第36章 暢想光刻廠，劍斬ASML
第36章 暢想光刻廠，劍斬ASML
光刻廠？
難道不是大量光刻機一起工作運行的廠房嗎？
剛聽到這個名詞的時候，周振威教授腦海里下意識的就浮現出一個場景。
但很明顯，李昊的語氣中表達的，肯定是與傳統意義上的「光刻廣」截然不同。
「說說你的想法！」周振威興趣來了。
李昊從筆記本電腦上調出一份三維設計圖。
周振威湊過去一看，只見屏幕上顯示的是一座占地龐大的工業建築群。
中央贏立著數個環形結構，周圍分布著密密麻麻的輔助設施。
「傳統光刻機是把所有功能集成在一個箱子裡，而我的方案是把整個晶片製造流程拆解成獨立的模塊，每個模塊占據一個廠房。」李昊指著屏幕解釋道，「就像把一台精密手錶拆成零件，每個零件單獨製造再組裝。」
「這應該是粒子加速器的結構吧？」周振威有些狐疑。
「沒錯！」李昊把核心圈了出來，「光刻廠的核心是利用粒子加速器產生高能粒子束，通過特殊的轉換裝置，將其轉化為極紫外光。」
「極紫外光您應該知道，這是光刻機巨頭ASML剛剛提出的一種全新雷射方案。」
「而經過我的演算判定，他們的眼光還挺不錯的，極紫外光確實非常適合應用到光刻機上。」
「它的波長極短，能夠實現更精細的光刻製程。」
「而我的方案，就是同步輻射光源替代EUV雷射，通過電子儲存環產生穩定高能的極紫外光。」
「一個環可以供應十條以上光刻產線，單瓦光子成本應該只有EUV方案的百分之一！」
「按照預估，ASML的EUV方案理論上可以做到每小時加工400-500片晶圓，就算為了穩定最少也能加工200片晶圓以上。」
「當然，這種方案的能耗不小，一小時差不多就要用掉1200多度電。」
「而光刻廠呢，一個環帶十條產線，每小時可處理30000片左右，預計總電耗不過才1500度左右。」
周教授的呼吸明顯急促起來，他顫抖著手指划過那些參數：「這亮度這穩定性.」
「同步輻射光源的波長覆蓋0.1-100納米，可以輕鬆滿足5nm及以下製程需求。」李昊繼續放大設計圖，「關鍵是所有設備都可以做到國產，比如真空腔體、鍍膜反射鏡等關鍵設備。」
周教授突然抓住李昊的肩膀：「你知道這意味著什麼嗎？這相當於把晶片製造從『手工作坊'升級成『現代化工廠『！等等」他突然想到什麼，「掩模問題怎麼解決？這麼高能量密度「雙層動態掩模。」李昊調出新圖紙，「底層用常規石英掩模，上層加裝等離子體柵格。通過電磁場實時調節透光率，既保護掩模又能實現灰度曝光，一舉解決傳統光源的隨機噪聲問題。」
周教授倒退兩步跌坐在椅子上，白大褂後背已經汗濕一片。
作為業內專家，他太清楚這套方案的顛覆性。
這完全跳出了西方主導的技術路線，開創了全新的半導體製造範式！
「造價呢？」周教授聲音發乾，「這樣一個...：．.光刻廠要多少投入？」
「首期投資約50億。」李昊的回答讓周教授剛端起的茶杯又放了回去，「但建成後月產能相當於150台EUV光刻機，平攤到每片晶圓的設備成本只有現在的三十分之一。」
窗外泛起魚肚白時，周教授已經記滿了三個筆記本。
他望著初升的朝陽，突然老淚縱橫：「二十年了-我們終於等到這一天...」
「李昊啊，你這個構想簡直是天才之作！有了光刻廠，我們大夏的半導體產業必將迎來質的飛躍，徹底擺脫國外的技術封鎖指日可待啊！」
李昊非常理解他的心情，不過現在還沒到感慨的時候。
有太多的事情，需要馬上處理。
存儲晶片、傳感器晶片以及後續要自主生產的盤古X1晶片，都急需先進的晶片製造工藝。
但建造光刻廠所需的資金，遠非昊天科技目前的財力所能承受。
想要快速建廠並投入生產，開放合作是唯一的出路。
李昊誠懇地看著周教授，說道：「周教授，我想拜託您一件事。」
「什麼事，你儘管說！」周振威抹了抹眼角，此刻他的心情激盪，說不出的豪情萬丈。
「您在業內人脈廣泛，又和大夏官方聯繫密切。能不能麻煩您通過官方渠道，聯繫那些有意投資半導體產業的商家，比如中芯國際，他們在晶片製造領域已經有了一定的基礎，我們可以一起探討合作的可能性。」
「還有比亞迪，您也知道，他們在電池業務做到世界第一後，一直在尋找第二項主營業務，半導體行業就是他們的目標之一。之前他們在收購過程中被鷹醬官方叫停了，但我相信他們對半導體產業的熱情依然不減。我們和他們合作，優勢互補，一定能碰撞出不一樣的火花。」
周教授毫不猶豫地點頭答應：「沒問題，李昊！」
「這是好事，為了大夏的半導體事業，我一定竭盡全力。」
除了光刻廠和晶片製造的合作，李昊還在思考攝像頭模組以及OLED液晶顯示屏的量產問題。
這兩項，是昊天T1接下來量產所急需的。
他打算直接找國內現有相關業務的廠商，以技術入股的方式進行合作。
在2004年，國內已經有一些在這方面頗具實力的企業。
像歐菲光，在攝像頭模組領域已經嶄露頭角：
還有京東方，在液晶顯示屏的研發和生產上也有一定的成果。
達成合作之後，只要對這些企業的產線進行一些細節調整，就能夠快速量產他所需要的產品。
李昊心裡盤算著，通過技術入股，既能發揮這些企業現有的生產能力，又能為昊天科技節省大量的時間和資金成本。
同時，也能帶動國內相關產業的升級和發展。
可謂一舉多得！
另外，李昊還有一些其他的盤算。
從系統獲得的5nm半導體技術中，除了性價比的光刻廠方案之外。
其實EUV光刻機的方案也給了全套！
這個方案雖然缺點明顯，比如晶片產量低、能耗高得離譜還外加造價奇高無比。
但如果拿到國際市場上去「釣魚」那就再合適不過了！
ASML雖然現在已經提出了EUV的方案並造出原型機，但應用到實際最少還要個幾年。
李昊可以通過海外專利的申請，輕易卡住幾個關鍵核心部件。
憑藉這些，就能在一定程度上卡死ASML後續的發展。
想要繼續走EUV路線，就必須繞過李昊的專利，這無疑會給他們帶來巨大的阻礙。
其次，這個方案雖然性價比不高，但對於一些急於提升晶片製程工藝，又不在乎成本的企業來說，還是有一定吸引力的。
李昊完全可以將這個方案賣個好價錢。
畢竟昊天科技現在正處於快速發展階段，資金需求十分迫切。
通過出售這個方案，既能獲取一筆可觀的收入，又能在國際半導體市場上占據一席之地，提升昊天科技的知名度和影響力。
昊天科技可以連贏兩次。
完美！
光刻廠？
難道不是大量光刻機一起工作運行的廠房嗎？
剛聽到這個名詞的時候，周振威教授腦海里下意識的就浮現出一個場景。
但很明顯，李昊的語氣中表達的，肯定是與傳統意義上的「光刻廣」截然不同。
「說說你的想法！」周振威興趣來了。
李昊從筆記本電腦上調出一份三維設計圖。
周振威湊過去一看，只見屏幕上顯示的是一座占地龐大的工業建築群。
中央贏立著數個環形結構，周圍分布著密密麻麻的輔助設施。
「傳統光刻機是把所有功能集成在一個箱子裡，而我的方案是把整個晶片製造流程拆解成獨立的模塊，每個模塊占據一個廠房。」李昊指著屏幕解釋道，「就像把一台精密手錶拆成零件，每個零件單獨製造再組裝。」
「這應該是粒子加速器的結構吧？」周振威有些狐疑。
「沒錯！」李昊把核心圈了出來，「光刻廠的核心是利用粒子加速器產生高能粒子束，通過特殊的轉換裝置，將其轉化為極紫外光。」
「極紫外光您應該知道，這是光刻機巨頭ASML剛剛提出的一種全新雷射方案。」
「而經過我的演算判定，他們的眼光還挺不錯的，極紫外光確實非常適合應用到光刻機上。」
「它的波長極短，能夠實現更精細的光刻製程。」
「而我的方案，就是同步輻射光源替代EUV雷射，通過電子儲存環產生穩定高能的極紫外光。」
「一個環可以供應十條以上光刻產線，單瓦光子成本應該只有EUV方案的百分之一！」
「按照預估，ASML的EUV方案理論上可以做到每小時加工400-500片晶圓，就算為了穩定最少也能加工200片晶圓以上。」
「當然，這種方案的能耗不小，一小時差不多就要用掉1200多度電。」
「而光刻廠呢，一個環帶十條產線，每小時可處理30000片左右，預計總電耗不過才1500度左右。」
周教授的呼吸明顯急促起來，他顫抖著手指划過那些參數：「這亮度這穩定性.」
「同步輻射光源的波長覆蓋0.1-100納米，可以輕鬆滿足5nm及以下製程需求。」李昊繼續放大設計圖，「關鍵是所有設備都可以做到國產，比如真空腔體、鍍膜反射鏡等關鍵設備。」
周教授突然抓住李昊的肩膀：「你知道這意味著什麼嗎？這相當於把晶片製造從『手工作坊'升級成『現代化工廠『！等等」他突然想到什麼，「掩模問題怎麼解決？這麼高能量密度「雙層動態掩模。」李昊調出新圖紙，「底層用常規石英掩模，上層加裝等離子體柵格。通過電磁場實時調節透光率，既保護掩模又能實現灰度曝光，一舉解決傳統光源的隨機噪聲問題。」
周教授倒退兩步跌坐在椅子上，白大褂後背已經汗濕一片。
作為業內專家，他太清楚這套方案的顛覆性。
這完全跳出了西方主導的技術路線，開創了全新的半導體製造範式！
「造價呢？」周教授聲音發乾，「這樣一個...：．.光刻廠要多少投入？」
「首期投資約50億。」李昊的回答讓周教授剛端起的茶杯又放了回去，「但建成後月產能相當於150台EUV光刻機，平攤到每片晶圓的設備成本只有現在的三十分之一。」
窗外泛起魚肚白時，周教授已經記滿了三個筆記本。
他望著初升的朝陽，突然老淚縱橫：「二十年了-我們終於等到這一天...」
「李昊啊，你這個構想簡直是天才之作！有了光刻廠，我們大夏的半導體產業必將迎來質的飛躍，徹底擺脫國外的技術封鎖指日可待啊！」
李昊非常理解他的心情，不過現在還沒到感慨的時候。
有太多的事情，需要馬上處理。
存儲晶片、傳感器晶片以及後續要自主生產的盤古X1晶片，都急需先進的晶片製造工藝。
但建造光刻廠所需的資金，遠非昊天科技目前的財力所能承受。
想要快速建廠並投入生產，開放合作是唯一的出路。
李昊誠懇地看著周教授，說道：「周教授，我想拜託您一件事。」
「什麼事，你儘管說！」周振威抹了抹眼角，此刻他的心情激盪，說不出的豪情萬丈。
「您在業內人脈廣泛，又和大夏官方聯繫密切。能不能麻煩您通過官方渠道，聯繫那些有意投資半導體產業的商家，比如中芯國際，他們在晶片製造領域已經有了一定的基礎，我們可以一起探討合作的可能性。」
「還有比亞迪，您也知道，他們在電池業務做到世界第一後，一直在尋找第二項主營業務，半導體行業就是他們的目標之一。之前他們在收購過程中被鷹醬官方叫停了，但我相信他們對半導體產業的熱情依然不減。我們和他們合作，優勢互補，一定能碰撞出不一樣的火花。」
周教授毫不猶豫地點頭答應：「沒問題，李昊！」
「這是好事，為了大夏的半導體事業，我一定竭盡全力。」
除了光刻廠和晶片製造的合作，李昊還在思考攝像頭模組以及OLED液晶顯示屏的量產問題。
這兩項，是昊天T1接下來量產所急需的。
他打算直接找國內現有相關業務的廠商，以技術入股的方式進行合作。
在2004年，國內已經有一些在這方面頗具實力的企業。
像歐菲光，在攝像頭模組領域已經嶄露頭角：
還有京東方，在液晶顯示屏的研發和生產上也有一定的成果。
達成合作之後，只要對這些企業的產線進行一些細節調整，就能夠快速量產他所需要的產品。
李昊心裡盤算著，通過技術入股，既能發揮這些企業現有的生產能力，又能為昊天科技節省大量的時間和資金成本。
同時，也能帶動國內相關產業的升級和發展。
可謂一舉多得！
另外，李昊還有一些其他的盤算。
從系統獲得的5nm半導體技術中，除了性價比的光刻廠方案之外。
其實EUV光刻機的方案也給了全套！
這個方案雖然缺點明顯，比如晶片產量低、能耗高得離譜還外加造價奇高無比。
但如果拿到國際市場上去「釣魚」那就再合適不過了！
ASML雖然現在已經提出了EUV的方案並造出原型機，但應用到實際最少還要個幾年。
李昊可以通過海外專利的申請，輕易卡住幾個關鍵核心部件。
憑藉這些，就能在一定程度上卡死ASML後續的發展。
想要繼續走EUV路線，就必須繞過李昊的專利，這無疑會給他們帶來巨大的阻礙。
其次，這個方案雖然性價比不高，但對於一些急於提升晶片製程工藝，又不在乎成本的企業來說，還是有一定吸引力的。
李昊完全可以將這個方案賣個好價錢。
畢竟昊天科技現在正處於快速發展階段，資金需求十分迫切。
通過出售這個方案，既能獲取一筆可觀的收入，又能在國際半導體市場上占據一席之地，提升昊天科技的知名度和影響力。
昊天科技可以連贏兩次。
完美！