第2649章 關鍵的PAS5500
「你想說台積電火災那次是吧？」
「是啊，台積電誕生時是台島工研院和飛利浦的合資公司。在台積電里，飛利浦占27.5%股分，是最大外部股東。因此飛利浦才會毫無保留地把MEGA生產線開放給台積電學習，然後再原封不動地把整條生產線搬到台灣給台積電。」
「意外的是88年底新生產線快裝好的時候發生了火災。台積電把所有被煙燻了的光刻機退回ASML，重新下了十七台新機的訂單。ASML剛好非常缺錢，這些訂單在關鍵時刻救了急。而為火災買單的保險公司成了ASML 1989年最大的客戶，讓ASML第一次實現盈利。」胡長風說道：「所以說命好有時候也是一種能力。」
「哈哈哈，再後來就是1992年，飛利浦來大陸了。」
「這個我就太熟悉了。」胡長風說道：「當時滬上元件五廠、上無七廠和上無十九廠與飛利浦公司洽談合資，成立了滬上飛利浦半導體公司，在漕河涇建成我國第一條5英寸Foundry線。打破了我國沒有Foundry線的歷史。這個事情當時就是我主抓。」
「說起來也是可恨，當時我們也想引進PAS 2500來著，但是單線500萬美金的價格，實在是太高了，加上我們當時根本就沒有配套的6英寸晶圓生產能力，最後不得不選擇已經處於淘汰邊緣的5英寸線。」說起創業史，胡長風除了唏噓還是唏噓。
「5英寸也很不錯了，雖然做不了超大，但是起碼解決了LSI生產的問題，為我們的存儲晶片事業打下了堅實基礎。」周至笑道：「現在金融業和各個單位嘗到了甜頭，國內各類存儲卡的需求激增，那條線現在都忙不過來了吧？」
「嗯，接下來，就該是從六英寸過渡到八英寸的那一關而來吧？」胡長風說道：「我們的809工程，其核心就是引進一條八英寸晶片生產線。結果差點栽到裡頭。」
「也不能完全怪決策。」周至到現在倒是想明白了：「當年這個項目出問題，還有一個重要原因，那就是後續的投資沒有跟上，IBM為這個生產線，可是豪砸了10億美金，而我們一國的外匯儲備，前年也才百億美元，真沒多餘的錢做後續。」
「好在是熬過來了。」胡長風說道：「順便還給產品升了個級，沒被國際水平甩開太遠。」
「對，獲得八英寸晶圓生產線是關鍵。」周至說道：「有了這個基礎，我們引進三星產品線和松下快閃記憶體技術，進行存儲晶片生產才有了可能。不過在光刻機領域，日系的運氣就不如歐系了。」
「從6英寸製程過渡到8英寸的過程中，從G線到I線的技術演進中，兩家日本公司犯了一個錯誤。尼康和佳能計劃跳過365nm的i線，直接從465nm的G線過渡到KrF的248nm的雷射。」
「這是一個無比超前的計劃，如果成功，光刻機將直接進入DUV時代。」
「不過他們低估了DUV的技術難度。兩家公司的設備無法順利通過測試，體積和耗能均非常大，而且沒有對應的DUV光刻膠，最終被迫回頭，重啟365nm的i線設備研發。」
「而ASML卻穩紮穩打，他們繼續研發了基於I線光源的PAS 5500光刻機，但是將涉及架構更換成了可以改進的新機器架構。」
「這個架構的設計非常靈活，鏡頭和光源可以快速更換，先期匹配高解析度i線光源，後期再匹配DUV鏡頭的KrF雷射器，一舉取得了先發優勢。」
「在晶圓台研發上，PAS 5500也沒有一開始就決定到底是使用H型晶圓台，還是長短衝程發動機。而是同樣保留了兩路適配架構，這是意義非常的方法。」
「PAS 5500這種模塊化設計使得客戶可以根據不同工藝隨意選配不同部件包，可以涵蓋了i線和KrF各種光源，4到12英寸各種晶圓尺寸，i線和KrF各種鏡頭，stepper和scanner各種投影模式。成了所有晶片製造商的夢中情機！」
「你的意思，是我們也要像三星和台積電那樣，大量進口這款光刻機？PAS5500現在一台多少錢？」
「PAS5500現在的子型號太多，價格可以從500萬美元到700萬美元不等。」周至說道：「如果要兼顧我們產業在未來的發展我們需要配置適合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圓，光源和鏡頭適配465nm的G線，365nm的 i線和248nm的KrF三種光源的光刻機。」
「同時我們還得要求飛利浦公司按照對待台積電的標準，對我們開放MEGA生產線的技術學習。」周至說道：「為我們未來自主設計和生產做好準備。」
「三種晶圓，三種光源，三種鏡頭，組合一下，一樣一套都是9套。」胡長風沉吟道：「你的意思我能夠明白，我們家底薄，5英寸6英寸的生產線，不可能在引進完8英寸，未來還可能引進12英寸後就不用了，未來國內的中低端晶片，還得依靠中低端光刻機負責生產，起碼二三十年都不會淘汰。不過你說的KrF光源，鬼子都沒搞出來的東西，我們現在的能力，做得到嗎？」
「沒辦法，總要自己做的，而且我們還必須儘快做。」周至說道：「隨著國際局勢的變化，瓦森納協定就如懸在我們頭頂的一把利劍，遲早會掉落下來的。我們必須在別人卡脖子之前，趁現在還有未關上的窗口，抓緊完成布局！」
「即便是現在，我們要ASML開放MEGA生產線，他們也不會乖乖聽話吧？」胡長風說道：「即便是我們決定引進幾條PAS5500。」
「或許也不是太難。」周至卻露出了意味深長的微笑。
「哦？你小子是不是又有什麼招數了？」胡長風問道。
「也算是運氣吧。」周至笑道：「現在ASML的最大外部股東，是安盛基金，掌握著ASML百分之二十七的股份。」
「啊？什麼時候的事情？這戲法又是怎麼變出來的？」胡長風大吃一驚。
「ASML的發展也不是一帆風順的，它也經歷過好幾次生死危機。」周至笑道：「ASML成立於19884年，儘管脫胎於飛利浦，但是在成立之後的10年間都不曾盈利，持股的飛利浦和ASM在前年都失去了信心，因為吃不消這無止境的燒錢，ASM把持有的股份都賣了，還是虧了3500萬美元賣的。」
「正在信息產業領域尋找投資機會的安盛基金適時接手了，那一次，我們拿到了14%的股份。」
「ASML的第二次危機是來自和蔡司的合作。蔡司本身是和肖特綁定的，重大投資必須由兩家公司一起做出決定，而蔡司當時處於虧損，完全依賴姐妹公司肖特輸血。」(本章完)
「是啊，台積電誕生時是台島工研院和飛利浦的合資公司。在台積電里，飛利浦占27.5%股分，是最大外部股東。因此飛利浦才會毫無保留地把MEGA生產線開放給台積電學習，然後再原封不動地把整條生產線搬到台灣給台積電。」
「意外的是88年底新生產線快裝好的時候發生了火災。台積電把所有被煙燻了的光刻機退回ASML，重新下了十七台新機的訂單。ASML剛好非常缺錢，這些訂單在關鍵時刻救了急。而為火災買單的保險公司成了ASML 1989年最大的客戶，讓ASML第一次實現盈利。」胡長風說道：「所以說命好有時候也是一種能力。」
「哈哈哈，再後來就是1992年，飛利浦來大陸了。」
「這個我就太熟悉了。」胡長風說道：「當時滬上元件五廠、上無七廠和上無十九廠與飛利浦公司洽談合資，成立了滬上飛利浦半導體公司，在漕河涇建成我國第一條5英寸Foundry線。打破了我國沒有Foundry線的歷史。這個事情當時就是我主抓。」
「說起來也是可恨，當時我們也想引進PAS 2500來著，但是單線500萬美金的價格，實在是太高了，加上我們當時根本就沒有配套的6英寸晶圓生產能力，最後不得不選擇已經處於淘汰邊緣的5英寸線。」說起創業史，胡長風除了唏噓還是唏噓。
「5英寸也很不錯了，雖然做不了超大，但是起碼解決了LSI生產的問題，為我們的存儲晶片事業打下了堅實基礎。」周至笑道：「現在金融業和各個單位嘗到了甜頭，國內各類存儲卡的需求激增，那條線現在都忙不過來了吧？」
「嗯，接下來，就該是從六英寸過渡到八英寸的那一關而來吧？」胡長風說道：「我們的809工程，其核心就是引進一條八英寸晶片生產線。結果差點栽到裡頭。」
「也不能完全怪決策。」周至到現在倒是想明白了：「當年這個項目出問題，還有一個重要原因，那就是後續的投資沒有跟上，IBM為這個生產線，可是豪砸了10億美金，而我們一國的外匯儲備，前年也才百億美元，真沒多餘的錢做後續。」
「好在是熬過來了。」胡長風說道：「順便還給產品升了個級，沒被國際水平甩開太遠。」
「對，獲得八英寸晶圓生產線是關鍵。」周至說道：「有了這個基礎，我們引進三星產品線和松下快閃記憶體技術，進行存儲晶片生產才有了可能。不過在光刻機領域，日系的運氣就不如歐系了。」
「從6英寸製程過渡到8英寸的過程中，從G線到I線的技術演進中，兩家日本公司犯了一個錯誤。尼康和佳能計劃跳過365nm的i線，直接從465nm的G線過渡到KrF的248nm的雷射。」
「這是一個無比超前的計劃，如果成功，光刻機將直接進入DUV時代。」
「不過他們低估了DUV的技術難度。兩家公司的設備無法順利通過測試，體積和耗能均非常大，而且沒有對應的DUV光刻膠，最終被迫回頭，重啟365nm的i線設備研發。」
「而ASML卻穩紮穩打，他們繼續研發了基於I線光源的PAS 5500光刻機，但是將涉及架構更換成了可以改進的新機器架構。」
「這個架構的設計非常靈活，鏡頭和光源可以快速更換，先期匹配高解析度i線光源，後期再匹配DUV鏡頭的KrF雷射器，一舉取得了先發優勢。」
「在晶圓台研發上，PAS 5500也沒有一開始就決定到底是使用H型晶圓台，還是長短衝程發動機。而是同樣保留了兩路適配架構，這是意義非常的方法。」
「PAS 5500這種模塊化設計使得客戶可以根據不同工藝隨意選配不同部件包，可以涵蓋了i線和KrF各種光源，4到12英寸各種晶圓尺寸，i線和KrF各種鏡頭，stepper和scanner各種投影模式。成了所有晶片製造商的夢中情機！」
「你的意思，是我們也要像三星和台積電那樣，大量進口這款光刻機？PAS5500現在一台多少錢？」
「PAS5500現在的子型號太多，價格可以從500萬美元到700萬美元不等。」周至說道：「如果要兼顧我們產業在未來的發展我們需要配置適合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圓，光源和鏡頭適配465nm的G線，365nm的 i線和248nm的KrF三種光源的光刻機。」
「同時我們還得要求飛利浦公司按照對待台積電的標準，對我們開放MEGA生產線的技術學習。」周至說道：「為我們未來自主設計和生產做好準備。」
「三種晶圓，三種光源，三種鏡頭，組合一下，一樣一套都是9套。」胡長風沉吟道：「你的意思我能夠明白，我們家底薄，5英寸6英寸的生產線，不可能在引進完8英寸，未來還可能引進12英寸後就不用了，未來國內的中低端晶片，還得依靠中低端光刻機負責生產，起碼二三十年都不會淘汰。不過你說的KrF光源，鬼子都沒搞出來的東西，我們現在的能力，做得到嗎？」
「沒辦法，總要自己做的，而且我們還必須儘快做。」周至說道：「隨著國際局勢的變化，瓦森納協定就如懸在我們頭頂的一把利劍，遲早會掉落下來的。我們必須在別人卡脖子之前，趁現在還有未關上的窗口，抓緊完成布局！」
「即便是現在，我們要ASML開放MEGA生產線，他們也不會乖乖聽話吧？」胡長風說道：「即便是我們決定引進幾條PAS5500。」
「或許也不是太難。」周至卻露出了意味深長的微笑。
「哦？你小子是不是又有什麼招數了？」胡長風問道。
「也算是運氣吧。」周至笑道：「現在ASML的最大外部股東，是安盛基金，掌握著ASML百分之二十七的股份。」
「啊？什麼時候的事情？這戲法又是怎麼變出來的？」胡長風大吃一驚。
「ASML的發展也不是一帆風順的，它也經歷過好幾次生死危機。」周至笑道：「ASML成立於19884年，儘管脫胎於飛利浦，但是在成立之後的10年間都不曾盈利，持股的飛利浦和ASM在前年都失去了信心，因為吃不消這無止境的燒錢，ASM把持有的股份都賣了，還是虧了3500萬美元賣的。」
「正在信息產業領域尋找投資機會的安盛基金適時接手了，那一次，我們拿到了14%的股份。」
「ASML的第二次危機是來自和蔡司的合作。蔡司本身是和肖特綁定的，重大投資必須由兩家公司一起做出決定，而蔡司當時處於虧損，完全依賴姐妹公司肖特輸血。」(本章完)