第44章 研製出一台真正的光刻機！
譚淵這還是第一次被邀請來到宋羽燃的家裡。
他只覺得心臟怦怦直跳，一路上不由得開始胡思亂想起來。
這麼晚了，師姐還讓自己來到家裡，是不是……想要和他干點什麼？
她是不是……同意他的表白了？
是不是……終於想起自己是誰了？
畢竟，師姐小時候可是親口答應過，長大以後要牽著他的手，跟他一起走進教堂的！
「譚淵，你在這裡等一等。」
一進家門，宋羽燃便讓譚淵在客廳里等一會兒，然後自己走進了裡面的臥室。
很快，她就從臥室里走了出來，手裡還拿著……一台筆記本電腦和一疊紙、一支筆。
「不好意思這麼晚叫你上來，我想……你可不可以幫我講解一下光刻機的工作原理？」
宋羽燃坐在譚淵的身邊，有些為難地說道，「畢竟你是哈佛大學，物理學畢業的高材生，比我這個學計算機的要懂的多多了。」
譚淵站在原地，滿臉的黑線……
原來，還是為了光刻機啊！
「怎麼了？是不是……太晚了，你該休息了？」宋羽燃小心翼翼地開口。
譚淵無奈地嘆了一口氣。
「沒有，當然可以的師姐。不過……這個光刻機可不是一時半會兒能講完的，怎麼也得個把小時，你……可以堅持的住麼？」
「沒問題，我平時睡得也比較晚！」宋羽燃欣然道。
宋羽燃家客廳沒有沙發，只有一張不大的書桌，宋羽燃搬了兩把椅子，與譚淵肩並肩坐在一起，將筆記本電腦和紙筆推到了他的面前，說道：「開始吧。」
譚淵點了點頭，先是打開電腦，搜索出了阿斯麥公司的官方網頁，點了進去，然後停在EUV光刻機的頁面：
「其實，我在哈佛大學也不是研究光刻機這個方向的，不過我選修過光學原理這門課，正好那個老師教了我們光刻機的工作原理，所以我了解一些。」
「師姐你看，這台就是世界上最先進的光刻機，EUV光刻機。它的光源為極紫外光，波長為13.5納米，這種EUV的光源，是通過高能雷射轟擊金屬錫激發的等離子體產生的……」
譚淵一邊說著，一邊拿過一張白紙，在白紙上首先畫出一道光波，然後又在下面寫了EUV幾個字。接著他繼續說道：
「與EUV光源相對應的，是DUV光源，通常使用氟化氬雷射（ArF），波長為193納米，廣泛應用於28納米及以上的製程節點……」
夜漸漸深了。
窗外萬籟俱寂，窗內，一盞暖黃色的燈光安靜地亮著……
譚淵一邊將，一邊在紙上做著記錄，不知不覺就寫了四五頁的紙，還在另外一張白紙上，工工整整地在畫起光刻機的內部構造來。
宋羽燃則坐在譚淵身旁，認真地聽著她的講解。
這些知識對於她這個計算機系的女博士來說，實在是過於深奧，不過宋羽燃很聰明，在譚淵細緻耐心的講解下，很快便理解了其中的原理。
最後，隨著譚淵紙上的那台光刻機的模型畫完，宋羽燃終於恍然大悟，原來，光刻機的原理是這樣的！
她也知道了為什麼現在華國，還造不出像阿斯麥光刻機那樣先進的光刻機，主要還是製造工藝和光源系統受限的問題。
「師姐，你還有什麼問題麼？」譚淵耐心地詢問道。
「嗯，目前沒有了。」宋羽燃嫣然一笑，「謝謝你，譚淵。我現在終於對光刻機有了全面的了解，你講的真的棒！」
「那……」
譚淵抬起頭，看了看牆上的時鐘，已經指向了凌晨2點，他趕緊起身道：
「師姐，已經這麼晚了，你趕緊休息吧，我就不打擾了！」
宋羽燃卻不緊不慢說道：
「你困了嗎？」
譚淵：……
不是，我倒是不困，可是你的身體也受不了啊！再說大半夜的，自己要是再不走，他真的要不自覺地想入非非了！
「我也有點困了，師姐，你早點休息吧。」
譚淵伸手拿過搭在衣架上的外套。
「等等，我還要跟你……」宋羽燃上前拉住了覃淵的手臂。
譚淵的心頭猛地一悸，以為自己聽錯了，「師姐，你……是不是想要跟我……」
宋羽燃抿了抿唇，仿佛在心中下了某種決心似地，點了點頭道。
「我想要跟你說一件事。」
譚淵：……
「師姐，你說吧。」
「你不是之前好奇，我父親的屋裡到底是什麼樣子麼？我現在可以帶你去看看，你想不想看？」
「宋伯伯？」
「嗯，他……生前的屋子。」
譚淵放下外套，臉色鄭重了下來，回握住了宋羽燃的手，「好，師姐帶我去看看吧。」
*
「啪嗒」一聲，門鎖打開。
宋羽燃推開了父親宋嘉樹房間的門，然後回過頭，對譚淵說道：「進來吧」。
譚淵跟著宋羽燃的步伐，走進了房間。
只見這間房間比宋羽燃的臥室大了好多，應該有30幾個平方。四周擺滿了書櫃，書柜上放著滿滿當當的書，中間是一張電腦桌，還有休息的沙發。角落裡還擺放著幾台老舊的設備。
譚淵認出，其中幾台是晶圓製備的設備，在燃芯實驗室中也有類似的設備。而靠近陽台的一角，擺放著最大的一台設備，機箱是一個巨大的長方形，上面連接著很多的操作杆，如同一隻巨大的八爪魚一樣。
譚淵的瞳孔猛然一縮。
「光刻機？！」
宋羽燃搖了搖頭。
「那不是光刻機，只是一台簡易的雷射鵰刻機。不過……我父親曾經嘗試過，以這台雷射鵰刻機為原型，研製出光刻機，不過他失敗了。呵，他太天真了，光刻機和雷射鵰刻機，根本就不是一個級別的設備。」
接著，宋羽燃牽了牽唇角，似乎是用嘲諷般地語氣說道；
「不過我父親卻一直在傻傻地鑽研，直到生命的最後一刻，他還在想著這件事，他說，燃芯的初衷本來就是要實現技術的獨立自主，如果生產燃芯的光刻機技術，還是壟斷在外國人手裡的話，那麼燃芯即使做出來，也就沒有任何意義了。」
宋羽燃的眼中閃過一抹悲涼的顏色，不過轉瞬即逝。
然後，她抬起頭，望著譚淵的眼睛，神色無比認真：
「譚淵，你覺得……」
「我們可以自己研製出一台真正的EUV光刻機麼？」
他只覺得心臟怦怦直跳，一路上不由得開始胡思亂想起來。
這麼晚了，師姐還讓自己來到家裡，是不是……想要和他干點什麼？
她是不是……同意他的表白了？
是不是……終於想起自己是誰了？
畢竟，師姐小時候可是親口答應過，長大以後要牽著他的手，跟他一起走進教堂的！
「譚淵，你在這裡等一等。」
一進家門，宋羽燃便讓譚淵在客廳里等一會兒，然後自己走進了裡面的臥室。
很快，她就從臥室里走了出來，手裡還拿著……一台筆記本電腦和一疊紙、一支筆。
「不好意思這麼晚叫你上來，我想……你可不可以幫我講解一下光刻機的工作原理？」
宋羽燃坐在譚淵的身邊，有些為難地說道，「畢竟你是哈佛大學，物理學畢業的高材生，比我這個學計算機的要懂的多多了。」
譚淵站在原地，滿臉的黑線……
原來，還是為了光刻機啊！
「怎麼了？是不是……太晚了，你該休息了？」宋羽燃小心翼翼地開口。
譚淵無奈地嘆了一口氣。
「沒有，當然可以的師姐。不過……這個光刻機可不是一時半會兒能講完的，怎麼也得個把小時，你……可以堅持的住麼？」
「沒問題，我平時睡得也比較晚！」宋羽燃欣然道。
宋羽燃家客廳沒有沙發，只有一張不大的書桌，宋羽燃搬了兩把椅子，與譚淵肩並肩坐在一起，將筆記本電腦和紙筆推到了他的面前，說道：「開始吧。」
譚淵點了點頭，先是打開電腦，搜索出了阿斯麥公司的官方網頁，點了進去，然後停在EUV光刻機的頁面：
「其實，我在哈佛大學也不是研究光刻機這個方向的，不過我選修過光學原理這門課，正好那個老師教了我們光刻機的工作原理，所以我了解一些。」
「師姐你看，這台就是世界上最先進的光刻機，EUV光刻機。它的光源為極紫外光，波長為13.5納米，這種EUV的光源，是通過高能雷射轟擊金屬錫激發的等離子體產生的……」
譚淵一邊說著，一邊拿過一張白紙，在白紙上首先畫出一道光波，然後又在下面寫了EUV幾個字。接著他繼續說道：
「與EUV光源相對應的，是DUV光源，通常使用氟化氬雷射（ArF），波長為193納米，廣泛應用於28納米及以上的製程節點……」
夜漸漸深了。
窗外萬籟俱寂，窗內，一盞暖黃色的燈光安靜地亮著……
譚淵一邊將，一邊在紙上做著記錄，不知不覺就寫了四五頁的紙，還在另外一張白紙上，工工整整地在畫起光刻機的內部構造來。
宋羽燃則坐在譚淵身旁，認真地聽著她的講解。
這些知識對於她這個計算機系的女博士來說，實在是過於深奧，不過宋羽燃很聰明，在譚淵細緻耐心的講解下，很快便理解了其中的原理。
最後，隨著譚淵紙上的那台光刻機的模型畫完，宋羽燃終於恍然大悟，原來，光刻機的原理是這樣的！
她也知道了為什麼現在華國，還造不出像阿斯麥光刻機那樣先進的光刻機，主要還是製造工藝和光源系統受限的問題。
「師姐，你還有什麼問題麼？」譚淵耐心地詢問道。
「嗯，目前沒有了。」宋羽燃嫣然一笑，「謝謝你，譚淵。我現在終於對光刻機有了全面的了解，你講的真的棒！」
「那……」
譚淵抬起頭，看了看牆上的時鐘，已經指向了凌晨2點，他趕緊起身道：
「師姐，已經這麼晚了，你趕緊休息吧，我就不打擾了！」
宋羽燃卻不緊不慢說道：
「你困了嗎？」
譚淵：……
不是，我倒是不困，可是你的身體也受不了啊！再說大半夜的，自己要是再不走，他真的要不自覺地想入非非了！
「我也有點困了，師姐，你早點休息吧。」
譚淵伸手拿過搭在衣架上的外套。
「等等，我還要跟你……」宋羽燃上前拉住了覃淵的手臂。
譚淵的心頭猛地一悸，以為自己聽錯了，「師姐，你……是不是想要跟我……」
宋羽燃抿了抿唇，仿佛在心中下了某種決心似地，點了點頭道。
「我想要跟你說一件事。」
譚淵：……
「師姐，你說吧。」
「你不是之前好奇，我父親的屋裡到底是什麼樣子麼？我現在可以帶你去看看，你想不想看？」
「宋伯伯？」
「嗯，他……生前的屋子。」
譚淵放下外套，臉色鄭重了下來，回握住了宋羽燃的手，「好，師姐帶我去看看吧。」
*
「啪嗒」一聲，門鎖打開。
宋羽燃推開了父親宋嘉樹房間的門，然後回過頭，對譚淵說道：「進來吧」。
譚淵跟著宋羽燃的步伐，走進了房間。
只見這間房間比宋羽燃的臥室大了好多，應該有30幾個平方。四周擺滿了書櫃，書柜上放著滿滿當當的書，中間是一張電腦桌，還有休息的沙發。角落裡還擺放著幾台老舊的設備。
譚淵認出，其中幾台是晶圓製備的設備，在燃芯實驗室中也有類似的設備。而靠近陽台的一角，擺放著最大的一台設備，機箱是一個巨大的長方形，上面連接著很多的操作杆，如同一隻巨大的八爪魚一樣。
譚淵的瞳孔猛然一縮。
「光刻機？！」
宋羽燃搖了搖頭。
「那不是光刻機，只是一台簡易的雷射鵰刻機。不過……我父親曾經嘗試過，以這台雷射鵰刻機為原型，研製出光刻機，不過他失敗了。呵，他太天真了，光刻機和雷射鵰刻機，根本就不是一個級別的設備。」
接著，宋羽燃牽了牽唇角，似乎是用嘲諷般地語氣說道；
「不過我父親卻一直在傻傻地鑽研，直到生命的最後一刻，他還在想著這件事，他說，燃芯的初衷本來就是要實現技術的獨立自主，如果生產燃芯的光刻機技術，還是壟斷在外國人手裡的話，那麼燃芯即使做出來，也就沒有任何意義了。」
宋羽燃的眼中閃過一抹悲涼的顏色，不過轉瞬即逝。
然後，她抬起頭，望著譚淵的眼睛，神色無比認真：
「譚淵，你覺得……」
「我們可以自己研製出一台真正的EUV光刻機麼？」