第82章 雙管齊下，繼續推進矽電晶體研製工作！
第82章 雙管齊下，繼續推進矽電晶體研製工作！
次日，早。
江陽剛剛來到半導體實驗室。
京機廠那邊。
就送來了J5060通過最終測試的消息。
至此。
他們終於擁有了，能夠完成製備，且滿足光刻要求矽片的設備。
會議室內。
王壽吾正在對這段時間的研究成果，進行總結。
除開J5060外。
採用氧化鋁研磨膏+鑄鐵拋光碟，以及化學腐蝕的方式。
完成了化學機械拋光。
並利用兩台顯微鏡加一個紫外曝光燈，搭建了「土光刻機」。
雖說只能勉強實現10微米的線寬。
但也能滿足最低圖形解析度的需求。
當然。
也不是所有的研究都一帆風順。
王壽吾道：
「光刻和擴散，是我們現在面臨的兩大難題。」
「手工光刻誤差太大。」
「而開關擴散的摻雜，不僅存在波動，同一電晶體上的閾值電壓差異——」」
他說完後。
眾人陷入沉思。
江陽也沒有著急開口，而是等待眾人討論。
畢竟他不能什麼都解決。
沒過多久。
很快便有人開口，道：
「我認為，可以嘗試從光刻膠上取得突破。」
聽到他的話。
所有人都下意識地看向江陽。
光刻膠這個概念。
還是江陽提出來的。
在此之前，他們都是以合金法和台面工藝製作電晶體，無需光刻膠。
王壽吾頜首道：
「湯教授，您請繼續。」
聞言，湯定遠道：
「江教授為我們介紹過光刻膠的作用。」
「它直接決定。」
「集成電路的最小特徵尺寸、良率和工藝複雜度—」
他說完後。
遲疑了片刻。
接下來的話，等於是在反對江陽提出的方案。
這時，江陽笑道：
「湯教授，如果您有更好的方法，但說無妨。」
湯定遠點了點頭，道：
「那我就直說了。」
「根據我的研究，使用天然瀝青+溶劑，解析度極低。」
「最後很大概率無法滿足我們的研製需要—」
瀝青膠是負性光刻。
紫外線引發交聯反應，形成三維網格結構後。
曝光區域變得難溶於溶劑，且會被溶劑滲透，引發溶脹。
雖說面前也能實現光刻。
但結果幾乎是可以預見的不如人意。
湯定遠說完後，又道：
「原本我也不覺得有問題。」
「畢竟光刻對我們所有人來說，都是個新東西。」
「但江教授的一句話，給了我啟發。」
「如果讓曝光區域發生光解反應，效果會不會更好——」
聽完湯定遠的想法後，眾人陷入沉思。
江陽面色不變。
心中卻驚訝不已，暗道：
「不愧其中，能一句話中想出這麼多的東西。」
湯定遠，華國半導體學科創始人之一。
還是紅外技術研究的奠基人。
曾以三份書信，重塑華國紅外事業的戰略眼光，研究能力毋庸置疑。
這時。
下面一個和湯定遠差不多年紀的中年男人，道：
「湯教授，您說得確實有道理。」
「但瀝青膠我們好歹知道是什麼。」
「光解反應的光刻膠，只知道一個原理，恐怕不太容易研製。」
他說完後。
會議室內的眾人不由得點了點頭。
光解反應或許更好，可能多久能實現，沒人說得准。
湯定遠道：
「但它的效果是毋庸置疑的。」
「光解反應後。」
「生成羧酸與鹼液快速反應，能夠消除溶解過程中的溶脹。」
聽到他的話後。
會議室內，當即開始討論起來：
「我覺得湯教授說得不無道理。」
「的確，拋開可行性不談，技術上還是很有創新性的。」
「問題是你都拋開可行性了，還研究什麼？」
眾人你一言，我一語，說出自己的想法。
不過大部分人。
並不看好湯定遠的建議，畢竟可行性太低。
當然。
如果只是先研究著，不作為主要技術攻關方向。
那倒是可以。
畢竟光刻膠以後一定還是要去突破的。
就在討論得差不多時。
王壽吾看向江陽，開口道：
「大家先安靜，我們聽一聽江教授的意見吧？」
他的話音剛落。
會議室內嘈雜的聲音，瞬間如潮水般消退。
眼看江陽從座位上站起來，每個人都下意識地拿出筆記本。
江陽走上台，道：
「其實我覺得湯教授的想法很不錯，或許會是未來光刻膠的正確方向。」
「理論上來說。」
「依賴光化學轉化的光刻膠，精度要比瀝青膠至少高一個數級。」
他說完後。
湯定遠的臉上，露出幾分興奮的紅潤之色。
畢竟他們一直依靠江陽的幫助，才建立起研究的基礎理論體系，缺少自身的創新。
當然，這不是說不好。
有清晰的研究方向，大家高興還來不及。
但如果只會完全按照江陽的方案來，缺少科學的研究思想，難保後面不會出問題。
王壽吾想了想，道：
「那這樣吧，我們根據不同的方向，進行分組。」
「一組由湯教授領導，負責研製具備光解反應特性的光刻膠。」
「另一組我來負責，去繼續瀝青膠的研製，權當做個保險。」
他本來覺得湯定遠的想法冒進了些。
但江陽都肯定了。
那麼無論如何，都是要試試的。
隨後。
眾人又就後續的具體研究思路，討論了許久。
直到中午。
會議才終於結束。
江陽在飯堂吃過午飯後，並沒有和之前一樣繼續研究。
而是選擇返回京鋼院。
畢竟現在的研究，已經進入到一個暫時的瓶頸階段。
要將晶圓加工的工藝消化並熟練，需要一定的時間。
比如光刻工藝上。
「土光刻機」就極其依賴人工的經驗做輔助。
如果拔苗助長，強行推進，恐怕會適得其反。
除非能有更加先進的接觸式光刻機，才能夠解決問題。
但以華國現在的條件，想搞接觸式光刻機，投資大周期長，並不是很好的選擇。
回到學校。
江陽剛剛來到大門。
就看到三兩成群，結伴進出的學生們。
看到他。
都會停下來，道：
「江教授好！」
對於學生們的問好。
江陽開始的時候，還會一一打招呼。
但人數多了。
也只能點主表示回應。
就在他一邊點主，一邊往裡走的時仞。
忽然有一道聲音，問道：
「江教授，您這個學期會傍我們授課嗎？」
次日，早。
江陽剛剛來到半導體實驗室。
京機廠那邊。
就送來了J5060通過最終測試的消息。
至此。
他們終於擁有了，能夠完成製備，且滿足光刻要求矽片的設備。
會議室內。
王壽吾正在對這段時間的研究成果，進行總結。
除開J5060外。
採用氧化鋁研磨膏+鑄鐵拋光碟，以及化學腐蝕的方式。
完成了化學機械拋光。
並利用兩台顯微鏡加一個紫外曝光燈，搭建了「土光刻機」。
雖說只能勉強實現10微米的線寬。
但也能滿足最低圖形解析度的需求。
當然。
也不是所有的研究都一帆風順。
王壽吾道：
「光刻和擴散，是我們現在面臨的兩大難題。」
「手工光刻誤差太大。」
「而開關擴散的摻雜，不僅存在波動，同一電晶體上的閾值電壓差異——」」
他說完後。
眾人陷入沉思。
江陽也沒有著急開口，而是等待眾人討論。
畢竟他不能什麼都解決。
沒過多久。
很快便有人開口，道：
「我認為，可以嘗試從光刻膠上取得突破。」
聽到他的話。
所有人都下意識地看向江陽。
光刻膠這個概念。
還是江陽提出來的。
在此之前，他們都是以合金法和台面工藝製作電晶體，無需光刻膠。
王壽吾頜首道：
「湯教授，您請繼續。」
聞言，湯定遠道：
「江教授為我們介紹過光刻膠的作用。」
「它直接決定。」
「集成電路的最小特徵尺寸、良率和工藝複雜度—」
他說完後。
遲疑了片刻。
接下來的話，等於是在反對江陽提出的方案。
這時，江陽笑道：
「湯教授，如果您有更好的方法，但說無妨。」
湯定遠點了點頭，道：
「那我就直說了。」
「根據我的研究，使用天然瀝青+溶劑，解析度極低。」
「最後很大概率無法滿足我們的研製需要—」
瀝青膠是負性光刻。
紫外線引發交聯反應，形成三維網格結構後。
曝光區域變得難溶於溶劑，且會被溶劑滲透，引發溶脹。
雖說面前也能實現光刻。
但結果幾乎是可以預見的不如人意。
湯定遠說完後，又道：
「原本我也不覺得有問題。」
「畢竟光刻對我們所有人來說，都是個新東西。」
「但江教授的一句話，給了我啟發。」
「如果讓曝光區域發生光解反應，效果會不會更好——」
聽完湯定遠的想法後，眾人陷入沉思。
江陽面色不變。
心中卻驚訝不已，暗道：
「不愧其中，能一句話中想出這麼多的東西。」
湯定遠，華國半導體學科創始人之一。
還是紅外技術研究的奠基人。
曾以三份書信，重塑華國紅外事業的戰略眼光，研究能力毋庸置疑。
這時。
下面一個和湯定遠差不多年紀的中年男人，道：
「湯教授，您說得確實有道理。」
「但瀝青膠我們好歹知道是什麼。」
「光解反應的光刻膠，只知道一個原理，恐怕不太容易研製。」
他說完後。
會議室內的眾人不由得點了點頭。
光解反應或許更好，可能多久能實現，沒人說得准。
湯定遠道：
「但它的效果是毋庸置疑的。」
「光解反應後。」
「生成羧酸與鹼液快速反應，能夠消除溶解過程中的溶脹。」
聽到他的話後。
會議室內，當即開始討論起來：
「我覺得湯教授說得不無道理。」
「的確，拋開可行性不談，技術上還是很有創新性的。」
「問題是你都拋開可行性了，還研究什麼？」
眾人你一言，我一語，說出自己的想法。
不過大部分人。
並不看好湯定遠的建議，畢竟可行性太低。
當然。
如果只是先研究著，不作為主要技術攻關方向。
那倒是可以。
畢竟光刻膠以後一定還是要去突破的。
就在討論得差不多時。
王壽吾看向江陽，開口道：
「大家先安靜，我們聽一聽江教授的意見吧？」
他的話音剛落。
會議室內嘈雜的聲音，瞬間如潮水般消退。
眼看江陽從座位上站起來，每個人都下意識地拿出筆記本。
江陽走上台，道：
「其實我覺得湯教授的想法很不錯，或許會是未來光刻膠的正確方向。」
「理論上來說。」
「依賴光化學轉化的光刻膠，精度要比瀝青膠至少高一個數級。」
他說完後。
湯定遠的臉上，露出幾分興奮的紅潤之色。
畢竟他們一直依靠江陽的幫助，才建立起研究的基礎理論體系，缺少自身的創新。
當然，這不是說不好。
有清晰的研究方向，大家高興還來不及。
但如果只會完全按照江陽的方案來，缺少科學的研究思想，難保後面不會出問題。
王壽吾想了想，道：
「那這樣吧，我們根據不同的方向，進行分組。」
「一組由湯教授領導，負責研製具備光解反應特性的光刻膠。」
「另一組我來負責，去繼續瀝青膠的研製，權當做個保險。」
他本來覺得湯定遠的想法冒進了些。
但江陽都肯定了。
那麼無論如何，都是要試試的。
隨後。
眾人又就後續的具體研究思路，討論了許久。
直到中午。
會議才終於結束。
江陽在飯堂吃過午飯後，並沒有和之前一樣繼續研究。
而是選擇返回京鋼院。
畢竟現在的研究，已經進入到一個暫時的瓶頸階段。
要將晶圓加工的工藝消化並熟練，需要一定的時間。
比如光刻工藝上。
「土光刻機」就極其依賴人工的經驗做輔助。
如果拔苗助長，強行推進，恐怕會適得其反。
除非能有更加先進的接觸式光刻機，才能夠解決問題。
但以華國現在的條件，想搞接觸式光刻機，投資大周期長，並不是很好的選擇。
回到學校。
江陽剛剛來到大門。
就看到三兩成群，結伴進出的學生們。
看到他。
都會停下來，道：
「江教授好！」
對於學生們的問好。
江陽開始的時候，還會一一打招呼。
但人數多了。
也只能點主表示回應。
就在他一邊點主，一邊往裡走的時仞。
忽然有一道聲音，問道：
「江教授，您這個學期會傍我們授課嗎？」