第148章 MOCVD
第148章 MOCVD
奉天科儀，三樓大會議室
「怎麼樣？小陳同學休息好了嗎？」劉民學廠長關心的問道。
「我沒事了。」陳泉的臉色已經恢復正常。「估計是昨天坐車時間太長，再加上休息不好。眯一會就好了。」
「那就好。那就好。」科儀的幾位科長，都長長舒了一口氣。
在參觀的過程中，陳泉的臉色是越來越差。這讓對考察報以厚望的主人們，心都懸了起來。他們搞不清楚，陳泉的臉色差，是因為身體原因，還是單純的不滿。
「希望這次意外，不會影響到對我們廠的評價。」
劉廠長還是有些不放心。
「沒事，陳泉他的身體就是這樣。畢竟年齡小，底子薄。」王湛樂呵呵的安撫。「但年輕人嘛，恢復得也快。不要介意。」
「那好，讓我重新介紹吧。」
劉民學咳嗽了一聲，吸引了所有人的注意。
創建於1958年的奉天科儀，屬於集成電路裝備和真空儀器設備領域的先行軍。在一切自力更生的年代，有過輝煌的歷史。
隨著國門的打開，在進口產品的降維衝擊下，奉天科儀的形式急轉直下。
隨著價格雙軌制的取消，這兩年奉天各企業的經濟形勢普遍向好，所以奉天科儀也在積極轉型，例如進軍農業機械市場，但效果越來越差。
「不知道，我們的這些介紹，是否足夠詳細？」劉民學廠長最後問。
「不錯，不錯。夠了，夠了。」
王湛已經在奉天兩天了，對科儀的印像很是不錯。
除了廠家本身的實力，也有容易配合的考量。畢竟其他設備廠家離冰城太遠，溝通不方便。不說時間上的浪費，長途火車票也是緊俏物資的一種，不是想買就能買到的。
「在MOCVD領域，你們有什麼積累嗎？」
陳泉突然問到。奉天科儀的介紹，始終圍繞著PVD（物理氣相沉積）類產品進行。
「MOCVD？」
劉民學有點意外，然後把目光投向了技術科科長王青山。這個領域，他並不熟悉。
「據我所知，MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）技術並不成熟，市面上好像還沒有類似的產品吧。」
王青山有點不太確定。
MOCVD是從VPE(氣相外延生長)基礎上發展起來的新技術。
在MOCVD技術中，反應氣體在高溫下結合，形成的材料沉積在基板上。含有所需化學元素的生成物再和氫化物的表面反應，形成材料和化合物半導體的外延。
不同於傳統的矽半導體，這些半導體可以包含的組合III族和V族，II族和VI族，IV族或第IV族，V和VI族的元素。
MOCVD相關理論提出得很早，但真正走入實際驗證，不過是近幾年的事情。有一些廠家，自行改造定製MOCVD，但相關技術和產品，遠遠沒有成熟到可以商用的程度。
「你想在MEMS中，棄用PVD，轉用MOCVD設備？」王湛聽到消息，也是吃了一驚。「是又有什麼新的發現嗎？MEMS工藝要做大的修改嗎？」
「嗯，怎麼說呢」
陳泉陷入了沉思。
藍光LED之所以在紅光，綠光LED面世二十年之後，還不能量產，就是因為遇到難以克服的困難。
在藍光LED領域，人類的最早研究，走的是GaN（氮化嫁）路線。但GaN的合成太困難。
另外，科研人員還發現，GaN具有很高的缺陷(位錯)密度（按照傳統半導體物理的認識，GaN 這麼高的位錯密度不可能發強光外），因此，大多數人都轉向了其他技術方向。
目前市場上，有些低亮度的藍光LED商品售賣，其走的是SiC（碳化矽）路線。但這條路線，從原理上，發光效率就不高。
因此大量的研究人員，又轉向了ZnSe（硒化鋅）材料。ZnSe材料，無論是理論，還是實際發光效率，都取得了很大進展，但這條路線始終面對一個令人頭疼的問題，那就是產品壽命。
藍光LED的幾條技術路線，每條都有自己不同的困難，全都被卡住了。
而『他』就是通過定製MOCVD的方式，另闢蹊徑，解決了GaN的製備問題。
「我和陳泉想定製兩台MOCVD設備，做些預研。這部分研究工作，不會影響到MEMS產線的建設工作。」了解內情的曲燕秋，乾脆把話接了過去。
「不影響到MEMS建廠，那就沒有問題了。」
王湛長出一口氣。如果工藝不停的變來變去，他的工作也很難做。
「而且我希望，這個定製設備的製造工作，就交給奉天科儀。」
陳泉補充。
MOCVD只是解決了GaN的製備問題，後續的一系列技術難點，以及解決方法，必須要設備到位後，才能去探索，他不想節外生枝。
「哦？好！當然好！我們熱烈歡迎。」
奉天科儀的幾個人，先是一愣，然後就是大喜。
「可MOCVD，我們並沒有相關的生產經驗啊。」技術科的王青山很快反應過來。
「沒有經驗，我們就不能生產了嗎？」
劉民學趕緊接過話頭。「我們廠的產品，哪個不是從零開始？包括我們的農用機械，不也是自行研發出來的嗎？」
「可MOCVD不同。」
王青山不肯放棄。「國內關於MOCVD的資料特別少。據我所知，國外很多公司，都是購買現成的VPE設備進行改裝。但VPE類設備對我們禁運，我們就是想買都買不到。」
「.」
眾人把目光，又重新投向了陳泉。
「要不，MOCVD的事情，先放一放？條件不成熟的東西，沒有必要強求。畢竟國內的條件就這樣。國外設備廠商很容易做到的事情，放到國內，就未必了。」
王湛打圓場。「讓我們還是回到MEMS設備選型的問題上。」
「對，對。我們先討論生產線的事情。」劉民學廠長使勁瞪了一眼自己的技術科長，又把期待的目光，以及滿臉的笑容，重新帶回會議桌。
「.從技術參數和指標上看，貴廠的產品，基本符合了我們的預期。但我要再次強調，我們的產品是要被應用到航天和航空領域的。因此，參數指標不是第一位的，質量和穩定性，才是最重要的。」
經過了漫長的討論，王湛終於下了結束語。
「關於質量，請領導放心，絕對不會出問題的，畢竟我們也是有多年歷史的老廠了。」
劉民學大拍胸脯。
會議室里的氣氛，很快就融洽了起來。
「食堂那邊還沒有準備好。」劉秘書回來報告。
劉民學問：「我們先休息會？還是到車間再去轉轉？你們再幫我們提提建議？」
「你看呢？」王湛轉身徵求陳泉的意見。
剛才的設備參數討論，陳泉很少說話，反而曲燕秋的態度非常積極，一直在不停地問東問西。
陳泉沒有回答問題，而是把目光轉向了技術科科長，王青山。「能不能借我一套繪圖板？」
「繪圖板？你要繪圖板做什麼？」
王湛詫異了。「.你難道要自行設計MOCVD設備嗎？」
雖然王湛與陳泉有過幾次接觸，但兩人還遠遠談不上熟悉。對於陳泉的固執己見，王湛有了點意見。
設計一台全新設備，哪是那麼容易的事情。
不過他不好多說什麼，尤其在外人面前。
「試試看吧。」
陳泉沒有把話說死。雖然有「他」的記憶打底，但陳泉連圖板的邊都沒有摸過。
但現在絕對不是放棄的時候。這次的機會，可以說稍縱即逝。再次回到奉天科儀，不一定是什麼時候的事情了。
如果無法如願，帶走記憶中的那台MOCVD，藍光LED徹底沒有了希望。
「那?」
劉民學用目光徵詢意見，發現陳泉並沒有放棄的意思，王湛也不說話，他只得吩咐。「小劉，找人抬一副圖板過來吧。」
「抬我那副吧。」
王青山站起來，跟了出去。「我那副是磁鐵繪圖板，條件好一些。」
很快的，一副設計人員常用的零號工程繪圖板，被四個人抬進了大會議室。
「這是活動丁字尺，只要這麼一拉，它就能在導軌上.」王青山給陳泉介紹他的寶貝。
「你們工大的電子系學生，也要學機械製圖嗎？」
王湛在後面，小聲的問曲燕秋。
「電子系的學生沒有製圖課。但陳泉，你是知道的。他總是能做出些出人意料的事情，不是嗎？」曲燕秋只能如此回答。
……
技術科長王青山看著陳泉，滿臉好奇的擺弄著圖板上的各種配件，一看就是沒有接觸過機械設計的全新選手。
「要不你把想法說出來，我來畫圖.」
可就在所有人的驚訝目光里，陳泉拿起筆，趴到了圖板上。
(本章完)
奉天科儀，三樓大會議室
「怎麼樣？小陳同學休息好了嗎？」劉民學廠長關心的問道。
「我沒事了。」陳泉的臉色已經恢復正常。「估計是昨天坐車時間太長，再加上休息不好。眯一會就好了。」
「那就好。那就好。」科儀的幾位科長，都長長舒了一口氣。
在參觀的過程中，陳泉的臉色是越來越差。這讓對考察報以厚望的主人們，心都懸了起來。他們搞不清楚，陳泉的臉色差，是因為身體原因，還是單純的不滿。
「希望這次意外，不會影響到對我們廠的評價。」
劉廠長還是有些不放心。
「沒事，陳泉他的身體就是這樣。畢竟年齡小，底子薄。」王湛樂呵呵的安撫。「但年輕人嘛，恢復得也快。不要介意。」
「那好，讓我重新介紹吧。」
劉民學咳嗽了一聲，吸引了所有人的注意。
創建於1958年的奉天科儀，屬於集成電路裝備和真空儀器設備領域的先行軍。在一切自力更生的年代，有過輝煌的歷史。
隨著國門的打開，在進口產品的降維衝擊下，奉天科儀的形式急轉直下。
隨著價格雙軌制的取消，這兩年奉天各企業的經濟形勢普遍向好，所以奉天科儀也在積極轉型，例如進軍農業機械市場，但效果越來越差。
「不知道，我們的這些介紹，是否足夠詳細？」劉民學廠長最後問。
「不錯，不錯。夠了，夠了。」
王湛已經在奉天兩天了，對科儀的印像很是不錯。
除了廠家本身的實力，也有容易配合的考量。畢竟其他設備廠家離冰城太遠，溝通不方便。不說時間上的浪費，長途火車票也是緊俏物資的一種，不是想買就能買到的。
「在MOCVD領域，你們有什麼積累嗎？」
陳泉突然問到。奉天科儀的介紹，始終圍繞著PVD（物理氣相沉積）類產品進行。
「MOCVD？」
劉民學有點意外，然後把目光投向了技術科科長王青山。這個領域，他並不熟悉。
「據我所知，MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）技術並不成熟，市面上好像還沒有類似的產品吧。」
王青山有點不太確定。
MOCVD是從VPE(氣相外延生長)基礎上發展起來的新技術。
在MOCVD技術中，反應氣體在高溫下結合，形成的材料沉積在基板上。含有所需化學元素的生成物再和氫化物的表面反應，形成材料和化合物半導體的外延。
不同於傳統的矽半導體，這些半導體可以包含的組合III族和V族，II族和VI族，IV族或第IV族，V和VI族的元素。
MOCVD相關理論提出得很早，但真正走入實際驗證，不過是近幾年的事情。有一些廠家，自行改造定製MOCVD，但相關技術和產品，遠遠沒有成熟到可以商用的程度。
「你想在MEMS中，棄用PVD，轉用MOCVD設備？」王湛聽到消息，也是吃了一驚。「是又有什麼新的發現嗎？MEMS工藝要做大的修改嗎？」
「嗯，怎麼說呢」
陳泉陷入了沉思。
藍光LED之所以在紅光，綠光LED面世二十年之後，還不能量產，就是因為遇到難以克服的困難。
在藍光LED領域，人類的最早研究，走的是GaN（氮化嫁）路線。但GaN的合成太困難。
另外，科研人員還發現，GaN具有很高的缺陷(位錯)密度（按照傳統半導體物理的認識，GaN 這麼高的位錯密度不可能發強光外），因此，大多數人都轉向了其他技術方向。
目前市場上，有些低亮度的藍光LED商品售賣，其走的是SiC（碳化矽）路線。但這條路線，從原理上，發光效率就不高。
因此大量的研究人員，又轉向了ZnSe（硒化鋅）材料。ZnSe材料，無論是理論，還是實際發光效率，都取得了很大進展，但這條路線始終面對一個令人頭疼的問題，那就是產品壽命。
藍光LED的幾條技術路線，每條都有自己不同的困難，全都被卡住了。
而『他』就是通過定製MOCVD的方式，另闢蹊徑，解決了GaN的製備問題。
「我和陳泉想定製兩台MOCVD設備，做些預研。這部分研究工作，不會影響到MEMS產線的建設工作。」了解內情的曲燕秋，乾脆把話接了過去。
「不影響到MEMS建廠，那就沒有問題了。」
王湛長出一口氣。如果工藝不停的變來變去，他的工作也很難做。
「而且我希望，這個定製設備的製造工作，就交給奉天科儀。」
陳泉補充。
MOCVD只是解決了GaN的製備問題，後續的一系列技術難點，以及解決方法，必須要設備到位後，才能去探索，他不想節外生枝。
「哦？好！當然好！我們熱烈歡迎。」
奉天科儀的幾個人，先是一愣，然後就是大喜。
「可MOCVD，我們並沒有相關的生產經驗啊。」技術科的王青山很快反應過來。
「沒有經驗，我們就不能生產了嗎？」
劉民學趕緊接過話頭。「我們廠的產品，哪個不是從零開始？包括我們的農用機械，不也是自行研發出來的嗎？」
「可MOCVD不同。」
王青山不肯放棄。「國內關於MOCVD的資料特別少。據我所知，國外很多公司，都是購買現成的VPE設備進行改裝。但VPE類設備對我們禁運，我們就是想買都買不到。」
「.」
眾人把目光，又重新投向了陳泉。
「要不，MOCVD的事情，先放一放？條件不成熟的東西，沒有必要強求。畢竟國內的條件就這樣。國外設備廠商很容易做到的事情，放到國內，就未必了。」
王湛打圓場。「讓我們還是回到MEMS設備選型的問題上。」
「對，對。我們先討論生產線的事情。」劉民學廠長使勁瞪了一眼自己的技術科長，又把期待的目光，以及滿臉的笑容，重新帶回會議桌。
「.從技術參數和指標上看，貴廠的產品，基本符合了我們的預期。但我要再次強調，我們的產品是要被應用到航天和航空領域的。因此，參數指標不是第一位的，質量和穩定性，才是最重要的。」
經過了漫長的討論，王湛終於下了結束語。
「關於質量，請領導放心，絕對不會出問題的，畢竟我們也是有多年歷史的老廠了。」
劉民學大拍胸脯。
會議室里的氣氛，很快就融洽了起來。
「食堂那邊還沒有準備好。」劉秘書回來報告。
劉民學問：「我們先休息會？還是到車間再去轉轉？你們再幫我們提提建議？」
「你看呢？」王湛轉身徵求陳泉的意見。
剛才的設備參數討論，陳泉很少說話，反而曲燕秋的態度非常積極，一直在不停地問東問西。
陳泉沒有回答問題，而是把目光轉向了技術科科長，王青山。「能不能借我一套繪圖板？」
「繪圖板？你要繪圖板做什麼？」
王湛詫異了。「.你難道要自行設計MOCVD設備嗎？」
雖然王湛與陳泉有過幾次接觸，但兩人還遠遠談不上熟悉。對於陳泉的固執己見，王湛有了點意見。
設計一台全新設備，哪是那麼容易的事情。
不過他不好多說什麼，尤其在外人面前。
「試試看吧。」
陳泉沒有把話說死。雖然有「他」的記憶打底，但陳泉連圖板的邊都沒有摸過。
但現在絕對不是放棄的時候。這次的機會，可以說稍縱即逝。再次回到奉天科儀，不一定是什麼時候的事情了。
如果無法如願，帶走記憶中的那台MOCVD，藍光LED徹底沒有了希望。
「那?」
劉民學用目光徵詢意見，發現陳泉並沒有放棄的意思，王湛也不說話，他只得吩咐。「小劉，找人抬一副圖板過來吧。」
「抬我那副吧。」
王青山站起來，跟了出去。「我那副是磁鐵繪圖板，條件好一些。」
很快的，一副設計人員常用的零號工程繪圖板，被四個人抬進了大會議室。
「這是活動丁字尺，只要這麼一拉，它就能在導軌上.」王青山給陳泉介紹他的寶貝。
「你們工大的電子系學生，也要學機械製圖嗎？」
王湛在後面，小聲的問曲燕秋。
「電子系的學生沒有製圖課。但陳泉，你是知道的。他總是能做出些出人意料的事情，不是嗎？」曲燕秋只能如此回答。
……
技術科長王青山看著陳泉，滿臉好奇的擺弄著圖板上的各種配件，一看就是沒有接觸過機械設計的全新選手。
「要不你把想法說出來，我來畫圖.」
可就在所有人的驚訝目光里，陳泉拿起筆，趴到了圖板上。
(本章完)