第110章 近接式光刻機，微米級微調機構！
第110章 近接式光刻機，微米級微調機構！
次日，早。
江陽醒來後，簡單的洗漱完。
便立刻前往應物所。
到了地方。
在江陽進到所里，一路往半導體研究室走的時候。
不停有人和他打招呼，道：
「江教授好！」
「江教授，您今天來的好早啊！」
「江教授，我有個問題想請教你——」
面對眾人的問好。
江陽放緩腳步，一一回應。
就在這時。
遠處的王壽吾也看到了他，連忙小跑過來，道：
「江教授，您今天平時來的早許多呀！」
江陽頜首道：
「有了些新的想法，想跟您和黃教授、林教授討論。」
聞言，王壽吾目光大亮，道：
「沒問題，我這就去叫他們！」
不多時。
王壽吾帶著黃琨和林嵐因，來到辦公室。
一進門。
他們便看到江陽正拿著一塊小黑板。
在上面寫下：
光學系統、精密機械、光刻膠與化學工藝。
林嵐因眼神微凝，道：
「江教授您這是打算解決光刻機的問題了嗎？」
一旁的黃琨。
神色同樣振奮不已。
沒辦法。
原先使用的簡易光刻機，效果幾乎已經被壓榨到極限。
他們再怎麼去優化。
集成電路的集成度，都無法突破40。
江陽回過頭，道：
「沒錯。」
「我也不瞞你們，前些天郭院長來找我，我誇下海口。
「說要研製1000w次每秒運算速度的計算機。」
他說完後。
王壽吾三人你看我，我看你，都以為是自己聽錯了。
1000w次每秒。
別說是他們。
恐怕老大哥和M第一塊研製，也未必能搞定。
想到這裡。
王壽吾遲疑道：
「江教授，這個標是不是太了？」
一旁的黃琨和林嵐因沒有說話。
但凝重的表情。
已經說明了態度。
江陽笑道：
「放心，那是我們的長期目標。」
他說完後。
王壽吾黃琨和林嵐因，長鬆一口氣。
畢竟1000w次每秒。
實在是太嚇人了，想都不敢想，更別說是研究。
但緊接著。
江陽又繼續道：
「我們短期的目標，是20w次每秒。」
聽到這話。
王壽吾幾人倒是沒有再驚訝。
儘管20w次也很困難。
但至少比1000w次有完成的可能。
林嵐因道：
「江教授，要想達到這個短期目標。」」現有的設備和工藝。」
「恐怕不以提供有效的持。」
黃琨跟著道：
「林教授說得對。」
「別的不說。」
「就說簡易光刻機，誤差大，成評率低，還需賴人工操作.」
兩人沒有避諱，先後說出自己的想法。
簡易光刻機應急可以。
但要繼續研製。
就必須做出真正的光刻機來。
當然。
除此之外，還有光源、掩膜、光刻機等等問題。
不解決的話。
或許能夠研製出運算速度達到20w次每秒的計算機。
但1000w次每秒，絕無可能。
王壽吾忽然撓了撓頭，暗道：
「不對。」
「我什麼時候。」
「有了覺得20w次每秒能搞出來的想法？」
很快。
黃琨和林嵐因就說完了她們負責部分的問題。
並且提出了一些思路。
江陽沒有急著評價，而是看向王壽吾。
後者擺了擺手，道：
「黃教授和林教授說得很全面，我沒什麼補充的。」
聞言，江陽頜首道：
「好，那我來說。」
「其實剛剛林教授的想法很不錯。」
「我們現在的接觸式光刻，缺少精密系統的輔助—.」
他一邊說。
一邊在身後的小黑板上寫下幾個關鍵點。
一掩膜與基片直接接觸、光源簡陋、手工操作。
總體上。
是根據林嵐因的思路，先去分析簡易光刻機的缺陷。
待江陽說完後。
林嵐因立刻道：
「所以我們現在是要完成標準的接觸式光刻嗎？」
她在M帝時。
聽說過接觸式光刻的理論。
但目前來說，還沒有一個很好的應用。
江陽道：
「不完全是。」
「接觸式光刻其實存在個明顯的缺陷。」
「近距離的物理接觸，會導致掩膜的損失，大大降低壽命。」
他說完後。
林嵐因、黃琨和王壽吾，陷入沉思。
不採用接觸式的話。
就完全沒有可以依照的理論，只能摸著石頭過河。
就在這時。
江陽繼續道：
「所以我們需要保留掩膜與晶圓間微小的間隙。「
「沒有物理接觸。」
「自然能有效地提掩膜的使用壽命。」
林嵐因道：
「可是這樣的話，恐怕需要更高的曝光時間。，「而且間隙控制。」
「沒有夠精度的調整機構，恐怕難以做到。」
江陽沒有立刻回應。
而是默默地將手伸向隨身的挎包。
然後在三人果然如此的眼神中，拿出調整機構的研究方案。
林嵐因正想接過。
一旁的王壽吾忽然道：
「咦，江教授，您這次的案內容，以前多了很多啊！」
他說完後。
林嵐因何黃琨看著研究方案，也覺得不對。
就算是研製計算器時。
江陽都只給了大體的框架和簡單的方向。
一個調整機構。
再難應該也不至於，需要這麼多的稿紙去闡述研究方案。
江陽道：
「其實這裡有兩套方案。」
王壽吾驚訝道：
「兩套？」
一旁的林嵐因和黃琨整了整，也露出疑惑的表情。
當然，他們並不是因為數量多。
而是覺得。
以江陽的能力，不應該會出現同時兩套方案的情況。
想到這裡。
王壽吾道：
「要不召集專家團，再討論幾天，或許能給您一些參考。」
江陽道：
「不用這麼麻煩，兩套案都是可的。」
「只是效果不同。」
「第二套更好，是給我們的。至於第一套——拿來出！」
他其實有4套微調機構的方案。
但就現在的條件。
最多只能做到第二套，氣浮軸承+氣壓控制。
王壽吾道：
「出口，這能行嗎？」
他有些茫然。
畢競以前華國都是從國外進口技術和設備。
至於出口。
只有農產品和礦產資源有點價值。
技術上。
根本沒有國外能夠看得上的東西。
這也是華國外匯儲備長期缺乏的原因之一。
江陽笑道：
「當然能行。」
「不僅是微調機構。」
「以後光刻機，也要出口，我們得做好準備才行。」
次日，早。
江陽醒來後，簡單的洗漱完。
便立刻前往應物所。
到了地方。
在江陽進到所里，一路往半導體研究室走的時候。
不停有人和他打招呼，道：
「江教授好！」
「江教授，您今天來的好早啊！」
「江教授，我有個問題想請教你——」
面對眾人的問好。
江陽放緩腳步，一一回應。
就在這時。
遠處的王壽吾也看到了他，連忙小跑過來，道：
「江教授，您今天平時來的早許多呀！」
江陽頜首道：
「有了些新的想法，想跟您和黃教授、林教授討論。」
聞言，王壽吾目光大亮，道：
「沒問題，我這就去叫他們！」
不多時。
王壽吾帶著黃琨和林嵐因，來到辦公室。
一進門。
他們便看到江陽正拿著一塊小黑板。
在上面寫下：
光學系統、精密機械、光刻膠與化學工藝。
林嵐因眼神微凝，道：
「江教授您這是打算解決光刻機的問題了嗎？」
一旁的黃琨。
神色同樣振奮不已。
沒辦法。
原先使用的簡易光刻機，效果幾乎已經被壓榨到極限。
他們再怎麼去優化。
集成電路的集成度，都無法突破40。
江陽回過頭，道：
「沒錯。」
「我也不瞞你們，前些天郭院長來找我，我誇下海口。
「說要研製1000w次每秒運算速度的計算機。」
他說完後。
王壽吾三人你看我，我看你，都以為是自己聽錯了。
1000w次每秒。
別說是他們。
恐怕老大哥和M第一塊研製，也未必能搞定。
想到這裡。
王壽吾遲疑道：
「江教授，這個標是不是太了？」
一旁的黃琨和林嵐因沒有說話。
但凝重的表情。
已經說明了態度。
江陽笑道：
「放心，那是我們的長期目標。」
他說完後。
王壽吾黃琨和林嵐因，長鬆一口氣。
畢竟1000w次每秒。
實在是太嚇人了，想都不敢想，更別說是研究。
但緊接著。
江陽又繼續道：
「我們短期的目標，是20w次每秒。」
聽到這話。
王壽吾幾人倒是沒有再驚訝。
儘管20w次也很困難。
但至少比1000w次有完成的可能。
林嵐因道：
「江教授，要想達到這個短期目標。」」現有的設備和工藝。」
「恐怕不以提供有效的持。」
黃琨跟著道：
「林教授說得對。」
「別的不說。」
「就說簡易光刻機，誤差大，成評率低，還需賴人工操作.」
兩人沒有避諱，先後說出自己的想法。
簡易光刻機應急可以。
但要繼續研製。
就必須做出真正的光刻機來。
當然。
除此之外，還有光源、掩膜、光刻機等等問題。
不解決的話。
或許能夠研製出運算速度達到20w次每秒的計算機。
但1000w次每秒，絕無可能。
王壽吾忽然撓了撓頭，暗道：
「不對。」
「我什麼時候。」
「有了覺得20w次每秒能搞出來的想法？」
很快。
黃琨和林嵐因就說完了她們負責部分的問題。
並且提出了一些思路。
江陽沒有急著評價，而是看向王壽吾。
後者擺了擺手，道：
「黃教授和林教授說得很全面，我沒什麼補充的。」
聞言，江陽頜首道：
「好，那我來說。」
「其實剛剛林教授的想法很不錯。」
「我們現在的接觸式光刻，缺少精密系統的輔助—.」
他一邊說。
一邊在身後的小黑板上寫下幾個關鍵點。
一掩膜與基片直接接觸、光源簡陋、手工操作。
總體上。
是根據林嵐因的思路，先去分析簡易光刻機的缺陷。
待江陽說完後。
林嵐因立刻道：
「所以我們現在是要完成標準的接觸式光刻嗎？」
她在M帝時。
聽說過接觸式光刻的理論。
但目前來說，還沒有一個很好的應用。
江陽道：
「不完全是。」
「接觸式光刻其實存在個明顯的缺陷。」
「近距離的物理接觸，會導致掩膜的損失，大大降低壽命。」
他說完後。
林嵐因、黃琨和王壽吾，陷入沉思。
不採用接觸式的話。
就完全沒有可以依照的理論，只能摸著石頭過河。
就在這時。
江陽繼續道：
「所以我們需要保留掩膜與晶圓間微小的間隙。「
「沒有物理接觸。」
「自然能有效地提掩膜的使用壽命。」
林嵐因道：
「可是這樣的話，恐怕需要更高的曝光時間。，「而且間隙控制。」
「沒有夠精度的調整機構，恐怕難以做到。」
江陽沒有立刻回應。
而是默默地將手伸向隨身的挎包。
然後在三人果然如此的眼神中，拿出調整機構的研究方案。
林嵐因正想接過。
一旁的王壽吾忽然道：
「咦，江教授，您這次的案內容，以前多了很多啊！」
他說完後。
林嵐因何黃琨看著研究方案，也覺得不對。
就算是研製計算器時。
江陽都只給了大體的框架和簡單的方向。
一個調整機構。
再難應該也不至於，需要這麼多的稿紙去闡述研究方案。
江陽道：
「其實這裡有兩套方案。」
王壽吾驚訝道：
「兩套？」
一旁的林嵐因和黃琨整了整，也露出疑惑的表情。
當然，他們並不是因為數量多。
而是覺得。
以江陽的能力，不應該會出現同時兩套方案的情況。
想到這裡。
王壽吾道：
「要不召集專家團，再討論幾天，或許能給您一些參考。」
江陽道：
「不用這麼麻煩，兩套案都是可的。」
「只是效果不同。」
「第二套更好，是給我們的。至於第一套——拿來出！」
他其實有4套微調機構的方案。
但就現在的條件。
最多只能做到第二套，氣浮軸承+氣壓控制。
王壽吾道：
「出口，這能行嗎？」
他有些茫然。
畢競以前華國都是從國外進口技術和設備。
至於出口。
只有農產品和礦產資源有點價值。
技術上。
根本沒有國外能夠看得上的東西。
這也是華國外匯儲備長期缺乏的原因之一。
江陽笑道：
「當然能行。」
「不僅是微調機構。」
「以後光刻機，也要出口，我們得做好準備才行。」