第一百九十五章 45nm晶圓
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鄭飛光按下操作鍵後不久，實驗室側後方那扇連接內部預檢區的小門無聲滑開。
四五個年輕的面孔依次安靜步入，領頭的是張海生，他們身著嶄新的白色實驗服，眼神里混合著緊張、期待和一絲對核心區域的敬畏。
他們迅速在靠近入口處排好，目光聚焦在楊辰身上。
與此同時，周瑤面前的終端和幾台核心設備的控制屏同步亮起，複雜的數據流瀑布般落下。
楊辰發出的初始實驗參數和材料清單如約抵達。
楊辰沒有看剛進來的新人，也沒有立刻分配任務，而是目光再次掃過實驗室，仿佛在確認這片戰場最後的準備細節。
隨後，他轉向眾人，聲音清晰而沉穩，直接切入主題。
「核心目標，製造光子微處理器的原型。」
「第一步。」
楊辰的指尖在空氣中虛點，指向那間配備了頂級通風和過濾系統的超潔淨晶圓處理區。
「是基礎材料的基石，製備合格的45納米基底晶圓。」
他沒有用晦澀的專業術語，但基底和45納米這兩個詞本身就帶著清晰的精度要求。
鄭飛光立刻精神起來，明白了楊辰的意思，這不是給新人的觀摩課，而是實戰。
他看向等候指令的張海生等人。
「海生，帶你的人跟我來。」
他一邊快步走向晶圓處理區，一邊對著周瑤那邊喊道。
「周姐，首批精煉矽材的規格和純度覆核文件發給你了，確認無誤後立刻啟用！」
周瑤快速操作著終端，屏幕上快速對比著楊辰傳來的清單參數和後勤部的最終入庫質檢報告、
「規格精確匹配，純度和微量雜質控制都在要求範圍內，確認啟用。」
她手指划過，啟動了材料供應系統的授權指令。
處理區的燈光更亮了些。
巨大的熔爐內部，經過嚴格篩選的精煉矽錠被裝置精準地送入高溫區。
並非所有晶圓都是從零開始熔煉提純。
但對於光子微處理器這種對基底材料瑕疵要求苛刻的核心元件來說，初始材料的純淨度和晶格一致性是後續一切工藝成敗的關鍵起點。
通過觀察窗可以看到，在精密控制的熱場中，矽材開始融化、旋轉，晶種緩緩下降，逐步結晶成型。
鄭飛光站在主控台前，一邊監控著屏幕上溫度、壓力、旋轉速度等一系列實時參數，一邊對圍攏在旁的張海生等人簡明扼要地指示。
「注意看熔爐里的晶體生長狀態，對任何異常的晶格生長紋路或者溫度波動點的監測優先級最高。」
「哪怕是一丁點的偏差，都會在後面的投影編程和蝕刻過程中放大成致命缺陷。」
「記下標準區間的具體數值，後面需要你們獨立盯守。」
一個年輕的研究員小心翼翼地提問。
「鄭工，投影編程指的是後面那個雷射刻蝕區嗎？」
他指向旁邊的雷射微刻蝕系統。
「是目標，但還不是現在。」
鄭飛光頭也沒回，目光緊鎖屏幕。
「先把這底子打好。」
「楊主管清單里對這晶圓的平整度、局部應力分布、表面原子級光滑度都有極其苛刻的要求，比常規CPU晶片高出不止一個數量級。」
「這45納米聽著不嚇人，但那是整個平面的宏觀尺度，微觀上的缺陷容忍度近乎為零。」
「這一步不行，後面的都是白搭。」
熔爐穩定運行的聲音低沉而有力，像這新實驗室搏動的心臟。
透過觀察窗，能看到新生的矽晶柱在精密控制下緩慢生長、拋光，向著作為核心基底的45納米厚度和完美晶格結構的目標邁進。
楊辰站在處理區外，看著裡面忙碌調試的鄭飛光和新人們，以及那正在孕育中的光滑晶圓。
眼神中沒有催促，只有對每一個流程節點開始運轉的冷靜確認。
晶圓處理區的穩定運行聲，成了這新戰場第一聲清晰的任務號角。
熔爐中的矽晶柱在精密的熱場中緩慢生長、旋轉，晶格結構逐層結晶成型。
鄭飛光緊盯著屏幕上的參數流，溫度、壓力、旋轉速度，沒有一絲波動。
張海生和新人們屏息凝神地記錄著數據，每一雙眼睛都聚焦在觀察窗內的晶圓上。
終於，熔爐指示燈轉為綠色，伴隨著一聲微弱的提示音。
「基底晶圓達到45納米要求，表面光滑無瑕疵，應力分布均勻，完全符合清單標準。」
楊辰站在處理區外，目光沉穩，微微頷首。
「好，準備下一步。」
他沒有多言，但語氣中透著確認的力道。
周瑤迅速操作平板，確認材料數據無誤。
「晶圓已自動送入轉移系統。」
她指向旁邊雷射微刻蝕區的入口。
一道機械臂無聲滑行，輕柔地取出處理完成的晶圓，送入那排嶄新的雷射設備前。
鄭飛光立刻引導張海生等人轉移注意力。
「走，這次不是看溫度表了！」
他快步走到雷射微刻蝕系統前，拍著冰冷的金屬外殼。
「這叫無光刻投影編程，不用傳統的掩膜板，直接用光束把設計圖像畫上去。」
晶圓被穩穩安置在雷射工位中央。
鄭飛光在控制面板上輸入指令，周瑤同步發送楊辰早先傳來的設計模型。
「投影編程啟動！」
鄭飛光提醒道。
「看好了，光束會按照內部程序投射出特定圖案，每一道光線都在晶圓表面精細定位。」
設備嗡鳴聲低響，一道柔和的藍光從設備投射<i class="icon icon-uniE02F"></i><i class="icon icon-uniE017"></i>出，在半空中形成一個半透明的光網圖像。
那不是簡單的線條，而是一個複雜的、像神經脈絡般的網狀圖案，精準地覆蓋在晶圓表面。
張海生驚嘆地低聲問。
「這就是編程圖像？」
鄭飛光點頭。
「對，它是內部電腦根據參數生成的，直接映射到晶圓上。」
楊辰走近一步，雙手背在身後，默默觀看著光束在晶圓上游移。
光線掃過之處，晶圓表面微不可察地發生著變化，如同被無形的刻刀雕刻。
整個過程沒有火花或強烈聲響，只有一種近乎無聲的精確操作。
新人們眼睛瞪得圓圓的，連呼吸都放輕了，生怕打擾這片光影的舞蹈。
鄭飛光檢查投影狀態。
「編程進度穩定，預計10分鐘內完成圖案投射。」
實驗室的空氣仿佛被這無形的光束壓縮，眾人都在等待這關鍵一步的完成。
鄭飛光按下操作鍵後不久，實驗室側後方那扇連接內部預檢區的小門無聲滑開。
四五個年輕的面孔依次安靜步入，領頭的是張海生，他們身著嶄新的白色實驗服，眼神里混合著緊張、期待和一絲對核心區域的敬畏。
他們迅速在靠近入口處排好，目光聚焦在楊辰身上。
與此同時，周瑤面前的終端和幾台核心設備的控制屏同步亮起，複雜的數據流瀑布般落下。
楊辰發出的初始實驗參數和材料清單如約抵達。
楊辰沒有看剛進來的新人，也沒有立刻分配任務，而是目光再次掃過實驗室，仿佛在確認這片戰場最後的準備細節。
隨後，他轉向眾人，聲音清晰而沉穩，直接切入主題。
「核心目標，製造光子微處理器的原型。」
「第一步。」
楊辰的指尖在空氣中虛點，指向那間配備了頂級通風和過濾系統的超潔淨晶圓處理區。
「是基礎材料的基石，製備合格的45納米基底晶圓。」
他沒有用晦澀的專業術語，但基底和45納米這兩個詞本身就帶著清晰的精度要求。
鄭飛光立刻精神起來，明白了楊辰的意思，這不是給新人的觀摩課，而是實戰。
他看向等候指令的張海生等人。
「海生，帶你的人跟我來。」
他一邊快步走向晶圓處理區，一邊對著周瑤那邊喊道。
「周姐，首批精煉矽材的規格和純度覆核文件發給你了，確認無誤後立刻啟用！」
周瑤快速操作著終端，屏幕上快速對比著楊辰傳來的清單參數和後勤部的最終入庫質檢報告、
「規格精確匹配，純度和微量雜質控制都在要求範圍內，確認啟用。」
她手指划過，啟動了材料供應系統的授權指令。
處理區的燈光更亮了些。
巨大的熔爐內部，經過嚴格篩選的精煉矽錠被裝置精準地送入高溫區。
並非所有晶圓都是從零開始熔煉提純。
但對於光子微處理器這種對基底材料瑕疵要求苛刻的核心元件來說，初始材料的純淨度和晶格一致性是後續一切工藝成敗的關鍵起點。
通過觀察窗可以看到，在精密控制的熱場中，矽材開始融化、旋轉，晶種緩緩下降，逐步結晶成型。
鄭飛光站在主控台前，一邊監控著屏幕上溫度、壓力、旋轉速度等一系列實時參數，一邊對圍攏在旁的張海生等人簡明扼要地指示。
「注意看熔爐里的晶體生長狀態，對任何異常的晶格生長紋路或者溫度波動點的監測優先級最高。」
「哪怕是一丁點的偏差，都會在後面的投影編程和蝕刻過程中放大成致命缺陷。」
「記下標準區間的具體數值，後面需要你們獨立盯守。」
一個年輕的研究員小心翼翼地提問。
「鄭工，投影編程指的是後面那個雷射刻蝕區嗎？」
他指向旁邊的雷射微刻蝕系統。
「是目標，但還不是現在。」
鄭飛光頭也沒回，目光緊鎖屏幕。
「先把這底子打好。」
「楊主管清單里對這晶圓的平整度、局部應力分布、表面原子級光滑度都有極其苛刻的要求，比常規CPU晶片高出不止一個數量級。」
「這45納米聽著不嚇人，但那是整個平面的宏觀尺度，微觀上的缺陷容忍度近乎為零。」
「這一步不行，後面的都是白搭。」
熔爐穩定運行的聲音低沉而有力，像這新實驗室搏動的心臟。
透過觀察窗，能看到新生的矽晶柱在精密控制下緩慢生長、拋光，向著作為核心基底的45納米厚度和完美晶格結構的目標邁進。
楊辰站在處理區外，看著裡面忙碌調試的鄭飛光和新人們，以及那正在孕育中的光滑晶圓。
眼神中沒有催促，只有對每一個流程節點開始運轉的冷靜確認。
晶圓處理區的穩定運行聲，成了這新戰場第一聲清晰的任務號角。
熔爐中的矽晶柱在精密的熱場中緩慢生長、旋轉，晶格結構逐層結晶成型。
鄭飛光緊盯著屏幕上的參數流，溫度、壓力、旋轉速度，沒有一絲波動。
張海生和新人們屏息凝神地記錄著數據，每一雙眼睛都聚焦在觀察窗內的晶圓上。
終於，熔爐指示燈轉為綠色，伴隨著一聲微弱的提示音。
「基底晶圓達到45納米要求，表面光滑無瑕疵，應力分布均勻，完全符合清單標準。」
楊辰站在處理區外，目光沉穩，微微頷首。
「好，準備下一步。」
他沒有多言，但語氣中透著確認的力道。
周瑤迅速操作平板，確認材料數據無誤。
「晶圓已自動送入轉移系統。」
她指向旁邊雷射微刻蝕區的入口。
一道機械臂無聲滑行，輕柔地取出處理完成的晶圓，送入那排嶄新的雷射設備前。
鄭飛光立刻引導張海生等人轉移注意力。
「走，這次不是看溫度表了！」
他快步走到雷射微刻蝕系統前，拍著冰冷的金屬外殼。
「這叫無光刻投影編程，不用傳統的掩膜板，直接用光束把設計圖像畫上去。」
晶圓被穩穩安置在雷射工位中央。
鄭飛光在控制面板上輸入指令，周瑤同步發送楊辰早先傳來的設計模型。
「投影編程啟動！」
鄭飛光提醒道。
「看好了，光束會按照內部程序投射出特定圖案，每一道光線都在晶圓表面精細定位。」
設備嗡鳴聲低響，一道柔和的藍光從設備投射<i class="icon icon-uniE02F"></i><i class="icon icon-uniE017"></i>出，在半空中形成一個半透明的光網圖像。
那不是簡單的線條，而是一個複雜的、像神經脈絡般的網狀圖案，精準地覆蓋在晶圓表面。
張海生驚嘆地低聲問。
「這就是編程圖像？」
鄭飛光點頭。
「對，它是內部電腦根據參數生成的，直接映射到晶圓上。」
楊辰走近一步，雙手背在身後，默默觀看著光束在晶圓上游移。
光線掃過之處，晶圓表面微不可察地發生著變化，如同被無形的刻刀雕刻。
整個過程沒有火花或強烈聲響，只有一種近乎無聲的精確操作。
新人們眼睛瞪得圓圓的，連呼吸都放輕了，生怕打擾這片光影的舞蹈。
鄭飛光檢查投影狀態。
「編程進度穩定，預計10分鐘內完成圖案投射。」
實驗室的空氣仿佛被這無形的光束壓縮，眾人都在等待這關鍵一步的完成。