第1357章 準備好了?
五月八號。
荷蘭,費爾德霍芬。
ASML總部。
一棟灰色的方形建築,門口豎了兩塊巨幅GG牌,藍底白字。
「EUV:The Future of Semiconductor Manufacturing」
發布會定在上午十點。九點半人就到齊了。
三百多人,坐滿了報告廳。
路透、彭博、金融時報、華爾街日報、日經新聞、法蘭克福匯報——全球科技口的記者來了一半。
攝像機架了兩排,閃光燈試了又試。
范德貝爾穿了件深藍西裝,白襯衫,沒打領帶。
他站在後台,助手遞過來一杯水,他喝了一口,放下。
「準備好了?」
助手點頭。
十點整,燈暗了。
范德貝爾走上台。
身後是一塊十二米寬的LED屏,屏上一行字。
「EUV Alpha Demo Unit — First Light」
掌聲。
范德貝爾沒廢話。
「今天,我給各位看一樣東西。」
屏幕切換,實時畫面——隔壁的潔淨室。
一台機器占了半間屋子,銀白色外殼,管線密密麻麻。
范德貝爾拿起遙控器,按了一下。
潔淨室里,工程師啟動程序。
嗡的一聲。
機器亮了。
屏幕上跳出一組數字。
光源功率:62瓦。
波長:13.5納米。
曝光均勻性:99.2%。
報告廳安靜了三秒。
然後掌聲炸了。
范德貝爾站在台上,等掌聲停了。
「62瓦。各位,我們原定的目標是50瓦,今天的實測數據超出了百分之二十四。」
台下記者開始舉手。
范德貝爾擺了擺手。
「問題等會兒再說,先看完。」
屏幕上切出第二組數據。
解析度測試:45納米線寬,清晰,沒有畸變。
第三組,套刻精度:3.2納米。
范德貝爾指著屏幕。
「這意味著,EUV光刻技術從實驗室走向了工程驗證階段。我們距離量產只差最後一步。」
掌聲又起來了。
發布會結束,記者圍上去。
范德貝爾回答了十二個問題。最後一個,金融時報的記者問。
「首批量產設備的客戶名單,能透露嗎?」
范德貝爾笑了一下。
「首批設備將優先供應我們的長期合作夥伴——台積電,三星,英特爾。至於亞洲其他地區的客戶,目前沒有計劃。」
這句話當天晚上就上了所有科技媒體的頭條。
彭博的標題。
「ASML宣布EUV光刻機突破關鍵里程碑:亞洲客戶被排除在首批名單外」
京城,後海。
下午三點。
張紅旗坐在地下室。
面前一台電腦,屏幕上放的是ASML發布會的網絡直播回放。
他從頭看到尾,看了兩遍。
第一遍看范德貝爾說了什麼。
第二遍看屏幕上那些數字。
62瓦,13.5納米,99.2%,45納米,3.2納米。
他把這些數字一個一個抄在紙上。
陳默站在旁邊,沒說話。
張紅旗把紙折好,裝進信封。
「發鵬城,錢老親啟。今天就寄,用最快的。」
陳默接過去,走了。
五月十號。
鵬城,地下室。
錢院士把ASML發布會的參數輸進了模擬集群。
十台伺服器跑了六個小時。
結果出來了。
錢院士把兩張曲線圖疊在一起。
一張是ASML公布的實測數據。
一張是集群用那五項專利的拉格朗日方程組模擬出來的理論曲線。
兩條線,完全重合。
誤差小於千分之三。
錢院士把眼鏡摘下來,擦了擦,戴回去。
又看了一遍。
他拿起電話。
「張總,確認了。」
張紅旗在煤市街。
「說。」
「他們發布會上展示的光路數據,我用我們的專利算法跑了一遍,結果完全一致。62瓦的光源輸出,99.2%的均勻性,45納米的解析度,全都能復現。」
錢院士停了一下。
「用的就是我們的數學,一模一樣。」
張紅旗沒說話。
錢院士又補了一句。
「證據鏈閉合了。他們的設備從光源到成像,每一步計算都踩在我們的專利上。」
張紅旗說了兩個字。
「知道了。」
掛了。
五月十二號。
京城,國際飯店。
《英雄》國內首映禮。
張紅旗讓劉浩操辦的。
劉浩幹這事在行——請了兩百多號人,媒體記者占了一半,明星大腕來了三十多個。紅毯,閃光燈,主持人嗓門扯得老大。
張謀子站在台上,說了幾句感謝的話。
票房預測鋪天蓋地。
所有娛樂版的頭條都被《英雄》占了。
沒有一家媒體關注半導體。
五月十五號。
范德貝爾接受荷蘭國家電視台專訪。
記者問:「EUV設備什麼時候能量產?」
范德貝爾說:「2005年底之前,第一台量產設備將交付客戶。」
記者又問:「中國市場呢?」
范德貝爾說:「中國在半導體製造領域的技術儲備與國際水平存在代際差距,短期內他們不需要這種設備。」
這段話被翻譯成中文,在國內論壇上傳了一圈。
罵聲一片。
張紅旗沒看。
五月十八號。
洛杉磯。
麥佳佳走進加州中區聯邦法院。
手裡一份補充起訴書,六十一頁。
被告名單第一行。
ASML Holding N.V.
起訴理由:ASML的EUV概念機中使用的光學信號處理模塊,其底層算法與原告持有的五項全球底層專利構成實質性侵權。
附件,一百八十七頁。
其中包括:麻省理工實驗室出具的第二份技術鑑定報告,ASML發布會公開數據與專利算法的比對分析,以及錢院士團隊提供的理論模型復現結果。
索賠金額:一億兩千萬美元。
麥佳佳把文件遞進去,簽了字。
出來,上車,打電話。
「遞進去了。ASML列為第一被告。」
張紅旗在煤市街院子裡,大槐樹剛冒新葉。
「莫里斯那邊準備好了?」
「準備好了。對方一有回應,立刻反擊。」
張紅旗說:「告訴莫里斯,這次不是打官司,是談判的籌碼。讓他做好長期作戰的準備。」
麥佳佳說:「明白。」
掛了。
五月十八號下午。
費爾德霍芬。
范德貝爾的辦公桌上多了一份法院文件。
助手放上去的。
范德貝爾拿起來,翻到第一頁。
被告名單:ASML Holding N.V.。
他愣了兩秒。
翻到起訴理由。
拉格朗日方程組,底層算法,EUV光路計算。
范德貝爾把文件放下。
摘了眼鏡。
揉了揉眼睛。
拿起電話,打給法務總監。
「叫律師團,明天早上八點,全部到。」
荷蘭,費爾德霍芬。
ASML總部。
一棟灰色的方形建築,門口豎了兩塊巨幅GG牌,藍底白字。
「EUV:The Future of Semiconductor Manufacturing」
發布會定在上午十點。九點半人就到齊了。
三百多人,坐滿了報告廳。
路透、彭博、金融時報、華爾街日報、日經新聞、法蘭克福匯報——全球科技口的記者來了一半。
攝像機架了兩排,閃光燈試了又試。
范德貝爾穿了件深藍西裝,白襯衫,沒打領帶。
他站在後台,助手遞過來一杯水,他喝了一口,放下。
「準備好了?」
助手點頭。
十點整,燈暗了。
范德貝爾走上台。
身後是一塊十二米寬的LED屏,屏上一行字。
「EUV Alpha Demo Unit — First Light」
掌聲。
范德貝爾沒廢話。
「今天,我給各位看一樣東西。」
屏幕切換,實時畫面——隔壁的潔淨室。
一台機器占了半間屋子,銀白色外殼,管線密密麻麻。
范德貝爾拿起遙控器,按了一下。
潔淨室里,工程師啟動程序。
嗡的一聲。
機器亮了。
屏幕上跳出一組數字。
光源功率:62瓦。
波長:13.5納米。
曝光均勻性:99.2%。
報告廳安靜了三秒。
然後掌聲炸了。
范德貝爾站在台上,等掌聲停了。
「62瓦。各位,我們原定的目標是50瓦,今天的實測數據超出了百分之二十四。」
台下記者開始舉手。
范德貝爾擺了擺手。
「問題等會兒再說,先看完。」
屏幕上切出第二組數據。
解析度測試:45納米線寬,清晰,沒有畸變。
第三組,套刻精度:3.2納米。
范德貝爾指著屏幕。
「這意味著,EUV光刻技術從實驗室走向了工程驗證階段。我們距離量產只差最後一步。」
掌聲又起來了。
發布會結束,記者圍上去。
范德貝爾回答了十二個問題。最後一個,金融時報的記者問。
「首批量產設備的客戶名單,能透露嗎?」
范德貝爾笑了一下。
「首批設備將優先供應我們的長期合作夥伴——台積電,三星,英特爾。至於亞洲其他地區的客戶,目前沒有計劃。」
這句話當天晚上就上了所有科技媒體的頭條。
彭博的標題。
「ASML宣布EUV光刻機突破關鍵里程碑:亞洲客戶被排除在首批名單外」
京城,後海。
下午三點。
張紅旗坐在地下室。
面前一台電腦,屏幕上放的是ASML發布會的網絡直播回放。
他從頭看到尾,看了兩遍。
第一遍看范德貝爾說了什麼。
第二遍看屏幕上那些數字。
62瓦,13.5納米,99.2%,45納米,3.2納米。
他把這些數字一個一個抄在紙上。
陳默站在旁邊,沒說話。
張紅旗把紙折好,裝進信封。
「發鵬城,錢老親啟。今天就寄,用最快的。」
陳默接過去,走了。
五月十號。
鵬城,地下室。
錢院士把ASML發布會的參數輸進了模擬集群。
十台伺服器跑了六個小時。
結果出來了。
錢院士把兩張曲線圖疊在一起。
一張是ASML公布的實測數據。
一張是集群用那五項專利的拉格朗日方程組模擬出來的理論曲線。
兩條線,完全重合。
誤差小於千分之三。
錢院士把眼鏡摘下來,擦了擦,戴回去。
又看了一遍。
他拿起電話。
「張總,確認了。」
張紅旗在煤市街。
「說。」
「他們發布會上展示的光路數據,我用我們的專利算法跑了一遍,結果完全一致。62瓦的光源輸出,99.2%的均勻性,45納米的解析度,全都能復現。」
錢院士停了一下。
「用的就是我們的數學,一模一樣。」
張紅旗沒說話。
錢院士又補了一句。
「證據鏈閉合了。他們的設備從光源到成像,每一步計算都踩在我們的專利上。」
張紅旗說了兩個字。
「知道了。」
掛了。
五月十二號。
京城,國際飯店。
《英雄》國內首映禮。
張紅旗讓劉浩操辦的。
劉浩幹這事在行——請了兩百多號人,媒體記者占了一半,明星大腕來了三十多個。紅毯,閃光燈,主持人嗓門扯得老大。
張謀子站在台上,說了幾句感謝的話。
票房預測鋪天蓋地。
所有娛樂版的頭條都被《英雄》占了。
沒有一家媒體關注半導體。
五月十五號。
范德貝爾接受荷蘭國家電視台專訪。
記者問:「EUV設備什麼時候能量產?」
范德貝爾說:「2005年底之前,第一台量產設備將交付客戶。」
記者又問:「中國市場呢?」
范德貝爾說:「中國在半導體製造領域的技術儲備與國際水平存在代際差距,短期內他們不需要這種設備。」
這段話被翻譯成中文,在國內論壇上傳了一圈。
罵聲一片。
張紅旗沒看。
五月十八號。
洛杉磯。
麥佳佳走進加州中區聯邦法院。
手裡一份補充起訴書,六十一頁。
被告名單第一行。
ASML Holding N.V.
起訴理由:ASML的EUV概念機中使用的光學信號處理模塊,其底層算法與原告持有的五項全球底層專利構成實質性侵權。
附件,一百八十七頁。
其中包括:麻省理工實驗室出具的第二份技術鑑定報告,ASML發布會公開數據與專利算法的比對分析,以及錢院士團隊提供的理論模型復現結果。
索賠金額:一億兩千萬美元。
麥佳佳把文件遞進去,簽了字。
出來,上車,打電話。
「遞進去了。ASML列為第一被告。」
張紅旗在煤市街院子裡,大槐樹剛冒新葉。
「莫里斯那邊準備好了?」
「準備好了。對方一有回應,立刻反擊。」
張紅旗說:「告訴莫里斯,這次不是打官司,是談判的籌碼。讓他做好長期作戰的準備。」
麥佳佳說:「明白。」
掛了。
五月十八號下午。
費爾德霍芬。
范德貝爾的辦公桌上多了一份法院文件。
助手放上去的。
范德貝爾拿起來,翻到第一頁。
被告名單:ASML Holding N.V.。
他愣了兩秒。
翻到起訴理由。
拉格朗日方程組,底層算法,EUV光路計算。
范德貝爾把文件放下。
摘了眼鏡。
揉了揉眼睛。
拿起電話,打給法務總監。
「叫律師團,明天早上八點,全部到。」