物質在皮米尺度上的華麗舞蹈，而璇璣系統便是編好的舞蹈動作，光刻膠則歸屬於那個跳舞的舞者。
只要編寫出具體的分子結構，為每束極紫外光，制定它的化學反應。
再由化學合成團隊，根據結構和路徑製造光刻膠。
採用這種方法，其效率要遠遠超過傳統方案。
相信不用一年的時間，就能研發出完全適配，逐光極紫外光刻機和璇璣系統的高端光刻膠。
屆時整個晶片製造環節完成閉環，國內掌握的半導體技術也將直接領先全球。
徹底改寫現有的行業格局。
實現顛覆性變革。
思維在大腦中快速運轉下，徐銘接著不再賣關子，立刻說明詳細情況。
「關於光刻膠的問題，我們沒必要擔心。
「如果順利的話，只需要半年時間，我就有把握實現合成和量產。」
徐銘的這番話，效果絲毫不亞於一顆巨石，猛然砸進平靜的湖面，頓時進發出幾米高的浪頭，瞬間吸引了現場所有人的驚訝目光。
短暫怔了十多秒後，還是賀鵬濤最先反應過來，連忙主動向徐銘拋出自己心裡的疑問。
「徐總師。」
「你還在化學領域有過研究？」
「這個也懂嗎？」丁順安不甘示弱緊隨其後附和。
在他們看來，徐銘尚不到三十歲，能分別在數學和物理以及信息領域做出巨大成果，就已然稱得上多少年難見的頂級天才了。
要是連化學也研究過的話，那可就真是一點不給旁人留活路了。
毫不誇張的講，這一個人就相當於一個團隊。
還員天才的那種。
與此同時余高遠也有些傻眼，和賀鵬濤與丁順安一樣看向徐銘，甚至都忘記了因這個情況感到驚喜。
主要他對徐銘的了解，可比現場所有人都清楚。
明明記憶中，哪怕是暫時未解密的項目，徐銘也不曾有過化學領域的驚人水平。
總不能是這段時間新學習的？
徐銘自然也注意到了大家的反應，在把眾人的表情變化看在眼裡後，對此也是哭笑不得不知該說什麼好。
待戰術輕咳了兩聲，方重新開口詳細解釋。
「化學我確實不是很擅長，之所以這樣說，是因為藉助璇璣系統可以加快對光刻膠結構的編寫，如此和周院他們互相配合之下，我想應該能很快解決光刻膠問題。」
「原來是這樣啊。」余高遠笑著鬆了口氣。
周圍包括周啟深在內的其他院士專家，也都重新把快要跳出的心平復下去。
只覺得好受了許多。
就說嘛，像徐教授這樣的天才，能同時研究三個學科領域已經是極限了。
怎麼可能還擅長化學。
不過他們並不知道，此刻徐銘則正在想，或許可以藉助這個機會把化生學科的等級提上來，剛好如果解鎖出新詞條的話，或許能夠更輕鬆解決當下的問題瓶頸。
畢竟數學和物理以及信息學科，在提升到4級後，短時間內可沒辦法達到5級O
周啟深聽到徐銘的話，當即眼前一亮。
他正擔心化學研究所，可能無法在一年內，徹底解決高端光刻膠問題，有了徐銘這項方案幫忙，那成功的概率無疑會大大提升。
念頭停留在這裡，當即轉頭看向余高遠，請求配合徐銘研發國產高端光刻膠O
「我同意徐總師的提議，通過璇璣系統輔助，確實能夠加快對光刻膠分子結構的設計編寫。」
「接下來我們化學研究所全體成員，都會聽從徐總師的安排全力攻堅。」
「繼續講吧。」
徐銘點點頭重新看向對方，示意往下接著報告。
這時旁邊的余高遠，同樣沒有耽擱，迫不及待也跟在後面附和上一句。
「對。」
「快說下其他測試項目情況？」
迎上現場所有人目光的實驗室工作人員，因緊張下意識咽了口唾沫後，隨即接著念出手中報告後面的內容。
「線條邊緣粗糙度出現異常，LER的測量值，普遍比璇璣系統預測高出30%。」
隨著這句話講出，房間內的氛圍頓時一變。
原本還浮現在臉上的笑容，瞬間便消失不見，就像是大冬天突然被澆了盆冷水。
沒想到首次全鏈路功能驗證流片，還是不可避免的出現了問題。
而神情變化最大的，則要屬化學研究所人員，尤其是周啟深院士。
旁邊華天科技公司工程師，也微微有些皺眉。
從剛才的測試結果來看，國產逐光極紫外光刻機，主體研發成功沒有問題，在線條邊緣粗糙度上，出現這麼大數值的偏差，原因大概率在光刻膠或者算法工具，說明仍舊存在沒有發現的錯誤。
正當大家陷入沉思時，只見周啟深一個跨步，來到那位實驗室人員跟前，迅速接過數據報告認真查看起來。
視線約摸移動了幾行內容，口中不由得低喃出聲。
「線條邊緣在顯微鏡下，呈現出顫抖的毛邊形態，並非預測中的光滑刀刃。」
「我們的光刻膠剛完成技術升級————」
「不應出現這種情況才對？」
話音還未完全落下，華天科技董事長孫慶豐，幾乎下意識脫口接上一句。
「璇璣系統是由徐總師親自帶領大家開發，預測的數值絕對能夠保證精度。」
「沒錯。」蘇振豪聞言也點了點頭。
他全程見證了，徐銘親自參與璇璣系統開發，深知其核心算法和模型的技術程度，是絕無例外的遠遠領先於海外三大EDA公司產品。
賀鵬濤與丁順安等微電子裝備這邊，按理說應該會逐光極紫外光刻機的成功高興，但突然出現這種情況，心裡湧現出幾分擔憂。畢竟無論光刻機還是光刻膠，亦或者璇璣系統軟體，都是為了製造高端晶片服務，任何環節出現問題所帶來的結果一樣。
那就是生產線無法啟動。
至於院長余高遠，和其他領導，因未具體參加項目。
面對稍專業的內容，無法做出判斷。
只得把目光投向，身為總設計師的徐銘。
將大家的反應看在眼裡，徐銘這時卻並不意外，相反早就做出了類似情況的措施。
不管怎麼說，這都是首次進行全鏈路流片驗證，中間涉及到的因素實在太多太多，縱使發生狀況也屬於很正常的一件事情。
要知道在極紫外光刻機領域，國內可沒有什麼流片的具體經驗。
在這件事上，還是要承認海外優勢的。
念頭停留在這裡，他目光在眾人身上掃過，接下周院士遞來的報告，垂眼快速瀏覽完後，依舊無比鎮定的講出自己的相關判斷。
「可能是工藝波動，或者測量誤差，先等電性測試結果出來吧。」
「結果預計多久？」後邊這句是對實驗室人員說的。
「報告徐總師，電性測試也在進行中，下午應該就應能有詳細數據出來。」實驗室工作人員連忙沉聲回答。
「那好。」
「大家就再耐心等等吧。」徐銘收回目光看向大家說。
眼看後續方向明確下來，余高遠也不再沉默，主動接過話茬幫助大家調整好心態。
「為了研發出，百分之國產化的晶片製造產業鏈，咱們所有人都已經等了很多年。」
「哪還會差這點時間。」
「況且咱們還有將近一年時間，肯定來得及。」
儘管他很清楚，大家都肩負著很大壓力，無比希望能在阿斯麥新產品正式發布前，推出國產極紫外光刻機，但越是到這個時候越是要穩住心態。
確保產品技術的絕對成熟。
而最關鍵的一點，是他對徐銘的信心。
有著余高遠調節氛圍，待實驗室工作人員，急忙離開去盯電性測試時，房間內也再次恢復安靜，誰都沒有率先開口打破僵局進行交流。
不過可以確定一點，周啟深以及化學研究所，大部分人臉上神情都肉眼可見的緊張。
仿佛在等待最終的宣判書。
在這種氛圍下，中午大家甚至都沒捨得，下樓去外麵食堂吃飯。
直接訂了些盒飯送到房間，邊吃邊等結果。
時間一分一秒過去，當日頭走過正午，逐漸向西面偏移快到三點的時候。
萬眾期待下，房間的門終於再次被敲響。
這回不用徐銘開口，便有人一把拉開房門，將人拽進來的同時迫切詢問。
「怎麼樣？」
「數據結果出來了嗎？」
此話一出，也瞬間吸引現場所有人的目光。
「報告在這裡。」實驗室工作人員，點點頭主動走過去把文件遞到徐銘手中。
徐銘接下打量上去，約摸過去幾分鐘時間，方合上報告轉遞給身旁的其他人翻閱。
「你們也看看吧。」
口中話音前腳剛落下，緊跟在後面又詳細分析。
「電晶體性能未能達到預期，開關速度比璇璣系統預測值慢了15%左右，且波動範圍也比較大。」
「加上漏電流也比預測值高出一個量級，這會嚴重影響晶片的功耗出現失效「」
O
根據這幾項測試的結果看，實際流片數據，根本達不到璇璣系統的數字流片，這樣的良品率，可沒法用於商業生產線的使用。
必須找到問題將其解決。
很快。
伴隨大家都看完報告，人群中的蘇振豪率先開口，依舊堅持自己的判斷。
「璇璣系統的模型算法，經過了無數次驗證，預測數值是不可能出現問題的。」
眼看眾人要針對此事召開討論時，只聽徐銘再次開口拍板為情況做出決斷，顯然通過這些數據報告，已然成功找到了問題的真正所在。
「問題不在於我們的設計軟體，也不在逐光極紫外光刻機的光學投影上，如果我的判斷沒有錯，應該是光刻膠在響應極紫外光時發生了，模型之外的化學反應暴走。」
「由光刻膠響應遲緩隨機，引起圖案邊緣隨機潰散。」
「進而破壞了電晶體的電學特徵。」
「周院研發的新一代光刻膠，雖然實現技術突破，但仍舊沒能達到逐光和璇璣的要求。」
「我們的設計軟體和光刻機，在技術上與海外分屬於不同的技術路線，要想真正發揮出最大優勢，成為世界上最先進的高端晶片生產線，必須為他們量身打造一款國產高端光刻膠。」
當徐銘的話音傳到房間每個人耳中，大家心裡也不免感到五味雜陳。
面對這樣的一個結果，不知道該高興還是嘆氣。
首次全鏈路功能驗證流片，在一定程度上，證明了逐光極紫外光刻機，和璇璣系統EDA算法工具的成功，單憑這兩項成果自然值得高興慶賀。
然卻也發現了光刻膠的問題，依舊無法實現真正的國產化高端晶片製造。
周啟深看到結果雖情緒短暫低落，但畢竟是國內化學領域的頂尖專家，他很快便調整好了自己的心態。
待目光重新浮現堅定之色時，立刻向余高遠說話。
「請院裡和領導放心，我們化學研究所，保證在一年時間內找到並解決光刻膠響應遲緩隨機。」
「不影響國產晶片製造產業鏈問世。」
然余高遠聽完這句話後，卻並沒有立刻開口表態。
反倒是把視線投向徐銘詢問道：「你是整個專項項目的總設計師，先談談你的想法和後續打算吧？」說話時臉上表情隱隱夾雜著幾分期待。
以他對徐銘的了解，既然能直接確定問題，那麼大概率已經有解決方案。
肯定要先詢問清楚。
畢竟和徐銘接觸的這段時間，他可沒少從對方那裡聽到驚喜。
沒錯。
徐銘對於光刻膠的響應遲緩隨機，確實沒有太擔心。
正常情況下，要為光刻機和軟體量身打造光刻膠，的確是件非常困難的事情O
尤其在化學合成以及實驗的時候，往往要經歷無數次的失敗後，才能找到最合適的配比技術和數值，而這個過程相對來說也比較漫長。
若放在以前時間充足的情況下，那自然可以慢慢去研發實驗。
奈何眼下留給國內的時間只剩一年。
但好在憑藉璇璣系統的強大，可以通過數學物理模型把編寫光刻膠的分子結構。
真正做到完美適配。
要知道極紫外光刻的本質，是光與物質在皮米尺度上的華麗舞蹈，而璇璣系統便是編好的舞蹈動作，光刻膠則歸屬於那個跳舞的舞者。
只要編寫出具體的分子結構，為每束極紫外光，制定它的化學反應。
再由化學合成團隊，根據結構和路徑製造光刻膠。
採用這種方法，其效率要遠遠超過傳統方案。
相信不用一年的時間，就能研發出完全適配，逐光極紫外光刻機和璇璣系統的高端光刻膠。
屆時整個晶片製造環節完成閉環，國內掌握的半導體技術也將直接領先全球。
徹底改寫現有的行業格局。
實現顛覆性變革。
思維在大腦中快速運轉下，徐銘接著不再賣關子，立刻說明詳細情況。
「關於光刻膠的問題，我們沒必要擔心。
「如果順利的話，只需要半年時間，我就有把握實現合成和量產。」
徐銘的這番話，效果絲毫不亞於一顆巨石，猛然砸進平靜的湖面，頓時進發出幾米高的浪頭，瞬間吸引了現場所有人的驚訝目光。
短暫怔了十多秒後，還是賀鵬濤最先反應過來，連忙主動向徐銘拋出自己心裡的疑問。
「徐總師。」
「你還在化學領域有過研究？」
「這個也懂嗎？」丁順安不甘示弱緊隨其後附和。
在他們看來，徐銘尚不到三十歲，能分別在數學和物理以及信息領域做出巨大成果，就已然稱得上多少年難見的頂級天才了。
要是連化學也研究過的話，那可就真是一點不給旁人留活路了。
毫不誇張的講，這一個人就相當於一個團隊。
還員天才的那種。
與此同時余高遠也有些傻眼，和賀鵬濤與丁順安一樣看向徐銘，甚至都忘記了因這個情況感到驚喜。
主要他對徐銘的了解，可比現場所有人都清楚。
明明記憶中，哪怕是暫時未解密的項目，徐銘也不曾有過化學領域的驚人水平。
總不能是這段時間新學習的？
徐銘自然也注意到了大家的反應，在把眾人的表情變化看在眼裡後，對此也是哭笑不得不知該說什麼好。
待戰術輕咳了兩聲，方重新開口詳細解釋。
「化學我確實不是很擅長，之所以這樣說，是因為藉助璇璣系統可以加快對光刻膠結構的編寫，如此和周院他們互相配合之下，我想應該能很快解決光刻膠問題。」
「原來是這樣啊。」余高遠笑著鬆了口氣。
周圍包括周啟深在內的其他院士專家，也都重新把快要跳出的心平復下去。
只覺得好受了許多。
就說嘛，像徐教授這樣的天才，能同時研究三個學科領域已經是極限了。
怎麼可能還擅長化學。
不過他們並不知道，此刻徐銘則正在想，或許可以藉助這個機會把化生學科的等級提上來，剛好如果解鎖出新詞條的話，或許能夠更輕鬆解決當下的問題瓶頸。
畢竟數學和物理以及信息學科，在提升到4級後，短時間內可沒辦法達到5級O
周啟深聽到徐銘的話，當即眼前一亮。
他正擔心化學研究所，可能無法在一年內，徹底解決高端光刻膠問題，有了徐銘這項方案幫忙，那成功的概率無疑會大大提升。
念頭停留在這裡，當即轉頭看向余高遠，請求配合徐銘研發國產高端光刻膠O
「我同意徐總師的提議，通過璇璣系統輔助，確實能夠加快對光刻膠分子結構的設計編寫。」
「接下來我們化學研究所全體成員，都會聽從徐總師的安排全力攻堅。」